【課題】 基板の除去の際に第三薄膜に対する不具合が起こり難くなる電子デバイスの製造方法及びこれにより製造された電子デバイス及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 第一工程では、被成膜面１０ａの一部１２を覆うように基板１０を保持しこの被成膜面１０ａ上に第一薄膜２０を成膜する。第二工程では、被成膜面の一部１２を覆わないように、第一薄膜２０が成膜された基板１０を保持し、被成膜面の一部１２の上及び第一薄膜２０の上にさらに第二薄膜４０を成膜する。第三工程では、第二薄膜４０の上に第三薄膜５２，５０を成膜し、積層体７０を得る。第四工程では、エッチャント又は液体を含む研磨剤を用いて基板１０を積層体７０から除去する。そして、第二薄膜４０のエッチング速度又は溶解速度は、第三薄膜５２，５０のエッチング速度又は溶解速度よりも低い。 （もっと読む）

【課題】 優れた特性を有するチタン酸化物薄膜を基板の表面に形成することができる新規な方法を提供すること。
【解決手段】 金属チタンを基板の表面に気相蒸着させるとともに、酸素のクラスターイオンビームを加速して蒸着域に照射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 輝度が高く、かつ残光性に優れた放射線像変換パネル及びその製造。
【解決手段】 １ｍｍ厚の結晶化ガラス支持体上に蒸着法で厚み３００ｍのＥｕ付活ＣｓＢｒ蛍光体層の放射線像変換パネルを形成するとき、Ｘ線を１００Ｒ照射した後の放射線像変換パネルの、６００〜７００ｎｍの透過率が照射前の透過率の７０％以下となる蛍光体を選択した。 （もっと読む）

【課題】 成膜材料の混合を行うに際して成分割合の調整を容易に行うことができ、成膜領域のずれを防ぐ。
【解決手段】 真空成膜装置の成膜源１０が、複数の成膜材料をそれぞれ収容する複数の材料収容部１１Ａ，１１Ｂと、各材料収容部１１Ａ，１１Ｂ内の成膜材料を加熱する加熱手段１２Ａ，１２Ｂと、成膜材料の原子流又は分子流を成膜材料毎に放出する放出口１３Ａ，１３Ｂと、材料収容部１１Ａ，１１Ｂと放出口１３Ａ，１３Ｂとを気密に連通する放出流路１４_１Ａ，１４_２Ａ，１４_３Ａ，１４_１Ｂ，１４_２Ｂ，１４_３Ｂとを備え、同一成膜材料を放出する単数又は複数の放出口１３Ａ，１３Ｂを一方向に延設し、該一方向に延設された放出口１３Ａ，１３Ｂの外縁を直線で結んで形成される帯状の放出領域Ｓ_１Ａ，Ｓ_１Ｂが平面的に少なくとも一部で互いに重なり合うように、放出口１３Ａ，１３Ｂを配置している。 （もっと読む）

【課題】 高いガスバリア性を安定して維持すると共に、特に、水蒸気バリア性を向上させ、かつ、良好な透明性、および、防湿性、耐衝撃性、耐熱水性、密接着性等を備えたバリア性フィルムおよびそれを使用した積層材を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 基材フィルムの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜と、一般式Ｒ¹ _n Ｍ（ＯＲ² ）_m （ただし、式中、Ｒ¹ 、Ｒ² は、炭素数１〜８の有機基を表し、Ｍは、金属原子を表し、ｎは、０以上の整数を表し、ｍは、１以上の整数を表し、ｎ＋ｍは、Ｍの原子価を表す。）で表される少なくとも１種以上のアルコキシドと、ポリビニルアルコ−ル系樹脂及び／又はエチレン・ビニルアルコ−ル共重合体とを含有し、更に、ゾルゲル法によって重縮合して得られるガスバリア性組成物によるガスバリア性塗布膜と、無機酸化物の蒸着膜とを順次に積層すること特徴とするガスバリア性積層フィルムに関するものである。 （もっと読む）

【課題】膜厚均一性を±１％程度の範囲内に抑えるとともに、２００ｍｍ×２００ｍｍ以上の大サイズにも対応可能な、蛍光体シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】複数の原料蒸発源を有し、前記複数の原料蒸発源のそれぞれに予め必要に応じた量の原料を充填し、前記蒸発源のそれぞれについて、前記原料が蒸発し切った時点で、当該原料蒸発源への加熱エネルギー供給を絶つことを特徴とする方法。前記複数の原料蒸発源のそれぞれが、母体構成材料を充填されるものと、これと対をなす付活剤材料を充填されるものとの互いに対をなす構成を有するものである二元蒸着の場合は、前記互いに対をなす構成を有する複数の原料蒸発源のそれぞれについて、前記母体構成材料が蒸発し切った原料蒸発源と、この母体構成材料の蒸発源と対をなす付活剤材料の蒸発源への加熱エネルギー供給を絶つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】食品やレトルト食品の分野、あるいは医薬品、電子部材等の非食品分野等の包装において広範に用いられ、特に層間の密着性が強固で、レトルト殺菌等の加熱殺菌等が施されたとしてもデラミネーションが発生し難く、当初のガスバリア性が低下し難いようにしたことを特徴とする、強密着蒸着フィルムおよびそれを用いたレトルト用包装材料を提供する。
【解決手段】プラスチック材料からなる基材の少なくとも一方の面にプラズマを利用したリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）による前処理によって設けられているプラズマ前処理層上に、一般式ＡｌＯｘで表され、Ｘが１．５〜１．７の範囲である酸化アルミニウムからなる酸化アルミニウム蒸着層を設ける。 （もっと読む）

【課題】 良質の膜を形成可能な蒸着装置及び蒸着方法を提供する。
【解決手段】 有機ＥＬ薄膜の材料である有機材料１が装入されたルツボ容器１０内には、有機材料１の気化面に接するように発熱体１２が配置されている。発熱体１２は、電磁誘導により発熱する磁性体材料からなる材料を含んで形成されており、加熱制御装置３０がコイル２０に所定の電流を供給することにより誘導加熱される。これにより、有機材料１の気化面が発熱体１２により直接加熱され、有機材料１は安定して気化し、これにより良質の膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】 低温成膜、高速成膜を両立させることができるデュアル形式のマグネトロンスパッタリングにおいて、低温成膜と、高速成膜を達成しうる手段を提供し、これによって有機フィルムの上に高機能性材料である例えば各種無機結晶膜を低温、高速で得ようというものである。
【解決手段】 デュアルマグネトロンスパッタリング装置を用いてなる成膜手段において、各マグネトロンをマグネトロンに保持されている各ターゲット面を基準として、各ターゲット面の延長線の成す角度を、１６０〜２０℃の間の値に設定し、且つ各ターゲット表面に形成されるエロージョン領域の垂直方向延長領域の交差領域のうち最もマグネトロンとの距離が近い領域内に薄膜形成する基板表面あるいはその一部が位置するよう設定し、該基板上に薄膜体を生成させる。 （もっと読む）

【課題】 金属吸着法を用いて均一な単原子ステップを有する固体結晶表面を形成する方法を提供する。
【解決手段】 固体結晶の両端に直流電圧を印加して所定の温度に加熱する段階と、直流電圧印加を保持しつつ、所定の温度に加熱された固体結晶の表面に金属原子を所定の蒸着速度で蒸着することで、固体結晶の表面に当該固体結晶を構成する原子の単原子ステップを形成する段階と、を含む固体結晶表面の形態制御方法。 （もっと読む）

【課題】 スパッタリング装置により、透明かつガス気密コーティングを合成材料の基板上に付着することの問題を解決しかつ同じスパッタリング装置を用いて反射バリヤ層を形成することにある。
【解決手段】 ガス不透過層、より詳しくはガス不透過合成材料基板のコーティングの製造装置および方法に関する。装置または方法の使用により、単一のスパッタリング装置を用いて、光不透過層だけでなく、光不透過ガス遮断層をも形成できる。第１のガス供給源（例えばアルゴン）から第２のガス供給源（例えばアルゴン、酸素および窒素）への切換えまたはこれとは逆の切換えを簡単に行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】 耐固体粒子エロージョン性を大幅に向上させることができ、回転部材に対しても疲労強度を低下させることなく耐酸化性を備える耐固体粒子エロージョン性表面処理皮膜とそれを適用した蒸気タービン、または軸流圧縮機などの回転機械を提供する。
【解決手段】 耐固体粒子エロージョン性表面処理皮膜を、基材表面に形成した窒化硬質層と、同窒化硬化層の上に物理蒸着法により形成した１層以上の物理蒸着硬質層とを有し、前記窒化硬質層の厚さが３０μｍ以上、且つ前記物理蒸着硬質膜の厚さが総厚として１０μｍ以上であるように構成して、固体粒子衝突時の基材の変形と、基材上層の窒化硬質層と物理蒸着硬質層を含む皮膜の割れを防止し、耐固体粒子エロージョン性を確保し、耐固体粒子エロージョン性表面処理皮膜の寿命を増大可能とし、且つ耐酸化性と疲労強度を向上させた。 （もっと読む）

【課題】 より低い誘電率の膜を形成しうる高分子膜の製造方法および低誘電率の高分子膜を提供すること。
【解決手段】 気相成長法によって成膜する高分子膜の製造方法であって、少なくとも２種の有機モノマーを原料とし、それらの有機モノマーに基づく構造を骨格とした共重合高分子膜を基板表面上に形成する工程と、その後、該共重合高分子膜を形成させた温度よりも高い温度で、該共重合高分子膜を熱処理する工程を含む高分子膜の製造方法。該製造方法により得られる高分子膜。 （もっと読む）

【課題】バリア性の高いバリア膜の形成方法を提供する。
【解決手段】
本発明に用いるターゲット４５ａ、４５ｂは、ＣｒとＡｌとを含有するフェロシリコンを主成分としており、そのようなターゲット４５ａ、４５ｂは耐久性が高いので、ターゲット４５ａ、４５ｂ割れに起因するピンホール等の欠陥が成膜される薄膜に発生し難い。また、耐久性が高いので、樹脂フィルム１１の長い成膜領域に成膜を行う場合であっても、ターゲット４５ａ、４５ｂを交換する必要がない。 （もっと読む）

【課題】 硬質皮膜の基体との密着性、耐酸化性、耐摩耗性に優れた硬質皮膜の特徴を保持した上で、耐溶着特性に優れ、高潤滑特性が付与された硬質皮膜を被覆した部材を提供することである。
【解決手段】 基体表面にＴｉ、Ｃｒ、Ａｌから選択される１種類以上の金属元素と、Ｃ、Ｎ、Ｏから選択される１種類以上の非金属元素とからなる硬質皮膜を被覆した部材において、該硬質皮膜はＣｌ、Ｓ、Ｐ、Ｂ、Ｓｉ、Ｆから選択される１種類以上の添加元素を含有し、該金属元素と該添加元素とは化学結合を有することを特徴とする硬質皮膜被覆部材と該添加元素をイオン注入法により添加する硬質皮膜被覆部材の製造方法及びその製法により製造される硬質皮膜被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】ナーリンク処理と同等な効果を低価格で極めて安価な基材に対しても適用できる方法および基材を提供するばかりではなく、通常のオフライン成膜においても最適化されたインライン成膜と同等な効果をもたらことが可能な基材を提供することを目的とする。
【解決手段】高分子樹脂基材の両端部に真空中で（メタ）アクリル化合物を凝集させた後、電子線あるいはプラズマを照射し、上記アクリル化合物を硬化させ活性エネルギー線硬化樹脂層を形成した保護フィルムの形成方法などを提供する。 （もっと読む）

【課題】 潤滑油を介在させなくても円滑な作動を維持できるチェーンを提供する。
【解決手段】 対の内プレート２１と、各内プレート２１の間に固定される２本のブッシュ２２と、各ブッシュ２２に回転自在に嵌合するローラ２３と、各内プレート２１およびブッシュ２２を挟むようにして設けられる対の外プレート３１と、各ブッシュ２２を貫通しその両端部が各外プレート３１にカシメ固定されるピン３２とを備えるチェーン１において、内プレート２１、ブッシュ２２、ローラ２３、外プレート３１、ピン３２が持つ摺接部の表面に炭素を主成分としたアモルファス構造体からなるＤＬＣコーティング膜２をそれぞれ形成した。 （もっと読む）

【課題】排気ガスの浄化に有効に働かない触媒金属量を少なくして、触媒活性を向上しながら、コスト低減を図る。
【解決手段】ハニカム状触媒担体２のセル壁４に無機酸化物粒子を含有するコート層を形成し、触媒活性金属の蒸気を不活性ガス中で凝縮させ、この触媒活性金属のクラスター微粒子を不活性ガス流によって上記触媒担体に衝突させることによって、触媒活性金属をクラスター微粒子として上記コート層に表層部に付着させ、触媒層５を形成する。 （もっと読む）

【課題】幅広い後加工条件で後加工でき、透明性に優れるために内容物の透視が可能で且つこれにより包装された内容物の検査に際して金属探知器が使用でき、さらに高い屈曲耐性と高温高湿下での高いガスバリア性を併せて持ち、そしてこれらの諸特性が後加工後も劣化することがない、高いガスバリア性を有する包装材料の提供を目的とする。
【解決手段】無機酸化物からなるガスバリア性蒸着薄膜層４と、モノマー、オリゴマーまたはそれらの混合物を真空蒸着し、硬化させてなるガスバリア性被膜層５と、無機酸化物からなるガスバリア性蒸着薄膜層６と、モノマー、オリゴマーまたはそれらの混合物を真空蒸着し、硬化させてなるガスバリア性被膜層７の４層を順次積層してなる多層部が、透明プラスチック材料からなる基材３の少なくとも片面に積層して設けられていることを特徴とする、高ガスバリア性を有する透明積層体１。 （もっと読む）

交流(ac)の厚膜誘電体エレクトロルミネセントディスプレイで使われるチオアルミネート(thioaluminate：チオアルミン酸)ベースの発光体の動作安定性を改善するための、新規なラミネートが提供される。新規な構造は、発光体薄膜層の底部に直接隣接および接触して提供された、希土類活性なアルカリ土類チオアルミネート発光体薄膜層と、酸化アルミニウムまたは酸窒化アルミニウム層とを有する。本発明は、特に、発光体膜を形成し活性化するために高い処理温度の影響を受けやすい厚い誘電体層を使用するエレクトロルミネセントディスプレイで使われる発光体に適用できる。 （もっと読む）