【課題】水晶振動子の電極に薄膜を形成する薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】無機膜形成装置は、処理チャンバ、処理チャンバ内において複数の水晶振動子９の第１電極９１および第２電極９２に処理蒸気を付与する処理蒸気付与部、および、処理チャンバの底部に設けられて複数の水晶振動子９の下方から処理チャンバ内のガスを排気する排気部を備える。無機膜形成装置では、水晶振動子９の第１電極９１および第２電極９２の斜め上方にそれぞれ位置する処理蒸気付与部の噴出口１４３４ｂ，１４３４ａから、第１電極９１および第２電極９２に向けて処理蒸気が噴出される。これにより、第１電極９１および第２電極９２の表面に薄膜を形成する際に、第１電極９１および第２電極９２以外の部位に処理蒸気が付与されることを抑制することができ、両電極以外の部位に処理材料が付着することを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】蒸発源で形成した超微粒子を効率的にノズルへと搬送することができる構造物形成装置を提供する。
【解決手段】金属材料またはセラミックス材料を含む蒸発源となるターゲット１０７と、前記ターゲット表面から放出粒子を放出させるためのレーザー光線１１２と、前記放出粒子にガスを導入するためのガス噴射手段と、前記ターゲットの前記表面近傍において、前記放出粒子と前記ガスとを混合し冷却して混合相を形成するナノ粒子発生室１０３と、室内を大気圧未満に減圧するための減圧手段１１７と、構造物形成用の基板１１５が配置される成膜室１０５と、前記混合相を前記基板に向けて噴射するノズル１０と、を備え、前記ナノ粒子発生室１０３と前記成膜室１０５との圧力差により、前記ナノ粒子を前記ノズル１０より前記基板１１５に向けて高速で噴射して前記基板１１５上に構造物を形成する構造物形成装置。 （もっと読む）

【課題】蒸着速度を低下させることなくＸ線による悪影響を避け得る電子ビーム蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空容器１内に配置された坩堝２内の蒸着材料に電子ビームＥＢを照射し、この電子ビームの照射により蒸発した蒸着材料を真空容器１内の基板ホルダー４に保持された基板Ｋ表面に付着させて薄膜を形成するための蒸着装置であって、坩堝２と基板Ｋとの間に円筒体からなるＸ線遮蔽体１１を水平軸心回りで回転自在に配置するとともに、このＸ線遮蔽体１１を加熱するヒータ１３を具備し、且つＸ線遮蔽体１１を、坩堝２の開口部からＸ線を被蒸着部材に照射した際に、Ｘ線ＲによるＸ線遮蔽体１１の投影部分が被蒸着部材の薄膜形成範囲に略一致するような大きさにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 有機発光装置などの薄膜をマスク蒸着で形成するにあたって、大判の膜厚を均一に保ちながら、画素のパターニングが精度良くできる蒸着装置を提供する。
【解決手段】 大判の膜厚を均一にするために、材料の蒸気を放出する放出口を複数備えた蒸着装置を用いる。この際、蒸着源からの輻射熱を受けて、基板およびマスクが熱膨張により伸びてアライメント位置からずれることを防ぐため、遮熱部材を配置する。このとき、遮熱部材が材料の流れを阻害しないよう、遮熱部材の開口が対応する放出口が熱膨張により水平方向に変動する範囲を含むよう設定する。 （もっと読む）

基板上に薄膜を堆積するための方法及びシステムは、基板上方に位置付けた蒸気供給流源からの蒸発可能材料を導入することを含む。蒸発可能材料は蒸発され、蒸気供給流源から蒸気供給流として基板から離れる方向に向けられる。蒸気供給流は、リディレクタから基板の方へ向きなおされて、基板上に薄膜として堆積される。 （もっと読む）

【課題】ノズルでの蒸着物質の凝縮を防止することができる蒸発源を提供する。
【解決手段】蒸着物質が位置し、一部分が開口された蒸着物質貯蔵部と、開口された部分に連結され、蒸着物質を噴射するための開口部を有するノズル部３０と、ノズル部３０の少なくとも一部の角部を取り囲む反射板５０と、蒸着物質貯蔵部を取り囲むハウジング６０と、ハウジング６０と蒸着物質貯蔵部との間に介在される加熱部と、を含む蒸発源１００と、基板を支持するチャンバーとを含む。 （もっと読む）

【課題】成膜する際に、スプラッシュの原因となる蒸着源にて発生する粒子を速やかに取
り除くことにより、スプラッシュに起因する欠陥等の不具合が生じる虞の無い薄膜を成膜
することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを収納する真空容器２と、真空容器２内の側壁かつ基板Ｗの成膜面の
下方に配設され蒸着材料を収納する有底筒状のハース４と、このハース４に収納された蒸
着材料を加熱するプラズマガン５とを備え、このハース４はプラズマガン５と対向して配
置され、このハース４の軸線Ｌ１は、基板Ｗの成膜面の垂線Ｌ２と略直交している。 （もっと読む）

【課題】共蒸着を行う場合、蒸着材料を収納する容器を取り囲むヒータまでも傾けることになるため、容器同士の間隔が大きくなってしまい、蒸着材料を均一に混合することが困難になることに鑑み、容器同士の間隔を狭め、均一に混合しながら蒸着することを課題とする。
【解決手段】各蒸着材料の蒸発中心が被蒸着物の一点に合うように、容器が有する開口を調節する。図１０（Ｄ）に示す共蒸着においては、開口８１０ａと開口８１０ｂの両方を向かい合わせる。また、図１０（Ｅ）に示す共蒸着においては、開口８１０ｃは垂直方向に蒸発するような上部パーツを使用し、その方向に合わせて傾いた開口８１０ｄを有する上部パーツを使用して蒸発させる。 （もっと読む）

【課題】光による加熱成膜法により均一な膜厚分布を有し、かつ良質な膜を成膜し、高信頼性な発光装置を生産性よく作製できる技術を提供することを課題の一とする。
【解決手段】光による加熱成膜法において、成膜する材料層（有機化合物材料を含む層）が設けられる成膜用基板の光吸収部表面を凹凸を有する粗面（梨子地形状）とする。光による加熱により溶融した有機化合物材料は粗面上にあるために凝集せず、被成膜用基板に均一な膜厚で成膜することができる。 （もっと読む）

【課題】膜材に流れる電流量に応じて成膜レートを正確に制御することができるイオンプレーティング装置を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３と、真空チャンバ３内にプラズマビームＰを発生するプラズマガン４と、タブレット２１を収容する貫通孔５ａが形成され、真空チャンバ３内においてプラズマビームＰが照射されるハース５と、貫通孔５ａにおいて、タブレット２１を真空チャンバ３内に露出するように支持するタブレット支持棒２５と、タブレット２１に流れる電流量を測定する電流計１９とを備え、タブレット支持棒２５は、タブレット２１を支持する支持面が形成された導電性の支持棒本体３１と、支持部本体３１に対するプラズマビームＰの照射を遮断すると共に、支持面に支持されたタブレット２１を保持する絶縁性の保持具３２とを有し、電流計１９を支持部本体３１に電気的に接続して構成した。 （もっと読む）

【課題】駆動の際にもターゲットがずれ動くのを抑制でき、かつターゲットの熱膨張にも対応して、ターゲットを確実に保持することが可能なターゲット保持装置、ならびにこれを用いた成膜装置および成膜方法を提供する。
【解決手段】板状のターゲット２から叩き出され若しくは蒸発した粒子を使用して薄膜を形成する成膜装置に用いられるターゲット保持装置１０であって、ターゲット２を保持するホルダ１１が、ターゲット２から粒子が叩き出され若しくは蒸発する面である表面２ａとは反対側の裏面２ｂに接する底部１１ｂと、ターゲット２の外周面２ｃを取り囲んで設けられた側壁部１１ｃとを有し、側壁部１１ｃには、ターゲット２の外周面２ｃに接触する位置がターゲット２の内側に向かって変位可能に設けられたバネ機構１３が設けられている。 （もっと読む）

本発明は蒸着物質供給装置およびこれを備えた基板処理装置に係り、さらに詳しくは、有機物質が大容量で充填されて変質なしに保管されると共に、所望の量だけ有機物質を気化させて基板に供給することのできる蒸着物質供給装置およびこれを備えた基板処理装置に関する。
本発明に係る蒸着物質供給装置は、内部に原料物質が充填される貯留空間および原料物質が気化される気化空間が連通状に形成される坩堝と、前記坩堝に充填された原料物質を貯留空間から気化空間に連続的に又は周期的に搬送する搬送ユニットと、前記坩堝に形成される気化空間の外側に配設されて原料物質を気化させる熱を供給する発熱ユニットと、を備える。また、本発明に係る蒸着物質供給装置は、前記坩堝に形成される貯留空間の外側に配設されて前記貯留空間に貯留された原料物質の熱変質を防止する冷却ユニットをさらに備える。 （もっと読む）

【課題】有機ドライジェット印刷ヘッド及びそれを使用した印刷装置及び方法を提供する。
【解決手段】開閉バルブ及びそれを制御する制御ユニットを使用して、パターンを形成する期間で、バルブを規則的に反復開閉させながら、短い高速ジェットの反復噴射方式で有機薄膜を構成してパターンを形成する。これによって、常圧条件でのパターン印刷が可能になり、基板の大面積化及び高精細パターンの印刷が可能になる。また、有機電子デバイス製造の生産性及び経済性を高めることもできる。 （もっと読む）

【課題】原料蒸発に用いる荷電粒子流の収束状態を適切かつ簡易に調整できる荷電粒子流収束機構を提供する。
【解決手段】本発明の荷電粒子流収束機構は、原料１３を入れた蒸発源１５と、原料１３を加熱および蒸発できる荷電粒子流を放出する荷電粒子流放出手段１１０と、蒸発源と対向して配されて、荷電粒子流の収束用の磁力線を作る磁石１９と、蒸発源１５と磁石１９との間の空間において磁性部材３１を移送できる磁性部材移送手段１２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】蒸着により重合膜を成膜する際に、原料を加熱して供給する際の上記不都合が生じない重合膜の成膜方法および成膜装置を提供すること。
【解決手段】原料形成面に重合膜を形成するための複数の原料を所定パターンで形成した第１の基板１６と、重合膜を形成すべき成膜面を有する第２の基板１５とを、原料形成面と成膜面とが向き合うように処理容器２内に対向して設け、処理容器２内を真空雰囲気とし、第１の基板１６を前記複数の原料１７，１８が蒸発する第１の温度に加熱して蒸発させるとともに、第２の基板１５を複数の原料が重合反応を生ずる第２の温度に加熱し、第１の基板１６から蒸発した複数の原料１７，１８を第２の基板１５の成膜面で反応させ、成膜面に所定の重合膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】安価でかつ耐食性の高いオーステナイト系ステンレス材料からなる蒸発源や制御板等の蒸発源用治具およびその製造方法を提供する。
【解決手段】被蒸着物質に対して蒸着する際に用いられる蒸着材料を収容し一定温度に加熱して蒸着材料を蒸発させる蒸発源と、蒸着材料が加熱・溶融した際に突沸を起こして飛び散った液体が直接、被蒸着物質である基板へ飛行するのを防ぐ金属メッシュ等の分球ふるいからなる蒸発源用治具であって、この蒸発源用治具をＣｒ主体のクロム系酸化物被膜とＦｅ主体の鉄系酸化物被膜の少なくとも２層でこの順に覆われたオーステナイト系ステンレスとする。 （もっと読む）

【課題】安価でかつ耐食性の高い蒸発源や制御板等の蒸発源用治具およびその製造方法を提供する。
【解決手段】被蒸着物質に対して蒸着する際に用いられる蒸発源用治具であって、蒸発源用治具がＣｒ主体のクロム系酸化物被膜とＦｅ主体の鉄系酸化物被膜の少なくとも２層でこの順に覆われたオーステナイト系ステンレスまたは検出硬化系ステンレスからなり、このオーステナイト系ステンレスまたは検出硬化系ステンレスが３族元素、４族元素、５族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｐのうち少なくとも１つの強還元性元素を０．１ｍｏｌ％以上含むものとする。 （もっと読む）

有機材料を気化させるための蒸発器について記載する。その蒸発器は、被覆すべき基板に向けられるように構成されるノズルを有する第１のチャンバーと、有機材料を気化させるための少なくとも１つの第２のチャンバーと、気化有機材料を少なくとも１つの第２のチャンバーから第１のチャンバーへ案内するための少なくとも１つの蒸気チャネルとを包含し、第１のチャンバーは、第１の仮想昇華表面に対応するノズルに気化有機材料を提供するように構成され、少なくとも１つの第２のチャンバーは、操作の間は第２の昇華表面積を提供するように構成され、第２の昇華表面積は、第１の仮想昇華表面の少なくとも７０パーセントに相当する。
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フレキシブル基板上に堆積させる有機材料を気化させるための蒸発器について記載する。本蒸発器は、有機材料を気化させるためのキャビティを取り囲む壁を有する蒸発管と、壁に隣接して配置され、蒸発管を加熱する少なくとも１つの加熱デバイスと、蒸発管から突き出した少なくとも１つのノズルアセンブリであって、開口部を有するノズルカバーをさらに備えたノズルアセンブリと、ノズルカバーの開口部を選択的に開閉するためのシャッタであって、ノズルカバーの温度がシャッタ温度範囲内になるように、蒸発管の動作中、１４０℃のシャッタ温度範囲内の温度を有するシャッタとを含む。
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【課題】チューブ全体を均一に加熱することができ、チューブの内周面に付着した材料を効率よく再蒸発させることができる蒸気案内管を提供する。
【解決手段】蒸気案内管１０は、蒸着材料を収容し、その材料を加熱して材料の蒸気を発生させる坩堝１２と、坩堝１２をその内部に設置し、坩堝１２から発生した蒸気を長手方向前方へ流動させるガラス管１１と、ガラス管１１の外周面を包被する金属管１３とを有する。この蒸気案内管１０では、所定の電気抵抗を有する透明導電性酸化スズ膜がガラス管１１の外周面に成膜され、ガラス管１１の外周面に所定の厚み寸法を有する電気抵抗薄膜を形成し、電気抵抗薄膜がその抵抗加熱によって発熱し、ガラス管１１を所定温度に加熱する。 （もっと読む）