【課題】
危険が少なく、またバッチ処理であっても短時間で処理できる、マイクロ波で加熱して化学反応を促進させる装置を提供する。
【解決手段】
マイクロ波反応装置は、マイクロ波発振器２が付された筐体１内に、マイクロ波が照射される反応物質の入るべき封鎖空間の反応容器３が配置され、反応容器３に付随する温度センサー５の挿入口、不活性ガスまたは反応原料の流入パイプの挿入口、あるいは反応生成物または反応余剰物の排出パイプの挿入口が筐体１内に位置している。 （もっと読む）

【課題】紫外線の照射を行うエリアにおいて酸素濃度を低い状態で安定させ、かつ、窒素ガスの消費量を抑制できる紫外線照射装置を提供すること。
【解決手段】帯状のワークが走行する搬送径路中に配置された搬送ロール６０に対面して配置され前記ワークに紫外線を照射するランプユニットと、このランプユニット４０と前記搬送ロールの間に設置され不活性ガスを含む雰囲気空間を形成する不活性ガスパージ領域形成機構１と、を備える紫外線照射装置５０であって、不活性ガスパージ領域形成機構１は、前記搬送ロールの側面に設けた円弧状の側面シールド部３０と、前記搬送ロールの正面に設けたロール正面シールド部１０と、前記搬送ロールの背面に設けたロール背面シールド部３０とにより前記搬送ロールに沿って搬送される前記ワークを取囲むシールド室２と、このシールド室に前記不活性ガスを供給する供給口１８を形成したガス供給部１５と、を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】 従来、水や液状体の電子的水素イオン濃度ＰＨ値の改質は存在したが、アルカリ方向に最大ＰＨ１２．１前後が限界であり、ＰＨ１３以上の改質が産業利用への基本的課題であった。また、酸性側への改質は微動の可変も困難で、産業界や医療界への特質たる利用が成されなかった。
【解決手段】 改質装置内部に、金属グリッドを適宜に設けた事、適切な周波数を割り出す事、循環型電子回路や、シャワー噴霧方式を附加する事、帯電による感電防止策を循環回路による増強エネルギー化した簡単な回路と製品の安定化の為に冷却器を附加した等、解決の手段としての装置を製作した。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法においてセラミックス等の微粒子表面を洗浄できるとともに、活性化に必要なエネルギーを微粒子に付与でき、大幅な成膜効率の向上が図れる被膜形成装置を提供する
【解決手段】エアロゾル発生装置１１と、真空チャンバー５と、エアロゾル噴射ノズル１２と、捕集装置３とを備え、エアロゾルデポジション法によりエアロゾル噴射ノズル１２から基材７上にエアロゾルを噴射し衝突させて被膜を形成する被膜形成装置１であって、エアロゾル発生装置１１および捕集装置３から選ばれた少なくとも一つの装置に、該装置内においてエアロゾル中の微粒子に高エネルギーの電磁波を照射する手段を設けてなり、上記高エネルギーの電磁波は、レーザー光、赤外線、紫外線またはマイクロ波である。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ波を吸収しない液状原料に対してもマイクロ波加熱の効果が十分発揮される簡便な方法を提供する。
【解決手段】 マイクロ波を吸収しない液体もしくは多少の固体等を含有する液状の原料に対し、マイクロ波の良吸収固体を添加することを特徴とする液相マイクロ波反応方法。マイクロ波照射によって添加したマイクロ波吸収固体の温度が急上昇すると、固体近傍の液状原料もほとんど同時に急速昇温、局所的な過加熱状態となり、反応速度の大幅増大や製品品質の向上等、いわゆるマイクロ波加熱効果を現出することが可能となる。また、本法をナノ粒子のアニーリング手段として用いれば、粒径の増大を引き起こすことなく粒子性状の向上を図ることも可能となる。 （もっと読む）

【課題】２２０ｎｍ以下の波長域を含む紫外線が放射される短波長紫外線放電灯において、被処理物の処理効率の低下を防止し、人体に安全で、運転操作の信頼性に優れた短波長紫外線放電灯及びそれを使用した紫外線照射処理装置を提供する。
【解決手段】短波長紫外線放電灯１００の管体３１の外を引き回されるリード線６０が、フッ素樹脂押し出し成形絶縁体で被覆された絶縁導体上に金属製の外装部材を有する。紫外線照射処理装置は、この短波長紫外線放電灯１００を、２２０ｎｍ以下の波長域に透光性を有する透光管に内挿してなる。 （もっと読む）

【課題】 ＵＶ照射チャンバーをクリーニングする方法を提供する。
【解決手段】 ＵＶ照射チャンバーをクリーニングする方法は、（ｉ）ＵＶ照射チャンバーに設けられた光透過窓を透過したＵＶ光で基板を照射することを完了した後に、ＵＶ照射チャンバー外でクリーニングガスのラジカル種を発生させる工程と、（ii）ＵＶ照射チャンバーの外部からＵＶ照射チャンバー内へラジカル種を導入することによって、光透過窓をクリーニングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】可燃性物質や自己分解性物質を原料とする化学反応、特にレーザ光等を照射して反応を起こす光化学反応を安全に、そして効率的に進行させる方法を提供する。
【解決手段】可燃性物質や自己分解性物質と支燃性物質とを原料とする光化学反応場において、定容比熱Ｃ_ｖ（Ｊ／ｍｏｌ・K）＝２１以上であり、且つ前記光化学反応に寄与しない不活性物質を加えることにより、燃焼および爆発を抑制するとともに、効率的に反応を進行させる。 （もっと読む）

【課題】
外部電極を不要にしてランプ構造の簡素化を図った誘電体バリア放電ランプ装置およびこれを備えた紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】
誘電体バリア放電ランプ装置は、紫外線透過性の材料からなる細長い管状をなす気密容器１、気密容器内に封入したエキシマ生成ガス、気密容器内にその管軸方向のほぼ全長にわたって配設された長い内部電極２を備え、互いに密接して隣接する複数の誘電体バリヤ放電ランプ１０Ａ、１０Ｂと、複数の誘電体バリヤ放電ランプの内部電極間に電圧を印加する高周波点灯回路１１とを具備し、互いに密接して隣接する複数の誘電体バリヤ放電ランプの内部電極間に印加された電圧によってそれぞれ一方の誘電体バリヤ放電ランプから見て他方の誘電体バリヤ放電ランプの内部電極が外部電極として機能して気密容器内に誘電体バリヤ放電が生起する。 （もっと読む）

【課題】紫外線照射装置にて発生した光から不要な波長の光を遮断し、有効な光のみを対象物に照射する。
【解決手段】紫外線を発光して照射するためのランプ１と、ランプ１より発光した紫外線を反射して所定の方向へ向けるためのリフレクタ２と、ランプ１で発光した光のうち不要な波長の光を遮断するためのフィルタ３と、フィルタ３を透過した紫外線が照射される対象物４と、を備える。ランプ１より紫外線が照射され、吸収型フィルタにより構成されたフィルタ３により、入射光の角度依存性を示すことなく所望の波長以下の光が遮断され、所望とする波長の光のみが対象物４に照射される。 （もっと読む）

【課題】 空冷制御方式の紫外線照射装置において、光源収納室外の空気だけを利用した空冷とヒーターを利用した加熱とによって紫外線ランプのランプベースの温度を効率的に制御する。
【解決手段】 ランプベースの温度調整を行う温調機構は、光源収納室内でランプベースに接触する熱伝達部と、光源収納室を構成する外壁を貫通し光源収納室外に突き出して形成された突出部とを有する金属製温調ブロックと、光源収納室外に配置され該温調ブロックの突出部に光源収納室外の空気を吹き付ける冷却ファンと、該温調ブロック内部に設置されその部位の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出温度に基づいて冷却ファンを駆動させる温度制御回路とから構成する。 （もっと読む）

【課題】この発明が解決しようとする課題は、エキシマ光を利用した液晶パネル用ガラス基板等の洗浄装置において、効率の良い洗浄を行い、大型基板に対しても洗浄ムラを少なくすることのできるエキシマ光照射装置を提供することにある。
【解決手段】本発明のエキシマ光照射装置は、複数のエキシマランプを並列配置したランプハウス内に少なくとも窒素等の不活性ガスを含むガスを噴出するブロー管を備え、該ブロー管と該エキシマランプ上面部分と該ランプハウスの仕切壁とで囲まれる第一の置換空間と、該ブロー管と該エキシマランプ下面部分と搬送される基板とで囲まれる第二の置換空間を備え、該ブロー管から該第一の置換空間に向かって不活性ガスを噴出することによって該第一の置換空間を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高純度のガスを３００〜１２００℃の温度に汚染なしに加熱するための方法を提供する
【解決手段】高純度のガスを０．１〜１０ｂａｒの圧力（絶対圧）で、ガスを汚染しない高純度の固形物を介して案内し、この場合、該固形物が、高純度の容器内に位置しており、該容器の壁が、赤外線放射に対して８５％よりも過度に多く透過性である材料から成っており、容器に赤外線放射によって照射し、これによって、固形物を加熱し、該固形物が、ガスを加熱するようにした。 （もっと読む）

【課題】照射雰囲気における空気循環を効果的に行うことができる光照射装置を提供すること。
【解決手段】紫外線照射装置は、ランプユニットと、ワークを載置するためのステージ２０と、ステージ２０をランプユニットに対して走査させる走査機構とを備えている。載置面２１には排気口２５が配設されている。排気口２５は吸引ポンプに連通されており、載置面２１上のワークに紫外線が照射される状態において、照射雰囲気の空気を強制排気する。 （もっと読む）

【課題】ワークに照射される光量のばらつきを抑えることができる光照射装置を提供すること。
【解決手段】紫外線照射装置は、ランプユニットと、ワークを載置するためのステージ２０と、ステージ２０をランプユニットに対して走査させる走査機構とを備えている。載置面２１には、個々のワークの載置領域に対応して、吸引口２３と溝部２４が設けられている。吸引口２３は吸引ポンプに連通されており、ワークを載置面２１に吸着させる役割を果たす。また、溝部２４は、載置面２１においてワークの外縁に対応する領域に溝状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】弁閉鎖ユニット及びそれを備えた反応装置を提供する。
【解決手段】常温で固体の相転移物質及び相転移物質内に分散され、外部からの電磁波の照射による電磁気波エネルギーを吸収して発熱する複数の微細発熱粒子を含んでなる充填物が充填された充填物チャンバと、充填物チャンバとチャンネルを連結する連結通路と、充填物に電磁波を照射するための外部エネルギー源と、を備えており、外部エネルギー源からの電磁波の照射によって発熱した複数の微細発熱粒子は、相転移物質を溶融及び膨脹させることによって充填物を膨張させ、膨張した充填物は、連結通路を通ってチャンネルに流入してチャンネルを閉鎖することを特徴とする弁閉鎖ユニット及びそれを備えた反応装置である。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造の磁気処理装置として、安定して処理室に磁気処理した外気を供給することができるようにすることにある。
【解決手段】 外気を磁気処理する所定の断面とした筒状の磁気処理部７の流通路２の中央部にガイド棒１０を流通路２にそって配設して、この流通路２に所定の磁力の磁石体４、５を対向して配設し、外気を上記磁石体４、５を配設した流通路２で磁気処理してガイド棒１０にそって流通させて処理室に流入するようにしている。筒状の流通路２の対向する内側面に一定の間隔で流通路２の中心部側に突き出した仕切り１１を対称状または非対称状に配設し、また筒状の流通路２の周囲の内側面に所定の磁力の磁石体をスパイラル状の位置関係で配設することが好ましい。 （もっと読む）

プロセス流体のための流体入口と流体出口とを備えるハウジングと、流体入口と流体出口との間に配置される照射ゾーンと、外壁と内壁とを備える放電管を含む少なくとも１つの放射線源を含む少なくとも１つの放射線源モジュールとを含む流体処理システムにおいて、内壁は、少なくとも１つの開口を備える内部容積と、放電を点火し且つ維持するための手段とを取り囲み、放射線源モジュールは、内部容積へのプロセス流体の出入れを案内する案内手段を備える浸水可能なフレームも含む。ランプの内部容積内の流体流を介して並びに内部電極と接触して放電間隙内の放電によって生成される熱の放散は、内部電極から分離される冷却通路を介しての放散に比べ実質的により効果的である。従って、ほぼ最適な温度に放電を維持することは実質的により容易である。
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【課題】高強度の紫外線を長時間にわたって正確にモニタリングすることが可能な紫外線モニタリングシステム及び紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】この紫外線モニタリングシステム４は、電力を供給する電源装置１１と、電源装置１１から電力を得ることにより紫外線を照射する紫外線源１２と、受光した紫外線の強度に応じた量の電荷を生成する検知部としてのダイヤモンド層２２を有し、そのダイヤモンド層２２で生成された電荷から上記紫外線の強度に応じた電気信号を出力する紫外線センサ１３と、その電気信号に基づいて電源装置１１の電力供給を制御することにより、紫外線源１２の紫外線の出力を制御する制御部１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】所望の形状を有し、かつ、均一性に優れたアクリル粒子を、歩留まり良く、かつ、簡便安価に製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明のアクリル粒子の製造方法は、第１の流路に光硬化性モノマーと光重合開始剤とを含む第１の液体を脈動的に供給する工程と、該第１の流路の出口を包囲するように形成された第２の流路に第２の液体を供給する工程と、該第１の流路と該第２の流路とが合流する地点で該第１の液体と該第２の液体とを層流状態で接触させる工程と、該第２の液体を接触させた該第１の液体に紫外光を照射する工程とを含み、該光硬化性モノマーがアクリロイル基および／またはメタクリロイル基を有する。 （もっと読む）