【課題】 半導体製造プロセスの廃液又は廃材から高価なシリコンを再利用することが可能なシリコンリサイクルシステムを提供することである。
【解決手段】 シリコンインゴット又はシリコンウエーハを研削又は切削する加工装置によって生成される廃液又は廃材を回収してシリコンをリサイクルするシリコンリサイクルシステムであって、加工装置から排出される廃液又は廃材を収集する廃液廃材収集手段と、該廃液廃材収集手段により収集された廃液又は廃材を精製場所まで回収する回収手段と、回収された廃液又は廃材を精製シリコンに精製する精製手段と、該精製手段によって精製された精製シリコンからシリコンインゴットを製造するシリコンインゴット製造手段とから構成される。 （もっと読む）

【課題】ワークに切削加工を施す際に生じるスラッジに含まれるワークの微粒子状切粉を高純度で回収することが可能である微粒子状切粉の回収方法及び回収装置を提供する。
【解決手段】シリコンインゴットを切断加工して生じるシリコン微粒子状切粉を含むスラッジに、水，エタノール及び塩酸を加えてｐＨ３〜７の懸濁液Ｌを生成して収容する洗浄槽２と、洗浄槽２内の懸濁液Ｌを送給する循環ポンプ３と、循環ポンプ３により送給された懸濁液Ｌを収容する水槽４と、水槽４内の懸濁液Ｌに超音波を照射してその表面から微細な液滴Ｄを生じさせる超音波振動子５と、水槽４内に不活性ガスを導入して浮遊する微細な液滴Ｄを不活性ガスに載せて水槽４外に送り出すコンプレッサ６と、不活性ガスとともに送給された微細な液滴Ｄからシリコン微粒子状切粉を回収する微粒子回収部７を備えている。 （もっと読む）

【課題】比較的低い温度で粉末状シリコン材料から高純度のシリコン塊を製造することができるシリコン塊の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン塊の製造方法は、粉末状シリコン材料を溶融補助剤の存在下で溶融させて溶湯を形成する工程と、前記溶湯を固化させてシリコン塊を形成する工程と、前記溶湯を固化させる前に不純物を除去する工程とを備える （もっと読む）

【課題】簡易な手法で安価に原材料として使用可能なシリコン焼結体を製造する方法を提供する。
【解決手段】廃シリコン粉末をクリーン環境下で乾燥し、真空下で、乾燥されたシリコン粉末を１１５０℃〜１３００℃の範囲でかつ面圧０．５ＭＰａ以上でホットプレス処理を行って固体のシリコン焼結体を製造する。又は、廃シリコン粉末を水素雰囲気下で加熱処理し、加熱処理されたシリコン粉末を１１５０℃〜１３００℃の範囲でかつ面圧０．５ＭＰａ以上でホットプレス処理を行ってシリコン焼結体を製造する。 （もっと読む）

【課題】ポリマー不活性化の作業性を向上させるとともに、反応炉の内壁面に付着したポリマーも効率よく除去する。
【解決手段】多結晶シリコン製造のための反応炉１の炉壁の流路１１に熱媒体を流通させることにより壁を加熱状態としておき、反応炉１の内部に水蒸気や加湿窒素等の加湿ガスを供給することにより、反応炉１の内面に付着しているポリマーを加水分解した後に、その付着物を除去する。反応炉に続く排ガス管についても同様に管壁を加熱状態として、加湿ガスを供給することによりポリマーを加水分解する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ切削工程時に生成されるスラリーから高純度珪素、炭化珪素、及びＰＥＧを回収するための方法、システム、及び装置を提供すること。
【解決手段】ウェーハ切削工程時に生成されるスラリーから高純度珪素、炭化珪素、及びＰＥＧを回収するための方法、システム、及び装置が本明細書に開示される。珪素含有物質は、珪素が豊富な組成物の生成のために処理することができる。珪素含有物質から回収された炭化珪素及びＰＥＧを使用してウェーハソー切削流体を形成することができる。珪素が豊富な組成物は、高純度の堆積珪素を形成するために精製及び／又は使用することができるヨウ素含有組成物と反応させることができる。生成された珪素は、太陽光発電産業又は半導体産業で使用することができる。 （もっと読む）

【課題】塩化工程から分離したポリマー、あるいは多結晶シリコン製造工程の排ガスから分離したポリマーを分解してトリクロロシランに転換する製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】多結晶シリコン製造プロセスにおいて発生される高沸点クロロシラン類含有物（ポリマー）を、塩化水素と混合して分解炉に導入し、４５０℃以上、好ましくは４５０℃以上〜７００℃以下の加熱下でポリマーと塩化水素を反応させてトリクロロシランを製造することを特徴とし、好ましくは、ポリマーに対して塩化水素を１０〜３０質量％混合した混合物を分解炉に導入して分解するトリクロロシランの製造方法および製造装置。 （もっと読む）

【課題】廃スラリーから簡易に多くの高純度シリコンを回収することができるシリコン回収方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン回収方法は、砥粒とクーラントを含むスラリーを用いたシリコン塊又はシリコンウエハの切断又は研磨によって前記スラリーにシリコン屑が混入された廃スラリー又はその濃縮分を固液分離してシリコン屑を含有するシリコン回収用固形分を取得する第１固液分離工程と、洗浄液を用いて前記シリコン回収用固形分を洗浄する洗浄工程と、前記洗浄液と前記シリコン回収用固形分を固液分離する第２固液分離工程とを備え、前記クーラントは、液状有機物を含み、前記洗浄液は、前記液状有機物に対し相溶性を有し且つ前記液状有機物よりも沸点が低い低沸点有機溶媒と水とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン製造プロセスから排出される四塩化珪素を水素と反応させて三塩化シランを生成する転換反応プロセスにおいて、この生成ガスから三塩化シランを分離回収した後に六塩化二珪素などを回収する転換反応ガスの分離回収方法を提供する。
【解決手段】四塩化珪素と水素ガスから三塩化シランを生成する転換反応プロセスにおいて、生成ガスを冷却して凝縮液とし、この凝縮液から三塩化シランおよび四塩化珪素を蒸留分離した後に六塩化二珪素を留出回収することを特徴とする転換反応ガスの分離回収方法であり、例えば、凝縮液から三塩化シランを留出させる第１蒸留工程と、第１蒸留工程の残液から四塩化珪素を留出させる第２蒸留工程と、第２蒸留工程の残液から六塩化二珪素を留出させる第３蒸留工程とを有する転換反応ガスの分離回収方法。 （もっと読む）

光ファイバーからＳｉＣｌ_４を含むかまたは含まないＧｅＣｌ_４を生成させるための方法が提供され、その方法は、ゲルマニウムおよび場合によってケイ素の酸化物を含む粉末状にした光ファイバーを、固体の炭素質還元剤、塩素およびホウ素化合物を含む反応物と、次の反応：２ＢＣｌ_３（気体）＋１．５ＧｅＯ_２ → １．５ＧｅＣｌ_４（気体）＋Ｂ_２Ｏ_３；２ＢＣｌ_３（気体）＋１．５ＳｉＯ_２ → １．５ＳｉＣｌ_４（気体）＋Ｂ_２Ｏ；Ｂ_２Ｏ_３＋１．５Ｃ＋３Ｃｌ_２ → ２ＢＣｌ_３（気体）＋１．５ＣＯ_２；に従って反応させて、気体のＧｅＣｌ_４、ＳｉＣｌ_４および気体のＢＣｌ_３を含む気体生成物を得るステップと、次に、該気体のＧｅＣｌ_４、ＢＣｌ_３および場合によってＳｉＣｌ_４を、液体のＧｅＣｌ_４、ＢＣｌ_３および場合によってＳｉＣｌ_４に凝縮させるステップとを含む。本発明は、光ファイバーの製造および廃棄した光ケーブルから得られるガラス質残分からＳｉＣｌ_４（および場合によってＧｅＣｌ_４）を生成させる方法をさらに提供する。その方法は、粉末状にしたガラス質残分を固体の炭素質還元剤、塩、ホウ素化合物を含む反応物と反応させて、ＳｉＣｌ_４、ＢＣｌ_３、および場合によってＧｅＣｌ_４を含む気体生成物を得るステップと、次にその気体のＳｉＣｌ_４、ＢＣｌ_３（ＧｅＣｌ_４を含むか含まない）を液体のＳｉＣｌ_４、ＢＣｌ_３およびＧｅＣｌ_４に凝縮するステップとを含む。ＳｉＯ_２を含有する材料からＳｉＣｌ_４を製造する方法も提供される。
（もっと読む）

【課題】廃スラリーから簡易に多くのシリコンを回収することができるシリコン再生装置を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン再生装置は、砥粒とクーラントを含むスラリーを使用してシリコンを切断する切断装置又は研磨する研磨装置から排出された廃スラリー、又は前記廃スラリーが濃縮された廃スラリー濃縮分を固液分離してシリコン回収用固形分を取得する固液分離部と、第１洗浄部からの前記シリコン回収用固形分を溶融及び固化してシリコン含有塊を得る溶融部と、前記シリコン含有塊を破砕してシリコン含有破砕体を取得する破砕部と、前記シリコン含有破砕体を酸水溶液で洗浄しその後に水で洗浄する第２洗浄部を備える。 （もっと読む）

【課題】稲藁、籾殻、大豆、植物などのバイオマス中に含まれる重金属元素を低コストでかつ高効率に抽出する方法を提供する。
【解決手段】バイオマス中の重金属元素の除去方法は、重金属元素を含有するバイオマスをカルボン酸水溶液中に浸漬する工程と、バイオマスをカルボン酸水溶液中に保持して重金属元素を溶出させる工程と、重金属元素除去後のバイオマスをカルボン酸水溶液から取出す工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】各地にあるライスセンタ−から排出される籾殻を運搬しないで、その場で容易にコンクリ−ト添加剤やシリカ肥料として利用できる非晶質シリカが製造できる可搬式小型籾殻灰製造燃焼炉。
【解決手段】籾殻灰製造燃焼炉の焚き口上面及び側壁に密着する金網に籾殻を詰め、その籾殻の中心部に金網の底から籾殻の上面に到る長さで複数の通風穴の空いた通風管を炉内中心部に垂直に立て、燃焼炉下部の炊口から籾殻に着火し、同時に炊口で燃料を連続的に燃やしながら加温空気を通風管と炉壁と金網の隙間を利用して籾殻を完全に自燃させて非晶質シリカを製造する。 （もっと読む）

【課題】低コストな半導体材料の再生装置を提供する。
【解決手段】本発明の半導体材料の再生装置３０Ａは、リン除去装置３４とサーマルドナー装置４０とが含まれる。更に、再生装置３０Ａは、シリコン屑回収装置３２にて回収されたシリコン屑を再生する。また、再生装置３０Ａにより不純物が除去された半導体材料は、太陽電池製造装置４２により製造される太陽電池の材料として使用される。本発明の半導体装置の再生装置３０Ａにより、従来よりも低コストで半導体材料を再生させることができる。 （もっと読む）

本発明は、被覆でのシリカゲル材料の再被覆、特に既に使用され又は費やされた被覆シリカゲル材料の再被覆方法、該方法によって得ることができる再被覆シリカゲル材料、及びその使用に関する。
（もっと読む）

【課題】シリコンを含む廃棄物やシリコン製造時に発生するシリコンが混在しているスラグ等からなるシリコン混在物から、不用物を効果的に除去してシリコンを効率よく分離回収するシリコン回収方法及びシリコン回収装置を提供する。
【解決手段】シリコン混在物をアルカリ性水溶液（ａ）に投入し、混在物中にあるシリコンの界面よりガスを発生させて混在物を崩壊させる工程と、崩壊したシリコン混在物をアルカリ性水溶液（ｂ）中でシリコン周辺にガスを発生させ、ガスが付着したシリコンを浮上させる工程と、浮上したシリコンを分離、回収する工程とを含むシリコン回収方法である。シリコン混在物の受入および供給装置と、混在物中にあるシリコンの界面よりガスを発生させて混在物を崩壊させるアルカリ性水溶液（ａ）が入った分解槽を有する分解装置と、アルカリ性水溶液（ｂ）が入った浮遊槽を有する浮選分離装置と、浮遊槽で浮遊したシリコンを分離、回収する浮上物回収装置とを少なくとも有するシリコン回収装置である。 （もっと読む）

太陽電池ウエハ又は半導体装置の製造から生じる鋸屑又は切屑のような高純度シリコンの残余物又は他の残留Ｓｉを再利用する方法が、ウエハ製造プロセス又は半導体装置の製造プロセスから生じる乾燥切屑、削屑及び／又は他の残留Ｓｉを、四塩化ケイ素、すなわちＳｉＣｌ₄を生成する直接塩素化反応器１において金属級シリコンと共に、供給原料として使用することを特徴とする。未反応の切屑又は反応しないまま反応ゾーンから流出する他の小さい粒子を、それらのサイズにかかわらず、さらなる塩素化のために繰り返し反応器に戻す。本方法に含まれる装置は、反応器１の他に、Ｓｉ材料／切屑を混合及び貯蔵する貯蔵及び混合装置２と、反応器の反応ゾーンから流出すると共に、戻り給送手段９によって反応器の反応ゾーンに戻されるＳｉ含有粒子を分離及び回収する回収装置３と、反応器の反応ゾーン及び回収装置から流出する最小サイズの粒子を、液体ＳｉＣｌ₄とのスラリーの形態で集める凝縮ユニット１０と、ウエハ製造プロセス又は半導体装置の製造プロセスから生じるさらなる切屑、削屑及び他の残留Ｓｉを、冷却及び温度制御のために後で反応器の反応ゾーンに直接加えられる既存のＳｉＣｌ₄／Ｓｉスラリーに加えてこれと混合する混合ユニット１３とを備えることができる。
（もっと読む）

【課題】従来は埋立地に堆積されるか、あるいは焼却炉で燃やされていたシリコン粉末廃棄物を、太陽電池、脱酸剤などの原料として再利用する方法を提供する。
【解決手段】シリコン粉末８廃棄物を、ダイス６に収容し、放電プラズマ焼結法によって、５００〜２０００℃、非酸化性雰囲気において高密度に焼結することにより、酸化還元反応が起きて、容易に高純度のシリコンを得ることができる。 （もっと読む）

集塵灰からシリカ、アルミナを回収する方法であって、４０％以上のＮａＯＨ溶液で集塵灰からシリカをＮａ_２ＳｉＯ_３の形で浸出させ、Ｎａ_２ＳｉＯ_３溶液とＡｌ／Ｓｉ比≧２のアルカリ浸出残渣とに分離し、Ｎａ_２ＳｉＯ_３溶液を蒸発濃縮する方法、あるいは分離後炭酸化によりシリカを回収し、アルカリ浸出残渣からＡｌ_２Ｏ_３を回収し、Ａｌ回収残渣からフィラー又はセメントを得る方法。
本発明は、集塵灰からのＡｌ_２Ｏ_３の直接回収法として画期的であり、新手法によりＡｌ回収、続いてＳｉ回収できるので、アルカリ浸出残渣のＡｌ／Ｓｉ比向上、Ａｌ_２Ｏ_３回収技術の簡素化、集塵灰からのＡｌ回収率の向上が可能。ゆえに、簡素、低投資額、低コスト、高付加価値な方法であり、集塵灰資源利用産業として有望である。
本発明は、Ａｌ高含有の石炭鉱石、カオリナイト及び中・低級ボーキサイトを９００〜１１００℃で焼成することも含む。 （もっと読む）

【課題】籾殻を熱分解して得られる熱分解ガスから籾酢液を利用して籾殻のアルカリ成分の溶解分離し、アルカリ成分を溶解分離した籾殻を燃焼排ガスの廃熱により乾燥し、乾燥された籾殻を熱分解し、得られた籾殻炭を焼成して、高純度の非晶質シリカを製造する。
【解決手段】籾殻を酢酸含有溶液に浸漬して、籾殻に含まれるアルカリ成分を浸出し、アルカリ成分が浸出された籾殻を、燃焼排ガスにより加熱された温水で洗浄後、脱水し乾燥して、乾燥籾殻を形成し、この形成された乾燥籾殻を熱分解して炭化させて籾殻炭を形成すると共に熱分解ガスを形成し、前記熱分解ガスについては冷却して籾酢液を分離し、前記籾殻炭については焼成して高純度シリカを含有する籾殻灰を製造すること特徴とする籾殻から高純度シリカの製造方法にある。 （もっと読む）