【課題】流体保存・分配システム及びそれを使用するために流体を供給するプロセスを提供する。
【解決手段】物理的収着剤を閉じ込めた流体保存・分配容器、及び内部調整器を装備した流体保存・分配容器の交換を含め、流体保存・分配システムの様々な構成について説明する。システム及びプロセスは、安全性を強化した有害流体の保存及び分配等、多種多様な最終用途に適用可能である。特定の最終用途では、大気圧未満の圧力でガスを保持する物理的収着剤を閉じ込める大規模で固定配置された流体保存・分配容器から、半導体製造設備へと試薬ガスが分配され、このような容器は本明細書で開示しているように、補充ガスの安全なガス源から補充可能である。 （もっと読む）

本発明は物質を充填する貯蔵槽（１２）と、貯蔵槽（１２）に付与され、物質を環境媒体内に送達する手段を備えたディスペンサ（１４）とを備えた物質特に香料の分注装置（１０）に関する。貯蔵槽（１２）およびそのディスペンサ（１４）が、各分注後に環境媒体から閉鎖されるユニットとして構成されて、環境媒体と貯蔵槽に含まれた物質との接触を実質的に防止する。
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【課題】１回当たりの噴出空気量を多くするとともに、弁の開閉を確実に制御しつつ、高圧空気を注入するタイミングを制御することができる間欠高圧空気注入装置、汚染地盤又は汚染地下水の原位置浄化方法を提供する。
【解決手段】汚染地盤又は汚染地下水に高圧空気を間欠的に注入し、前記汚染地盤又は前記汚染地下水を原位置で浄化するための間欠高圧空気注入装置１０であって、前記高圧空気を貯留するタンク１と、前記タンク１に連通する流路が形成されており、このタンク１内に貯留された前記高圧空気を前記汚染地盤又は前記汚染地下水に注入する注入管２と、前記流路内に設けられ、前記高圧空気を前記タンク１側から前記注入管２側へ間欠的に排出する電磁弁４と、前記注入管２の先端部に設けられ、前記高圧空気を前記汚染地盤又は前記汚染地下水に対して噴出する噴出ノズル３とを備えている。 （もっと読む）

本発明は、チャネル開口が断面積全体にわたって広がっているマルチチャネルモノリシック構造（モノリス）のチャネルに出入りするよう２つの流体を分配する方法及び装置に関する。当該装置は、マニホールドヘッドと、モノリスユニット又はモノリススタック、又は当該ユニット又はスタックの列、又はモノリスブロックとから成る。さらに、本発明は、２つの流体が、上記マニホールドヘッドの１つ又は複数と、ユニット又はスタック、又はユニット又はスタックの列、又はブロックとに分配される、２つの流体間の質量移動及び／又は熱移動のための方法及び反応器に関する。
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【課題】ノズルを後退させて蓋と容器本体を密封する間に空気が入り込むのを防止する。
【解決手段】インキを収容したインキ缶２の蓋４を蓋開閉手段によって容器本体３に対して傾斜状態で開口させて間隙Ｃを形成する。ノズル移動機構３３によってノズル３０を間隙Ｃ内に進出させて吐出口から不活性ガスを吐出させ、終了後に外部に後退した位置をとらせる。蓋と容器本体とを巻き締めローラで密封するかしめ手段を設ける。ノズル移動機構３３はノズル３０を第一エアシリンダ４１で進退させる。ノズルに設けたカムフォロワ３５をガイド板のガイド溝でガイドしてノズルを水平方向に後退させる第一後退位置と斜め下方に後退させて吐出口を間隙Ｃに向かわせる第二後退位置をとらせる。不活性ガス充填後、ノズル３０を外部の第二後退位置に後退させて蓋と容器本体を密封するまでの間、ノズル３０から不活性ガスを間隙Ｃを通して容器本体３内に吐出し続ける。 （もっと読む）

【課題】 内部に少なくとも１種の液体と少なくとも１種の可燃性物質を有する容器内の気相部を不活性ガスで置換するにあたり、液面近傍の置換効果が高く、液面の上下に対しても適応性を有し、不活性ガス吹き込みによる飛沫発生や静電気発生が少ない不活性ガスによる置換方法を提供する。
【解決手段】 内部に少なくとも１種の液体と少なくとも１種の可燃性物質を有する容器内の気相部を不活性ガスによって置換する方法であって、長手方向に複数の不活性ガス供給孔を有する不活性ガス供給配管を、液体中および気相部の両方に該不活性ガス供給孔が開口するように配置し、この不活性ガス供給配管から容器内に不活性ガスを供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ガス分配装置の性能に関して改善すること。
【解決手段】 本発明は、ＣＶＤリアクタ又はＭＯＣＶＤリアクタ内の、それぞれプロセスガス用のパイプ（３、４）が開口する２つ又はより多くのガス空間（１、２）を有するガス分配装置であって、各ガス空間（１、２）がガス分配装置の底板内に開口する、各プロセスガス用の複数の出口開口（６、７）と連通している装置に関する。ガス分配装置の均一性の向上のため、両方のガス空間（１、２）が、第１の全平板（８）内に配置された予備室（１０、１０’、１１）を有し、ガス分配装置の底板の隣の第２の平板（９）内に、それぞれがガス空間に割り当てられた複数のガス分配室（１２、１３）が設けられ、予備室（１０、１０’、１１）とガス分配室（１２、１３）とが、各ガス空間（１、２）に連通チャネル（１４、１５）を介して連通している、ことが企図される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は活性エネルギー線照射室内の不活性ガス濃度を維持し、かつ照射室の入口および出口から不活性ガスが外部に漏れることを防ぐことができる照射装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の活性エネルギー線照射装置は、不活性ガスが供給される照射室内に被照射物が導入される入口部及び被照射物が送り出される出口部に、照射室内の気体の排気口を有する。また本発明の活性エネルギー線照射装置においては、照射室内への不活性ガスの供給量を毎分Ａ立方メートル、入口部の排気量を毎分Ｂ立方メートル、そして出口部の排気量を毎分Ｃ立方メートルとした場合に、Ａ＜Ｂ＋ＣかつＢ＜Ｃとするのが好適である。さらにＢ＋ＣがＡの１０倍以上であることがより好ましい。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の目詰まりを防止し処理物内にエアを確実に噴出供給し、好気性発酵を促進する好気性発酵促進用高圧エア供給装置と、処理物の発生現場等において処理物の好気性発酵処理を簡単に行うことができる発酵方法を提供する。
【解決手段】好気性発酵する積層された処理物Ｗの内部にエアを供給するノズル孔１６を設けた供給管１を備えた装置であって、供給管１が高圧エア供給部に接続され、供給管１の周壁７側にノズル体９を埋設し、該ノズル体９にエア噴出用の微小径のノズル孔１３を穿設した。また積層された処理物Ｗの外周より、棒状に形成された上記の供給管１を差込み、上記処理物Ｗの内部にエア又は加熱エアを供給して処理物Ｗを好気性発酵させる方法とした。 （もっと読む）

【課題】抽出カートリッジの上端開口を確実に密閉するエアノズルを提供する。
【解決手段】加圧ヘッドのヘッド本体５０に、エアノズル４１Ａ，４１Ｂを一列に並べて設ける。エアノズル４１Ａを、ノズル本体８０Ａと、ノズルヘッド８１Ａと、圧縮バネ８２Ａと、ストッパ８３Ａなどから構成する。ノズルヘッド８１ＡにはＯリング８６Ａを取り付ける。ノズルヘッド８１Ａの下端部８７Ａの径φＡを、抽出カートリッジ２の径φａとほぼ同じ大きさにする。下端部８７Ａを抽出カートリッジ２の内周面と嵌合させることで、エアノズル４１Ａを正確に位置決めする。エアノズル４１Ｂは、エアノズル４１Ａと同じ構成及びサイズであるが、下方に突出させて設ける。加圧後には、まずエアノズル４１Ａが抽出カートリッジ２から離れ、次にエアノズル４１Ｂが抽出カートリッジ２から離れるため、エアノズル４１Ａ，４１Ｂは容易に離脱する。 （もっと読む）

【課題】 カップシール方式のポンプのシール性低下による設定圧力の低下を防止する。
【解決手段】 カップシール方式のポンプ４２のエア吐出側の配管に絞り弁４５を設ける。絞り弁４５からの加圧エアをノズル制御部５１によりエアノズル４１に供給する。ノズル制御部５１を、開閉弁４６、圧力開放弁４８、圧力センサ４９、システム制御部２４から構成する。システム制御部２４により、加圧指示信号に基づきポンプ４２、開閉弁４６、圧力開放弁４８を制御し、エアノズル４１を介し抽出カートリッジ２内に加圧エアを導入する。圧力センサ４９からの信号に基づき開閉弁４６の閉じ動作、圧力開放弁４８の圧力開放動作を行い、加圧エアを抽出カートリッジ２に送る。絞り弁４５をポンプ４２のエア吐出側に設けることにより、ポンプ４２のカップシールのシール性が低下しても、所定の圧力が得られるようになる。 （もっと読む）

【課題】 加圧エア供給装置の配管内結露を確実に除去する。
【解決手段】 ポンプ４２及びノズル制御部５１の間に結露除去部３９を設ける。結露除去部３９を、結露除去用第１及び第２弁４３，４４と、リリーフ弁４７と、システム制御部２４とから構成する。第１弁４３、第２弁４４及びリリーフ弁４７をオン状態にしてポンプ４２を駆動し、リリーフ弁４７、第２弁４４、ポンプ４２、第１弁４３の順に、これらの配管経路Ｔ１〜Ｔ５へエアを流す。次に、第１弁４３をオン、第２弁４４をオフ状態にして第２弁４４、ポンプ４２、第１弁４３の順に、これらの配管経路Ｔ４，Ｔ５へエアを流す。次に、第１弁４３をオフ、第２弁４4をオン状態にしてポンプ４２、第１弁４３、第２弁４４の順に、これらの配管経路Ｔ５，Ｔ６，Ｔ３，Ｔ４へエアを流す。各配管経路Ｔ１〜Ｔ６内にエアを流すことで、結露が除去される。 （もっと読む）

【課題】 まず、酸素ボンベによる場合には、ボンベ内の酸素ガスの残量を常に注意する必要があり、ボンベ内の酸素ガスを使いきった際には、酸素ガスが充填された酸素ボンベと交換する必要があった。 次に、ＰＳＡ方式や膜分離方式による場合には、ホースによる圧力損出の分として常に設備を一廻り大型にする必要があり、緊急時にホースの接続を解除する煩わしさと避難の途中で酸素を確保出来るかという問題があった。
【解決手段】 酸素ガスの供給装置に於いて、圧縮空気を導入することで濃度の高い湿った酸素富化ガスを分離するガス分離中空糸膜５０と、酸素富化ガスに含まれた炭酸ガスを取り除く炭酸ガス吸収槽７０を配設した。 （もっと読む）

気体供給および監視システムが、以下に限定されないが、鎮痛および無痛覚システム、麻酔装置、歯科用気体システム、および気体を送出する獣医学システムのなどを含むさまざまな医療システムで主に用いるために提供される。その気体供給および監視システムは、気体の源；気体の源に結合され、気体の源の反対側の気体出口を備えた可変サイズの開口システム；および気体出口に結合され、患者が適正な気体を供給されていることを検証するために用いられるセンサシステムを含んでいてよい。
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気体及び液体反応器のための反応管装置、特にフィッシャー・トロプシュ法で用いるための反応管装置が開示される。この装置はガスキャップと共に使用する変形反応管を備える。反応管の好ましい態様ではスリット又は開口を有しており、液面が反応管の縁に到達する前に反応管に入る液体の量を制限できる。よってこの反応管により液体が穏やかに入るので、液体のサージが抑えられ、反応管内でより一定した熱放散が生じる。

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【課題】大気中に放出する気体、いわゆる損失となる気体を抑制して、効率よく液体に気体を溶け込ませ、システムとしてのエネルギー効率が高い気体供給装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】液体６に気体を供給するための放出ユニット７に気体分離膜１０を用いた構成とすることで、気体が液体６中に溶解することとなり、大気中へ気体を放出することなく、必要な分量のみ液体６中へ気体を提供することができるものである。 （もっと読む）

【課題】 多品種の製品に対応でき、切替え時間をなくし、設備の稼働率を向上させることが可能な排気治具を提供する。
【解決手段】 製品７内部の不純物を排気する排気治具であって、製品７を把持すると共に、排気時に前記製品７の内部の空気と外部の空気とを遮断し、前記製品７の内部の真空度を保つ穴部２ａを持つ側面菱形形状の口ゴム２と、前記側面菱形形状の口ゴム２を前記穴部２ａの軸方向より圧縮するレバー８を有するものである。 （もっと読む）

複雑な流体マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）は、システムの弁シーリングの一体性、品質および性能を維持しながら、高純度化学物質配送システムに組み込まれる。特に、流体ＭＥＭＳシステムは、半導体製造プロセスのための高純度化学物質配送システムに組み込まれる。
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直方体形状の流体貯蔵・計量分配容器を含む流体貯蔵・計量分配装置及び、こうした流体貯蔵・計量分配装置および／または使用時換気ガス清浄器を、換気されたガスキャビネット内に含む一体型ガスキャビネットアセンブリを開示する。たとえば、ガスキャビネットから供給された処理ガスが、有毒又は有害な特性のものである場合、ガスキャビネットは、物理的吸着剤及び化学吸着媒体の使用によって、運転の安全面で強化されることが可能である。
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本開示は、半導体処理装置においてガス分配に特に有用なスペース節約の一体化流体配送システムに関する。又、本発明は、流体フローチャンネルを含む積層基板に加えて、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントを含むことのできる一体化流体フローネットワークアーキテクチャーにも関する。積層基板は拡散ボンディングされ、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントは、設計及び材料要求に基づいて、基板へ部分的に一体化されてもよいし完全に一体化されてもよい。
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