【課題】放射線硬化性のモノマー又はオリゴマーが含有された塗布膜を放射線により硬化させた下層を設け、その下層上に真空成膜法により無機膜を設けた積層体の製造方法おいて、上層（無機膜）の平滑性や被覆率の低下を抑制することができる積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】硬化工程前に、基材上の塗布膜を第１の所定時間に渡り第１の圧力で処理し、硬化工程では、基材上の塗布膜を第２の所定時間に渡り第１の圧力より高い第２の圧力で処理し、真空成膜工程では、第３の所定時間に渡り第１の圧力より低い第３の圧力で処理する。 （もっと読む）

【課題】放射線硬化性のモノマー又はオリゴマーが含有された塗布膜を放射線により硬化させた下層を設け、その下層上に真空成膜法により無機膜を設けた積層体の製造方法おいて、上層の被覆率の良い積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）：基材上に放射線硬化性のモノマー又はオリゴマーが含有された塗布液を塗布して塗布膜を設け、塗布膜を加熱処理し、加熱処理後の塗布膜を放射線により硬化させて有機層を成膜する工程と、（ｂ）：工程（ａ）を繰り返すことで２層以上の有機層を含む下層を形成する工程と、（ｃ）：下層上に真空成膜法により無機膜を形成する工程と、で積層体を製造する。 （もっと読む）

【課題】酸素バリア性と水素バリア性を有し、強誘電体キャパシタの構造が簡単で製造方法が容易な強誘電体メモリ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】プラグ電極２４に接続された導電性バリア膜１と、導電性バリア膜１上に配置され、導電性バリア膜１を介してプラグ電極２４に接続された下部電極２と、下部電極２上に配置された強誘電体膜３と、強誘電体膜３上に配置された上部電極４と、上部電極４上に配置された導電性水素バリア膜５と、導電性水素バリア膜５上に配置され、導電性水素バリア膜５を介して上部電極４に接続されたＶＩＡ電極２６と、導電性水素バリア膜５上、および導電性バリア膜１，下部電極２、強誘電体膜３，上部電極４，および導電性水素バリア膜５の側壁上に配置された絶縁性水素バリア膜６とを備える。 （もっと読む）

【課題】
シート幅方向で蒸発した金属蒸気の量に差がある場合でも、蒸発源の幅を広げるなどの対策をとることなくシート幅方向の端部の膜厚および透過率が中央部と同等な金属酸化物薄膜付きシートを製造する方法および装置を提供する。
【解決手段】
減圧雰囲気下において、シート案内面に接触しながら搬送されているシート上に、金属材料を溶融させた蒸発源から前記シートに向けて金属蒸気を飛来させると同時に、前記金属蒸気内に酸素を導入し、前記シート上に連続的に金属酸化物薄膜を形成する金属酸化物薄膜付きシートの製造方法であって、前記酸素を、シート幅方向において異なる高さの複数箇所から前記金属蒸気に導入することを特徴とする金属酸化物薄膜付きシートの製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】 高品質かつ生産効率の高い両面蒸着フィルムの製造方法および両面蒸着フィルムを提供すること。
【解決手段】 一方の表面に導電性を有する蒸着膜ａが形成された高分子フィルムを、表面に絶縁性の高分子材料が貼り付けられた冷却ロール上に、前記高分子フィルムの蒸着膜ａが形成された表面と冷却ロール上の高分子材料とが接触するように連続的に供給し、蒸着膜ａと冷却ロールとの間に電圧を印加して前記高分子フィルムを冷却ロールに密着させた状態で、高分子フィルムの他方の面に蒸着膜ｂを形成せしめて、高分子フィルムの両面にそれぞれ蒸着膜ａと蒸着膜ｂとが形成された両面蒸着フィルムを連続的に巻き取る。 （もっと読む）

本発明は、層状構造を備える傾斜バリア膜であって、前記層状構造は、金属酸化物から構成される第１層と、該第１層上に配置される金属窒化物又は金属酸窒化物から構成される第２層と、該第２層上に配置される金属酸化物から構成される第３層と、を備える傾斜バリア膜に関する。本発明は、更に、この傾斜バリア膜を製造するスパッタリング方法、並びにこの傾斜バリア膜でカプセル化された装置に関する。 （もっと読む）

【課題】アーキングの抑制とクリーニング頻度の低減により、欠点の少ない膜を生産性よく製造する。
【解決手段】陽極部(30)の内部又はその近傍に補正磁気回路(32)を設け、ターゲット(18)を貫通する磁力線の一部が防着板(27)を迂回して陽極部(30)の一部を貫通する磁界を形成する。防着板(27)は、補正磁気回路(32)単独の磁力線が陽極部(30)表面の法線と最も平行に近くなる点のうち、該法線方向の前記陽極の一部を貫通する磁界の貫通位置に近い方の点における法線の方向(48)とのなす角度が１０度以下の着膜側表面(27Ａ)を有する。 （もっと読む）

【課題】 ガスバリア性、特には高湿度下での水蒸気バリア性に優れ、更には断熱性能にも優れた多層フィルム及び真空断熱構造体を提供すること。
【解決手段】多段蒸着により形成された蒸着基材フィルム（Ａ）／ガスバリア性フィルム（Ｂ）の層構成を有する多層フィルム、及び該多層フィルムと断熱性材料を含み、該多層フィルムが、断熱性材料を密封包装している真空断熱構造体。 （もっと読む）

【課題】所定の有機膜と無機膜とを有する機能性フィルムの製造において、目的とする性能を有する機能性フィルムを安定して製造することを可能にする。
【解決手段】基板の表面に有機膜を成膜する有機成膜装置と、真空成膜法によって無機膜を成膜する無機成膜装置とを有し、かつ、無機成膜装置は、成膜位置の上流に有機膜を押圧して平坦化する平坦化ローラを有し、その後、有機膜に接触することなく無機膜を成膜する構成を有することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】シート表面に５０〜３００ｎｍという比較的厚い酸化金属薄膜であっても高速でかつ厚み方向の酸化度を均一に形成できる金属酸化物薄膜付シートの製造装置ならびに金属酸化物薄膜付きシートの製造方法を提供する。
【解決手段】シート１と接触しながらシートを搬送するシート案内面３を有し、シート案内面の運動に伴ってシートを搬送する搬送手段と、シート案内面上のシートに向かって金属蒸気１０を飛散させる蒸発源８と、金属蒸気と酸化反応させるために酸素を導入する酸素導入手段とを備え、搬送されるシートに連続的に金属酸化物薄膜を形成する金属酸化物薄膜付シートの製造装置であって、酸素導入手段が導入管をシート幅方向に複数個配列するとともに、蒸発源７のシート搬送方向２５の上流側および下流側に配置され、かつ導入管が蒸発源とシート案内面との間の領域に向けて突出していることを特徴とする金属酸化物薄膜付シートの製造装置。 （もっと読む）

【課題】簡便な製法により従来よりもバリア性が高い有機無機積層型のバリア性積層体を提供する。
【解決手段】プラスチックフィルム支持体上に、少なくとも１層の有機層と、少なくとも１層の無機層とを有するバリア性積層体を製造する方法において、支持体にバイアスを印加しながら前記有機層をスパッタリング法によって成膜する。 （もっと読む）

【課題】よりバリア性の高いバリア性フィルム基板を提供する。
【解決手段】支持体上に有機領域と無機領域とを有するバリア性フィルム基板を、支持体を搬送しながら製造する方法であって、有機領域を設ける工程と、無機領域を設ける工程と、支持体上の一部または全部に磁性層を設ける工程とを含み、かつ、支持体を搬送する工程の全部または一部を、前記磁性層と反対の磁極を示す磁性部分３１を有する搬送体を用いて、磁性層の磁力と磁性部分の磁力とが引き合うようにしながら行うことを特徴とする、製造方法。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法により従来よりもバリア性が高い無機層を成膜すること。
【解決手段】無機層を成膜する面の面積がａ（単位：ｃｍ²）である支持体を、容積が１００ａ（単位：ｃｍ³）以下である第１真空槽へ搬入して真空状態とし、真空状態を維持したまま支持体を第２真空槽へ搬送して、第２真空槽内にて支持体上に無機層を真空成膜する。 （もっと読む）

【課題】液状物質を収納する液体紙容器を形成するために用いられる積層部材であって、アルミニウム層やアルミニウム箔などを積層しないでも高いバリア性を示し、かつそのガスバリア性が劣化し難いようにした液体紙容器形成用積層部材の提供を目的とする。
【解決手段】紙基材の一方の面には熱可塑性樹脂層が、他方の面にはバリア性プラスチックフィルムが積層され、さらに最内層となる側にはシーラント層が積層されている積層部材であって、前記バリア性プラスチックフィルムは、プラスチックフィルム基材上のプラズマ処理面を介して酸化アルミニウムの蒸着薄膜層と、Ｓｉ（ＯＲ¹）₄およびＲ²Ｓｉ（ＯＲ³）₃（ＯＲ¹、ＯＲ³は加水分解性基、Ｒ²は有機官能基）で表されるケイ素化合物あるいはその加水分解物と、水酸基を有する水溶性高分子とが混合されているコーティング溶液からなる薄膜の加熱乾燥被膜であるガスバリア性被膜層とがこの順序で積層されている。 （もっと読む）

【課題】物理蒸着法による薄膜の形成時において、処理室内に堆積する膜のクラックの発生を防止し生産性を向上させることが可能な成膜方法及び電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、物理蒸着法により処理室内において被蒸着物上に薄膜を形成する成膜方法において、内部応力が引張応力及び圧縮応力のうちのいずれか一方を示す第１の膜を形成する第１の成膜工程と、内部応力が、引張応力及び圧縮応力のうちの前記第１の膜が示す方とは異なる方を示す第２の膜を形成する第２の成膜工程と、を同一の前記処理室内において交互に実施することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、従来得られていた無機酸化物蒸着膜に比べてより微細な空孔を有し、酸素ガス及び水蒸気に対するガスバリア性が向上された無機酸化物蒸着膜を有する新規蒸着フィルム、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 プラスチックフィルムからなる基材の一方の面に、無機酸化物蒸着膜を１層又は２層以上積層した蒸着フィルムであって、該無機酸化物蒸着膜中に形成される空孔の最大直径が０.５ｎｍ以下である、蒸着フィルムを提供する。 （もっと読む）

【課題】低から中屈折率ガラスにおいて優れた透過率特性を有し、フレアやゴースト等の発生が少なく、かつ優れたヤケ防止効果を有する反射防止膜及びこれを有する光学部品、交換レンズ及び撮像装置を提供する。
【解決手段】基板上に、第１層〜第３層を基板側からこの順に積層してなる反射防止膜であって、波長領域400〜700 nmの光において、基板の屈折率が1.53以上1.60未満であり、第１層がアルミナを主成分とし、光学膜厚が25.0〜250.0 nmであり、第２層の屈折率が1.40〜1.50、光学膜厚が100.0〜145.0 nmであり、第３層がシリカを主成分とする多孔質層であり、光学膜厚が100.0〜132.5 nmであることを特徴とする反射防止膜。 （もっと読む）

【課題】有機層と無機層の密着性が十分に高くて、バリア性に優れている有機無機積層型の積層体を簡便な方法で提供する。
【解決手段】少なくとも１層の無機層と少なくとも１層の有機層を含む積層体の製造法であって、無機層の表面に、珪素原子またはチタン原子を含む有機カップリング剤を気相分子堆積法によって吸着させる工程と、珪素原子またはチタン原子を含む有機カップリング剤を吸着させた無機層上に有機層を設置する工程を含む積層体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】視感反射率が小さく、視感透過率が高いという優れた反射防止膜を有するだけでなく、光学部材のＳｉＯ₂とＡｌ₂Ｏ₃からなる成膜原料を用いてなる低屈折率層の薄膜において、膜密度を向上させ、耐スクラッチ性に優れた光学部材を提供すること。
【解決手段】プラスチック基材と、真空蒸着で形成された反射防止膜とを有する光学部材であって、反射防止膜中の少なくとも１層が、ＳｉＯ₂とＡｌ₂Ｏ₃とからなる成膜原料を用いてなる層を具備し、該層はナノインデンテーション測定法において、押し込み荷重０．９８ｍＮのときの押し込み深さが７０〜９５ｎｍである低屈折率層の反射防止膜を有する光学部材。 （もっと読む）

【課題】所定の有機膜と無機膜とを有する機能性フィルムの製造において、目的とする性能を有する機能性フィルムを安定して製造することを可能にする。
【解決手段】基板の表面にポリマーを主成分とする有機膜を成膜し、その後、真空成膜法によって無機膜を成膜し、かつ、前記無機膜の成膜を終了するまでは、真空中において前記有機膜の表面に接触することなく、前記有機膜を成膜した基板の処理を行なうことにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）