【課題】多量のガス供給のために多量の温風が必要な場合でも、筐体からの多量の排気を抑える。
【解決手段】ガス供給装置１００は、液化ガスが充填されたガスシリンダー２と、そのガスシリンダー２から排出されたガスを供給するためのガス供給流路１１と、導風ガイド３と、温風循環流路４とを備えている。温風循環流路４には、途上に設けられた温風発生器により生成された温風が循環する。導風ガイド３は、ガスシリンダー２を覆う筒状の遮蔽板であり、温風循環流路４の吐出口４ａからの温風が流入するガイド吸引口と、温風循環流路４の吸引口４ｂに吸引されるように温風を排出するガイド吐出口とが設けられ、ガイド吸引口から流入した温風が、ガスシリンダー２との間の空隙を流れて、ガイド吐出口から排出されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ガス供給装置の緊急事態への対応、および消費量が変動する用途への対応ができるとともに、こうした対応時においても、製品ガスやエネルギーのロスが少なく、ガス供給システム全体のエネルギー消費を最小化することができること。
【解決手段】 消費設備に給送される基準ガス量Ｇｏを設定し、基準ガス量Ｇｏをガス供給装置１から分流点Ｍに給送されるガス量Ｇｓによって確保するように、ガス供給装置１から供出されるガスとベント流路Ｌ４に放出されるガスの、それぞれの圧力および流量を制御するとともに、消費設備に給送される所望のガス量Ｇが基準ガス量Ｇｏを超える場合の差量分ｄＧ、およびガス供給装置１が停止あるいは急速な供給量の低下状態の発生時における所望のガス量Ｇを、バックアップ装置２から分流点Ｍに給送されるガス量Ｇｗによって確保するように制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】固体成膜原料を、従来からのＣＶＤ法やＡＬＤ法による成膜方法に使用できる形態で安定的に供給する。
【解決手段】固体成膜原料２１を気化させて供給する気化供給装置１であって、超臨界流体を生成して供給する超臨界流体供給部１０と、超臨界流体供給部１０から供給される超臨界流体を固体成膜原料２１に接触させて、超臨界流体に固体成膜原料２１を溶解させる超臨界流体調整部２０と、固体成膜原料２１が溶解した超臨界流体を気体に相転移させて、気体中に固体成膜原料２１を析出させるとともに、析出した固体成膜原料２１を気化させる気化部３０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】高圧側の配管から低圧側の配管に高圧ガスを供給、充填する際、高圧ガスの導入に伴う断熱圧縮によるガス温度の急激な上昇を抑制することが可能な高圧ガス供給装置を提供する。
【解決手段】開閉弁を有するガス供給用の主配管Ｌ２Ａと、開閉弁の二次側の主配管Ｌ２Ａに、付属機器６Ａを取り付けるために設けられた接続配管Ｌ３Ａと、を備え、接続配管Ｌ３Ａの長さｌが主配管Ｌ２Ａの内径Ｒよりも大きく、接続配管Ｌ３Ａの内径ｒが主配管Ｌ２Ａの内径Ｒよりも小さく設けられていることを特徴とする高圧ガス供給装置である。 （もっと読む）

【課題】大容量のガスを小スペースで、且つ安定して供給出来るガス供給装置を実現する。
【解決手段】所定のガスを供給するガス供給装置において、前記所定のガスの冷媒が内蔵される冷媒コンテナと、この冷媒コンテナに設けられ前記冷媒を加熱する加熱手段と、この冷媒コンテナの出力口に接続された流量計と、前記冷媒コンテナに設けられた安全弁とを具備したことを特徴とするガス供給装置である。 （もっと読む）

【課題】バブリング量の変化に追従してピックアップ量を制御することができるバブリング気化供給方法及び装置を提供する。
【解決手段】熱交換器１１が内蔵された密閉原料槽１０内に液体原料Ｌを貯えると共に導入管８を挿入し、熱交換器１１に所定温度の熱媒Ｍを循環させつつ導入管８にキャリアガスＣを所定流量で導入して液体原料Ｌをバブリングし、バブリングによる気化ガスＧとキャリアガスＣとの混合ガス（Ｇ＋Ｃ）を原料槽１０の気相部から抜出して供給する。好ましくは、導入管８上に熱交換器１４を設け、所定温度の熱媒Ｍを原料槽１０内の熱交換器１１及び導入管８上の熱交換器１４に循環させつつキャリアガスＣを導入する。更に好ましくは、原料槽１０に原料補充管１５を接続すると共に補充管１５上に熱交換器１６を設け、その熱交換器１６にも熱媒Ｍを循環させながら液体原料Ｌを補充する。 （もっと読む）

【課題】常に正確で安定した揮発性有機化合物の処理能力の評価を行うことができる溶剤ガス処理装置、運転方法、溶剤ガス発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理気体を処理する溶剤ガス処理装置本体２００と、溶剤液を加熱気化させて溶剤ガスとするとともに、溶剤ガスと希釈気体と混合させた希釈溶剤ガスを発生させる溶剤ガス発生装置１００と、被処理気体の溶剤ガス処理装置本体への被処理気体供給ラインと、溶剤ガス発生装置で発生させた希釈溶剤ガスの溶剤ガス処理装置本体への希釈溶剤ガス供給ラインとを備え、被処理気体と溶剤ガス発生装置で発生させた希釈溶剤ガスの溶剤ガス処理装置本体への供給を選択可能とし、溶剤ガス発生装置で発生させた希釈溶剤ガスの供給による溶剤ガス処理装置本体の溶剤ガスの処理能力の評価運転と、被処理気体の供給による被処理気体の処理運転を行うことを可能とする。 （もっと読む）

【課題】化学薬品前駆体の高流速または高真空下もしくは高差圧条件下での流動を可能にする一方で、高水準なスプラッシュガードの機能を与える。
【解決手段】本発明は、浸漬管入口；該浸漬管の出口および該容器の排出口の間に配置され、該邪魔円盤および該容器の該側壁の間に狭い環状の間隙を与え、液滴が該容器の該排出口および該容器の側壁の内側表面に入ることを防止する少なくとも１つの邪魔円盤、ならびに該邪魔円盤の近傍の該側壁上に半径方向の内側に張り出した環状の偏向突起を有する容器である。また、本発明は上記の構造を有する容器から化学薬品前駆体を供給する方法である。液体および蒸気供給の両方が想定されている。 （もっと読む）

【課題】ガス流量が変化しても、反応に必要な濃度のオゾンガスを供給する。
【解決手段】液化したオゾンをオゾンチャンバ３１に蓄積し、液化したオゾンを気化して高濃度オゾンガスを発生させる液体オゾン蓄積用ベッセル３０において、オゾンチャンバ３１から排出されるガスに含まれる微粒子を除去するためのフィルタ３５は筒状であり、フィルタ３５の上端が、チャンバ３１の天井面に、また、フィルタ３５の下端が、チャンバ３１の底面にそれぞれ接続し、さらに、発生させた高濃度オゾンガスを排出するため配管３３をフィルタ３５の中空部と連通させ、フィルタ３５の中空部に希釈ガスを導入することによりオゾンガスを希釈し、希釈したガスを前記ベッセル３０の外部に備えられた装置に供給する。 （もっと読む）

【課題】 熱交換器の全体を均一に加熱することのできる減圧蒸気加熱装置を得ること。
【解決手段】 反応釜１のジャケット部１１に蒸気供給管３を接続する。蒸気供給管３には蒸気圧力調節弁７を取り付ける。ジャケット部１１の下方に真空吸引手段２を連通する。真空吸引手段は、エゼクタ１４とタンク５と循環ポンプ１５とで構成する。ジャケット部１１の右側に蒸気排出口４と温度応動弁６、及び、空気抜弁２０を取り付けて、それぞれの下端部をエゼクタ１４と接続する。
ジャケット部１１の右側部へ必要な蒸気が供給されない場合に、温度応動弁６が開弁することにより、ジャケット部１１内に強制的に蒸気の流れを作ることができ、ジャケット部１１内の全体に且つ均一に蒸気を供給することができる。 （もっと読む）

【課題】アルコールガス放出能の低下及び終期を外側から目視で容易に確認することができ、且つアルコールガス放出の持続性にも優れ、ガス検出装置を有効に検査することが可能なアルコールガス放出器及び該ガス放出器用容器を提供すること。
【解決手段】アルコールガス放出器は、底部に、アルコールガスを徐放するガス放出固形物を収容した収容部を備え、該収容部に連通するガス放出口、該ガス放出口を密閉しうる蓋及び、押圧することによりガス放出口からアルコールガスを放出させうる弾性部材で仕切られた、ガス流通部を備える容器からなり、ガス放出固形物が外部から視認可能であり、かつガス放出固形物が、テトラエトキシシラン等と、エチルアルコールとを、シリカ濃度８．５〜９．５質量％となるように混合した混合物１００容量部に、水４０〜５５容量部を混合した後、アルカリ性触媒を添加して固化した固形物であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流体供給装置から一定品質の流体を安定して供給する。
【解決手段】流体供給装置の流路内に流体を一定時間封入し、その封入前後の流体の不純物成分量から、その流路内における不純物成分の単位時間当たりの変化量を求める（ステップＳ１〜Ｓ５）。そして、その変化量を、予め設定された許容変化量と比較することにより、流路内に封入した流体の品質や流路の清浄度を判定する（ステップＳ６，Ｓ７）。一定の品質が確認された後、流体供給装置からの流体の供給を開始する。 （もっと読む）

【課題】供給圧力を幅広い範囲で調節自在とするとともに、その調節の際に、原料ガスと空気との混合比率を所定の範囲内に維持し得るようにする。
【解決手段】中圧調整器２、低圧ガバナ５、上下限圧遮断コントローラ１１、昇圧防止弁１２、開閉弁１３、開閉弁コントローラ１４、空気弁１５の各ダイヤフラム１６のバネ室１７に、ローディング用ガバナ２０を介して、コンプレッサ１８からの加圧空気を導入することによって、このバネ室１７側からの付勢力を高める。これによって、前記中圧調整器２からの原料ガスの出口圧力を高めつつ、前記空気弁１５を介しての空気の取り込み量を増やすことができるため、混合ガスの混合比率を所定範囲内に制御するとともに、混合ガスを一時的に貯蔵するクッションタンク４内のガス圧を高めることができる。このため、需要者の幅広い使用規模及び用途に対応してこのガス供給装置を適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 気化器を備えたガス供給装置の省エネルギ化と装置の小型化を図ると共に、厳密な気化器側の温度制御を必要とすることなしに高精度なガス流量制御を安定に且つ簡単に行えるようにしたガス供給装置を提供すること。
【解決手段】 液体受入れタンクと，液体を気化する気化器と，気化ガスの流量を調整する高温型圧力式流量制御装置と，気化器と高温型圧力式流量制御装置とこれ等に接続した配管路の所望部分を加熱する加熱装置とから気化器を備えたガス供給装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 微小量のガスを精度良く供給することができる微量ガス供給装置を提供する。
【解決手段】 制御対象ガスを貯留する制御対象ガス源２２と、キャリアガスを貯留するキャリアガス源２０と、前記キャリアガス源からガス使用系４に接続されたキャリアガス通路２４と、前記制御対象ガスを排出するためのガス排出通路３０と、微量な所定の体積を有して前記キャリアガス通路と前記ガス排出通路に対して並列に接続された定量管３２と、前記定量管の連通状態を前記両通路間で選択的に切り換えるバルブ機構３８とを備えるように構成する。これにより、定量管内に充填した制御対象ガスをガス使用系に供給することにより、微小量のガス流量を精度良くコントロールする。 （もっと読む）

【課題】窒素酸化物と水の混合を防いで装置の腐食を回避する。
【解決手段】オゾンチャンバ９の温度を制御してオゾンチャンバ９内のオゾンを系外に供給するオゾン供給方法において、前記オゾンを系外に供給した後にオゾンチャンバ９の温度を制御してオゾンチャンバ９内に残留する窒素酸化物及び水を個別に排出する工程を有する。オゾンチャンバ９内の窒素酸化物と水の蒸気圧の差異に基づいて窒素酸化物及び水を個別に排出する。 （もっと読む）

【課題】ガス組成変動を一定範囲に抑制することが求められるガス供給装置に好適な液化燃料ガス供給装置を提供する。
【解決手段】合流点Ｐ２の下流側の位置Ｄにおいては、最初にメイン配管Ｌ１側を通過したハンチングＨ１’が到達する。この時間帯にはバイパス配管を経由したハンチングＨ１”は到達していない。従って、合流後におけるハンチングＨ１’の振幅は位置Ｂ通過時の１／２、すなわち発熱量変化量はΔＱ／２となる。ハンチングＨ１’通過後に、バイパス配管を通過したハンチング成分Ｈ１”が到達する。この場合のハンチングＨ１”も、ハンチングＨ１’と同様に振幅１／２、発熱量変化量ΔＱ／２となる。結局、発熱量変動抑制装置６通過後のガスは、通過前のガスに対してハンチング継続時間は２倍となるが、振幅は１／２となり、発熱量抑制が実現される。
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本発明は、一定の量の液体酸素を液体酸素蒸発装置における蒸発チャンバーに運搬するステップを含む酸素移送充填の方法及びシステムを記載する。次に、その蒸発チャンバーにおける液体酸素の少なくとも1部分及び一定の量の気体酸素が、蒸発チャンバーにおける所定の圧力レベルで維持される。その方法は、携帯型圧縮酸素装置を該気体酸素少なくとも1部分で充填するステップを含む。
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【課題】液移動が発生しても各液化ガス容器内の液化ガスの残量を平均化することができる液化ガス供給方法及び装置を提供する。
【解決手段】連結配管で連結した複数の液化ガス容器１１ａ，１１ｂ，１１ｃからガスを供給する液化ガス供給方法において、前記複数の液化ガス容器内の液化ガスの量をそれぞれ測定し、残量が最大の液化ガス容器に対して他の液化ガス容器内の液化ガスの残量との差があらかじめ設定された残量差の範囲内に収まるように各液化ガス容器からのガス供給量を制御する。 （もっと読む）

アルカリまたはアルカリ土類金属の供給装置（１０；２０；３０；４０；５０；６０）に関し、ゲッター材料（１３；２３；３３；４３；５３；６３）およびアルカリまたはアルカリ土類金属源（１２；２２；３２；４２；５３；６３）の堆積物を含み、アルカリまたはアルカリ土類金属源はゲッター材料の堆積物により雰囲気ガスから保護される。
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