【課題】 層間絶縁膜平坦化、シャロートレンチ分離形成、金属埋め込み配線形成等のＣＭＰ技術において、酸化珪素膜、金属埋め込み膜等へ研磨傷を発生させずに短時間でＣＭＰが実施できる球状酸化物微粒子の製造方法、球状酸化物微粒子を用いた研磨材、研磨材を用いて研磨する基板の研磨方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 球状前駆体を加熱処理することを特徴とする球状酸化物微粒子の製造方法、球状酸化物微粒子用いた研磨材、研磨材を用いて所定の基板を研磨する基板の研磨方法及び半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 常温、常圧下で活性酸素を発生する酸化反応促進材料を提供する
【解決手段】 １２ＣａＯ・７Ａｌ₂Ｏ₃の組成式で表される結晶質カルシウムアルミネートを８５体積％以上含有し、しかも負電荷酸素原子を１×１０¹⁹個／ｃｍ³以上含有する、比表面積１ｍ²／ｇ以上の粉末を２〜７０体積％含み、残部が多孔質材料又は不織布からなることを特徴とする材料と、それを用いて、気体状、粉塵状又は霧状の被酸化性物質に、温度５℃〜９５℃、相対湿度５０％以下の条件の下で接触させることを特徴とする酸化反応促進方法。 （もっと読む）

【課題】 合成樹脂に対して、極めて優れた耐熱劣化性を付与できる特定性状のハイドロタルサイト粒子の耐熱劣化剤の提供。
【解決手段】 下記（ｉ）〜（iv）により定義付けられたハイドロタルサイト粒子の耐熱劣化剤としての使用。（ｉ）ハイドロタルサイト粒子は下記化学構造式（１）で表される。 ｛(Ｍｇ)_ｙ(Ｚｎ)_ｚ｝_１−ｘ(Ａｌ)_ｘ(ＯＨ)_２(Ａ^ｎ−)_ｘ／ｎ・ｍＨ_２０ （１）但し、式中、Ａ^ｎ−はｎ価のアニオンを示し、ｘ、ｙ、ｚおよびｍは特定条件を満足する値を示す。（ii）ハイドロタルサイト粒子は、レーザー回折散乱法により測定された平均２次粒子径が２μｍ以下であり、（iii）ハイドロタルサイト粒子は、ＢＥＴ法により測定された比表面積が１〜２０ｍ^２／ｇであり、かつ（iv）ハイドロタルサイト粒子は、鉄化合物およびマンガン化合物を合計で金属（Ｆｅ＋Ｍｎ）に換算して、０.０２重量％以下含有している。 （もっと読む）

【課題】不純物をほとんど含まない工業品から医薬品分野まで利用できる、分散性の良い粒子径の制御された、バテライト型円盤状炭酸カルシウムの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】可溶性カルシウム塩あるいは／又は可溶性炭酸塩と可溶性炭酸塩塩あるいは／又は可溶性カルシウム塩を０．１〜１モル／Ｌの濃度で、反応温度を５〜５０℃、滴下反応速度を０．１〜１０時間で反応させることにより、粒子径１〜２０μｍのバテライト型円盤状炭酸カルシウムを製造することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、セリウムの前駆体溶液と炭酸の前駆体溶液との混合・沈殿反応を行って炭酸セリウム粉末を製造する方法において、前記セリウムの前駆体溶液内のセリウムの濃度は、１Ｍ〜１０Ｍの範囲であり、セリウムの前駆体と炭酸の前駆体との反応モル濃度比は、１：１〜１：７モルの範囲であり、前記セリウムの前駆体溶液は、カ-ボネト系化合物、アクリル系化合物及び硫酸イオンを含む化合物からなる群から選ばれた１種以上の添加剤を含むことを特徴とする炭酸セリウム粉末の製造方法、及び、前述の方法で製造される、斜方晶系の結晶構造を有し、０．０５〜１μｍのサイズを有し、アスペクト比が１〜５の範囲である炭酸セリウム粉末を提供する。
また、前記炭酸セリウム粉末を前駆体として製造された酸化セリウム粉末及びその製造方法並びに前記酸化セリウム粉末を研磨材として含むＣＭＰスラリーを提供する。
本発明では、炭酸セリウム粉末を液相法で製造する時、セリウムの前駆体溶液の濃度、セリウムの前駆体と炭酸の前駆体との反応モル濃度比及び添加剤の種類などを調節することで、０．０５〜１μｍ範囲の均一な炭酸セリウム粉末を製造することが可能で、斜方晶系の結晶構造を有する炭酸セリウムであるにもかかわらず、アスペクト比が１〜５範囲の均一な形状を持たせることが可能である。
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【課題】 優れた流動性を有し、樹脂添加剤として添加した樹脂製品の生産工程において、ハイドロタルサイト粉体のサービスタンクでの詰まりやブリッジの発生を防止することができる流動性ハイドロタルサイト粉体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 下記式（１）；
［（Ｍｇ）_ｘ（Ｚｎ）_ｙ］_１−ｚ（Ａｌ）_ｚ（ＯＨ）_２（Ａ^ｎ−）_ｚ／ｎ・ｍＨ_２Ｏ （１）
（式中、Ａ^ｎ−は、ｎ価のアニオンを表す。ｘ、ｙ、ｚ及びｍは、０．５≦ｘ≦１、０≦ｙ≦０．５、ｘ＋ｙ＝１、０．１≦ｚ≦０．５、０≦ｍ＜１の条件を満たす値である。）
で表され、かつ、かさ比重が０．３６〜０．５０ｇ／ｍｌであることを特徴とする流動性ハイドロタルサイト粉体。 （もっと読む）

【課題】 微細な炭酸ストロンチウム微粉末の製造方法を提供する。
【解決手段】 有機酸の存在下にて、水酸化ストロンチウム濃度が１〜２０質量％の水酸化ストロンチウムの懸濁液を攪拌しながら、該懸濁液に二酸化炭素ガスを、該懸濁液中の水酸化ストロンチウム１ｇに対して０．５〜２００ｍＬ／分の範囲の流量にて導入することにより、水酸化ストロンチウムを炭酸化させて炭酸ストロンチウム粒子を生成させ、次いで乾燥することからなる、ＢＥＴ比表面積が５２〜３００ｍ²／ｇの範囲にある炭酸ストロンチウム微粉末の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、セリウムの前駆体溶液と炭酸の前駆体溶液とを混合し、且つ、沈殿反応を起こして炭酸セリウム粉末を製造する方法において、前記セリウム前駆体溶液及び炭酸前駆体溶液に用いられる溶媒のうち少なくとも１種以上は有機溶媒であることを特徴とする製法及び該方法により製造された炭酸セリウム粉末を提供する。また、本発明は、上記の炭酸セリウム粉末から製造された酸化セリウム粉末、その製法、及び該酸化セリウム粉末を含むＣＭＰスラリーを提供する。
本発明によれば、炭酸セリウムの製造時に有機溶媒を用いることにより、炭酸セリウム粉末の生成段階から粉末の粒径及び形状を調節することができ、前記炭酸セリウム粉末を原料物質として製造された酸化セリウム粉末の粒径と形状を容易に調節することができる。
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本発明の目的は、８０％超の、好ましくは８５％超の、より好ましくは９０％超の、およびさらに好ましくは９５％超の１μｍより微細な粒子の分率、および２５ｍ^２／ｇ未満の比表面積を示すＧＣＣおよびＰＣＣを含む炭酸カルシウム材料を費用対効果の高い方法で得るための方法を提供することであり、ＧＣＣおよびＰＣＣが可能ならば少なくとも別の無機材料と共粉砕されている。本発明の別の目的は、水性懸濁液および乾燥品の形態の共粉砕炭酸カルシウム材料にある。本発明の他の目的は、無機材料を使用する任意の分野、および特に紙、塗料およびプラスチック産業におけるこのような製品の使用にある。 （もっと読む）

【課題】 ガスバリア性に優れ、また自立膜として利用可能な機械強度、柔軟性を有する均一な厚みの無機物膜の製造方法およびその無機物膜を提供すること。
【解決手段】 無機物及び媒液とを混合し、無機物を粉砕しスラリーを得る工程（Ａ）および該スラリーから媒液を除去し膜を形成する工程（Ｂ）からなる無機物膜の製造方法であって、工程（Ａ）で得られるスラリー中で分散している無機物の体積平均径（Ｄ_４）が０．００１〜１μｍであり、かつ体積平均径（Ｄ_４）と長さ平均径（Ｄ_２）との比Ｄ_４／Ｄ_２が１〜２０であることを特徴とする無機物膜の製造方法および該方法で得られる無機物膜。 （もっと読む）

【課題】 天然貝殻を原料として製造された炭酸カルシウム粉末とその製造方法を提供する。
【手段】 焼成貝殻粉末を水中または炭酸アルカリ水溶液中で水熱処理して再析出させた高結晶性の炭酸カルシウム粉末であって、炭酸カルシウム純度９５％以上、粒径１.５μm以下の範囲において最大分布ピークを有し、該ピークの分布頻度が２５％以上であり、好ましくは、純度９８％以上、粒径０.３μm〜１.０μmの範囲において最大分布ピークを有し、該ピークの分布頻度が３０％以上であって、粉末Ｘ線回折による相対回折強度において、炭酸カルシウムの最大ピーク強度が他のピーク強度の５倍以上であることを特徴とする炭酸カルシウム粉末とその製造方法。 （もっと読む）

本発明は、比表面積が５ｍ^２／ｇ以上であり、且つ、３ｎｍ以上の直径を有する気孔と３ｎｍ未満の直径を有する気孔との体積分率が８：２〜２：８の範囲であることを特徴とする一液型ＣＭＰスラリー用の酸化セリウム粉末、その製法、これを研磨材として含む一液型ＣＭＰスラリー組成物、及び前記一液型ＣＭＰスラリー組成物を用いる浅いトレンチ素子の分離方法を提供する。本発明は、か焼、選択的に粉砕、及び焼成段階を経て得られた、気孔分率が高く、強度の低い酸化セリウム粉末を研磨材として用いることにより、一液型ＣＭＰスラリーにしても酸化セリウム粉末の沈殿現象がなく、且つ、酸化ケイ素膜に対する十分な研磨速度を有するとともに、窒化ケイ素膜の研磨速度を格段に落として酸化ケイ素膜との除去選択比を高めることができ、バランスのとれた諸研磨特性が得られる一液型ＣＭＰスラリー用の組成物を製造することができる。
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【課題】 比較的低い温度で負電荷酸素原子を放出する物質を提供する。
【解決手段】 負電荷酸素原子を包接する物質において、負電荷酸素原子を１×１０¹⁹個／ｃｍ³ 以上含有し、カルシウムアルミネートが少なくとも１種の希土類元素を固溶し、粉末Ｘ線回折測定法による格子定数が１．１９８５〜１．２０１０ｎｍの１２ＣａＯ・７Ａｌ₂Ｏ₃を８０体積％以上含んだ負電荷酸素原子を包接する物質。 （もっと読む）

【課題】 高含水土の脱水固化処理に適した潜晶質マグネシア及びその製造方法を提供することを目的とする。また、その脱水固化処理において、脱水時間が短く、且つ、十分な脱水ケーキ強度が得られる脱水固化処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
水酸化マグネシウム及び／又は炭酸マグネシウムを３００℃以上、１０００℃未満で加熱し、潜晶質マグネシアを製造する。この潜晶質マグネシアは、波長１．５４０５Åにおける粉末Ｘ線回折スペクトルが、２θ＝４２.８°±０.３°にピークの頂点を有し、該ピークのベースラインを基準とした半値幅が０．３２〜１.５°である。この潜晶質マグネシアを含水比１００質量％以上の高含水土の固形成分１ｔ当たり３０〜３００ｋｇ混合した後、脱水機により脱水してケーキとすることにより、高含水土の脱水固化処理が可能となる。 （もっと読む）

【解決課題】 研摩材製造において焙焼温度が比較的低温であっても焼結可能であり、異常粒成長のおそれのない研摩材用原料を提示すること。
【解決手段】 本発明は、セリウム系希土類炭酸塩とセリウム系希土類酸化物とを混合してなり、１０００℃で１時間加熱した場合の強熱減量が乾燥重量基準で０．０５〜５．０％である混合希土類塩、及び、この混合希土類塩を主成分とし、１０００℃で１時間加熱した場合の強熱減量が乾燥重量基準で０．０５〜５．０％であるセリウム系研摩材原料である。 （もっと読む）

【課題】Ｆを含有しなくとも、研摩速度が高く、かつ研摩精度の良好なセリウム系研摩材を提供することを課題とする。
【解決手段】セリウム系希土類炭酸塩、セリウム系希土類酸化物又はこれらの混合物と、アルカリ金属塩、アルカリ土類金属塩又はこれらの混合物とを混合して焼成して得られるセリウム系研摩材であり、Ｆ含有量が０．５wt％以下であり、かつアルカリ金属又はアルカリ土類金属の含有量、もしくはアルカリ金属及びアルカリ土類金属の合計での含有量が、元素換算で０．３〜５ｗｔ％であるセリウム系研摩材である。 （もっと読む）

本質的に第１の金属、第２の金属および場合によっては第３の金属の酸化物形からなり、第１の金属がＣａまたはＢａのいずれかであり、そして５−８０重量％の量で組成物中に存在し、第２の金属がＡｌであり、そして５−８０重量％の量で組成物中に存在し、第３の金属がＬａ、ＴｉおよびＺｒからなる群から選択され、そして０−１７重量％の量で存在し、すべての重量パーセントは酸化物として計算され、そして酸化物組成物の重量の基準とする、酸化物組成物であって、ａ）第１、第２および随意の第３の金属の固体化合物を含んでなる物理的混合物を準備し、ｂ）アニオン性クレイを形成させずに、この物理的混合物を場合によっては熟成し、そしてｃ）この混合物を焼成することより入手可能である酸化物組成物。この組成物は、金属を不動態化するために、ＦＣＣ法での使用に好適であり、ゼオライトの水熱安定性に対して最少化された影響しか持たない。 （もっと読む）

【解決手段】 ３価のセリウムイオンと、酸性域で還元作用を有する物質として非有機酸物質とを含有することを特徴とする３価のセリウムイオン含有溶液。
【効果】 本発明のセリウムイオン含有溶液及びこれからなる腐食抑制剤は、３価のセリウムイオンがｐＨ２〜７の領域において安定に存在し、セリウム化合物の析出を防止し得るものである。 （もっと読む）

本発明は、表面改質ナノ粒子金属酸化物であって、前記金属が、アルミニウム、セリウム、鉄、チタン、亜鉛およびジルコニウムからなる群から選択される表面改質ナノ粒子金属酸化物において、前記表面改質が、モノマーとしてのA) N-ビニルアミドN-ビニルピロリドンを1〜99モル%と、B) １分子あたり、フリーラジカル法によって重合することができる１個のα,β-エチレン性不飽和二重結合とアニオン性基および／またはアニオン基とを含むモノマーを99〜1モル%と、を含有するコポリマーPによるコーティングを含んでなることを特徴とする表面改質ナノ粒子金属酸化物
［但し、コポリマーPは、モノエチレン性不飽和C₃〜C₈-カルボン酸のC₈〜C₃₀-アルキルエステル、C₈〜C₁₈-アルキル基含有アクリル酸またはメタアクリル酸のN-アルキル-またはN,N-ジアルキル-置換アミド、または脂肪族C₈〜C₃₀-カルボン酸のビニルエステルからなる群から選択されるさらなるモノマーを含んではならない］
に関する。 （もっと読む）

複合吸着剤を形成する。該吸着剤は、固体アルカリ金属炭酸塩、再水和可能なアルミナ及び水又は金属塩の水溶液の反応生成物である。成分間の反応は、粒子の形成とその後の硬化及び活性化の間に起こる。一態様において、該複合材料は相当量のドーソナイト型ヒドロキシ炭酸塩を最終生成物として又は少なくとも一つの製造段階で中間体として含有する。吸着剤中のアルカリ金属は、様々な吸着用途にとって非常に好都合な高反応性の状態及び利用しやすい状態を提示する。該吸着剤は、ガス及び液体炭化水素ストリームからＨＣｌ及びその他の酸性汚染物質を除去するのに特に有用である。該吸着剤は、汚染物質に対する高い能力と、主ストリームの炭化水素成分に対する低い反応性を併せ持つ。 （もっと読む）