【課題】 銅イオンの拡散防止機能、熱安定性、及び機械的強度に優れた層間絶縁膜の形成方法を提供する。
【解決手段】 層間絶縁膜の形成方法は、酸素原子を含有しない有機シリコン化合物、及び酸素原子を含有する有機シリコン化合物を原料として用いて、プラズマＣＶＤ法により、基板上に層間絶縁膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】多孔質金属板と金属板との間の電気抵抗が小さいろう付けによる多孔質金属板と金属板からなる複合板の製造する方法を提供する。
【解決手段】多孔質金属板と金属板をろう付けして複合板を製造する方法において、前記金属板の表面にろう材をスパッタリングによりスパッタリングろう材層を形成し、ついで、前記多孔質金属板をスパッタリングろう材層を挟んで前記金属板に重ねたのち加熱する。 （もっと読む）

【課題】蒸着薄膜層にクラックを発生させずに無機化合物蒸着プラスチックフィルムへオーバーコート層を形成させるための塗布液を塗布する方法を提供すること。
【解決手段】蒸着薄膜層（２１）を有する無機化合物蒸着プラスチックフィルム（２０）のウェブを巻き出し部（１１）より巻き出し、巻き出されたウェブをサクションロール（１２）により塗工部（１３）に送り、蒸着薄膜面に塗布液（２２）を連続して塗布する。または、蒸着薄膜層（２１）を有する無機化合物蒸着プラスチックフィルム（２０）のウェブを巻き出し部（１１）より巻き出し、巻き出されたウェブを塗工部（１３）に送り、蒸着薄膜面に塗布液（２２）を連続して塗布し、塗布液が塗布されたウェブをサクションロール（１２）により乾燥部（１５）に送る。 （もっと読む）

【課題】抵抗値の制御性、安定性および再現性に優れ、その抵抗温度特性が良好な帯電防止膜を提供し、更に、その用途を提供する。
【解決手段】帯電防止膜は０．５〜１０ｎｍの粒径を有する導体粒子の複数個が、窒化物を含む媒質中に分散配置された構造、或いは酸化物を含む媒質中に分散配置された構造を有する。また、電子源が配置された第１の基板と、電子源と対向して画像表示部材が配置された第２の基板とを有する気密容器を備える画像表示装置において、第１の基板と第２の基板との間に上記帯電防止膜を有するスペーサを配置する。 （もっと読む）

【課題】 水素検知材料としての使用を可能にする酸化タングステン薄膜を安価に実現する作製技術を提供すること。
【解決手段】 室温で水素を含んだ雰囲気に触れることにより光学的な透過率が変化する特性を利用して水素検知を行う光学式水素検知材料用の酸化タングステン薄膜をスパッタ法により基板に形成させる際に、成膜温度を制御し、酸化タングステンの結晶性を調節する。 （もっと読む）

【課題】偏光板等の光学部材の防汚性薄膜の形成において、優れた防汚性薄膜を安定的にムラがなく、連続的に形成でき、その薄膜形成の制御性および蒸発源の調整やセット等の作業性に優れた簡便な防汚性薄膜の形成方法の提供にある。
【解決手段】真空蒸着法による被処理基材１０の表面に防汚性薄膜１を形成する方法で、織物状含浸担体２０に浸したフルオロアルキルシラン等の防汚性材料をランプヒーター３０加熱又はヒートローラー接触加熱により蒸発させるもので、前記織物状の含浸担体がロール状含浸担体２０ａで、それを連続巻き取り式送り装置１１０により送り、連続的に蒸発させる方法である。またセラミックス多孔性形成体の含浸担体に浸した防汚性材料を、ランプヒーター加熱により蒸発させるもので、前記セラミックス多孔性形成体の含浸担体が、板状、ペレット状、粉状含浸担体で、それらの表面又は裏面から照射加熱してなる形成方法である。 （もっと読む）

【課題】初期の可視光透過率に優れ、耐久性にも優れた透明積層フィルム、これを用いた透明積層体、プラズマディスプレイを提供すること。
【解決手段】透明高分子フィルムの少なくとも一方面に、液相法により形成された金属酸化物を含む薄膜と、金属薄膜とが交互に積層されており、金属薄膜の少なくとも一方面には、気相法により形成された金属酸化物を含むバリア膜が設けられた透明積層フィルムとする。金属酸化物を含む薄膜およびバリア膜における金属酸化物としてチタンの酸化物、金属薄膜における金属として銀または銀合金を好適に用いる。また、透明支持基体の表面に、粘着剤層を介して、透明積層フィルムを貼り付けた透明積層体とする。また、上記透明積層フィルムまたは透明積層体をプラズマディスプレイに用いる。 （もっと読む）

【課題】 フィルムに設けられた蒸着膜の厚みの割には、フィルム全体の酸素透過度が低くできる、ハイバリア性で生分解性の樹脂フィルムを提供する。
【解決手段】 生分解性樹脂からなって酸素透過率が１０〜１００００ｃｃ・μｍ／（ｍ²・ｄａｙ・ａｔｍ）の層を少なくとも一層含む基材フィルムと、無機蒸着膜とが積層されている生分解性フィルム。 （もっと読む）

【課題】 ニオブ酸カリウム層の薄膜を含むニオブ酸カリウム堆積体の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るニオブ酸カリウム堆積体１００の製造方法は，
基板１１の上方にニオブ酸カリウム層１３を形成する工程と、
少なくともニオブ酸カリウム層１３に対して、大気圧より低い圧力下で行う熱処理工程と，を含む。 （もっと読む）

【課題】 合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具を提供する。
【解決手段】 高速度工具鋼で構成された歯切工具本体の表面に、（ａ）いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の層厚を有する薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは、組成式：（Ｃｒ_{1-（Ａ＋Ｂ）}Ａｌ_ＡＳｉ_Ｂ）Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、上記薄層Ｂは、組成式：（Ｃｒ_{1-（Ｃ＋Ｄ）}Ａｌ_ＣＳｉ_Ｄ）Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、組成式：（Ｃｒ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＳｉ_Ｆ）Ｎを満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】製造中に膜内にクラックの発生がなく、高い圧電ひずみ定数を有するとともに、下電極との密着性が良好である圧電体薄膜素子を提供する。さらに、このような圧電体薄膜素子を用いた高精細な印字が可能となるインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
【解決手段】多結晶体からなる圧電体膜と、この圧電体膜を挟んで配置される上電極と下電極と、を備えた圧電体薄膜素子であって、前記圧電体膜の結晶体が、前記電極面に対して略垂直方向に形成されてなる。 （もっと読む）

本発明は、環境に有害な物質を使用せず、より単純な膜構成で、高温高湿環境下での実用的な耐久性に優れ、しかも可視領域で９８％以上の分光反射率を有する銀鏡を提供することを課題とする。 本発明は、例えば図１に示すように、基体１上に少なくとも反射膜として銀膜３が形成されてなる銀鏡において、前記銀膜３の両面に直接酸化アルミニウムを主体とする膜２、４が形成された構造を有することを特徴とする。また、前記銀膜３の両面側に形成された酸化アルミニウムを主体とする膜２、４が、いずれも膜密度がバルク比０．９５以上（好ましくはバルク比０．９７以上）の膜であることを特徴とする。
（もっと読む）

【課題】 ガスバリア性および水蒸気バリア性に優れるガスバリア性積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】 基材上に金属層または金属酸化物層およびオーバーコート層を積層したガスバリア性積層体の製造方法であって、基材上に金属層または金属酸化物層を形成し、該金属層または金属酸化物層の表面を活性化処理した後にオーバーコート層を設けることを特徴とするガスバリア性積層体の製造方法。 （もっと読む）

同時押出成形された多層初期フィルムの同時延伸により製造され、ＰＡ機能層がフィルムの外側層又は２つの支持層間に配設されたフィルムの中心内側層を構成する、非晶質又は部分結晶性ポリアミド（ＰＡ）又はそのポリアミドのエチレンビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）との混合体をベースとする少なくとも１つの機能層を備える二軸方向性のポリプロピレンフィルム（ＰＰフィルム）から成る少なくとも１つの支持層をベースとする多層フィルムの形態の、包装用の、特に食料品及び嗜好品の包装用の高強度の輝きのある品質で調製可能な保護フィルム、その製造方法及び使用方法。 （もっと読む）

【課題】 可撓性があり、衝撃応力に強く、かつ、水分や酸素に対してより高い遮蔽性を有するパッシベーション膜を形成する。
【解決手段】 エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、パッシベーション膜は、ターゲット材料として炭素を用い、ＡｒガスとＯ_２ガスとＮ_２ガスとを含む混合ガスをスパッタガスとして真空チャンバーＷ内に供給し、スパッタ法により成膜するようにしてあり、そのスパッタ法によるパッシベーション膜の成膜条件を、Ａｒガスの供給流量を５〜１００ｓｃｃｍ（８．４５×１０^−３〜１．６９×１０^−１Ｐａ・ｍ^３／ｓ）、Ｏ_２ガスの供給流量を０〜５０ｓｃｃｍ（０〜８．４５×１０^−２Ｐａ・ｍ^３／ｓ）、Ｎ_２ガスの供給流量を０〜４０ｓｃｃｍ（０〜６．７６×１０^−２Ｐａ・ｍ^３／ｓ）、真空チャンバーＷ内の真空度を０．０１〜１０Ｐａとしてある。 （もっと読む）

多層被膜を基板の上に堆積するツール。１つの構成では、本ツールは、圧力または温度が制御された環境の少なくとも一つの下で動作するインライン有機材料堆積ステーションを含む。別の構成では、それはさらに、インライン式およびクラスタツールの両方の特徴構造を組み込む複合設計である。この後者の構成では、堆積ステーションの少なくとも１つが無機層を堆積するように構成され、他方で、少なくとも１つの他の堆積ステーションが有機層を堆積するように構成される。本ツールは特に、多層被膜を個別基板の上に堆積することばかりでなく、フレキシブル基板の上に配置された環境に敏感なデバイスをカプセル封じすることにも適切である。安全システムが、本ツールに対する有機材料の分配を監視するために含まれ得る。
（もっと読む）

【課題】水滴がたまりにくい防曇素子を提供する。
【解決手段】防曇素子の製造方法であって、基材２２を準備する準備工程と、基材２２の一方の面の周縁部における切り欠き状の領域をそれぞれ押さえる少なくとも３個の保持部３６を有する治具３０により、基材２２を保持する保持工程と、保持部３６に押さえられている領域を除く基材２２の一方の面の全体に、親水膜を成膜する親水膜成膜工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】高いバリア性と透明性を有し、且つ紫外線の遮断機能を併せ持ったプラスチックフィルムを提供すること。
【解決手段】透明な可撓性支持体基板上に少なくとも１層の無機化合物からなるガスバリア層が形成されたガスバリアフィルムであって、該フィルムの４０℃・相対湿度９０％における水蒸気透過率が０．００５ｇ／ｍ²／ｄａｙ以下であり、且つ波長３５０ｎｍの紫外線の透過率が１０％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 各層間の接合強度が強く、耐久性に優れた金属積層体の提供。
【解決手段】 基材と、この基材の少なくとも一方の面に、バリア層と、金属薄膜層と、金属層とがこの順序で配置されていることを特徴とする、金属積層体。 （もっと読む）

【課題】 屈曲しても優れたガスバリア性を維持することで長寿命を達成できる有機デバイスを提供すること。
【解決手段】 プラスチックフィルム基材上に、無機バリア層とポリマー層からなる積層バリアユニットを少なくとも一つ有しており、前記無機バリア層が２種以上の金属酸化物より構成され、３８℃・相対湿度９０％における水蒸気透過率が０．００５g/m²/day以下であるガスバリアフィルムを用いて有機デバイスを製造する。 （もっと読む）