【課題】数μｍ程度の凹凸を有するフレキシブルプリント基板の表面に厚み１０μｍ程度のめっき層を設けた場合に、得られるめっき層表面が平滑かどうかを判断しうる評価用冶具及びその製造方法の提供。
【解決手段】めっき平滑性を評価するための評価用冶具であって、前記評価用冶具１は、表面に凹凸形状部３ａ、３ｂを備える基板材料２からなり、前記基板材料２の表面に備わる凹凸形状部３ａ、３ｂが、高さが１〜３μｍ、径が２〜２０μｍの凸形状部３ａ、あるいは深さが１〜３μｍ、径が２〜２０μｍの凹形状部３ｂであることを特徴とする評価用冶具。 （もっと読む）

【課題】コンタクトピンと電極板との間の通電不良を防ぐことができるめっき装置を提供する。
【解決手段】めっき装置は、通電可能な凹状電極板２００と、上下可動に支持され、凹状電極板２００と通電するコンタクトピン１９０と、コンタクトピン１９０が下に移動して挿通する上面開口を有し、凹状電極板２００の上に形成された、液体を溜める凹部とを備える。 （もっと読む）

【課題】めっき膜における膜厚の均一性を向上させることができるめっき装置およびめっき方法、ならびに配線不良を低減することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一の態様によれば、基板Ｗの被めっき面Ｗ１が上向きとなるように基板Ｗを保持しつつ基板Ｗを回転させるホルダ３と、ホルダ３で保持された基板Ｗの周縁部Ｗ２に接触するカソード４と、ホルダ３で保持された基板Ｗの中央部Ｗ３に向けてめっき液Ｌを吐出し、かつアノードとしても機能するノズル６とを具備することを特徴とする、めっき装置１が提供される。 （もっと読む）

【課題】ワット浴を用いて鋼帯上に無光沢ニッケルめっきを施すニッケル電気めっき装置において、ステンレス鋼製配管の腐食と液漏れを防止することができ、その防食構造の維持管理が容易であり、めっき品質に悪影響を及ぼすことのないニッケルめっき装置を提供する。
【解決手段】電解槽１と循環タンク１１とを接続するステンレス鋼製配管１５とを有し、ステンレス鋼製配管１５には炭素鋼又は鉄からなる犠牲陽極２４を配設し、犠牲陽極２４は、ステンレス鋼製配管１５の外側から着脱可能に設置されてなることを特徴とするニッケル電気めっき装置である。ステンレス鋼製配管１５の外周にステンレス鋼製の枝管２１を設け、枝管２１の開口部にステンレス鋼製のフランジ２２を設け、フランジ２２にステンレス鋼製の蓋２３をネジ止めし、蓋２３の内側に前記炭素鋼又は鉄からなる犠牲陽極２４を配設すると好ましい。 （もっと読む）

【課題】低気孔率、高圧損、かつ装置の構成部材として十分な厚みや強度を持った多孔質構造体を備え、例えば電解めっき装置に適用した場合に、特に大面積で、表面に薄く電気抵抗が大きな導電層が形成された基板であっても、多孔質構造体の内部にめっき液を入り込ませることで、表面に、膜厚の面内均一性のより高いめっき膜を形成できるようにする。
【解決手段】陽極と陰極の一方の電極との接点を持つ被処理基板Ｗと、該被処理基板Ｗに対峙させた他方の電極との間に電解液を満たして被処理基板の電解処理を行う電解処理装置において、電解液の少なくとも一部に、1次粒子として内部に微細貫通孔を有する多孔質シリカ粒子を使用した多孔質シリカ構造体１１０を配置した。 （もっと読む）

【課題】複数のシリンダのシリンダ内周面に均一なめっき前処理を施すことができること。
【解決手段】複数のシリンダを備える多気筒シリンダブロックの各シリンダにおけるシリンダ内周面の一端側をシールして、このシリンダ内周面に処理液を導き、このシリンダ内周面に対向配置された電極の作用で、このシリンダ内周面をめっき前処理する多気筒シリンダブロックのめっき前処理装置（電解エッチング処理装置７２、陽極酸化処理装置７３）であって、シリンダブロック及び電極へ電気を供給する電源装置９２、９３と、シリンダ内周面と電極間へ処理液を送液する送液ポンプを８４、８７との少なくとも一方が、シリンダ毎に設置されたものである。 （もっと読む）

【課題】プリント配線基板等の銅めっきに際して、ウィスカーの発生を確実に抑制できると共に、めっき面の光沢外観も良好なウィスカー抑制方法を提供する。
【解決手段】電源電圧反転法を用いた銅めっき処理に際して、電解条件として次の〔条件１〕、〔条件２〕を採用するとともに、さらに被めっき物のＸ軸、Ｙ軸方向の揺動条件も規定した。
〔条件１〕印加する直流電源
(i)正電解時 電流値＝0.5〜20Ａ／dm^２、通電時間＝0.1〜1000ms
(ii)逆電解時 電流値＝0.5〜60Ａ／dm^２ 、通電時間＝0.01〜100ms
(iii)電流比 正電解の電流値：逆電解の電流値＝1：1〜1：3
(iv)通電時間比 正電解の通電時間：逆電解の通電時間＝20：1〜100：1
〔条件２〕電極間距離＝3〜300mm （もっと読む）

【課題】複数の被めっき物を同一治具で行うめっき処理において、めっき膜厚を均一に形成できる電気めっき方法を提供する。
【解決手段】めっき治具が複数の被めっき物を同一面内に固定保持し、陰極である被めっき物と陽極の間に配置される遮蔽板に前記被めっき物のそれぞれに対応する位置にそれぞれ貫通開口が設けられており、前記被めっき物が多角形であり、前記遮蔽板の貫通開口の形状が貫通開口の形状が多角形の各角が曲線で面取りされてなる形状であって、テスト電気めっきにおける所定位置のめっき厚と、該所定位置と被めっき物中心との距離との関係から１つの被めっき物とそれに対応する貫通開口の正規の位置関係を決定し、決定された正規の位置で電気めっきを行うことを特徴とする電気めっき方法。 （もっと読む）

【課題】気泡の抜けが比較的よいディップ式を採用し、バンプ等の突起状電極に適しためっき膜を、装置全体のコンパクト化を図りつつ、自動的に形成できるようにする。
【解決手段】複数のめっき槽４１４ａ，４１４ｂ，４１４ｃを備え、基板の表面に異なるめっき槽で順次めっきを行うめっき装置において、基板と該基板が入れられためっき槽のアノードとの間で単一のめっき電源４１６から通電してめっきを行う。 （もっと読む）

【課題】シリンダ内周面の一端側付近に障害物が存在している複雑な形状のシリンダブロックであっても、シール治具のシール精度を確保して、シリンダ内周面を確実にシールできること。
【解決手段】シリンダブロック１におけるシリンダ２のシリンダ内周面３のクランクケース面５側端部をシール治具１３がシールして、シリンダ内周面に処理液を導き、このシリンダ内周面をめっき前処理またはめっき処理するシリンダブロックめっき処理装置であって、シール治具１３が電極１２の先端に設置され、このシール治具のシール部材３３を作動させるエアジョイント１５がシール治具１３と分離して配置され、電極１２及びシール治具が、シリンダ内周面３のヘッド面４側端部からシリンダ２内へ挿入され、エアジョイント１５がシリンダブロック１のクランクケース面５側から挿入されて、シール治具１３と結合可能に構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】めっき皮膜の剥離、特にめっき皮膜の端部の剥離を確実に防止できるシリンダブロックのめっき処理方法及び装置を提供すること。
【解決手段】シリンダブロック１におけるシリンダ内周面３の一端（クランクケース面５側）を、シール治具１３を用いてシールして処理液を循環させ、シリンダ内周面３をめっき前処理またはめっき処理し、シール治具１３によるめっき処理時のシール位置を、めっき前処理が施された箇所に設定するものである。 （もっと読む）

【課題】めっき液に含まれる構成成分の濃度を演算し、めっき液の調整を適正に行い、めっき処理の品質を維持する。
【解決手段】めっき液に一または複数の添加剤を加えて半導体ウエハにめっき処理を行う工程（ステップＳ１）と、めっき処理の処理状態を示す一または複数のパラメータを測定する工程（ステップＳ３）と、パラメータからめっき液に含まれる構成成分の濃度を演算する工程（ステップＳ４）と、演算された構成成分の濃度が予め定めた閾値以内に収まるように、めっき液の調整処理を行う工程（ステップＳ６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】例えばルテニウム膜をシード層として該ルテニウム膜の表面にダイレクトめっきを行うのに先立って、たとえ３００ｍｍウェーハ等の大型の高抵抗基板であっても、ルテニウム膜表面の不動態層を確実に除去することで、その後のめっき時におけるターミナルエフェクトを改善し、しかも、めっき膜の膜質を改善し、微細配線パターンの内部にボイドのないめっき膜を埋込むことができる電解処理装置及び電解方法を提供する。
【解決手段】貴金属または高融点金属からなるシード層を有する基板Ｗの該シード層と対向する位置に配置されるアノード５２と、電解液６２で満たされた基板Ｗとアノード５２との間に、内部に電解液を含浸させて配置される多孔質体４６と、シード層表面の電場を制御してシード層表面に形成された不動態層を電解処理により電気化学的に除去する制御部５８を有する。 （もっと読む）

【課題】気泡の抜けが比較的よく、広い設置面積を必要としないディップ方式を採用し、しかもアノードとして強磁性体を使用したとしても、磁気異方性の均一性に影響を与えることを極力防止しつつ、基板表面に磁性体膜を形成することができるようにする。
【解決手段】内部にめっき液Ｑを保持するめっき槽４０と、めっき槽４０の内部のめっき液Ｑに浸漬される位置に鉛直に配置されるアノード２２０と、基板Ｗを保持してアノード２２０と対向する位置に位置させる基板ホルダ２６と、めっき槽Ｑの外方に配置され、基板ホルダ２６で保持してアノード２２０と対峙した位置に位置させた基板Ｗの周囲に磁界を発生させる磁界発生装置１１４を有する。 （もっと読む）

【課題】通電電極を下地電極に接続する際のウエハに対する物理的ストレス軽減するめっき装置及びめっき方法を提供する。
【解決手段】本発明によるめっき装置は、半導体基板３１上の下地電極層に密着可能な開口部２２０を有するカバー２２と、下地電極層上の絶縁膜３３を溶解する溶剤をカバー２２によって覆われた領域に供給し、カバー２２によって覆われた下地電極３２上の絶縁膜３３を除去する溶剤供給部４０と、絶縁膜３３が除去されることで露出した下地電極３２に、開口部２２０を介して当接する通電電極２１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】実用化の障害となるめっきの長時間化を改善し、貫通電極による三次元実装を実現するのに好適な導電材料構造体をより短時間で形成できるようにする。
【解決手段】貫通電極用凹部１２を形成した基板Ｗの表面の該凹部１２表面を含む全表面に導電膜１４を形成し、基板Ｗ表面の所定位置にレジストパターン３０を形成し、導電膜１４を給電層とした第１めっき条件で第１電解めっきを行って貫通電極用凹部１２内に第１めっき膜３６を埋込み、貫通電極用凹１２部内への第１めっき膜３６の埋込みが終了した後に、導電膜１４及び第１めっき膜３６を給電層とした第２めっき条件で第２電解めっきを行って、レジストパターン３０のレジスト開口部３２に露出した導電膜１４及び第１めっき膜３６上に第２めっき膜３８を成長させる。 （もっと読む）

【課題】電極を電極ホルダ部材に着脱可能に取り付けるねじ部でのスパークの発生を防止して、電極のメンテナンス性を向上できること。
【解決手段】シリンダ１のシリンダ内周面２に電極１１を対向して配置させ、これらの電極とシリンダ内周面間に処理液を介在させた状態で電極とシリンダに通電することで、シリンダ内周面をめっき前処理またはめっき処理し、金属製の電極１１が金属製の電極ホルダ部材１２に着脱可能に取り付けられる表面処理装置の電極取付構造において、ねじ部３０が設けられた樹脂製のカプラ部材１３を用い、このカプラ部材のねじ部３０を、電極ホルダ部材１２に形成されたねじ部２２に螺合させることで、電極１１を電極ホルダ部材１２に取り付けるよう構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】シリンダブロックの着脱時に、このシリンダブロックのシリンダ内周面と電極との接触を容易に防止して、これらのシリンダ内周面及び電極の損傷を回避できると共に、作業効率を向上できること。
【解決手段】シリンダブロック１００のシリンダ内周面１０６にめっき前処理またはめっき処理を施すめっき処理装置１０において、シリンダブロックのクランクケース側外壁には、クランクケース面１１０に垂直で、且つシリンダボアの軸心Ｐ方向に平行な平面部１１６、１１７が対向して形成され、シリンダブロックのクランクケース面１１０に接してこのシリンダブロックを載置可能なワーク載置台１７に電極１２が突設されると共に、ワーク載置台において前記平面部１１６、１１７に正対可能な位置に、この平面部をスライドさせるスライド面４１Ａ、４２Ａを有する挿入ガイド４１、補助ガイド４２が、筒状電極１２と平行に立設されたものである。 （もっと読む）

【課題】フープ材１に切り起こしがあってもフープ材１の位置案内が可能で、またフープ材１の上下方向の微妙な変化にも対応できる搬送フープ材１の位置案内装置８をもたらす。
【解決手段】フープ材１幅方向Ｍの一端側案内ユニット１８と、他端側案内ユニット１９を備え、一端側案内ユニット１８は、一端側回転軸２１を中心に揺動可能で先端にて一端側を位置案内する一端側案内部１６と、該回転軸２１の搬送方向前後に一端側案内部１６を押圧する一端側コイルバネ２２、２２を備え、他端側案内ユニット１９は、他端側回転軸２８を中心に揺動可能で先端にて他端側を位置案内する他端側案内部１７と、他端側案内部１７を押圧する他端側コイルバネ２９、２９とを備え、一端側回転軸２１と他端側回転軸２８は幅方向に移動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】小径でアスペクト比の大きいビアホールであっても、ボイドの発生しない緻密な導電体を形成可能な電気めっき装置を提供する。
【解決手段】めっき液７を蓄えためっき槽８と、このめっき槽８中に浸漬され、主表面に被めっき体１を固定するとともに前記被めっき体１に形成した配線２と電気的に接続する給電リング１８を備えたカソード電極９と、このカソード電極９と対向して設けられ、めっき液７に通電するためのアノード電極１２と、貫通孔１７を有し前記アノード電極１２およびカソード電極９間に設けられた電流遮蔽板１１と、めっき槽８からの余剰なめっき液７を蓄えるためのリザーブ槽１５と、このリザーブ槽１５のめっき液７を底部から供給することで、めっき槽８中のめっき液７を対流させる対流ノズル１３を備えた電気めっき装置６であって、電流遮蔽板１１とカソード電極９間に、対流させためっき液７をさらに撹拌させる撹拌手段１０を設けた。 （もっと読む）