【課題】 極めて低濃度の洗浄液を調整する目的で、高濃度の洗浄原液と純水を、調合後の希釈液に気泡を巻き込むことなく自動希釈する。
【解決手段】 高濃度の洗浄原液と純水を混合タンク２に注入する際に、ふたつの液を直接混合タンクに注入するのではなく、それぞれ逆止弁を介して循環ライン１７に注入し、混合タンク内の該循環ラインの戻り配管を混合タンクの液面より下まで伸ばすことにより気泡を生じることなく洗浄原液と純水を混合液の中に混入させる。洗浄原液と純水の計量に際しては、メイン計量監視手段として、定量ポンプ２７で洗浄原液を、ロードセル１５で純水を計量し、サブ計量監視手段として、ロードセルで洗浄原液を、液面計で純水を計量することにより計量のダブルチェックが出来るので信頼性の高い希釈が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 各種分析装置による濃度管理が困難な極めて低濃度（１０００ｐｐｍ以下）の洗浄液の希釈混合液を生成する目的で、高濃度の洗浄液原液と純水を、混合液に気泡を巻き込むことなく自動希釈する。
【解決手段】 高濃度の洗浄液原液と純水を混合タンク２に注入する際に、ふたつの液を直接混合タンクに注入するのではなく、それぞれ逆止弁を介して循環ライン１７に注入し、混合タンク内の該循環ライン１７の戻り配管を混合タンク２の液面より下まで伸ばすことにより気泡を生じることなく処理液原液と純水を混合液の中に混入させる。処理液原液と純水の計量に際しては、純水についてはメインの計量器としてロードセルを、サブの計量器として液面計を用い、リンス原液についてはメインの計量器として定量ポンプを、サブの計量器としてロードセルを用いる。 （もっと読む）

溶液製造システムおよび装置が記載されている。溶液製造機は、化学物質またはスラリーと溶剤とを所望の濃度に混合する。溶液の濃度は、１つまたはそれ以上の方法で監視される。この測定に基づき、溶液の濃度は調整され得る。 （もっと読む）

【課題】機能的流体の超純水への溶解量又は混合量を精密に制御して、正確な機能的流体濃度の機能水を生成することが可能な小型かつ安価な機能水生成装置を提供する。
【解決手段】超純水Ｗの主流路としての超純水主流路１０１から分岐した超純水分岐流路１０２と、機能性流体Ｇの流路としての機能性流体流路１０３と、超純水分岐流路に連通して配設されるとともに、超純水分岐流路の連通とは別の連通路で機能性流体流路に連通した、超純水分岐流路における超純水の流量に対応して機能性流体の流量を制御する流体流量制御手段１０４と、超純水分岐流路の流体流量制御手段の配設箇所よりも下流に連通して配設されるとともに、超純水分岐流路の連通とは別の連通路で機能性流体流路に連通した、超純水分岐流路を流れる超純水Ｗ１に、流体流量制御手段によって流量を制御された機能性流体を溶解又は混合して第１の機能水Ｆ１を生成する混合手段１０５とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、２種以上の微量の液体を迅速かつ十分に混合する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、２種以上の液体を混合して吐出できる液滴吐出ヘッドであって、液体を供給するための供給口を備える第１の液体貯留部（１６）と、２以上の第１の液体貯留部（１６）とそれぞれ独立した流路（１３）により接続された第２の液体貯留部（１７）と、第２の液体貯留部と流路により接続され、加圧手段を有する加圧室（２２）と、加圧室で加圧された液体が吐出されるノズル孔（２６）と、を有する液滴吐出ヘッドを提供するものである。 （もっと読む）

【課題】 電気式の希釈装置において、希釈液および薬液用の各流量センサや電動式の部品のメインテナンスを容易に行えるようにする。
【解決手段】 薬液供給手段によるタンクへの薬液供給量を検出する薬液流量センサと、希釈液供給手段による前記タンクへの希釈水供給量を検出する水用流量センサと、希釈薬液の希釈倍率を設定する希釈倍率設ボタンと、希釈倍率の設定値と前記両流量センサの検出値に基づいて薬液供給手段および希釈液供給手段の少なくとも何れか一方の作動を制御する制御ユニットとを備えた希釈装置であって、該希釈装置の制御情報とメインテナンス情報の何れか一方を表示し得る操作表示部と、該操作表示部の表示モードを、前記制御情報を表示する通常モードから前記メインテナンス情報を表示するメインテナンスモードに切り換える表示切換手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 液体配管と電装品とを実質的に密閉された空間内に収納する収納容器において、液体配管およびその近傍部分の外表面に結露が生じることを抑制し、また、この結露による水滴が電装品に伝わって付着することを防止する。
【解決手段】 給水管Ｐｗ１と電気回路基板６０とを実質的に密閉された空間Ｓ内に収納する収納容器１０の構造であって、前記給水管および電気回路基板を有する希釈装置Ａｄの使用状態において、前記給水管は収納容器の比較的上部に位置し、電気回路基板は、給水管よりも下方で、且つ、平面視で該給水管と重ならない位置に配置されており、前記電気回路基板の少なくとも上方および側方を覆う基板カバー６３が配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 希釈薬液の混合性を高めるとともに、希釈運転を途中で停止した場合においても、所定希釈倍率の希釈薬液を得ることができる希釈装置及び希釈方法を提供する。
【解決手段】 薬液を所定の希釈液で薄めて所定希釈倍率の希釈薬液を得る希釈方法が、希釈倍率の設定値と薬液供給量検出手段２６の検出データと希釈液供給量検出手段１８の検出データとに基づいて、薬液供給手段２２及び希釈液供給手段１４の少なくとも何れか一方を作動させ、少なくとも薬液を供給する第１供給ステップと、希釈液のみを供給する第２供給ステップとを備えている。また、薬液供給手段２２又は希釈液供給手段１４の停止時には、該停止時における希釈倍率を算出し、該希釈倍率に応じて、希釈液又は薬液を更に供給することができる。 （もっと読む）

添加剤を含有する粘性組成物を連続調製する装置は、（ｉ）添加剤を粘性流体中に均一に混合及び分散する混合器と、（ｉｉ）粘性流体を混合器に供給する１つ以上のサーボモータ駆動式ポンプと、（ｉｉｉ）添加剤を混合器に供給する１つ以上のサーボモータ駆動式ポンプと、（ｉｖ）粘性流体を粘性流体用のサーボモータ駆動式ポンプに供給する手段と、（ｖ）添加剤を添加剤用のサーボモータ駆動式ポンプに供給する手段と、（ｖｉ）粘性流体及び添加剤を含有する粘性組成物を混合器から容器に分配する手段と、（ｖｉｉ）粘性流体用のサーボモータ駆動式ポンプ及び添加剤用のサーボモータ駆動式ポンプの動作を制御して、粘性流体を供給する手段及び添加剤を供給する手段における圧力サージに関係なく、粘性流体用のサーボモータ駆動式ポンプと添加剤用のサーボモータ駆動式ポンプとの所定のＲＰＭ比を維持するように構成及び配置される、プログラマブルロジックコンピュータと、（ｖｉｉｉ）粘性流体の温度の変動を補償する温度補償アルゴリズム手段とを備える。
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【課題】 正確な濃度で処理液を製造できる簡単な構成の処理液製造装置の実現。
【解決手段】 第１液と第２液を混合して化学機械研磨装置で使用する処理液を製造する処理液製造装置であって、調合槽5A,5Bと、第１液源1から調合槽へ供給する第１液の流量を計量する第１流量計11と、第２液源2から調合槽へ供給する第２液の流量を計量する第２流量計12と、処理液の製造量及び第１液と第２液の混合比に応じて第１液及び第２液の供給を制御する制御部13とを備える。 （もっと読む）

化学溶液のブレンディング及び供給のための方法及び装置。本発明の方法は、連続ブレンディングシステムを含んでいる。この連続ブレンディングシステム（１００）は、出力を監視し、ブレンディングシステムを連続的に調節して、少なくとも第１溶液（１１４）の所定の配合を達成する。集中監視システム（１２４）は、溶液を連続的に評価し、必要に応じてブレンダ（１１３）の出力を調節して溶液の所定の配合を維持する。システムは、第１タンクシステム（１１７）を少なくとも含んでいる。このタンクシステムから配送されるあらゆる溶液（１２０）もまた、集中監視システムによって、連続的に監視され、評価され、必要に応じて調節される。 （もっと読む）

【課題】 マイクロデバイス内において複数の液体を混合でき、かつ混合した液体を定量的に秤取することのできる微量液体秤取構造及び方法を提供する。
【解決手段】 流路Ｉに第１の液体を導入して流路ＩＩＩの構造内を液で満たし、その後空気を導入することで流路Ｉに残存する第１の液体を取り除く。その後第２の液体を流路Ｉに導入すると、流路ＩＩＩの構造内の部分ＩＩＩａが部分的に小さくなっているため、第２の液体は部分ＩＩＩａの手前で第１の液体と交換される。再び空気を導入して流路Ｉに残存する第２の液体を取り除き、さらに強い圧力で流路Ｉに空気を導入すると、流路ＩＩＩの内部に秤取されている第１の液体と第２の液体は、流路ＩＶを介して流路Ｖに押し出すことができる微量液体秤取構造及び方法を利用する。 （もっと読む）

【課題】定量吐出性を確保しつつ、ポンプ内における被移送物の滞留とこの滞留に起因する被移送物のゲル化を防止でき、メンテナンス無しで長期間使用することができるショットポンプ及び可変速型二液計量混合制御装置を提供する。
【解決手段】シリンダ１０１の一端側から他端側に向かってピストン１０２が往復動して被移送物を入口１０３から吸引して出口１０４から吐出するショットポンプ１００において、ピストン１０２の外径に対するピストン側面１０２ｓとシリンダ１０１の内側の側面１０１ｓとの間隙δの比を１／５０〜２とし、前記入口１０３をシリンダ１０１のピストン先端側と対面する側に設け、前記出口１０４をシリンダ１０１のピストン根元側に設けて、被移送物を前記入口１０３から吸引して、前記ピストン側面１０２ｓとシリンダの内側の側面１０１ｓとの間を通過させて前記出口１０４から吐出するように構成する。 （もっと読む）

【課題】薬液混合供給方法を提供する。
【解決手段】本発明は硫酸、過酸化水素、超純水、及びＨＦが混合したエッチング処理液を作る半導体製造工程の薬液混合供給方法に係り、本発明の薬液混合供給方法は、（ａ）混合タンクにＨＦがＰＰＭ単位に混合するようにＨＦを供給する段階と、（ｂ）前記混合タンクに超純水、過酸化水素、及び硫酸を一定割合供給して混合する段階とを含み、前記（ｂ）段階は、前記超純水、過酸化水素、及び硫酸の供給開始時点が互いに異なることを特徴とする。
このような薬液混合供給方法によると、硫酸、過酸化水素、及び超純水の供給開始時点を各々異にして、硫酸と過酸化水素との相互反応時間を最小化することによって、硫酸と過酸化水素の混合過程で発生する発熱時間が最小化できる。 （もっと読む）

光学流体濃度センサを含む流体流動配列が開示される。一つの配列は、流体流動をセンサ窓に向かうあるいは当たる方向に向ける。一つの配列は、センサが感知する領域への光の侵入を阻止する。一つの配列は、混和流体を監視する複数のセンサを含む。すなわち、ａ）流入開口、流出開口、および前記流入開口と前記流出開口との間に配置された空洞を有する流動部材と、ｂ）感知面が空洞と連通するように、流動部材に組み付けられた流体濃度センサであって、空洞は、流体が常に感知面と接触しているように、流体流動を感知面に当たる方向に向ける流体濃度センサとを備える、流体濃度感知配列が開示される。
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容器からの液体化学濃縮物を希釈水の流れと混合して分配するためのディスペンサ。ディスペンサは、或る場合には水流を、また或る場合には水流中に吸い上げられる濃縮物の量を制御する、２つの弁部材を含む。ディスペンサは、様々な異なる化学的濃度及び様々な水の流速を可能にすることができる簡略化された設計である。
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【課題】井水の浄化装置やその他の薬液注入ポンプを用いる多くの施工例では、薬液注入ポンプに薬液より発生する気体によりエアロックが生じ、ポンプ吐出機能が停止し、円滑な運転に支障がある。
【解決手段】井水等を流す主配管にエジェクターを設置し、エジェクターの吸引部から薬液を吸引して井水等と混合することにより、薬液ポンプを用いることなく、薬液中に多量の気体が存在してもエアロック現象が発生しない薬液注入装置を得る。 （もっと読む）

【課題】 濃縮液の濃度管理が容易であると共に製品の製造開始時点から濃度が安定し排出液の発生量を低減することが可能な液体製品製造システムを提供する。
【解決手段】液体の流量調節装置を有する液体混合装置を備え、上記液体混合装置により複数種類の液体を混合して液体製品を製造する液体製品製造システムにおいて、液体製品の濃度を達成するために必要な液体の濃度範囲を画定し、上記濃度範囲内において設定された液体の濃度に基づき、上記複数種類の液体の初期流量値を決定し、上記初期流量値に基づき、上記流量調節装置を制御して上記液体混合装置を駆動する。 （もっと読む）

ミクロ流体構造体の使用は、タンパク質の結晶化のハイスループットスクリーニングを可能にする。１つの実施形態において、一体化された組み合わせ混合チップは、可能な結晶形成がチップ上で観察される、多数の潜在的な結晶化条件を迅速に作製するための、試薬の正確な計量を可能にする。代替の実施形態において、ミクロ流体構造体は、特定のタンパク質結晶化剤の組み合わせの位相空間条件を調査するために利用され得、これによって、確実な条件を同定し、そして引き続いて、結晶成長を得る集中した試みを可能にする。
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【課題】 ワーク同士を変形させることなく接着可能な２液型接着剤の混合塗布方法および混合塗布装置並びにその接着構造体を提供する。
【解決手段】 主剤および硬化剤を混合して接着すべきワークＷに接着ビードとして塗布してワークＷを接合する２液型接着剤の混合塗布方法において、接着ビードに含まれる硬化剤を接着ビードの塗布位置に応じて間歇的に混入させるようにした。 （もっと読む）