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Fターム[4H006TN60]の内容

有機低分子化合物及びその製造 (186,529) | チオ誘導体のもつ官能基 (582) | −COO−、−CON<、−CN、−C(−N)=N−、−C(−O)=N−(カルボン酸及び誘導体) (163)

Fターム[4H006TN60]に分類される特許

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【課題】優れた解像度及びラインエッジラフネスを有するパターンを形成することができるレジスト組成物の酸発生剤用の塩を提供する。
【解決手段】トリアリールスルホニウムカチオンとα,α−ジフルオロアダマンチルオキシカルボニルメタンスルホン酸アニオンなどからなる塩(I)。


フォトレジスト組成物は、特に、化学増幅型フォトレジスト組成物に有用であり、半導体の微細加工、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程等、広範な用途に好適に利用することができる。特に、ArFやKrFなどのエキシマレーザリソグラフィならびにArF液浸露光リソグラフィ、EB露光リソグラフィ、EUV露光リソグラフィに好適な化学増幅型フォトレジスト組成として用いることができる。また、液浸露光のほか、ドライ露光などにも用いることができる。 (もっと読む)


【課題】優れたラインエッジラフネスを有するパターンを形成することができるレジスト組成物の酸発生剤用の塩を提供する。
【解決手段】式(I)で表される塩。[R及びRは、互いに独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。Xは、少なくとも1つのヒドロキシ基を有する2価の炭素数1〜17の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる−CH−は、−O−、−NR−又は−CO−で置き換わっていてもよい。Rは、水素原子又は炭素数1〜10のアルキル基を表す。Rは、環式基を表し、該環式基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、ヒドロキシメチル基、ハロゲン原子、炭素数1〜6のアルキル基又は炭素数1〜6のフッ化アルキル基で置換されていてもよい。Zは、有機カチオンを表す。]
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【課題】光酸発生剤、この製造方法、及びこれを含むレジスト組成物を提供する。
【解決手段】光酸発生剤は下記化学式で表される化合物である。X、Y、Q1、Q2、n、及びA+の定義は詳細な説明に記載した通りである。光酸発生剤は、露光時に発生する酸の拡散速度が遅く、拡散距離が短く、適切な酸度を有するため、LWR特性を改善でき、工程に使用する純水などの溶媒への溶出を制御することができる。
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【課題】特定の構造を備える触媒前駆体と特定の配位子とからなる触媒系の存在下に、求核原子であるS、C、N、特にSを有する基質を脱水アリル化させるアリル化合物の製造方法を提供する。
【解決手段】式(1)及び式(2)から選ばれる触媒前駆体と、配位子とを混合し、又は触媒前駆体とアリルアルコールと配位子とを混合し、その後、アリルアルコール類と、基質とを配合し、反応させるアリル化合物類の製造方法であって、配位子は、キナルジン酸又はピコリン酸であり、基質は、チオール類、チオカルボン酸類等である。[Ru(C)(CHCN)]PF(1)[Ru〔C(CH〕(CHCN)]PF(2) (もっと読む)


【課題】高いΔnを示す重合性液晶の提供。
【解決手段】下記式(I)で表される重合性化合物である。式中、P1及びP2は、重合性基;m1及びm2は、1〜10の整数;Aは、5〜18員環の芳香族炭化水素環又は5〜18員環の芳香族複素環を含む2価基;L3及びL4はそれぞれ、炭素原子数1〜10のアルキル基、又は炭素原子数1〜10のアルコキシ基;k1及びk2はそれぞれ、0〜4の整数;X1、X2、X3及びX4はそれぞれ、−O−、−S−、−NH−、−NR−、又は−SiR000−;n1及びn2はそれぞれ、0又は1を表し、但し少なくとも一方は1であり、L1a、L1b、L2a及びL2bはそれぞれ、水素原子、ハロゲン原子、−CN、−NC、−NCO、−NCS、又は−OCNを表し、但し、n1が1で且つL1a及びL1bの双方が水素原子であり、及びn2が1で且つL2a及びL2bの双方が水素原子の時、並びにn1が1で且つL1a及びL1bの双方が水素原子であり、及びn2が0の時に限り、X2及びX3の双方が−O−で表される化合物、並びにX2及びX3の一方が−O−であり且つ他方が−NH−又は−NR−で表される化合物を除く。
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【課題】 露光ラチチュード(EL)及び現像欠陥性能に優れたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るパターン形成方法は、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂(A)と、活性光線又は放射線の照射により下記一般式(LD)により表される部分構造を備えた酸を発生する化合物(B)とを含有した感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、前記膜を露光することと、前記露光された膜を、濃度が2.38質量%未満であるテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて現像することとを含んでいる。
【化1】
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【課題】本発明は、高エネルギー線を光源としたフォトリソグラフィーにおいて、レジスト材料として用いることのできるスルホニウム塩、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】式(1)で示されるスルホニウム塩。


(式中、X、Yは重合性官能基を有する基を示す。Zはヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜33の二価の炭化水素基を示す。Rはヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜36の二価の炭化水素基を示す。R及びRはそれぞれヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜30の一価の炭化水素基を示すか、あるいはR及びRが相互に結合して式中の硫黄原子と共に環を形成してもよい。) (もっと読む)


本発明は、高い親和性及び選択性で生存タンパク質MCL−1と選択的に結合する化合物、このような化合物を含有している医薬組成物、並びにMCL−1活性を調節するための、及び過剰増殖性疾患、血管新生障害、細胞周期調節障害、オートファジー調節障害、炎症性疾患及び/又は感染性疾患を治療するための、及び/又は細胞生着及び/又は創傷修復を増進するための、単独薬剤としての又はその他の活性成分と組合わせての、これらの化合物又は組成物の使用に関する。 (もっと読む)


式1の化合物
【化1】


(式中、
QはOまたはSであり;
1およびZ2は、各々独立してCR9またはNであり;ならびに
1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8およびR9は、本開示において定義されているとおりである)
そのN−オキシドおよび塩が開示されている。
また、式1の化合物を含有する組成物、および、有効量の本発明の化合物または組成物を適用するステップを含む真菌性病原体により引き起こされる植物病害を防除する方法もまた開示されている。
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【課題】この樹脂をレジスト組成物に用いることにより、優れたCD均一性を有するパターンを得ることを目的とする。
【解決手段】樹脂、式(1)及び式(2)で表される酸発生剤を含むレジスト組成物。


[式(1)及び(2)中、Q〜Qはそれぞれ独立にF又はC1-6ペルフルオロアルキル基;X及びXは、単結合又は2価のC1-17飽和炭化水素基;Yはアルキル基で置換されていてもよいC3−36飽和環状炭化水素基;Yは、少なくとも1つのHがヒドロキシ基又はC1−6ヒドロキシアルキル基で置換されているC3−36飽和環状炭化水素基、C3−36ラクトン/C3−36環状ケトン/C3−36スルトン骨格を有する環状基;P〜Pは、それぞれ独立に、置換基を有してもよいC3−36芳香族炭化水素基/C1−6脂肪族炭化水素基を表し、P〜Pのうちの2つが互いに結合して環を形成してもよい。] (もっと読む)


【課題】高い殺虫効果を有するアミド誘導体と該アミド誘導体を含有する有害生物防除剤を提供する。
【解決手段】下記一般式(1)


{Aは、炭素原子、酸素原子、窒素原子、または硫黄原子を示し、Kは、Aと、Aが結合する2個の炭素原子と共に、5員または6員の芳香族環を形成するのに必要な原子群を示し、Zは−C(=G)Q、−C(=G)G(式中、G、Gは酸素原子などを示し、Q、Rは置換フェニル基、置換複素環基、アルキル基、ハロアルキル基などを示す。)などを示し、Xはハロゲン原子、ハロアルキル基、ハロアルコキシ基、ハロアルキルスルホニル基などを示し、nは0〜3の整数を示し、Gは酸素原子などを示し、Qは置換フェニル基、置換ピリジル基などを示し、R、Rは水素原子、アルキル基等を示す。}で表されるアミド誘導体およびこれを有効成分として含有する有害生物防除剤である。 (もっと読む)


【構成】
一般式(IA−1−1)
【化1】


で示される化合物、その塩、その溶媒和物、またはそれらのカルボキシ基がエステル化された化合物
【効果】S1P受容体(特にEDG−6、好ましくはEDG−1およびEDG−6)結合能を有する化合物、例えば一般式(IA−1−1)で示される本発明化合物、その塩、その溶媒和物、またはそれらのプロドラッグはS1P受容体(特にEDG−6、好ましくはEDG−1およびEDG−6)結合能を有し、移植に対する拒絶反応、移植片対宿主病、自己免疫性疾患、アレルギー性疾患等の予防および/または治療に有用である。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、カルボキシル基を有するアミノ化合物、チオカルボニルジイミダゾール及び塩基との反応により、対応するカルボキシル基を有するイソチオシアナト化合物を1工程で高純度で製造する新規な工業的製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 カルボキシル基を有するアミノ化合物を、溶媒中、塩基存在下、チオカルボニルジイミダゾールと反応させることで、カルボキシル基を有するイソチオシアナト化合物を得る。 (もっと読む)


本発明は、構造式(I)によって表される化合物、またはその薬学的に許容できる塩に関する。構造式(I)の変数は本明細書において規定される。構造式(I)の化合物を含む医薬組成物およびその治療的使用も記載される。
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【課題】抗微生物活性薬などの医薬品として有用なムチリン類を提供する。
【解決手段】式(I)の化合物[式中、Rはアリーレンまたはヘテロサイクレンであるか;あるいはRおよびRがそれらが結合している窒素原子とともに非芳香族ヘテロサイクレンを形成しており;他の残基は水素あるいは各種置換基を意味する]。
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【課題】優れた解像度及びラインエッジラフネス(LER)を有するパターンを形成することができるレジスト組成物の酸発生剤用の塩を提供する。
【解決手段】式(I)で表される基を含む塩。[式(I)中、Tは、置換基を有していてもよい炭素数3〜36の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれるメチレン基のうち少なくとも2つは、酸素原子又は硫黄原子で置換されている。]
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【課題】優れた形状を示すパターンを形成し得る化学増幅型レジスト組成物を与える酸発生剤となる塩及び、特に、液浸露光に好適に用いられ、欠陥の発生が少ない化学増幅型フォトレジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式(a)で表される塩。


[式中、Q及びQは、互いに独立に、F原子又はC1〜6のペルフルオロアルキル基;Xは、−[CH−を表し、kは、1〜18の整数;Xは、単結合、直鎖状又は分岐状のC1〜12の脂肪族炭化水素基又は脂環式炭化水素基等;Yは、C3〜36の脂環式炭化水素基;−X−Y基は、少なくとも1つのF原子を含む;Zは、有機対イオンを表す。] (もっと読む)


本発明は、有用な医薬活性化合物である、S−[2−[1−(2−エチルブチル)シクロヘキシルカルボニルアミノ]−フェニル]−2−メチルチオプロピオナートの製造のための方法に関する。 (もっと読む)


本発明は、メキシレチン(およびメキシレチンの活性代謝物)とアミノ酸若しくはペプチドとのプロドラッグ並びにかかるプロドラッグを含む医薬組成物に関する。上記プロドラッグを用いて、痛みの緩和、不整脈の治療、メキシレチンに伴う有害な胃腸副作用の低減、メキシレチンの生物学的利用能の向上および薬物動態の再現性の改善の方法も提供する。グリシン残基により直接若しくは間接的に結合したリシンまたはアルギニンを包含するオリゴペプチドもここに記載する。 (もっと読む)


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