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Fターム[4J100BC04]の内容

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Fターム[4J100BC04]に分類される特許

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【課題】イマージョンリソグラフィ工程において使用される溶媒に対して安定であり、感度、レジストパターンプロファイル形状に優れるレジスト組成物を提供すること。
【解決手段】(a1)酸解離性溶解抑制基を有する(メタ)アクリル酸エステルから誘導される構成単位、(a2)ラクトン単位を有する(メタ)アクリル酸エステルから誘導される構成単位、並びに(a4)多環式基を有する(メタ)アクリル酸エステルから誘導される構成単位を有し、かつ(a0)(a0−1)ジカルボン酸の無水物含有構成単位及び(a0−2)フェノール性水酸基含有構成単位を有さない、酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)と、(A)成分及び(B)成分を溶解する有機溶剤(C)と、含窒素有機化合物(D)とを含むポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】 高感度、高解像性、良好なパターン形状、良好なラインエッジラフネスを高次元で同時に満足するとともに、露光時のアウトガス性能が充分に良好な感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する繰り返し単位(A)と、1級又は2級の水酸基を備えた繰り返し単位(C)とを含んだ樹脂(P)を含有している。 (もっと読む)


【課題】得られるパターンのマスクエラーエンハンスメントファクターが良好なレジスト組成物を提供する。
【解決手段】樹脂、酸発生剤及び式(I)で表される化合物を含むレジスト組成物。


[式(I)中、R1〜Rは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。Aは、単結合又は炭素数1〜2のアルキレン基を表す。R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素数1〜2のアルキル基を表す。R及びRは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数3〜20の炭化水素基を表すか、或いはR及びRは、互いに結合して炭素数2〜12の複素環を形成してもよい。] (もっと読む)


【課題】室温(約15〜30℃)では適度な表面粘着性を有していて耐リーク性能に優れ、高温(例えば80〜90℃)環境下においたのちのガスケットの表面粘着性の増大が抑制されるガスケット用材料、該材料に活性エネルギー線を照射して得られるガスケット、及び該ガスケットを用いたハードディスク装置を提供すること。
【解決手段】(A)(メタ)アクリロイル基を有するエネルギー線硬化型液状オリゴマー及び(B)下記一般式(1)で示される(メタ)アクリレートモノマーを含有するガスケット用材料であって、前記(A)成分と(B)成分との配合比[(A):(B)]が、質量比で、97:3〜20:80であるガスケット用材料。


(式中、R1は、水素原子又はメチル基を表し、R2は、炭素数4〜18の鎖式飽和脂肪族炭化水素基を表す。Wは、エチレン基又はプロピレン基を表す。また、nは、0〜2の整数を表す。) (もっと読む)


【課題】表面自由エネルギーを低く保ったまま、表面硬度を高め、長期の使用によっても表面が傷付き難く、かつ、表面にトナー等が付着しにくい帯電部材の提供。
【解決手段】導電性の支持体と導電性の弾性層とを具備し、かつ、下記化学式(1)で示される化合物の硬化物を含有している表面領域を有する帯電部材:


(化学式(1)中、nは0以上6以下の整数を表し、mは0以上6以下の整数を表し、nとmとの合計は2以上6以下であり、xおよびyは各々独立に0以上4以下の整数を表し、RおよびRは各々独立に水素原子またはメチル基を表す)。 (もっと読む)


【課題】 特に露光光源として電子線、X線又はEUV光を用いるリソグラフィーにおいて、感度、解像力、パターン形状、ラインエッジラフネス、及びドライエッチング耐性を同時に満足する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物並びにそれを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する繰り返し単位(A)と、芳香環およびラクトン構造を有する繰り返し単位(C)を含む樹脂(P)を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】ガラス転移温度(Tg)が低いにもかかわらず、熱圧着時に変形し難い絶縁用の樹脂粒子を提供する。
【解決手段】本発明の樹脂粒子は、導電性粒子の表面に存在して該導電性粒子を絶縁するための樹脂粒子であって、少なくともアルキル(メタ)アクリレートと多価(メタ)アクリレートとを必須とする重合性成分の共重合物を含み、前記多価(メタ)アクリレートは各(メタ)アクリル基が互いに3個以上の炭素原子を介して結合したものである。 (もっと読む)


【課題】良好な着肉性及び高耐刷性を有する平版印刷版を与え、かつ、機上現像性が良好な平版印刷版原版及びその製版方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、(A)赤外線吸収染料、(B)重合開始剤、(C)重合性化合物および(D)アルキレンオキサイド基を有するバインダーポリマーを含有し、露光後に印刷機上で印刷インキおよび湿し水の少なくともいずれかにより未露光部を除去することで画像形成可能な画像記録層、並びに、(E)特定構造の繰り返し単位を有する親水性ポリマーを含有する保護層をこの順に設けてなることを特徴とする平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】現像後のディフェクト発生を抑制でき、リソグラフィー特性やパターン形状が良好なポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有し、基材成分(A)は、式(a0−1)で表される構成単位(a0)及び式(a1−1)で表される構成単位(a1)を有する高分子化合物(A1)を含み、(A1)を構成する全構成単位の合計に対し、構成単位(a0)の割合が10〜60モル%、構成単位(a1)の割合が10〜60モル%、これらの合計が70モル%以下であるポジ型レジスト組成物。
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【課題】ブリッジ欠陥が低減されたパターンを形成できる有機溶剤系現像液を用いたパターン形成方法及び該方法で用いられるリンス液を提供すること。
【解決方法】(ア)化学増幅型レジスト組成物を用いて膜を形成する工程、(イ)該膜を露光する工程、(ウ)有機溶剤を含む現像液を用いて現像する工程、及び(エ)有機溶剤を含み、かつ比重が前記現像液より大きいリンス液を用いてリンスを行う工程を含むパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】接着性および耐衝撃性に優れる両面粘着テープを得るために使用することができる粘着剤組成物、当該粘着剤組成物からなる粘着剤層を有する両面粘着テープ、および当該両面粘着テープを用いる接着方法を提供すること。
【解決手段】a)主成分モノマーとして、アルキル基の炭素数4〜12の(メタ)アクリル酸アルキルエステルと、b)全モノマー100重量%に対して5〜50重量%の、分子内にカルボキシル基を有しかつそのホモポリマーとしてのガラス転移温度が70℃以下であるモノマーと、からなるポリマーを含有する粘着剤組成物、基材の少なくとも片面に、当該粘着剤組成物からなる粘着剤層が形成されている両面粘着テープ、および、両面粘着テープとして当該両面粘着テープを用い、当該粘着剤組成物からなる粘着剤層の側に塗装面を接着し、もう一方の粘着剤層の側に部品を接着する、塗装面と部品とを両面粘着テープを用いて接着する方法。 (もっと読む)


【課題】ブリッジ前寸法等の解像力、DOFに優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】酸の作用により分解してアミド基又はチオアミド基を生じる樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】
常温乾燥型又は比較的低温での焼付け乾燥型の水性塗料組成物に使用したときに、形成される塗膜の耐水性を向上させることのできる変性ビニル系樹脂、及び該樹脂を用いた水性塗料組成物を提供すること。
【解決手段】
カルボキシル基とケトン性カルボニル基とを有する変性ビニル系樹脂であって、該変性ビニル系樹脂が、1級アミノ基、2級アミノ基及び水酸基からなる群より選ばれる少なくとも1種の官能基とケトン性カルボニル基とを有する化合物(A)と、酸無水物基含有ビニル系樹脂(B)とを反応させることにより得られたものであることを特徴とする変性ビニル系樹脂、及びヒドラジン誘導体とを含む水性塗料組成物。 (もっと読む)


【課題】カルボキシル基を利用して、抗体または抗原等のタンパクをはじめとする生体関連物質と化学結合することができ、かつ、結合した生体関連物質の検出感度が高い有機ポリマー粒子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】有機ポリマー粒子は下記式(1)で表される構造を有する。
【化1】


・・・・・(1)
(式中、Aはアルキリデン基、アルキレン基、シクロヘキシレン基、またはフェニレン基を表し、Bは炭素数1〜6の直鎖または分岐のアルキレン基またはアルキリデン基を表す。) (もっと読む)


【課題】感度、、解像力、ラインエッジラフネス(LER)、ドライエッチング耐性に優れ、かつ良好な形状のパターンを形成することができる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、この組成物を用いて形成されたレジスト膜、並びに、この組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する繰り返し単位(A)と、酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する繰り返し単位(B)とを含有する樹脂の間を酸分解性の架橋有機基で架橋してなり、酸の作用により該架橋が切断される高分子化合物(P)を含む感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、この組成物を用いて形成されたレジスト膜、並びに、この組成物を用いたパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】安価で、活性が高く、環境に優しく、かつ、ラジカル開始剤を必要としないリビングラジカル重合方法を提供する。
【解決手段】反応容器の気相中の酸素の量を適切な範囲に制御することにより、触媒を使用しなくてもリビングラジカル重合方法を行うことができる。ラジカル反応性不飽和結合を有するモノマーをラジカル重合反応させて、分子量分布の狭いポリマーを得ることができ、リビングラジカル重合のコストを劇的に低減することができる。本発明は、従来の触媒における毒性、低溶解性、着色・臭いなどの弊害を排除し、従来のリビングラジカル重合方法に比べて格段に環境に優しく経済性に優れる。 (もっと読む)


【課題】得られるパターンのマスクエラーエンハンスメントファクター(MEEF)をより改善することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】 重合体(IA)又は重合体(IB)の重合体と、酸に不安定な基を有し、かつアルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、酸発生剤とを含むレジスト組成物であって、重合体(IA)は式(I)のモノマーに由来する構造単位からなり、重合体(IB)は、式(I)のモノマーに由来する構造単位と、式(II)又は式(III)のモノマーに由来する構造単位からなる。


[式中、R、R及びRはH等;R、Rは飽和炭化水素基;A1、Aは−(CH−CO−O−*等;mは1〜6の整数;*はNとの結合手;Rは芳香族炭化水素基;Rは炭化水素基;Rはフッ化アルキル基;Aは2価の飽和炭化水素基を表す。] (もっと読む)


【課題】 洗浄時に優れた再汚染防止能を発揮することができ、界面活性剤との相溶性にも優れたアリルエーテル系重合体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 特定の構造を有する(i)アリルエーテル系単量体(A)に由来する構造単位(a)と、(ii)アミノ基含有単量体(B−1)、環状N−ビニルラクタム系単量体(B−2)、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート系単量体(B−3)、炭素数1〜20のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステル(B−4)、カルボン酸ビニル(B−5)から選ばれる単量体(B)に由来する構造単位(b)とを所定の範囲で含む、アリルエーテル系重合体である。 (もっと読む)


【課題】優れた液晶配向能を有する液晶配向膜を備えることで液晶の配向均一性が高いコレステリック液晶ディスプレイ、及びこのコレステリック液晶ディスプレイの製造方法、並びにこのような液晶配向膜を形成するために用いられる液晶配向剤を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、対向する一対の基板、この各基板と垂直方向に分割された基板間の複数の領域にそれぞれ配置されるコレステリック液晶、及び上記各基板とコレステリック液晶との間にそれぞれ積層される液晶配向膜を備えるコレステリック液晶ディスプレイであって、少なくとも一方側の上記液晶配向膜が感放射線性液晶配向剤によって形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】
塗料調色時の減粘現象が抑制され、塗装作業性に優れた水性塗料組成物を提供する。
【解決手段】
共重合体(A)、共重合体(B)及び樹脂エマルション成分(C)を含み、(A)が(m−1)炭素数3〜24のアルキル基を有するモノマー(a)を5〜100質量%含有するモノマー成分(I)を重合することにより得られる重合体鎖と重合性不飽和基とを有する数平均分子量が1,000〜7,000の範囲内のマクロモノマー、(m−2)ノニオン性の親水基を有するモノマー及び(m−3)その他のモノマーからなるモノマー成分(m)を共重合することにより得られる重量平均分子量が100,000以上の共重合体であり、(B)がポリオキシアルキレン鎖を有するモノマーを10〜40質量%含むモノマー成分を共重合して得られる酸価が20〜100mgKOH/g、重量平均分子量が100,000未満の共重合体であることを特徴とする水性塗料組成物。 (もっと読む)


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