本発明は、少なくとも１つの第一セラミックの接合パートナー（２）を少なくとも１つの第二接合パートナー（３）と接合する方法に関し、その際に前記方法は、次の工程：少なくとも１つのプレセラミックポリマー（４）を第一及び／又は第二の接合パートナー（２、３）上で接合領域（７）内に施与し、かつ接合パートナー（２、３）を接合領域（７）内で一緒にし、かつ接合領域（７）を加熱して、プレセラミックポリマー（４）を、接合パートナー（２、３）を互いに結合する無定形及び／又は結晶質のセラミックへ変換させることにより特徴付けられる。本発明は、さらに、第一セラミック接合パートナー（２）を少なくとも１つの第二接合パートナー（３）と接合するためのプレセラミックポリマー（４）の使用並びに２つの接合パートナー（２、３）からなり、これらのうち少なくとも１つがセラミック材料を含む複合体に関する。
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【課題】温度変化による反りが少なく、熱膨張を抑えた、優れた温度安定性を示すタンタル酸リチウム（ＬＴ）又はニオブ酸リチウム（ＬＮ）単結晶薄板を用いた複合基板を提供することを解決すべき課題とする。
【解決手段】 本発明の複合基板は、鉄、銅、マンガン、モリブデン、コバルト、ニッケル、亜鉛、炭素、マグネシウム、チタン、タングステン、インジウム、錫、レニウム、スカンジウム、ロジウム、ルテニウム、パラジウム、銀、白金、金、イットリウム、ネオジウム、イリジウム、ゲルマニウム、バリウム、セシウム、ストロンチウム、ガリウム、セリウム及びその他の遷移元素から選ばれる少なくとも一種以上の添加元素を０．００２ｗｔ％以上０．１ｗｔ％以下の割合で含有するＬＴ単結晶又はＬＮ単結晶からなる単結晶薄板と、該単結晶薄板の一面に接合された低熱膨張基板と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】セラミックスとしての十分な強度を有しつつ、半導体プロセスにおける腐食性ガスやそのプラズマに曝される環境下において極めて耐食性に優れた静電チャック、ヒータ、サセプタ等の半導体製造装置用のセラミックス部材を製造コストを大幅に高騰させることなく提供する。
【解決手段】 イットリア部材２とアルミナ部材１との接合面同士が、両部材よりも溶融温度の低いセラミックス接合材からなる接合層４を介して接合されてなるセラミックス接合体と、該セラミックス接合体に埋設された金属部材３と、を備えるセラミックス部材であって、少なくとも腐食性ガスに曝される部位がイットリア部材からなることを特徴とするセラミックス部材。前記セラミックス接合材からなる接合層が、主結晶相であるゲーレナイトを９５重量％以上含む複合酸化物により構成される。 （もっと読む）

【課題】無機粉末の焼結体を接合法で製造するのに際して、接合用スラリーを用いることなく、強固な接合が得られる方法を提供することである。
【解決手段】無機粉末、反応性官能基を有する有機分散媒およびゲル化剤を含有し、有機分散媒とゲル化剤との化学反応により固化した第一の無機粉末成形体および第二の無機粉末成形体を得る。第一の無機粉末成形体の接合面と第二の無機粉末成形体の接合面とを接触させた状態で、荷重下に接合して一体の接合体を得る。次いで、この接合体を焼結させて焼結体を得る。 （もっと読む）

【課題】歯科医師を目指す学生が、口腔内作業を体験し、治療の練習をする顎歯模型用に用いる歯牙に関し、具体的には支台歯形成、窩洞形成等の形体付与を体験する為に用いる歯牙組成に関し、従来の顎歯模型は、天然歯と切削感が異なることから支台歯形成や窩洞形成の練習をしても実際の口腔内で作業をした場合では異なる切削感、作業性から当惑する課題を解決した治療練習用の顎歯模型用の歯牙を提供する。
【解決手段】デンチン部分とエナメル部分からなり、デンチン部分とエナメル部分をＣＩＭ技術を用いて成型した後に、デンチン部分とエナメル部分の間にガラス粉末を介在させて、脱脂、焼成することによりデンチン部分とエナメル部分が接着されたことを特徴とする顎歯模型用歯牙とする。天然歯と同じ様な切削感を得られ、エナメル部分からデンチン部分へ移行する切削感が天然歯に近いことから、模型であっても天然歯牙を削る練習が容易に行なえる。 （もっと読む）

【課題】高純度な接合部によりセラミックス焼結体が接合されてなる、接合強度が高く耐食性に優れたセラミックス接合体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス接合体１０は、同じ材料からなる２個のセラミックス焼結体１２ａ，１２ｂと、これらを接合する接合部１４とを有する。セラミックス焼結体１２ａ，１２ｂと同じ材料の、不純物含有量が合計で１００ｐｐｍ以下であり粒径が３０ｎｍ以上３００ｎｍ以下であるセラミックス粒子のみを固形分として含むスラリーを、セラミックス焼結体１２ａ，１２ｂの接合面に塗布してこれらの接合面を接着し、その後、所定温度に加熱し、セラミックス焼結体１２ａ，１２ｂの接合面に挟まれたセラミックス粒子を焼結させることで、接合部１４を形成するとともにセラミックス焼結体１２ａ，１２ｂを接合する。 （もっと読む）

【課題】 低温での焼成でも十分なメタライズの接合強度が得られる接合用セラミック部材の製造方法、接合用セラミック部材、接合体、真空スイッチ、及び真空容器を提供すること。
【解決手段】 金属部材３との接合に用いられるメタライズ層１１を備えた接合用セラミック部材１の製造方法であって、Ｗ及び／又はＭｏの高融点金属粉末；７０〜９７重量％、Ｎｉ粉末；１〜１０重量％、Ｍｎ粉末；５〜１０重量％、Ｔｉ及び／又はＴｉＨ₂粉末；０．５〜２重量％、ＳｉＯ₂粉末；２〜１５重量％を含有する混合物を、有機バインダと混合してペーストとしてメタライズインクを製造し、該メタライズインクをセラミック焼成体であるセラミック基材９に塗布して焼き付けてメタライズ層１１を形成する。 （もっと読む）

【課題】プラズマの逆流防止のためにシャワープレートの縦孔内に配置されるガス放出孔部材（セラミックス部材あるいは多孔質ガス流通体）が隙間無く一体的に焼結結合され、シャワープレートの使用時に縦孔から脱落することがなく、また各縦孔からのガス放出量のバラツキがなく、プラズマの逆流の発生をより完全に防止でき、効率の良いプラズマ励起が可能なシャワープレートを提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置の処理室１０２に配置され、処理室１０２にプラズマを発生させるためにプラズマ励起用ガスを放出するシャワープレート１０５において、プラズマ励起用ガスの放出経路となる多数個の縦孔１０５内に、孔径が２０μｍ乃至７０μｍのガス放出孔を複数個有するセラミックス部材、および／または最大気孔径が７５μｍ以下のガス流通方向に連通した気孔を有する多孔質ガス流通体を一体的に焼結結合して配置した。 （もっと読む）

【課題】プラズマの逆流の発生をより完全に防止でき、効率の良いプラズマ励起が可能なシャワープレートを提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置の処理室１０２に配置され、処理室１０２にプラズマを発生させるためにプラズマ励起用ガスを放出する複数のガス放出孔１１３ａを備えたシャワープレート１０５において、ガス放出孔の長さと孔径のアスペクト比（長さ／孔径）を２０以上とした。ガス放出孔１１３ａは、シャワープレート１０６とは別体のセラミックス部材１１３に形成し、このセラミックス部材１１３をシャワープレート１０６に開けた縦孔１０５に装着した。 （もっと読む）

【課題】接合部における不具合を抑制又は回避できる無機粉末成形体の接合体及び焼結体を提供する。
【解決手段】２以上の無機粉末成形体の接合体の焼結体を、前記接合体における２以上の前記無機粉末成形体に対応する第１の構成部分と、前記接合体における接合部に対応する第２の構成部分と、を備えるようにするとともに、以下の特徴（ａ）及び（ｂ）のいずれかあるいは双方を有するようにする。
（ａ）前記第２の構成部分は前記第１の構成部分以下の表面粗さを有する。
（ｂ）前記第２の構成部分は、その幅中心近傍において前記第１の構成部分以上の透光度を有する。 （もっと読む）

【課題】胴部と管状部とを嵌め合わせて焼成収縮を利用して接合する方法において、胴部と管状部とを強固に接合し、胴部の変形や反りを抑制できるようにする。
【解決手段】胴部用被焼成体１２と管状部用被焼成体１４とを固定する。胴部用被焼成体１２の回転対称軸Ａを含む断面において、胴部用被焼成体１２の外周面１２ｂの法線Ｄと内周面１２ｃの法線Ｅとによって形成される仮想中心Ｆの軌跡ＦＦの末端Ｐと胴部用被焼成体１２の管状部１４との接合面１２ａとが形成する交差角αが３０°以上となるようにする。これらを熱処理することによって、胴部用被焼成体１２および管状部用被焼成体１４を焼結させて胴部および管状部を生成させると共に胴部と管状部とを接合する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置用部材として、より熱膨張係数の低い、高強度な窒化珪素製中空接合体の要求が高まっていた。
【解決手段】窒化珪素を主成分とし、酸化エルビウム（Ｅｒ_２Ｏ_３）およびアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）を含む窒化珪素質焼結体からなる一対の基体１，４がガラスを主成分として、窒化珪素から成る微細結晶およびＥｒ成分とを含む接合層を介して接合されていることから、部材の熱膨張を極力抑え、加熱による部材の形状変化が起こることを防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 気密性に優れた中空構造を有するセラミックス接合体を提供する。
【解決手段】 セラミックス部材の接合面同士が、該セラミックス部材よりも溶融温度の低いセラミックス接合材からなる接合層を介して接合されてなる中空構造を有するセラミックス接合体であって、前記接合層は、接合面に垂直な方向に０．０１〜０．２ｍｍの厚みｔを有し、一方の接合面に隣接する側壁面と他方の接合面に隣接する平面で形成される角隅部が凹状曲面の接合材メニスカスにより被覆されており、前記側壁面の角縁部から接合材メニスカス面上の最短部までの距離δと接合材厚みｔの比δ／ｔが０．５以上１０以下となっている。 （もっと読む）

【課題】大型で断熱性に優れ、かつ軽量で耐食性に優れた中空セラミック部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】中空セラミック構造体であって、（１）中空構造を有する三次元の複雑形状を持つ複数個のユニット同士が組み合わされ接合されて、一体化されている、（２）それにより、全体の部材形状が形成されている、（３）壁面の内部に空洞部が形成されている、ことを特徴とする中空セラミック構造体、及びその製造方法。
【効果】射出成形で高精度に成形した基本ユニットを組み立てる方式と反応焼結の手法を利用することで、大型セラミック部材の壁面内部に空洞部を設けることができ、従来技術では製造することが困難であった、軽量で、高い断熱性や難濡れ性等の機能を有する大型セラミック部材を低コストで製造し、提供することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 使用時にシール材層がダメージを受けにくく、接着強度を維持することができる扁平形状のハニカム構造体を提供することを目的とすること。
【解決手段】 多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設された多孔質セラミックを主成分とするハニカムユニットが、シール材層を介して複数個接着された断面が扁平形状のハニカムブロックの外周部にシール材層が設けられたハニカム構造体であって、上記ハニカムユニットは、無機粒子と無機繊維及び／又はウィスカを含んでなり、長手方向に垂直な断面におけるハニカムユニット間のシール材層が、断面の輪郭を構成する形状の長軸に対して斜め方向に形成されていることを特徴とするハニカム構造体。 （もっと読む）

【課題】 熱衝撃や振動に対する耐久性に優れ、高い比表面積を有するハニカム構造体を提供すること。
【解決手段】 多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設された柱状のハニカムユニットがシール材層を介して複数個結束されたハニカム構造体であって、上記ハニカムユニットは、無機粒子と、無機繊維及び／又はウィスカとを含んでなり、上記ハニカムユニットの長手方向に垂直な断面における断面積は、５〜５０ｃｍ^２であり、上記ハニカムユニットの側面両端部であって、それぞれの上記ハニカム構造体の長さの０．３〜５％の領域は、シール材層非形成領域であることを特徴とするハニカム構造体。 （もっと読む）

【課題】少なくとも二つの焼結体を結合し複合構造物を形成する方法及び本方法によって作製された複合構造物を提供する。
【解決手段】少なくとも二つの焼結体を結合し複合構造物を形成する方法であって：
第一の焼結体と第二の焼結体の結合表面間に結合材料を提供すること；
少なくとも１ｋＰａかつ５ＭＰａ未満の圧力を適用し、組立物を提供すること；
該結合材料が結合表面に適合することを可能にするために十分な適合温度まで該組立物を加熱すること；
第一の及び第二の焼結体の最低焼結温度未満である結合温度まで該組立物をさらに加熱すること、を含んでなる方法（セラミック粒子は該結合材料の４０体積％〜７５体積％を構成し、そして第一の及び／又は第二の焼結体の元素を少なくとも一つ含む）並びに、
本方法によって作製された複合構造物も開示する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル等の大型化に対応するため、その製造に必要とされるステージ等として有用な、大型で高い比剛性率（ヤング率／密度の比）を有するセラミックス構造部材及びその製造技術を提供する。
【解決手段】最終構造体を分割した形状でなるユニット体を組み立て、焼成して一体化するセラミックス部材の製造方法であって、多孔質のユニット同士の結合部分をはめ合い構造にし、組み立て工程において、結合部分にセラミックススラリーを介在させ、多孔質中にスラリーの一部を浸透させながら前記結合部分の接合面を密着させ、これを焼結して接合面を強固に結合させるとともに一体化させることを特徴とするセラミックス構造体の製造方法、そのセラミックス構造体、及び該セラミックス構造体からなるセラミックス部材。 （もっと読む）

【課題】焼成したアルミナセラミックス部品同士を直接接合することにより、クラックの発生のない、しかも形状寸法に優れたアルミナセラミックス物品の製造方法を提供する。
【解決手段】所定の形状を有するアルミナ成形体を作製する工程と、前記アルミナ成形体を１２５０℃〜１７００℃で焼成し、アルミナ焼成体からなる部品を作製する工程と、前記アルミナ焼成体からなる複数の部品を組み合わせて、１３．３Ｐａ〜１．３×１０^-2Ｐａの真空状態で、部品の接合面に対して、０．１ＭＰａ〜１．５ＭＰａの圧力を加えると共に１３５０℃〜１６５０℃で加熱することにより、複数の部品を一体になす工程と、を含むことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】セラミックス材同士またはセラミックス材と金属材とを容易にかつ簡便に接合し得るセラミックス接合方法及び接合装置を提供する。
【解決手段】セラミックス接合装置１０は、一対の被接合材４１，４１を押圧すると共に一対の被接合材４１，４１の間に挟む金属箔４２に電流を流すための一対の電極２１を備えた接合台２０と、一対の電極間に金属箔を気化させるのに必要な電気エネルギーを供給する回路３０とを備える。この回路３０は、一対の電極２１，２１に並列接続する充放電用コンデンサー３１と、充放電用コンデンサー３１と一対の電極２１，２１との間に直列接続される放電用スイッチ３２と、充放電用コンデンサー３１を充電するための電源回路３３とを備える。充放電用コンデンサー３１は、金属箔４２を気化させるのに必要なエネルギーを蓄積し、充電電圧が数百Ｖオーダーになるよう選定される。 （もっと読む）