【課題】アルミニウム系マトリクス中にシリコン相が微細に分散したＡｌ−Ｓｉ膜とその形成方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムとシリコンを含有するＡｌ−Ｓｉ膜であって、アルミニウムまたはアルミニウム合金のマトリクスと、前記マトリクス中に分散された、粒径が数〜１００ｎｍであるシリコン微粒子とを有し、プラズマの使用または加熱により生成されたシリコン微粒子とアルミニウム微粒子を、超音速フリージェットの気流に乗せて真空チャンバー（成膜チャンバー３０）中に噴出して、真空チャンバー中に配置した基板３３上に物理蒸着させて形成した膜とする。 （もっと読む）

【課題】 硬質皮膜の基体との密着性、耐酸化性、耐摩耗性に優れた硬質皮膜の特徴を保持した上で、耐溶着特性に優れ、高潤滑特性が付与された硬質皮膜を被覆した部材を提供することである。
【解決手段】 基体表面にＴｉ、Ｃｒ、Ａｌから選択される１種類以上の金属元素と、Ｃ、Ｎ、Ｏから選択される１種類以上の非金属元素とからなる硬質皮膜を被覆した部材において、該硬質皮膜はＣｌ、Ｓ、Ｐ、Ｂ、Ｓｉ、Ｆから選択される１種類以上の添加元素を含有し、該金属元素と該添加元素とは化学結合を有することを特徴とする硬質皮膜被覆部材と該添加元素をイオン注入法により添加する硬質皮膜被覆部材の製造方法及びその製法により製造される硬質皮膜被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】切削工具の靭性と耐摩耗性とを高度に両立させるとともに特に膜チッピングを抑制した表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と、該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、該被膜は、該基材上の最外層となるものであり、かつ圧縮応力を有しており、該圧縮応力は、上記被膜の厚み方向に強度分布を有するように変化しており、該強度分布は、上記被膜の表面において最小の圧縮応力を有するとともに、上記被膜の表面から、上記被膜の表面と上記被膜の底面との間に位置する中間点まで該圧縮応力が連続的に増加し、該中間点において極大点を有するとともに、該中間点から上記被膜の底面まで圧縮応力が一定の値となる。 （もっと読む）

【課題】 実用的なＢＮ膜を生成する。
【解決手段】 各被処理物３６，３６，…は、自公転機構２８によってプラズマ領域６８に順次搬送される。そして、このプラズマ領域６８において、坩堝２２に収容されたホウ素材と、ガス管５８を介して導入される窒素ガスと、を材料とするＢＮ膜が生成される。このとき、各被処理物３６，３６，…には、バイアス電力として、直流成分Ｖｄｃが重畳された高周波電力Ｅｂが供給される。なお、直流成分Ｖｄｃが大きく変動すると、ＢＮ膜の破壊、ひいては剥離を誘発するが、この成膜装置１０においては、電圧制御回路６６によって当該直流成分Ｖｄｃの変動が抑制される。従って、剥離を生じない、実用的なＢＮ膜を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、切削工具の靭性と耐摩耗性とを高度に両立させるとともに特に膜チッピングを抑制した表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】 本発明の表面被覆切削工具は、基材と、該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、該被膜は、該基材上の最外層となるものであり、かつ圧縮応力を有しており、該圧縮応力は、上記被膜の厚み方向に強度分布を有するように変化しており、該強度分布は、上記被膜の表面の圧縮応力が上記被膜の表面から、上記被膜の表面と上記被膜の底面との間に位置する中間点まで連続的に増加し、該中間点において極大点を有するとともに、該中間点から上記被膜の底面まで該圧縮応力が連続的に減少することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】貫通ピンホールがほとんどなく十分な強度を有し、しかも製造が極めて簡単で品質にも優れた炭素系多層薄膜を提供する。
【解決手段】所定の低運動エネルギを与えた炭素イオンをターゲットに対し一定時間照射し、ｓｐ^２構造が支配的なグラファイト状薄膜層を生成するグラファイト状薄膜層生成ステップと、所定の高運動エネルギを与えた炭素イオンを前記ターゲットに対し一定時間照射し、ｓｐ^３構造が支配的なダイヤモンド状薄膜層を生成するダイヤモンド状薄膜層生成ステップとを交互に繰り返し、前記グラファイト状薄膜層とダイヤモンド状薄膜層とが交互に積層してなる多層薄膜を製造するようにした。 （もっと読む）

【課題】 ドリル、エンドミル、フライス加工用または旋削加工用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどに好適に使用される表面被覆切削工具であって、従来よりも耐剥離性、耐摩耗性が向上された表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 本発明の表面被覆切削工具は、基材上に、Ａｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された主に立方晶化合物からなる内層が被覆され、さらに該内層上にＡｌ、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素を含む窒化物、炭窒化物もしくは酸炭窒化物にて形成された主に六方晶化合物からなる外層が被覆されてなり、該外層が該内層よりも大きなＡｌ含有量を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）表面層として、０．８〜５μｍの平均層厚を有するＣｒ硼化物層、（ｂ）耐摩耗硬質層として、組成式：（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．７５を示す）、を満足し、０．８〜５μｍの平均層厚を有するＴｉとＡｌの複合窒化物層、以上（ａ）および（ｂ）からなる硬質被覆層を物理蒸着してなる。 （もっと読む）

【課題】 高速重切削加工で表面被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）下部層として、１．５〜１０μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、ＡｌとＴｉ最高含有点が所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記ＡｌからＴｉ最高含有点、及びその逆方向へ、ＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する濃度分布を有し、さらに、上記Ａｌ最高含有点が、特定の組成式を満足し、かつ隣り合う上記ＡｌとＴｉ最高含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍからなる構造を有するＴｉとＡｌとＳｉの複合窒化物層、（ｂ）上部層として、１〜１０μｍの平均層厚を有する非晶質炭素系潤滑層、以上で構成された表面被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 基材上に形成された金属化合物よりなる硬質皮膜の上に、アルミナ皮膜が直接または中間層を介して形成された積層皮膜において、硬質皮膜とアルミナ皮膜の密着性に優れており、優れた耐摩耗性および耐熱性を長期間にわたり発揮させることのできる積層皮膜を提供する。
【解決手段】 上記基材上に形成された金属化合物よりなる硬質皮膜の上に、アルミナ皮膜が直接または中間層を介して形成された積層皮膜において、アルミナ皮膜形成後の硬質皮膜のビッカース硬度が２２ＧＰａ以上であることを特徴とする耐摩耗性、耐熱性および基材との密着性に優れた積層皮膜。 （もっと読む）

【課題】 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_1-(X+Z) Ａｌ_XＢ_Z）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＣｒＮ層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＣｒＢ_２層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具を、カソード電極（蒸発源）としてＴｉ−Ａｌ−Ｓｉ合金を備えた硬質被覆層形成用アーク放電装置およびカソード電極（蒸発源）として金属Ｚｒを備えた潤滑被覆層形成用スパッタリング装置、さらにカソード電極として金属Ｃｒを備えた、超硬基体表面ボンバード洗浄用アーク放電装置を設けた蒸着装置を用い、Ｃｒボンバード洗浄処理し、ついで、ＴｉとＡｌとＳｉの複合窒化物層からなる硬質被覆層を１〜１０μｍの平均層厚で形成し、さらに、酸化ジルコニウム層からなる潤滑被覆層を０．５〜５μｍの平均層厚で形成する。 （もっと読む）

【課題】 密着性の高い被膜を生成するべく、被処理面の変質や変形を防止しつつ当該被処理面を洗浄する。
【解決手段】 この表面処理装置１０は、真空槽１２を有している。この真空槽１２にガス管５８を介してアルゴンガスが導入され、カソード４０にカソード電力Ｅｃが供給されると、カソード４０から熱電子が放出される。この熱電子は、アノード電圧Ｖａが印加されたアノード４２に向かって加速され、アルゴンガス粒子に衝突する。これによって、プラズマが発生し、このプラズマ中のアルゴンイオンが被処理物３６の表面に照射され、当該表面が洗浄される。ここで、イオン照射により被処理物３６に流れる電流が５．６ｍＡ／ｃｍ^２以下となるように、アルゴンガスイオンの圧力、カソード電力Ｅｃ、アノード電圧Ｖａおよびカソードバイアス電圧Ｖｃｂを設定すれば、変質および変形を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 潤滑被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる基体の表面に蒸着形成される潤滑被覆層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である{１１１}面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分及び集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、３〜１５度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記３〜１５度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５〜６５％の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示し、かつ１〜１５μｍの平均層厚を有する窒化クロム層、で構成する。 （もっと読む）

発明の工作物は、その表面の少なくとも部分上に、Ａｌ_l-a-b-c-dＣｒ_aＸ_bＳｉ_cＢ_dＺの組成を含む耐摩耗性ハードコートを特徴として有し、ここで、ＸはＮｂ、Ｍｏ、Ｗ、またはＴａからの少なくとも１つの元素であり、ＺはＮ、Ｃ、ＣＮ、ＮＯ、ＣＯ、ＣＮＯからの１つの元素または化合物であり、かつ、０．２≦ａ≦０．５、０．０１≦ｂ≦０．２、０≦ｃ≦０．１、０≦ｄ≦０．１である。このような耐摩耗性コーティングを堆積させるためのＰＶＤプロセスがさらに開示され、少なくとも１つの工作物が真空コーティングシステムに設置され、前記システムは低圧アルゴン雰囲気中で動作し、少なくとも１つの反応ガスの少なくとも一時的な添加とともに、少なくとも２つの金属または合金のターゲットを利用し、基材に負の電圧を加える。
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【課題】 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具を、（ａ）超硬基体表面ボンバード洗浄用アーク放電装置を設けた蒸着装置を用い、（ｂ）Ｃｒボンバード洗浄処理し、（ｃ）ついで、ＴｉとＡｌの複合窒化物層からなる硬質被覆層を１〜１０μｍの平均層厚で形成し、（ｄ）さらに、酸化ジルコニウム層からなる潤滑被覆層を０．５〜５μｍの平均層厚で形成する。 （もっと読む）

【課題】 超硬合金等の工具母材に対してＴｉＷＣＮ膜などのＷを含む硬質被膜が一層優れた密着性でコーティングされるようにする。
【解決手段】 超硬合金から成る工具母材１２の表面には、ＴｉＷ合金をターゲットとするアーク放電イオンプレーティング法により、そのＴｉＷ合金の炭化物（ＴｉＷＣ）、窒化物（ＴｉＷＮ）、或いは炭窒化物（ＴｉＷＣＮ）から成る単一の組成の硬質被膜１４が設けられているため、ＴｉおよびＷを別々のターゲットとして用いてコーティングする場合のようにＴｉ化合物およびＷ化合物が混在している場合に比較して、ＴｉＷ合金とＷＣとの親和性により、ＷＣを主成分とする超硬合金の工具母材１２に対する密着性が一層向上する。これにより、優れた耐摩耗性が得られるようになり、クロム鋼等にドライ加工で切削加工を行う場合でも、実用上満足できる工具寿命が得られるようになる。 （もっと読む）

【課題】 基体との密着性、皮膜の異層間の密着性に優れた特性を有する硬質被覆層を得るための皮膜形成方法と、この皮膜形成方法により被覆した被覆部材を提供することである。
【解決手段】 蒸発源に複数の陰極物質を装着し、該蒸発源の前面に遮蔽板を設け、真空容器内でプラズマを発生させて基体の表面に陰極物質材料の皮膜を形成する物理蒸着装置を用いて、該基体表面にボンバードメント処理を行うボンバードメント工程と、皮膜を形成する被覆工程とからなり、該ボンバードメント工程は該遮蔽板により該蒸発源の放電による放出物質を該基体から遮蔽した状態で、少なくとも非金属イオンによる該基体のボンバードメント処理を行うことを特徴とする皮膜形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{１−（Ｘ＋Ｚ）} Ａｌ_X Ｓｉ_Ｚ ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＺｒＢＮ（硼窒化ジルコニウム）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＺｒＢ_２（硼化ジルコニウム）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高反応性被削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{１−（Ｘ＋Ｚ）} Ａｌ_X Ｓｉ_Ｚ ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２５〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜０．５μｍの平均層厚を有するＷＢＮ（硼窒化タングステン）層からなる密着接合層、（ｃ）０．８〜５μｍの平均層厚を有するＷＢ（硼化タングステン）層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）