基板支持部材に収容される基板上に薄膜を成長させるためのヒータが、複数の発熱体を有する。基板を収容する基板支持部材は、複数の発熱体によって少なくとも部分的に囲まれている。複数の発熱体のうちの少なくとも２が、基板支持部材に外部からのアクセスを与えるように、互いに移動可能である。発熱体のうちの１つ又は別の酸素ポケット部材に酸素ポケットが形成されており、この酸素ポケットを基板上でフィルムを酸化させるために使用する。 （もっと読む）

【課題】成膜条件の変化に依存せずに、配向性に優れるYBCO系高温超電導体膜を成膜することができる、配向再現性に優れたYBCO系高温超電導体成膜用複合基材を提供するとともに、優れた配向性を有するYBCO系高温超電導体膜の作製方法を提供する。
【解決手段】結晶方位の揃った基材表面にZrまたはZr酸化物が部分的に存在することを特徴とする配向再現性に優れたYBCO系高温超電導体成膜用複合基材、および、該YBＣO系高温超電導体成膜用複合基材を用いて超電導体膜を作製することを特徴とする配向性に優れたYBCO系高温超電導体膜の作製方法。 （もっと読む）

【課題】らせん状に進行する帯状体２を真空中で均一に高温加熱することが可能なヒータユニット６０を提供する。
【解決手段】らせん状に進行する帯状体２に対して真空中で熱処理を行うヒータユニット６０であって、複数の金属線を撚り合わせた線材が帯状体２と平行な水平面内においてつづら折り状に配置された線材ヒータ６２を備えている。その線材ヒータ６２は、第１支持部材６４および第２支持部材７４により、フレーム９０に対して伸縮自在に支持されている。 （もっと読む）

【課題】帯状体２を安定してらせん状に周回走行させることが可能な、表面処理装置１を提供する。
【解決手段】複数のローラ４４が軸体４２に沿って配置されたローラ群４０を備え、複数のローラ群４０が離間配置され、複数のローラ群４０の軸体４２は相互に平行に配置され、複数のローラ群４０のローラ４４は帯状体２の勾配が略一定となるように相互に軸体４２の軸方向にずれた状態で配置され、ローラ群４０に含まれる複数のローラ４４はそれぞれの回転軸を略一致させて相互に独立して回転自在に形成され、ローラ４４の外周面はローラ４４の幅方向の両端から中央にかけて外側に突出形成されている構成とした。 （もっと読む）

【課題】基板の電解研磨時間を短縮することで生産性を向上させることができ、さらには、単位面積当たりのクラックの発生を低減させ、且つ水平度に優れている超伝導ケーブル用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による超伝導ケーブル用基板の製造方法は、ハステロイ（登録商標）（Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ）Ｃ−２７６またはステンレス鋼を、表面粗さがＲＭＳ（Ｒｏｏｔ Ｍｅａｎ Ｓｑｕａｒｅ）値にて１０ｎｍ以下の圧延ロールで圧延し基板を形成するステップと、圧延された基板を電解研磨液に浸漬して電解研磨するステップと、電解研磨された基板上に超伝導層を蒸着するステップとを含むことを技術的特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｍｏを含むＮｉ基合金からなり、表面の平滑度が極めて小さく、その上に多結晶配向中間薄膜上に酸化物超電導薄膜を成膜した場合に、良好な超電導特性を持つ酸化物超電導導体を製造可能な酸化物超電導導体用金属基材の製造方法及び該金属基材を用いた酸化物超電導導体の製造方法の提供。
【解決手段】Ｍｏを含むＮｉ基合金からなる母材に、１１００℃以上の温度で少なくとも１回の焼鈍しと、少なくとも１回の圧延とを行い、最終圧延の後に電解研磨を行う酸化物超電導導体用金属基材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 電解研磨または化学研磨によって金属基材の表面粗さを改善し、優れた超電導特性を有する酸化物超電導導体の提供。
【解決手段】 Ｍｏを含まないＮｉ−Ｃｒ合金からなり、その表面が電解研磨または化学研磨された金属基材上にイオンビームアシスト法によって多結晶中間薄膜が設けられ、該多結晶中間薄膜上に酸化物超電導体薄膜が設けられてなることを特徴とする酸化物超電導導体。 （もっと読む）

【課題】発熱体を構成している金属の蒸発を原因とする汚染を防ぐことで、大きな面積の酸化物薄膜をより高品質に形成できるようにする。
【解決手段】複数の絶縁柱１５１により支持板１５２に屈曲されて配設された電熱線よりなる発熱体１０５を、大気中などの高い濃度で酸素を含む雰囲気で、１１００℃程度にまで通電加熱することで、発熱体１０５の表面に構成する金属の酸化被膜が形成された状態として用いる。発熱体１０５が、鉄とクロムとアルミニウムとの合金よりなる電熱線から構成されている場合、表面には酸化アルミニウムの被膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】
バッキングプレートにボンディングすることなくレーザーアブレージョン法に適用可能なターゲットとして使用できるＲＥ系酸化物超電導焼結体、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】
各種粉末または溶液を準備し、ＲＥ系酸化物超電導体の組成式をＲＥ Ｂａb Ｃｕc Ｏxと標記した時に、a＋b＋c＝6、0.95＜ａ＜1.05、1.505≦c／b＜1.6となるように、秤量、混合した後、仮焼、粉砕、焼成、粉砕、成形をおこなって、ＲＥ系酸化物超電導焼結体を得、該ＲＥ系酸化物超電導焼結体をレーザーアブレージョン用ターゲットとして使用する。 （もっと読む）

【課題】製品が77 K、ゼロ磁場で約10⁵ A/cm²より大きい、もしくはこれに等しい輸送臨界電流密度（J_c）を有する、基板上に沈着された0.8ミクロンより大きい厚さを有する酸化物超伝導体被膜を有する酸化物超伝導体製品を提供する。
【解決手段】酸化物超伝導体製品は、金属オキシフッ化物被膜が実質的に化学量論的比率で酸化物超伝導体の構成金属元素を含む、金属オキシフッ化物被膜を提供すること；および製品が77 K、ゼロ磁場で約10⁵ A/cm²より大きい、もしくはこれに等しい輸送臨界電流密度を有する酸化物超伝導体被膜が得られるように、温度、P_H2O、P_O2、及びその組み合わせからなる群より選択される反応パラメータを調節することによって選択される変換速度で、金属オキシフッ化物を酸化物超伝導体に変換すること、によって調製される。 （もっと読む）

【課題】高強度と高い２軸配向性を両立する酸化物超電導用金属基板。
【解決手段】 Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕのいずれかの合金からなる合金層と、前記合金層の外層として設けられたＮｉ層とから構成するテープ状複合材料において、前記Ｎｉ層表面の｛１００｝面が前記テープ状複合材料の圧延面にほぼ平行で＜００１＞軸が前記テープ状複合材料の圧延方向にほぼ平行であり、かつ、前記Ｎｉ層が純度９９．９％を超えたＮｉからなり、その厚さが１〜５０μｍであることを特徴とする２軸配向多結晶金属基板。前記Ｎｉ層を形成するＮｉの純度は９９．９５％以上の２軸配向多結晶金属基板。前記合金層がＮｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕのいずれかに、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｒ、Ｖ、Ｍｎ、Ａｌのいずれかの一元素、または複数の元素を添加して形成し、かつ、その添加濃度が１〜１５at％であることを特徴とする２軸配向多結晶金属基板。 （もっと読む）

【課題】 長時間の連続成膜により長尺の酸化物超電導線材を製造する際に超電導特性の劣化を防いで高品質の長尺酸化物超電導線材を製造することができる製造装置の提供。
【解決手段】 長尺基材３を収容する処理容器と、長尺基材を巻回する巻回部材を複数個同軸的に配列してなる少なくとも一対の巻回部材群５と、これらの巻回部材群に巻回された長尺基材に近接して設けられたターゲットホルダと、該ターゲットホルダに保持されるターゲット９にレーザ光を照射するレーザ光発光手段とを備え、レーザ光をターゲットの表面に照射して生じた蒸着粒子を、巻回部材群に巻回されこれらの巻回部材群を周回することによって複数列が接近した状態で平行に並べられた長尺基材の表面に堆積させる装置において、巻回部材群に、それぞれの巻回部材の外周部に堆積される蒸着粒子を削り落とす研磨部材２３が取り付けられたことを特徴とする薄膜形成装置。 （もっと読む）

【課題】 成膜時に超電導特性の劣化を防いで高品質の長尺酸化物超電導線材を製造することができる製造装置の提供。
【解決手段】 長尺基材３を収容する処理容器と、長尺基材を巻回する巻回部材を複数個同軸的に配列してなる少なくとも一対の巻回部材群と、これらの巻回部材群に巻回された長尺基材に近接して設けられたターゲットホルダと、該ターゲットホルダに保持されるターゲット９にレーザ光を照射するレーザ光発光手段とを備え、レーザ光をターゲットの表面に照射して生じた蒸着粒子を、巻回部材群に巻回されこれらの巻回部材群を周回することによって複数列が接近した状態で平行に並べられた長尺基材の表面に堆積させる装置において、巻回部材群２５は、長尺基材が巻回される外周端面が平坦な巻回部材２４を複数個同軸的に配列して構成されていることを特徴とする薄膜形成装置。 （もっと読む）

【課題】 超電導特性が長手方向で均一な酸化物超電導線材を製造することができる製造装置の提供。
【解決手段】 長尺基材１２を収容する処理容器１１と、該処理容器内に配置され前記長尺基材を囲んで保温する開口付きヒータボックス１３と、該ヒータボックスの開口に隣接して設けられたターゲットホルダ１６と、該ターゲットホルダに保持されるターゲット１５にレーザ光１８を照射するレーザ光発光手段１７とを備え、前記レーザ光を前記ターゲットの表面に照射し、該ターゲットから叩き出され若しくは蒸発した蒸着粒子を前記ヒータボックス内の長尺基材表面に堆積させることを特徴とする薄膜形成装置１０。 （もっと読む）

【課題】 長時間成膜しても長手方向の超電導層膜厚分布が均一となり、超電導特性が長手方向で均一な酸化物超電導線材を製造することができる製造方法及び製造装置の提供。
【解決手段】 蒸着処理室内に設けた酸化物超電導体または酸化物超電導体と近似組成のターゲット１５にレーザ光３０を照射して前記ターゲットから発生させた粒子を前記ターゲット近傍を移動中のテープ基材上に堆積させて超電導層を形成する際に、異なる場所のターゲットの構成粒子が叩き出されるか蒸発するように前記ターゲットをその中心軸を中心に回転させる回転運動と前記ターゲットを前記中心軸と交差する面に沿って移動させる並進運動を併用してレーザ蒸着を行い酸化物超電導線材を製造する方法において、前記ターゲットの並進運動の移動範囲をレーザ蒸着の経時とともに縮小することを特徴とする酸化物超電導線材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 超電導体を作製する方法を提供すること。
【解決手段】 超電導体を作製する方法は、フッ化バリウムを含む膜を基板１２０の表面に提供する工程と、膜に第１反応混合ガス１５５を噴射する工程と、膜に第１反応ガス１５５を噴射しながら基板１２０を第１の温度まで加熱して基板１２０の表面に超電導材料を形成する工程と、を含み、基板１２０の表面に対して５°以上の角度で第１反応ガス１５５を膜に噴射することを特徴とする。 （もっと読む）

非常に高い堆積レートで、二軸配向フィルムを連続的に移動する金属テープ基板上に堆積する方法が開示される。これらの方法は、フィルムを基板上に、基板法線から約５°から約８０°の斜め入射角を持つ堆積フラックスで堆積し、同時に、該堆積フィルムを該フィルムの最良イオン配向方向または第２の最良イオン配向方向のいずれかに沿って設けられたイオンビーム入射角でイオンビームを使って照射し、それにより二軸配向フィルムを形成することを含み、堆積フラックス入射面は二軸配向フィルムが早い面内成長速度を持つ方向に沿って平行に設けられる。基板、前記方法で前記基板上に堆積された二軸配向フィルム、及び二軸配向フィルム上に堆積された超伝導層を含む超伝導物品が同様に開示される。
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本発明の膜は特にマイクロ波およびＲＦ用途に関して最適化された高温超伝導（ＨＴＳ）薄膜である。特に、本発明はマクロ波／ＲＦ用途に関して最適化された膜を製造するために１：２：３の化学量論からの大きなずれを有する組成に焦点を合わせる。ＲＦ／マイクロ波ＨＴＳ用途はＨＴＳ薄膜が優れたマイクロ波特性、特に低い表面抵抗、Ｒ_ｓおよび高線形表面リアクタンスＸ_ｓ、すなわち高Ｊ_ＩＭＤを有することを要する。そのようなものとして、本発明はその物理的組成、表面モルホロジー、超伝導特性、およびこれらの膜からつくられるマイクロ波回路の性能特性に関して特徴がある。
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｛１００｝面が圧延面に平行で、＜００１＞軸が圧延方向に平行な圧延集合組織を有する多結晶金属基板と、この多結晶金属基板の表面に形成された前記多結晶金属の酸化物結晶層とを含む酸化物超電導線材用金属基板において、前記酸化物結晶層における粒界傾角の９０％以上が１０度以下であり、かつ前記酸化物結晶層の９０％以上の｛１００｝面が前記多結晶金属基板の表面に対して１０°以下の角度であることを特徴とする酸化物超電導線材用金属基板。
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【課題】炭素を含む銅酸化物超伝導体の薄膜が、より高いＴｃを備えた状態で得られるようにする。
【解決手段】結晶基板１０１の表面に酸素ラジカル及び二酸化炭素からなる反応ガス１２１が供給された（吹き付けられた）状態とし、この後、結晶基板１０１が５５０℃程度に加熱された状態とし、また、Ｂａ，Ｃａ，Ｃｕ），及びフラーレンＣ₆₀の各蒸着源を、所定温度にまで加熱して蒸発させ、金属原料１２２が結晶基板１０１の表面に供給された状態とすることで、結晶基板１０１の上に、Ｔｃが８５Ｋと高い超伝導転移臨界温度を示す酸化物超伝導薄膜１０２が形成された状態が得られる。 （もっと読む）