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Fターム[4G062GE03]の内容

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Fターム[4G062GE03]に分類される特許

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【課題】ArFリソグラフィ用ミラーに適した特性を有する光学部材、および、該光学部材を用いたArFリソグラフィ用ミラーの提供。
【解決手段】光学面が下記(1)〜(5)を満たし、22℃における熱膨張係数(CTE)が0±200ppb/℃であるArFリソグラフィ用光学部材。
1mm≦λ(空間波長)≦10mmにおけるRMSが0.1nm以上3.0nm以下 (1)
10μm≦λ(空間波長)≦1mmにおけるRMSが0.1nm以上3.0nm以下 (2)
250nm≦λ(空間波長)≦10μmにおけるRMSが0.05nm以上1.0nm以下 (3)
100nm≦λ(空間波長)≦1μmにおけるRMSが0.01nm以上1.0nm以下 (4)
50nm≦λ(空間波長)≦250nmにおけるRMSが0.01nm以上1.0nm以下 (5) (もっと読む)


【課題】光学素子の色収差の補正に有用であり、且つ、研磨時や運搬時等に傷や割れが発生し難い光学ガラスと、これを用いたプリフォームを提供する。
【解決手段】光学ガラスは、酸化物換算組成でBi成分、SiO成分及び/又はB成分並びにF成分を含有し、「JOGIS09−1975光学ガラスのヌープ硬さの測定方法」に準じた測定方法において、250以上のヌープ硬さ(Hk)を有し、部分分散比[θg,F]が0.63以上、アッベ数[νd]が27以下であり、部分分散比[θg,F]>−0.0131×[νd]+0.9000を満たす。 (もっと読む)


【課題】光学素子の色収差の補正に有用であり、且つ、研磨時や洗浄時等にガラス表面に曇りが発生し難い光学ガラスと、これを用いたプリフォームを提供する。
【解決手段】光学ガラスは、酸化物換算組成でBi成分、SiO成分及び/又はB成分並びにF成分を含有し、粉末法による化学的耐久性(耐水性)がクラス1〜5であり、部分分散比[θg,F]が0.63以上、アッベ数[νd]が27以下であり、部分分散比[θg,F]>−0.0131×[νd]+0.9000を満たす。 (もっと読む)


【課題】押出および射出成形を含む様々なポリマー成形プロセスに使用するのに適したガラスからなる精密光学要素を提供する。
【解決手段】微細または超微細いずれかの微小構造を有するカルコゲナイドガラス体を有してなり、このカルコゲナイドガラスは、一般化学式YZを有し、ここで、YはGe,As,Sbまたはこれら2つ以上の混合物であり、ZはS,Se,Teまたはこれら2つ以上の混合物であり、原子または元素パーセントで表して、Yは15〜70%の範囲にあり、Zは30〜85%の範囲にあり、GeがAsおよびSbの内の一方または両方と混合された場合には、Geの量は、0<Ge<25%の範囲にあり、また、このカルコゲナイドガラスは、500℃以下で10,000ポアズ以下の粘度を有し、1000〜10,000s-1の範囲の剪断速度下で結晶化に耐性である。 (もっと読む)


【課題】フィルターガラスとして用いられるフッ化リン酸ガラスは、耐候性が悪くしばしば非常に高いフッ素含有率のために製造が難しいという欠点がある。この問題点を解決するフッ化リン酸ガラスを提供する。
【解決手段】ガラスマトリックス中に少なくとも68%の架橋度のリン酸成分を有するガラスで、39%モル量までのO2−イオンがFで置換されているフッ化リン酸ガラス。着色成分として酸化銅を含み、融液中のレドックス比の調整のために、酸素を含むガス(特に酸素)バブリング工程を含む方法で得られる。 (もっと読む)


【課題】励起光遮断特性を高めることにより、励起光カットフィルタの厚みを従来の色ガラス材よりも薄くできる色ガラス材を提供する。
【解決手段】 陽イオンとして、陽イオン%表示で、
Si4+ 25〜60%
Al3+ 3〜19%
3+ 18〜38%
9〜31%
Co2+ 0.1〜1.5%
を含み、陰イオンとして、O2−を主成分として含み、さらに陰イオン%表示で、
1〜12%
Cl 0.01〜2%
を含むことを特徴とするコバルト含有ガラスである。
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【課題】屈折率(n)及びアッベ数(ν)が所望の範囲内にありながら、色収差の補正に好ましく用いられる光学ガラスと、これを用いたレンズプリフォームを提供する。
【解決手段】光学ガラスは、B成分及びF成分を含有し、アッベ数(νd)をx軸とし、屈折率(nd)をy軸としたxy直交座標において、A(50,1.70)、B(60,1.60)、C(63,1.60)、D(63,1.70)の4点にて囲まれる範囲のアッベ数及び屈折率を有し、部分分散比(θg,F)がアッベ数(ν)との間で(θg,F)≧−0.00170×ν+0.6375の関係を満たす。 (もっと読む)


【課題】MEMS素子パッケージの設計の自由度を低下させることなく、レーザ光の照射によりガラスフリットが溶解する際に電極が損傷する事態を防止しつつ、強固な封着強度を確保する。
【解決手段】本発明のMEMS素子パッケージは、MEMS素子が配置された素子基板と、素子基板のMEMS素子側の表面に間隔を置いて対向する封止基板と、MEMS素子の周囲を囲むように素子基板と封止基板との間の隙間を気密封着するガラスフリットを有するMEMS素子パッケージにおいて、素子基板とガラスフリットの間に配置され、且つガラスフリットを封着する際に照射されるレーザ光から電極を保護するための金属酸化物膜を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】レーザ封着に好適な封着材料を創案することにより、有機ELディスプレイ等の信頼性を高める。
【解決手段】本発明の封着材料は、SnO含有ガラス粉末を含む無機粉末 99〜99.95質量%と、顔料 0.05〜1質量%を含有する封着材料であって、顔料の一次粒子の平均粒径が1〜100nmであり、且つレーザ封着に用いることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】生産性(特に耐失透性)に優れると共に、フッ酸系薬液に対するエッチングレートが速く、しかも歪点が高い無アルカリガラスを創案することにより、ガラス板の製造コストを低廉化しつつ、薄型のディスプレイパネルの製造工程において、スループットを向上させ、更にp−Si・TFTの製造工程におけるガラス板の熱収縮を低減する。
【解決手段】本発明の無アルカリガラスは、ガラス組成として、質量%で、SiO 58〜70%、Al 15.5〜20%、B 0〜1%、MgO 0〜5%、CaO 3.5〜16%、SrO 0.5〜6.5%、BaO 5〜15%を含有し、実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、歪点が725℃より高いことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】光反射材料、特に、白色LED用リフレクターとして有用な、可視光全域で高反射率を有し、且つ耐熱性、耐湿性に優れた光反射層を形成できる新規な材料を提供する。
【解決手段】アルミナ、ジルコニア及びマグネシアからなる群から選ばれた少なくとも一種の成分、並びに低融点ガラス粉末を含有することを特徴とする、白色セラミックカラー組成物。 (もっと読む)


【課題】使用環境の温度変化による結像特性影響を受けにくい、屈折率(nd)が1.75以上、かつ、アッベ数(νd)が35以上である、高屈折率低分散光学ガラスを提供する。
【解決手段】SiO、B、Laを必須成分として含有させ、かつ構成成分の比率を調整することにより、−30〜+70℃の平均線膨張係数αと波長546.1nmにおける光弾性定数βの乗算α×βが130×10−12℃×nm×cm−1×Pa−1以下を実現する光学ガラスを得る。 (もっと読む)


【課題】ガラス原料を熔融し、熔融したガラスを清澄、均質化してから急冷するにおいて、高温に設定された清澄槽から低温に設定された作業槽へと流しても、ガラス中に泡を生じさせないフツリン酸塩光学ガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス原料に含まれるFeまたはCuの量をFe2O3に換算したFeの含有量とCuOに換算したCuの含有量の合計を20ppm以上とし、得られるフツリン酸塩光学ガラスの透過率特性が、厚さ10mmに換算したときの内部透過率が少なくとも400〜500nmの波長域で98%以上となるように前記FeおよびCuの含有量を管理する。 (もっと読む)


【課題】ガラスを原料として、可視光応答性と優れた光触媒活性を有し、使用性や耐久性にも優れた光触媒機能性素材を提供する。
【解決手段】 酸化物換算組成の全物質量に対して、モル%で、Bi成分を5〜95%の範囲内で含有するガラスセラミックスが提供される。このガラスセラミックスは、Bi結晶、BiWO結晶、Bi結晶、Bi12結晶、BiMoO結晶、BiMo結晶、BiMo12結晶、BiTi結晶、BiTi11結晶、BiTi12結晶、Bi12TiO20結晶、BiNbO結晶、BiFe結晶、BiVO結晶、LiBiO結晶、及びこれらの固溶体からなる群より選択される1種以上を含有していてもよい。 (もっと読む)


【課題】組成中のP5+の含有量が少ないフツリン酸ガラスを製造するのに、化学的耐久性と熱的安定性のバランスが取れた組成とすること。
【解決手段】O2-/P5+≧3.7、A13+が所定量以上、P5+が所定量以下のフツリン酸ガラスを製造するのに、Al23の占める割合を1〜5質量%の範囲に制限したAlF3を用いてガラス原料を調合し、この原料を溶融してフツリン酸ガラスを製造する。 (もっと読む)


【課題】電気素子パッケージの設計の自由度を確保しつつ、ガラスフリットの溶着時に加えられるレーザ光の照射熱によって、電極や電気素子が損傷するという事態を可及的に低減する。
【解決手段】有機EL層2を内部空間に気密封止した有機EL素子パッケージ1であって、有機EL層2が配置された素子基板3と、素子基板3の有機EL層2側の表面に間隔を置いて対向する封止基板4と、有機EL層2の周囲を囲むように素子基板3と封止基板4との間の隙間を気密封止するガラスフリット5と、素子基板3とガラスフリット5の間に配置され且つガラスフリット5を溶着する際に照射されるレーザ光を反射する反射膜として機能する誘電体多層膜8とを有する。この誘電体多層膜8は、低屈折率誘電体層と高屈折率誘電体層とを交互に積層したものから形成される。 (もっと読む)


【課題】ガラス原料を高温で溶融してガラス化する段階を省略することにより、大量生産と製造コスト低減を可能にする、負の熱膨張係数を有する結晶化ガラスの製造方法の提供。
【解決手段】製造方法は、(a)組成物を秤量及び混合する段階と、(b)混合した組成物をか焼する段階と、(c)か焼した組成物を焼結する段階と、(d)焼結した組成物を常温で炉冷すると段階を含み、結晶化ガラスは、シリカ(SiO)38%〜64%と、アルミナ(Al)30%〜40%と、酸化リチウム(LiO)5%〜12%とを基本組成として含み、前記基本組成にジルコニア(ZrO)0.5%〜15%、二酸化チタン(TiO)0.5%〜6.5%、五酸化リン(P)0.5%〜4%、酸化マグネシウム(MgO)2%〜5%、及びフッ化マグネシウム(MgF)0%〜5%から選択された1つ又はそれ以上の成分をさらに含む。 (もっと読む)


【課題】屈折率(n)及びアッベ数(ν)が所望の範囲内にありながら、色収差の補正に好ましく用いられる光学ガラスと、これを用いたレンズプリフォームを提供する。
【解決手段】光学ガラスは、B成分、La成分を含有し、1.73以上の屈折率(n)と、45以上のアッベ数(ν)とを有し、部分分散比(θg,F)がアッベ数(ν)との間で(θg,F)≧(−0.00170×ν+0.63750)の関係を満たす。 (もっと読む)


【課題】危険な薬品を使用しなくとも、線引き時におけるガラスプリフォームの破断を抑制し、比較的幅が広い高性能の偏光ガラスを安定にかつ容易に製造する方法を提案することを目的とする。
【解決手段】金属ハロゲン化物粒子または金属粒子が分散されたガラスプリフォーム表面に、液相成膜法により金属酸化物薄膜を形成する。そして、その後金属酸化物薄膜が形成されたガラスプリフォームを線引きする。 (もっと読む)


【課題】固体レーザー媒質としての使用に好適なアルミノホウケイ酸塩をベースとしたガラス組成物を提供する。
【解決手段】アルミノホウケイ酸塩をベースとしたガラスはレーザー発振イオン用の希土類イオンの発光帯域幅を示す。完全には分かっていないが、発光帯域幅を拡大することは、ガラスマトリックス中の有効量のランタニドイオンの存在によって達成されると考えられる。加えて、ヤング率、破壊靭性及び硬度の高い値のために、透明な防弾窓材料としても好適である。 (もっと読む)


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