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Fターム[4J100BA16]の内容

付加系(共)重合体、後処理、化学変成 (209,625) | 構成元素 (28,779) | O含有基 (18,190) | −COOH基 (1,060)

Fターム[4J100BA16]に分類される特許

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【課題】 高感度、高解像性、良好なパターン形状、良好なラインエッジラフネス、及びアウトガスの低減を同時に達成可能とするポジ型感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いた感活性光線性又は感放射線性樹脂膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るポジ型感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、活性光線又は放射線の照射により分解して遊離酸を発生する含窒素複素環カチオン構造を側鎖に備えた繰り返し単位(A)を含んだ樹脂(P)を含有している。 (もっと読む)


【解決手段】環状構造を含む3級エステル型酸不安定基及び/又はアセタール型酸不安定基を有する繰り返し単位を含み、酸によってアルカリ現像液に可溶になる高分子化合物と、酸発生剤及び/又は酸と、アミノ基を有する化合物を発生させる光塩基発生剤と、必要により添加され、酸発生剤より発生する酸を中和することによって不活性化させるクエンチャーと、有機溶剤とを含むレジスト材料を基板上に塗布、露光、ベーク、アルカリ水現像によってネガパターンを得るパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、未露光部と過露光部がアルカリ現像液に不溶で、中間の露光量部分だけ現像液に溶解するデュアルトーンの特性を有することができる。 (もっと読む)


【課題】現像性が高く、耐刷性に優れた平版印刷版原版、並びにそれを用いた製版方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、星型ポリマー、ラジカル重合性化合物及びラジカル重合開始剤を含有する画像記録層を有する平版印刷版原版であって、該星型ポリマーが、スルフィド結合を介して中心骨格からポリマー鎖が分岐し、ポリマー鎖の側鎖に酸基及び架橋性基を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】優れた現像性を示し、耐熱性、耐溶剤性に優れ、色移り、色ムラを低減した着色パターンを形成し得る着色感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】(A)色素多量体、(B)重合性化合物、(C)光重合開始剤、及び(D)有機溶剤を含有し、(X)色素骨格を含まない無機金属塩の染料固形分に対する含有量が0.1質量%以下である着色感放射線性組成物。 (もっと読む)


【課題】ブリッジ欠陥及びスカムの発生を抑制でき、かつLWR性能に優れ、良好な微細パターンを形成することが可能なレジスト膜用の感放射線性樹脂組成物、及びこれを用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】[A]炭素数5〜21の直鎖状のアルキル基が結合している炭素原子と共に、核原子数4〜20の2価の脂肪族環状炭化水素基又は脂肪族複素環基を側鎖に有するアクリル構造単位(I)を有する含フッ素重合体、及び[B]感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】解像性のよいパターンを得ることができる着色感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】着色剤、樹脂、重合性化合物及び重合開始剤を含み、
樹脂が、不飽和カルボン酸に由来する構造単位を有する付加重合体に、オキシラニル基を有する不飽和化合物を反応させた樹脂を含み、
重合性化合物が、デンドリマーおよびハイパーブランチポリマーからなる群から選ばれる少なくとも1種を含む重合性化合物である着色感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】より簡単かつ簡便な位相差フィルムの製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】基板に,光反応性基を有する液晶性ポリマーと溶媒とを含んでなる組成物を塗布する工程と,該組成物を減圧乾燥するか,又は自然乾燥した後加熱乾燥することにより,該組成物中の溶媒を留去して,光反応性層を形成する工程と,該光反応性層に直線偏光を照射して,熱配向性層を形成する工程と,該熱配向性層を加熱処理する工程とを含むことを特徴とする,位相差フィルムの製造方法。 (もっと読む)


【課題】リソグラフィー性能を改善させると同時に、高い後退接触角を示し、更に、保護膜を用いる液浸露光及び保護膜を用いない液浸露光の両用においてブロッブ欠陥の発生を抑えることが可能なレジスト組成物及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】酸によってアルカリ溶解性が変化する高分子化合物(A)、高エネルギー線に感応して下記一般式(1)で示されるスルホン酸を発生する光酸発生剤(B)、下記一般式(2)で示される高分子添加剤(C)とを含むことを特徴とするレジスト組成物。R200−CFSOH(1)
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【課題】 500量体より大きな高分子量のポリアセチレンを分子量制御して高収率で得ることができるポリアセチレンの製造方法を提供する。
【解決手段】 モノマー溶液と触媒溶液を混合してポリアセチレンを製造する方法であって、触媒溶液とモノマー溶液を、前記触媒溶液と前記モノマー溶液の界面で接触させて混合溶液を得る工程を有し、かつ前記触媒溶液と前記モノマー溶液が接触した界面におけるモノマー溶液の界面距離(Lm)が、触媒溶液の界面距離(Lc)よりも大きいポリアセチレンの製造方法。(1)モノマー溶液の界面距離(Lm)とは、触媒溶液と接触するモノマー溶液の存在する領域で、モノマー溶液と触媒溶液の界面から最も遠い点までの距離を表す。(2)触媒溶液の界面距離(Lc)とは、モノマー溶液と接触する触媒溶液の存在する領域で、モノマー溶液と触媒溶液の界面から最も遠い点までの距離を指す。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、膜の硬度が高く、基材や下地などとの密着性が良好であり、誘電率や誘電正接といった電気特性に優れ、かつ透過率が高く、特に波長400nm付近の透過率が高い硬化膜を得ることが出来る感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】樹脂(A)と、光重合開始剤(B)と、酸化防止剤(C)と、光重合性モノマー(D)とを含有する感光性樹脂組成物であって、樹脂(A)が、(a1)、(a2)及び(a3)を共重合させて共重合体(a6)を得て、得られた共重合体(a6)と(a4)とを反応させて共重合体(a7)を得て、更に得られた共重合体(a7)と(a5)とを反応させて得られる樹脂(A1)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物により解決される。 (もっと読む)


【課題】解像性および耐久性のよいパターンを得ることができる着色感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)、(B)、(C)、(D)、(E)および(F)を含む着色感光性樹脂組成物。
(A)着色剤
(B)下記(a)と(b)を共重合させて得られる共重合体に、(c)を反応させて得られる樹脂
(a):不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種
(b):(a)と共重合可能な不飽和結合を有し、(a)とは異なる単量体
(c):炭素数2〜4の環状エーテル骨格及びエチレン性不飽和結合を有する単量体
(C)重合性化合物
(D)重合開始剤
(E)多官能チオール化合物
(F)溶剤 (もっと読む)


【課題】初期接着性と応力緩和性の優れた粘着剤の原料となり得る、1つの重合物中に高分子量の重合体と低分子量の重合体を含み、かつ低分子量重合体の量が相対的に多い重合物を容易に製造しうる方法を提供すること。
【解決手段】アクリル系単量体と、重合開始剤の存在下で重合を開始し、次いで、単量体の重合率が使用する全単量体量に対し、5〜40%となった時点で、全単量体に対し、0.1〜10質量%の連鎖移動剤を、一括で若しくは60分以内の時間をかけて添加することを特徴とする低分子量重合体と高分子量重合体を含み、低分子量重合体の方が多いアクリル系重合体の製造方法並びにこの方法により得られるアクリル系重合体およびこれを利用するアクリル系粘着剤組成物。 (もっと読む)


【課題】半導体工程のフォトレジストのコンタクトホールパターンの大きさを効率よく減少することによって、微細なフォトレジストパターンを形成することのできる水溶性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記の(式1)のように表示される水溶性重合体および第1水溶性溶媒を含み、コンタクトホールパターンが形成されているフォトレジスト膜上に塗布および熱処理することによって、前記コンタクトホールの大きさを減少させる水溶性樹脂組成物。
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【課題】低コストで安全に製造可能な多塩基酸ビニルモノマー共重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】スチレン無水マレイン酸共重合体を水またはアルカリ水溶液に溶解し、次いで、その水溶液を酸性にすることにより前記スチレン無水マレイン酸共重合体由来のスチレン単位と多塩基酸単位との共重合体を析出させて、この共重合体を含む多塩基酸ビニルモノマー共重合体を得る。 (もっと読む)


【課題】優れたCD均一性(CDU)のレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(aa)で表される構造単位と、式(ab)で表される構造単位とを有する樹脂及びこの樹脂と酸発生剤とを含有するレジスト組成物。


[式中、Raa1、Rab1は、水素原子又はメチル基;Raa2は、水素原子又はフッ化アルキル基;Raa3はフッ化アルキル基;Raa4は、酸の作用により酸素原子との結合〔O−Raa4〕が切断されない1価の基;naa1、nab1は1又は2;Aaa1は炭化水素基;Aab1は炭化水素基又は単結合;Wは脂環式炭化水素基;Aab2は脂肪族炭化水素基;Rab2はフッ化アルキル基等を表す。] (もっと読む)


【課題】良好なパターンプロファイル(矩形性)を示し、微細パターンの形成が可能となる着色感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】(A)着色感放射線性組成物における全固形分中の45質量%〜80質量%の着色剤と、(B)酸性基を有し、酸価25mgKOH/g以上である多官能(メタ)アクリル化合物及び親水基を有する多官能(メタ)アクリル化合物から選ばれる少なくとも1種の光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)溶剤とを含み、前記(A)着色剤における10質量%〜80質量%が下記式(A−I)で表される化合物である着色感放射線性組成物である。 (もっと読む)


【課題】強度の低下を抑えながら、シリカの分散性を向上させる。
【解決手段】共役ジエンユニットにおけるビニル結合量が20質量%以上である共役ジエン系ゴムポリマーに、分子内にオレフィン結合を有するとともにカルボキシル基、アルコキシル基、水酸基及びエポキシ基からなる群から選択された少なくとも1種の官能基を有する化合物と、メタセシス触媒を加え、前記メタセシス触媒により前記化合物を前記共役ジエン系ゴムポリマーに反応させることによって、変性ジエン系ゴムポリマーを得る。また、得られた変性ジエン系ゴムポリマーに、充填剤としてシリカを配合し、混合することでゴム組成物を調製する。 (もっと読む)


【課題】基板との密着性が高い塗膜を得ることができる高分子化合物を提供すること。
【解決手段】式(1):


[式(1)中、Rは炭素数2〜8の2価の炭化水素基を表し、Rは水素原子又はメチル基を表す;mは1〜20の整数を表し、mが2以上の整数である場合、複数のRは互いに同一でも異なっていてもよい]
で表される単量体(a)に由来する構造単位、及び
カルボキシ基とビニルオキシ基とを有する単量体(b)に由来する構造単位
を含む高分子化合物。 (もっと読む)


【課題】強度の低下を抑えながら、充填剤の分散性を向上させる。
【解決手段】共役ジエンユニットにおけるビニル結合量が20質量%以上である共役ジエン系ゴムポリマーに、メタセシス触媒を加えて反応させた後、得られた反応物に対し、分子内にオレフィン結合を有するとともにカルボキシル基、アルコキシル基、水酸基、エポキシ基及びアミノ基からなる群から選択された少なくとも1種の官能基を有する化合物を、メタセシス触媒により反応させることによって、変性ジエン系ゴムポリマーを得る。また、得られた変性ジエン系ゴムポリマーに、シリカやカーボンブラック等の充填剤を配合し、混合することでゴム組成物を調製する。 (もっと読む)


【課題】解像度及び耐溶剤性に優れるパターンを得ることができる硬化性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】樹脂、重合性化合物及び重合開始剤を含み、
樹脂が、式(1):


[式(1)中、Rは炭素数2〜8の2価の炭化水素基を表し、Rは水素原子又はメチル基を表す;mは1〜20の整数を表し、mが2以上の整数である場合、複数のRは互いに同一でも異なっていてもよい]で表される単量体に由来する構造単位、及び、カルボキシ基とビニルオキシ基とを有する単量体に由来する構造単位を含む樹脂である硬化性樹脂組成物。 (もっと読む)


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