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【課題】優れた解像性を有し、矩形性が良好な微細パターンを形成できるとともに、酸発生剤から発生する酸が弱い場合も良好なレジスト特性が得られ、感度も良好なフォトレジスト組成物を構成できる高分子化合物、該高分子化合物を用いたフォトレジスト組成物、および該フォトレジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ溶解性が変化し得る高分子化合物であって、下記一般式(2)(式中、R1は炭素数20以下の脂肪族環式基であり、nは0または1〜5の整数を表し、R2は水素原子、フッ素原子又は炭素数20以下の低級アルキル基又は炭素数20以下のフッ素化低級アルキル基を表す。)で示される化合物から誘導される構成単位(a1)と、ラクトン含有単環または多環式基を含む(メタ)アクリル酸エステルから誘導される構成単位(a3)と、を含有することを特徴とする高分子化合物。
[化1]
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【課題】分子量が30000以上で、かつ分子量分布(Mw/Mn)が1.01〜1.30のスチレン系重合体を工業的に製造する方法を提供すること。
【解決手段】非極性又は低極性溶媒50〜95重量%と極性溶媒50〜5重量%とからなる混合溶媒中、有機カリウム化合物の存在下、−100〜−30℃の温度でスチレン系単量体をアニオン重合することにより、数平均分子量が30000以上であり、かつ分子量分布(Mw/Mn)が1.01〜1.30であるスチレン系重合体を製造する。有機カリウム化合物としては、式〔I〕:R−O〔I〕(式中、Rは、アルキル基、シクロアルキル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、ヘテロアリールスルホニル基、アルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、ヘテロアリールカルボニル基、アリール基、ヘテロアリール基、アラルキル基又はヘテロアラルキル基を表す。)で表される化合物が好ましい。 (もっと読む)


【課題】ラインエッジラフネスが小さく、また、高感度でスループットの高い、更に、パターンの基板依存性の小さなネガ型レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)水酸基を置換した芳香族環を側鎖に有する繰り返し単位(1)を含むベースポリマーと、酸存在下に繰り返し単位(1)への求電子反応により架橋を形成する架橋剤との組み合わせ(B)酸発生剤(C)塩基性成分として窒素含有化合物を有し、上記ベースポリマーの少なくとも一部は、式(3)


(R3はアルキル、ヒドロキシアルキル、アルコキシアルキル、メルカプトアルキル又はアルキルチオアルキル。)で示される基を有する化学増幅ネガ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】感度や解像度、ラインエッジラフネスの向上を達成しうるアルカリ現像性や基板密着性に優れた機能性樹脂組成物の開発に関し、リソグラフィー用レジスト原料として、透明性、エッチング耐性に優れるだけでなく、更に高感度、高解像度を有し、集積密度向上に対して技術的に好ましい機能性樹脂組成物の提供。
【解決手段】式(1)の化合物、4位をヒドロキシ基、アルコキシ基で置換されたスチレン系化合物、および酸素含有複素環エステル基を有する(メタ)アクリレート化合物を繰り返し単位に含む機能性樹脂組成物。


(1) (もっと読む)


【課題】本発明は、高エネルギー線を光源としたフォトリソグラフィーにおいて、レジスト材料として用いることのできるスルホニウム塩、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】式(1)で示されるスルホニウム塩。


(式中、X、Yは重合性官能基を有する基を示す。Zはヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜33の二価の炭化水素基を示す。Rはヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜36の二価の炭化水素基を示す。R及びRはそれぞれヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜30の一価の炭化水素基を示すか、あるいはR及びRが相互に結合して式中の硫黄原子と共に環を形成してもよい。) (もっと読む)


(a)1種以上の第一のモノマーユニットであって、各々が独立に、モノマーユニットあたり少なくとも1つのビシクロヘプチルポリエーテル、ビシクロヘプテニルポリエーテル又は分枝(C5-C50)アルキルポリエーテル基を含み、ここで前記ビシクロヘプチルポリエーテルもしくはビシクロヘプテニルポリエーテルは所望により、1以上の環炭素上において炭素原子あたり1もしくは2個の(C1-C6)アルキル基で置換されている第一のモノマーユニット、及び(b)1種以上の第二のモノマーユニットであって、各々が独立に、モノマーユニットあたり少なくとも1つの直鎖もしくは分枝(C5-C50)アルキルポリエーテル側基を含む第二のモノマーユニットを含み、ただし第一のモノマーユニット及び第二のモノマーユニットの両者ともが分枝(C5-C50)アルキルポリエーテル基を含むことができない、ポリマーであって、水性ラテックスコーティング組成物、パーソナルケア組成物、ホームケア組成物、及び産業用若しくは研究用ケア組成物のような液体組成物における成分として有用であるポリマー。 (もっと読む)


【課題】従来の添加剤と比較して改善された潤滑油及びバイオディーゼル燃料の流動特性を低温で達成できる添加剤を提供することである。
【解決手段】本発明は、ATRP法によって得られるコポリマー、これらのコポリマーを含有する濃縮物及び潤滑油、これらのコポリマーの製造方法により、この課題は解決できた。 (もっと読む)


【課題】感光性、アルカリ現像性、密着性、製版性を有するために、カラーフィルターや液晶パネル等の製造において好適に使用することができる感光性樹脂組成物に好適に用いられるアルカリ可溶性樹脂を製造する方法において、非プロトン系溶媒を用いて分子量制御を容易に行うことができる製造方法を提供する。
【解決手段】(メタ)アクリル系単量体とN−ビニル環状ラクタム化合物とを含む単量体成分を重合してN−ビニル環状ラクタム重合体を製造する方法であって、該製造方法は、非プロトン系溶媒中で、連鎖移動剤及び水酸基含有化合物の共存下に単量体成分を重合する工程を含むことを特徴とするN−ビニル環状ラクタム重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】感度、残膜率、保存安定性に優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法であって、硬化させることにより耐熱性、密着性、透過率などに優れる硬化膜が得られる、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法を提供すること。
【解決手段】解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のアクリル酸系構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物、及び、波長300nm以上の活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法。 (もっと読む)


【課題】目標通りの膜厚を有するレジスト膜を製膜可能であり、レジスト膜に設計通りの性能を発揮させることができる感放射線性組成物の製造方法を提供すること。
【解決手段】標準組成物を用いて一定条件下で製膜された標準レジスト膜の膜厚と、標準組成物の屈折率との相関関係に基づき、感放射線性組成物の予備組成物を特定の屈折率となるように濃縮又は溶剤により希釈して、特定の膜厚を有するレジスト膜を製膜可能な感放射線性組成物を得る工程を備えた感放射線性組成物の製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】アルコール系溶剤を用いず貯蔵安定性の良好な金属含有エチレン性不飽和単量体混合物を製造する。
【解決手段】無機金属化合物(a1)をカルボキシル基含有エチレン性不飽和単量体(a2)及び非重合性有機酸(a3)と反応させ、金属含有エチレン性不飽和単量体混合物(A)を製造する方法であって、前記反応を、前記カルボキシル基含有エチレン性不飽和単量体(a2)以外のエチレン性不飽和単量体(B)中で行う金属含有エチレン性不飽和単量体混合物(A)の製造方法。 (もっと読む)


【課題】塗布方法としてスリット塗布法を採用した場合であっても、塗膜に微小な凹凸からなるムラを発生させることなく液晶表示素子のスペーサーを形成しうる感放射線性樹脂組成物、液晶表示素子のスペーサーとして要求される諸性能(例えば高回復率と柔軟性とが両立された圧縮性能ならびにラビング耐性)を維持しつつ、特に高度の膜厚均一性を有する液晶表示素子のスペーサーおよびその形成方法が提供される。さらに、液晶表示素子の保護膜、層間絶縁膜としても使用することができる。
【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、〔A〕一般式(1)で示されるアルカリ可溶性樹脂、〔B〕重合性不飽和化合物、〔C〕感放射線性重合開始剤、ならびに〔D〕一般式(3)〜(5)の重合性不飽和化合物を含む重合性不飽和化合物の共重合体を含有する。液晶表示素子のスペーサーは、上記の感放射線性樹脂組成物から形成される。 (もっと読む)


【課題】タイヤ用ゴム組成物として用いた際に、低温域および高温域の双方において優れたグリップ性能を発揮する樹脂およびゴム組成物、ならびに該ゴム組成物を用いて得られる高性能なタイヤの提供。
【解決手段】下記式(I)で表されるモノマー(I)と下記式(II)で表されるモノマー(II)とを共重合させて得られることを特徴とする。
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【課題】水性分散物中の実質的に均一なポリマー粒子を製造する方法を提供する。
【解決手段】乳化剤、少なくとも1種のモノマー分子、および開始剤を含むモノマーエマルションを形成し;モノマーエマルションを、少なくとも安定化剤および複数のオリゴマー液滴に添加し;並びに、少なくとも1種のモノマー分子を重合して、ポリマー粒子の水性分散物を形成する。 (もっと読む)


【課題】ハードコート材の基材とハードコート層との間に設けられるプライマー層を形成する際に好適に用いられ、かつ、実質的に溶剤を含有しない感光性組成物、その感光性組成物を用いて形成されたプライマー層を有するハードコート材、及びそのハードコート材を備えた画像表示装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る感光性組成物は、トリアセチルセルロースに対して相溶性である単官能の重合性化合物(A)と、カルボキシ基、水酸基、イミド基、及びアミド基の少なくとも1種を有し、かつ、トリアセチルセルロースに対して非相溶性である単官能の重合性化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、を含有し、実質的に溶剤を含有しない。(A)の含有量は、(A)と(B)との合計に対して25モル%以上である。また、該感光性組成物中の重合性化合物に占める単官能の重合性化合物の割合は90モル%以上である。 (もっと読む)


【課題】
難着霜性および除霜性に優れ、その優れた性能を長期間持続することが可能な被膜を形成できる親水化処理組成物、及び該親水化処理組成物を塗装してなる親水性被膜を有する熱交換器用部品を提供すること。
【解決手段】
特定の構造を有するポリエーテル化合物と反応して結合を形成することの可能な官能基を有する重合性不飽和モノマーと該ポリエーテル化合物の反応により得られるポリエーテル基含有重合性不飽和モノマーを含むモノマー混合物を重合して得られるポリエーテル基含有アクリル樹脂(A)と架橋剤(B)を含んでなることを特徴とする親水化処理組成物。 (もっと読む)


【課題】ゴム組成物および空気入りタイヤの原料として用いた場合に、ゴム組成物の低燃費性およびウェットグリップ性能をバランスよく向上させることができ、さらにタイヤのウェットグリップ性能を向上させることのできる変性共重合体、ならびに該変性共重合体を用いたゴム組成物および空気入りタイヤを提供する。
【解決手段】スチレンおよび1,3−ブタジエンの少なくとも1つと、アルコキシスチレンとを共重合して得られた共重合を変性した変性共重合体であって、変性は、共重合体の少なくとも一方の末端を変性剤を用いて行い、変性剤は、窒素、酸素およびケイ素よりなる群から選ばれる少なくとも1種の原子を含む官能基を有し、変性共重合体は、重量平均分子量が1.0×105以上2.5×106以下である。 (もっと読む)




本発明は、i)少なくとも1つの分岐変性ポリマー高分子(b1)および少なくとも1つの直鎖変性ポリマー高分子(a1)を少なくとも1つ含む第一組成物を提供し、少なくとも1つの分岐変性ポリマー高分子および少なくとも1つの直鎖変性ポリマー高分子は、それぞれ独立して、式(1A−1F)、それぞれ上述のように式1A、式1B、式1C、式1D、式1E、式1F、およびその組み合わせからなる群より選択される少なくとも1つのアミン基を含み、および少なくとも1つの分岐変性ポリマー高分子は、上述のように構造(ib1−ib4)の1つをさらに含み、および少なくとも1つの直鎖変性ポリマー高分子は、上述のように構造(iib1−iib2)の1つをさらに含む。 (もっと読む)


【課題】現像性が良好で且つポストベーク後の表面レチキュレーションの発生を抑制し得る着色感光性樹脂組成物及びパターン形成方法、並びに、表面レチキュレーションがなく、線幅感度、直線性及び耐熱性に優れた着色パターンを有するカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及び表示装置を提供する。
【解決手段】着色剤、バインダー樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、及び溶剤を含有し、前記着色剤の含有量が着色感光性樹脂組成物の固形分に対し質量分率で15質量%〜60質量%であり、前記バインダー樹脂が分子内に、アリル基を有する構造単位、N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び環状イミド基を有する構造単位から選択される構造単位と、酸性基を有する構造単位とを有し、前記重合性化合物がカルボキシル基含有多官能性単量体であり、前記光重合開始剤がロフィン系光重合開始剤又はオキシム系光重合開始剤である着色感光性樹脂組成物である。 (もっと読む)


【課題】石油系の原料及び特にバイオディーゼル又はバイオ燃料として知られる脂肪酸メチルエステルのような、植物系又は植物系の原料からの燃料油の低温流動性を改良するのに効果的なポリマーおよび当該ポリマーを含有する燃料組成物を提供する。
【解決手段】式Iの単位、式IIの単位、及び式IIIa又は式IIIbのいずれかの単位である構造単位、および必要に応じて式VIIの構造単位を有する高次ポリマーである三元重合体及びより高次のポリマー:
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