複雑な流体マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）は、システムの弁シーリングの一体性、品質および性能を維持しながら、高純度化学物質配送システムに組み込まれる。特に、流体ＭＥＭＳシステムは、半導体製造プロセスのための高純度化学物質配送システムに組み込まれる。
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【課題】分離管に流体を分配させる流体分配装置と、分離管から流体を集合させる流体集合装置と、これら装置の使用方法を提供する。
【解決手段】
本発明に関する分配装置17と集合装置18の双方又はいずれかは、固定された又は流動化されたベッドリアクター又は分離管19、例えば、クロマトグラフィー分離用の分離管、イオン交換用の分離管、吸着用の分離管等に用いることができる。分配装置17は、a）第一流体移送システム1と、b）分配用プレート3を含み、該プレート3は、i）移送点2から送られる流体の流れを複数の部分的な流体の流れに分けて、これら部分的な流体の流れを分離管19内に分配させる流体移送用の第一手段4、5、5a、5bと、ii）流体移送用の第一手段4、5、5a、5b内の差圧により、部分的な流体の流れを制御する第一手段6を含む。
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本開示は、半導体処理装置においてガス分配に特に有用なスペース節約の一体化流体配送システムに関する。又、本発明は、流体フローチャンネルを含む積層基板に加えて、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントを含むことのできる一体化流体フローネットワークアーキテクチャーにも関する。積層基板は拡散ボンディングされ、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントは、設計及び材料要求に基づいて、基板へ部分的に一体化されてもよいし完全に一体化されてもよい。
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本発明はマルチウェル容器から流体を効率的に除去するための流体除去ヘッド及び関連マルチウェル容器処理システムに関する。マルチウェル容器から流体を除去する方法も提供する。
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一定の液量を吸引し供給するための電子ピペット計量装置は、ステムアセンブリ（３）が下部に取り付けられるハンドル（１）と、ハンドル（１）の長手方向軸に対し回転でき及び/又はハンドル（１）の長手方向軸に上向き且つ平行に移動できるようにハンドル（１）に接続される制御パネル（２）を具備する。
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【課題】表面に液体を流すための装置を提供すること。
【解決手段】この装置は流路を含む。第１のポートは、流路の一端に液体を供給し、流路が表面から遠く離れているときに液体を保持する第１のポート圧力を加える。第２のポートは、流路の他端から液体を受け取り、第２のポート圧力を加える。流路が表面の近くに位置し装置の中の液体が表面と接触することに応答して、第１のポート圧力と第２のポート圧力との差が、第１のポートから第２のポートへの流路を介しての液体の流れを促進する向きである。第１および第２のポート圧力は、表面からの流路の引離しに応答して液体が少なくとも第２のポートに向かって引っ張られる圧力である。このような装置はマイクロ流体技術を使用することができ、表面パターニングに応用することができる。
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本発明は、液体クロマトグラフィカラムのための液体ディストリビューターまたはコレクター（好ましくは円形状の液体ディストリビューターまたはコレクター）に関している。かかる液体ディストリビューターまたはコレクターは、充填高さよりも大きい直径を有したカラムに特に適している。
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傾斜流体受面（２３０）は、複数の開口（２１２）を有する配管分配器（２１０）からわずかに離れて配置され、この開口から、配管流れ方向の水平方向運動量を有する液体含有流体（２２０）を受ける。流体受面（２３０）はさらに、流体受面（２３０）上の流体の水平方向運動量（２２２）を低減させる流れ妨害部分（２３２）を有することにより、流体（２２０）の分配を大幅に改良する。
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本発明は、製品の高潔性を維持したまま、圧力容器（１２）から材料（１６）を分配するシステムまたは装置（１０）、および方法に関する。本発明のシステムまたは装置は、圧力容器と、注射器（４２）と、取外し可能なアダプタ（３４）とを備える。圧力容器は、材料を保持し、分配バルブ（２０）を有する。分配バルブ（２０）には、適時に容器から材料を分配するための分配管体またはステム（２６）が設けられている。注射器（４２）には、オン／オフ・ロック機構（４８）が設けられていて、当該ロック機構（４８）に取り付けられたステムまたは管体（５０）を通って、材料が注射器内へ流れ込み、あるいは注射器内から流れ出すことを許容または禁止する。アダプタ（３４）は、注射器のステムを圧力容器の分配バルブのステムに接続して、分配バルブが操作されると、圧力容器から注射器のチャンバ内へ材料が流れることを許容する。
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【課題】 周囲環境を管理する必要のない、容積測定分配装置における流体の温度を制御するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】 分配前の流体を保つ槽１２は、水ジャケット１００を使用することにより、一定温度に維持される。これは、粘性及び濃度といった流体特性が均一であることを確実なものとし、そのため、正確な量が分配されることを保証する。水ジャケット１００を通って水が循環する。槽１２と連通する充填管３６は該槽と閉ループを形成する。充填管３６には、充填管３６内への流体の流れを調節するための充填弁３０と、充填管３６内の流体のレベルを検出するためのセンサー３２、３４が設置される。また、充填管３６内の流体を分配するための排出弁２８が設けられる。コントローラはセンサー３２、３４に応答し、充填弁３０を作動させて充填管３６に流体を導入し、また、排出弁２８を作動させて充填管３６から流体を分配する。 （もっと読む）

【課題】生物学的サンプルまたは生物学的試薬のような少量の選択された微量の液体を基板上に、迅速かつ正確な様式で分配するための方法および装置を提供する。
【解決方法】このデバイスは、液体を含むように適応されたチューブを備える。伸長ファイバーは、チューブ内での上昇位置と下降位置の間の軸方向の運動のために、チューブ内に配置される。その上昇位置と下降位置との間でファイバーを移動または振動する際に、液体スポットは基板上の選択された位置に形成され得る。このデバイスは、多数の別個のスポットを有するマイクロアレイの製造に容易に適応可能である。 （もっと読む）

塗装用着色剤、コーキング剤又は上塗り剤又は化粧品の成分のような、複数の粉体を分配する装置であって、粉体を保持するための複数の容器（５）と、容器に連結されるか又は容器をそれぞれの粉体ポンプに解放可能に連結するコネクタを具備する、複数の計量粉体ポンプ（４）と、を備え、計量粉体ポンプの能力が選択可能である装置が提供される。
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触媒充填物を通過する混合ガスの実質的に半径方向の貫流がある、例えば酸化脱水素反応用合成反応器内に酸素を噴射するための方法および装置により、触媒内に入る前の酸素の混入と混合は、特に酸化脱水素法に関して明確に改善されねばならない。このことは酸素が純粋な形で、あるいは空気として、あるいは不活性ガスまたは水蒸気との混合態で環状分配装置系に供給され、かつ環状分配装置系内で多数の吹出し口から、垂線から偏った角度で触媒面に噴射されることにより達せられる。
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液体の滴下的分配のための流通分配装置であって、配置が、(i) 上流末端(１０６)および下流末端(放出口)(１０７)を持つ流通マイクロ導管(１０５)；および(ii) これらの二つの末端の間に分配装置オリフィス(１０８)を備えるハウジング(１０４)、ならびに上流末端(１０６)に付着して、流通マイクロ導管(１０５)および入口管(１１０)の中に輸送されるかならびに／もしくはオリフィス(１０８)を通して分配されるべき液体(１１３)のための液体保管槽(１１２)に接続され得る入口(入口末端)(１１１)を提供する入口管(１１０)を備える流通分配装置。入口および下流末端の間の内容積は≦１０μｌである。微小装置の標的区域への液体の滴下的分配のための機器のセットアップ。特色的な特徴は、ａ)それぞれが放出口(２２１)、入口(２２２)、ならびに分配装置オリフィス(２０８)を有する、一つもしくはそれ以上の流通通路(２２０)を備える流通液滴分配装置の配置(２０２)；ならびにｂ)入口(複数を含む)(２１１)から放出口(複数を含む)(２２１)へ当該通路(２２０)を通って液体を吸引するもしくは押すことによる液体輸送のための発生装置(２１７)を含み、押すことは入口末端(２１１)の上流で過圧力のガスを用いることにより達成されることである。

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直立する管束型反応器の複数の管内に均一に分配しようとする２つの液相のための液体分配器であって、化学反応を実施するために用いられ、管束を形成する管の内室が細流床形駆動装置のために設けられており、管の上側及び下側が管底部によって保持され、管外側の室に対して閉鎖されており、上側の管底部の上に分配室が配置されていて、この分配室は、２つの異なる液体と少なくとも１つのガス相のための供給部を有しており、管底部の直接上側又は管底部上に第１の液体分割システムが配置されており、該液体分割システムが、少なくとも１つの外側の供給装置に接続されていて、下側の開口と複数の入口スリーブとを備え、かつ管の外側に設けられた環状の堰を有しており、管束の管のそれぞれの上側に入口スリーブが対応配置されており、該入口スリーブが管状に構成されていて、垂直方向に整列されていて、少なくとも１つの側方の開口と、管底部の上側に設けられた別の開口とを有しており、管束のそれぞれ対応配置された管に向かって下方に開口しており、第１の液体分割システムの上側に第２の液体分割システムが配置されており、該第２の液体分割システムが、少なくとも１つの別の外側の供給装置に接続されていて、上側の分配器底部と下側の分配器底部とを有しており、下側の分配器底部が複数の開口を有しており、これらの開口が、第１の液体分配システムの入口スリーブの上側に同軸的に整列配置されていて、前記複数の開口上に均一な液体高さを維持するための少なくとも１つの装置を有しており、前記上側の分配器底部が、液体のための供給装置に接続されていて、複数の溢流堰又は底部孔を有しており、これらの溢流堰又は底部孔から液体が下側の分配器底部に流入するようになっており、複数の溢流堰のそれぞれが、下側の分配器底部の複数の開口に対応配置されている。
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一回使用流体分注カートリッジを中に装着することを含む操作を伴う、流体分注装置を説明する。カートリッジ自体は柔軟な流体リザーバとフィルチューブ組立体とを含む。フィルチューブ組立体、すなわち決定可能な体積の流体を直ちに得てガラス瓶またはその他の容器の中に分注する構成部分は、中の流体容積を静電容量の関数として連続的に測定するための手段を組み込んでいることを特徴とする。正確さ、精度、および信頼度は向上した。この装置を、粘性流体を含む広範囲の流体を分注するために使用することができる。静電容量を測定する際、可動機械部品は必要としない。
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【課題】粉粒体を安定して効率よく供給することができる粉粒体供給装置を提供する。
【解決手段】粉砕したバイオマス１から生成ガス２を得るガス化炉５０内に当該バイオマス１を供給する粉粒体供給装置１００であって、水蒸気を主成分とする搬送ガス２によりバイオマス１をガス化炉５０内に気流搬送するインジェクションフィーダ１３０を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により内部に発生する負圧を利用して上記薬液タンク１０からの薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液供給パイプ７に対しノズル１１が接続された部位の近傍から分岐されて上記薬液タンク１０の上面に接続されその内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段１３により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズル１１への薬液の供給流量を制御するものである。 （もっと読む）