【課題】大きな接触応力が作用するような条件下や無潤滑下においても好適に使用可能な転がり部材及び転動装置を提供する。
【解決手段】スラスト玉軸受は、内輪１と外輪２と複数の玉３と、を備えている。内輪１，外輪２，及び玉３は、炭素を０．５質量％以上１．２質量％以下、ケイ素を０．５質量％以上１．５質量％以下、マンガンを０．１質量％以上２質量％以下、クロムを１質量％以上２．５質量％以下含有し、残部が鉄及び不可避の不純物である鋼で構成されており、内輪１及び外輪２の軌道面１ａ，２ａ並びに玉３の転動面３ａには、潤滑性を有するＤＬＣ層Ｄが設けられている。ＤＬＣ層Ｄは、Ｃｒ，Ｗ，Ｔｉ，Ｓｉ，Ｎｉ，及びＦｅのうちの２種以上の金属からなる金属層Ｍと、前記金属及び炭素からなる複合層Ｆと、炭素からなるカーボン層Ｃと、の３層で構成されていて、該３層は表面側からカーボン層Ｃ，複合層Ｆ，金属層Ｍの順に配されている。 （もっと読む）

【課題】均一な超撥水膜を成膜することができるプラズマ成膜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】円柱状又は短冊状で軸中心部３１ａが周辺部３１よりも密度が高い分布をもつプラズマを用い、圧力が高く気体の拡散が少ない雰囲気下で気相成長もしくは重合により基板２８に成膜を行う成膜装置において、反応ガス３２を供給するガス管２７が複数に分岐され、該分岐されたガス管の噴出口はガス流が該プラズマの軸中心の周辺部に向かって噴出されるように配置され、かつ、該基板は成膜面３３の背面側から覆われるように囲い３６が設置されていることを特徴とするプラズマ成膜装置。 （もっと読む）

【課題】屈折率が高く、緻密なＭｇＯ膜を提供する。
【解決手段】真空槽１２内に蒸発源２３を配置し、酸素ガスを導入しながら電子線２８を照射してＭｇＯの蒸気を放出させ、制限板１８に形成された開口１７を通過させ、パネル１０の表面に到達させる。このとき、制限板１８とパネル１０の間の位置に気体の水を導入すると、屈折率が高く、(１ １ １)ピーク強度の大きいＭｇＯ膜が得られる。酸素分圧に対するＨ₂の分圧の比には適量があり、０．２以上１．５以下の範囲で導入するとよい。 （もっと読む）

【課題】成膜過程における酸素欠損や不純物の混入を防止して二次電子放出特性に優れたＳｒＯとＣａＯを主成分とする蒸着膜を形成する方法及びこれを用いたプラズマディスプレイパネル製造装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ＳｒＯとＣａＯを主成分とする蒸発材料を用い、真空処理槽内において処理対象基板上に蒸着膜を形成する方法であって、当該蒸着の際、真空処理槽内を真空排気しつつ、真空処理槽内にＯ₂ガスを導入してその分圧が所定の範囲となるように制御するとともに、真空処理槽内における残留不純物ガスの分圧が所定の値以下となるように制御する（Ｓ１２）ものである。このとき、真空処理槽内におけるＯ₂ガスの分圧は、１×１０^-3Ｐａ〜０．１Ｐａとすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高いガスバリア能を有し、かつカール耐性に優れたガスバリア性薄膜積層体、ガスバリア性樹脂基材を高い生産性で提供し、またガスバリア性薄膜積層体、ガスバリア性樹脂基材を用いて密着性及びガスバリア耐性に優れた有機エレクトロルミネッセンスデバイスを提供する。
【解決手段】ポリマー膜と無機膜をそれぞれ少なくとも１層有するガスバリア性薄膜積層体において、該ポリマー膜の少なくとも１層が、大気圧またはその近傍の圧力下で重合性モノマーを含むガスを基材の表面に吹き付け、基材表面上で重合させて形成された重合膜であることを特徴とするガスバリア性薄膜積層体。 （もっと読む）

【課題】屋外使用時に、クラックなどが発生し難い太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを提供する事にある。
【解決手段】フィルム基材層の片面に酸化アルミニウムの蒸着薄膜層を積層し、その上にＳｉ（ＯＲ¹）₄で表されるケイ素化合物あるいはその加水分解物と、水酸基を有する水溶性高分子と、Ｒ²Ｓｉ（ＯＲ³）₃で表されるケイ素化合物あるいはその加水分解物との複合物からなるガスバリア性被膜層を積層してなるガスバリアフィルムの片面に一般グレードポリエステルフィルム層を積層し、他方の面に耐加水分解グレードポリエステルフィルム層を積層した積層体からなり、一般グレードポリエステルフィルム層及び耐加水分解グレードポリエステルフィルム層の少なくとも一つの層が白色フィルムからなり、その太陽電池用裏面保護シートを用いた太陽電池モジュール。 （もっと読む）

【課題】量産性向上と経時変化改善の両立が可能となるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）およびその製造方法を提供する。
【解決手段】走査電極と維持電極とからなる複数の表示電極および誘電体層が順次形成されるとともに、誘電体層が保護膜で被覆された第１の基板ＰＡ１と、第１の基板ＰＡ１との間に放電空間が形成されるように対向配置されかつ表示電極と直交する方向に形成されたアドレス電極を有するとともに放電空間を区画する隔壁間に蛍光体層を形成した第２の基板とを備えたプラズマディスプレイパネルにおいて、保護膜が厚み方向に変化する屈折率を有し、かつ保護膜の誘電体層に近い下層側の屈折率が上層側の屈折率よりも小さい構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、酸素や水蒸気に対するバリア性の良好なガスバリアフィルムを提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、基材と、上記基材の少なくとも一方の面に形成され、蒸着膜からなるガスバリア層と、上記ガスバリア層上に形成され、有機金属化合物の加水分解物またはＭ_２Ｏ・ｎＳｉＯ_２（Ｍはリチウムまたはリチウムを含む複数のアルカリ金属、ｎはモル比で１〜２０の範囲内）で表されるアルカリ金属ポリシリケート、およびポリエチレンイミンを含有する膜からなるゾルゲルコート層とを有することを特徴とするガスバリアフィルムを提供することにより、上記目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、酸素や水蒸気に対するバリア性の良好なガスバリアフィルムを提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、基材と、上記基材の少なくとも一方の面に形成され、蒸着膜からなるガスバリア層と、上記ガスバリア層上に形成され、有機金属化合物の加水分解物またはＭ_２Ｏ・ｎＳｉＯ_２（Ｍはリチウムまたはリチウムを含む複数のアルカリ金属、ｎはモル比で１〜２０の範囲内）で表されるアルカリ金属ポリシリケート、および無機層状化合物を含有する膜からなるゾルゲルコート層とを有し、上記ゾルゲルコート層の膜厚が、０．０１μｍ〜５０μｍの範囲内であることを特徴とするガスバリアフィルムを提供することにより、上記目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】薄膜形状を工夫することにより電池性能を確保し、製造時間を短縮する。またリード線等を用いずに電極の取り出しを行う。
【解決手段】基板１０上に、正極集電体層２０Ａ、正極活物質層３０、固体電解質層４０、負極活物質層５０、負極集電体層２０Ｂを積層した薄膜固体二次電池１において、正極集電体層２０Ａと負極集電体層２０Ｂは、それぞれ一端側が電池可動部分よりも外側に延出し、大気に露出されて電極取り出し部２１ａ，２１ｂとなっている。電極取り出し部２１ａ，２１ｂの形状および位置を工夫することで、リード線等を用いずに薄膜のみで複数の電池セルを直列、並列に接続できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、酸素や水蒸気に対するバリア性の良好なガスバリアフィルムを提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、基材と、上記基材の少なくとも一方の面に形成され、蒸着膜からなるガスバリア層と、上記ガスバリア層上に形成され、有機金属化合物の加水分解物またはＭ_２Ｏ・ｎＳｉＯ_２（Ｍはリチウムまたはリチウムを含む複数のアルカリ金属、ｎはモル比で１〜２０の範囲内）で表されるアルカリ金属ポリシリケート、および窒素含有ケイ素化合物を含有する膜からなるゾルゲルコート層とを有し、上記ゾルゲルコート層の膜厚が、０．０１μｍ〜５０μｍの範囲内であることを特徴とするガスバリアフィルムを提供することにより、上記目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、蒸着膜を有するガスバリアフィルムであって、ガスバリア性に優れ、安価なガスバリアフィルムを提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、樹脂からなる基材と、上記基材上に形成され、蒸着膜である第１無機層と、上記第１無機層上に形成され、超微粒子で形成された膜である第２無機層とを有することを特徴とするガスバリアフィルムを提供することにより、上記目的を達成するものである。 （もっと読む）

【課題】 光触媒の活性が高くガラス等の透明度を必要とする基材においても透明度が高く、付着強度の高い光触媒リン酸カルシウム薄膜を提供する。
【解決手段】 基材表面上にスパッタリング法を用いて、基材側に二酸化チタン、その表面にアモルファス緻密リン酸カルシウム薄膜がコーティングされていることを特徴とする光触媒。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ダークスポット等の欠陥のない良好な画像表示が可能な有機ＥＬ素子用バリア性基板および有機ＥＬ表示装置を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、基板と、上記基板上に形成され、蒸着膜である第１無機絶縁層と、上記第１無機絶縁層上に形成され、超微粒子で形成された膜である第２無機絶縁層とを有することを特徴とする有機ＥＬ素子用バリア性基板を提供することにより、上記目的を達成するものである。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、低コストで高度なガスバリア性を有するガスバリア性フィルムおよびかかるガスバリア性フィルムを簡便かつ安定して製造することができる方法を提供せんとするものである。
【解決手段】
本発明のガスバリア性フィルムは、高分子フィルム上に無機化合物層を有するフィルムであって、Ｘ線光電子分光法により測定される該無機化合物層内のＡｌ原子濃度に対するＯ原子濃度の比率が２〜３、ＳＩＭＳにより測定される該無機化合物層内のＣ原子濃度が１×１０^２１〜１×１０^２２ａｔｏｍｓ／ccであることを特徴とするものである。
かかるガスバリア性フィルムの製造方法は、高分子フィルムを巻き出したのち、次いで、金属を蒸気化して該フィルム表面上に無機物層を形成する際に、該無機物層を、該無機物層形成時に投入される酸素原子数に対する炭素原子数の０．１〜１０％である炭素元素含有ガスプラズマ雰囲気中で形成することを特徴とするものである。
（もっと読む）

【課題】大きな圧電性を有する圧電体、その製造方法及び圧電素子並びにそれを用いた均一で高い吐出性能を示し、微細なパターニングを行うことが可能な液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】単結晶または１軸配向結晶の圧電体であり、該圧電体の単位格子の３つの格子長さａ、ｂ、ｃが、それぞれ同温度かつ同組成のバルク状単結晶体の単位格子の格子長さａ₀、ｂ₀、ｃ₀より小さく、かつ前記圧電体の単位格子の体積が、同温度かつ同組成のバルク単結晶体の単位格子の体積より小さいことを特徴とする圧電体。 （もっと読む）

【課題】表面平坦性と水蒸気バリア性が向上した粘土薄膜基板、および、その粘土薄膜基板を用いた表示素子を提供する。
【解決手段】粘土薄膜基板は、粘土粒子が配向して積層した構造を有する粘土薄膜１１の少なくとも片面に、ガスバリア無機質層１２が積層されている。また、他の粘土薄膜基板においては、粘土粒子が配向して積層した構造を有する粘土薄膜の少なくとも片面に、平坦化無機質層が積層され、該平坦化無機質層の上に、ガスバリア無機質層が積層されている。ガスバリア無機質層は、窒素を含む酸化珪素膜よりなり、平坦化無機質層は、炭素を含む酸化珪素膜よりなる。これらの粘土薄膜基板は、エレクトロルミネッセンス表示素子および液晶表示素子の基板に好適に使用できる。 （もっと読む）

【課題】結晶性が制御されて高い配向性を有し優れた圧電特性を有し、圧電体膜と電極との密着性が高く、膜剥がれが抑制されて耐久性が高い圧電体及び、作動環境の温度が変化しても圧電特性が劣化しない圧電体を得て、これを用いた圧電体、圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置を提供する。
【解決手段】特定のＡＢＯ₃ペロブスカイト型酸化物の積層構造を有し、積層構造が、第１の結晶相の層と、該第１の結晶相と異なる結晶相を有する第２の結晶相の層と、第１の結晶相の層と第２の結晶相の層との間に設けられる境界層とを有し、第１の結晶相と第２の結晶相が特定の結晶相を有し、境界層が結晶相が層の厚さ方向において漸次に変化するものであり、積層構造全体として、単結晶構造または一軸配向結晶構造を有する。 （もっと読む）

【課題】結晶性が制御されて高い配向性を有し優れた圧電特性を有し、圧電体膜と電極との密着性が高く、膜剥がれが抑制されて耐久性が高い圧電体を提供することにある。また、作動環境の温度が変化しても圧電特性が劣化しない圧電体を得て、これを用いた圧電体、圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置を提供することにある。
【解決手段】一般式ＡＢＯ₃で表される特定のペロブスカイト型酸化物を含む積層構造を有する圧電体であって、該積層構造は、正方晶、菱面体晶、擬似立方晶、斜方晶および単斜晶のいずれかから選択された結晶相を有する層状の第１の結晶相と、これと異なる結晶相で上記結晶相のいずれかから選択された結晶相を有する層状の第２の結晶相と、第１の結晶相と前記第２の結晶相の間に、結晶相が層の厚さ方向において漸次に変化する境界相とを有し、全体として単結晶構造または一軸配向結晶構造を有する。 （もっと読む）

【課題】現在、一般的に検討されているＳｉＣやＳｉＣＮは比誘電率が４．５から５程度、ＳｉＯＣは２．８から３．０程度である。デバイスの縮小化により、配線サイズと配線間隔の微細化が更に進むと、比誘電率の更なる低減が求められている。また、ＳｉＯＣとＳｉＣＮ及び、ＳｉＣとのエッチング選択比がちいさいために、エッチングストッパ膜として、ＳｉＣＮ及びＳｉＣを用いた場合、金属配線層の表面が、フォトレジストを除去する際に酸化し、接続抵抗が高くなるという問題がある。
【解決手段】少なくともＣ／Ｓｉ比が５以上で、且つ、分子量が１００以上の有機シランを原料として形成された、ＳｉＯＣＨ、ＳｉＣＮＨ及び、ＳｉＣＨからなる有機絶縁膜、及び、該有機絶縁膜を用いた半導体装置、特に、溝構造を有する半導体装置に関するものである。 （もっと読む）