【課題】薄膜材料蒸気を互いに異なる複数の場所から均一に放出させ、均一な膜厚で薄膜を成膜できる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】
真空槽１１内に配置された放出装置２０は、一個又は二個以上の放出ユニット２０ａを有し、各放出ユニット２０ａは、中空で長手方向を有する放出容器２１ａを有し、放出容器２１ａ内には放出容器２１ａの長手方向に沿って二本以上の導入管３１ａ₁〜３１ａ₃が、放出口２５ａから異なる距離で位置するように配置され、異なる導入管３１ａ₁〜３１ａ₃に設けられた導入口３５ａ₁〜３５ａ₃は、長手方向上の異なる場所に位置するように形成されている。各導入管３１ａ₁〜３１ａ₃への蒸気供給速度を制御することで各放出口２５ａからの蒸気放出量を均一にできる。 （もっと読む）

【課題】材料利用効率が高く、膜厚分布を均一にでき、かつ、装置が大型化することを抑制できる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】長手方向を有する蒸発源１及び前記蒸発源１を前記蒸発源１の長手方向と垂直なスキャン方向に駆動させる機構を有する真空蒸着装置において、前記蒸発源１の長手方向に複数の異なる形状を有するノズル２を備え、前記ノズル２から噴射する蒸気の放射分布が、長手方向の中央部に対して両端部では狭まった放射分布を有する。これによって、長手方向の両端部付近のノズル２から噴射して基板３の有効面の外側に蒸着される無駄な有機材料の消費量を抑え、膜厚均一性の高い有機薄膜を高い材料利用効率で成膜することができる。 （もっと読む）

本発明は、２つの区画を備えた容器を有する気相蒸着供給源について記載する。第１の区画は、蒸気を生成するためのものである。この区画は、材料のための入れ物およびその入れ物の中に置かれる材料を加熱するための手段を備えている。第２は、拡散区画であり、この拡散区画は、生成区画と連通する容器を有し、かつ少なくとも１つのオリフィスを備え、その結果、気相状態の材料がこのオリフィスを通って容器の外側に向かって送られる。この供給源の特徴は、一方では、空間が熱輸送液体で満たされる中間空間を画定している内壁および外囲器を有し、他方では、空間がこの液体を加熱するための手段で埋められていることである
（もっと読む）

【課題】有機材料の熱的劣化を軽減し、長時間にわたって安定した品質の薄膜形成が可能な真空蒸発源を提供する。
【解決手段】有機材料１３を収容すると共に有機材料１３を蒸発させる蒸発室１４を有し、蒸発させた有機材料１３を噴出する真空蒸発源１１において、蒸発室１４の加熱領域を深さ方向に複数に分割し、分割した加熱領域毎にヒータ２１〜２３を各々配置し、有機材料１３の表面がある加熱領域を、当該加熱領域のヒータにより有機材料１３の気化温度で加熱し、有機材料１３の表面がある加熱領域より上の加熱領域を、当該加熱領域のヒータにより有機材料１３の再付着温度より高い温度で加熱し、有機材料１３の表面がある加熱領域より下の加熱領域を、当該加熱領域のヒータにより気化温度より低い温度で加熱する。 （もっと読む）

【課題】大型基板に対応可能な蒸着マスク、蒸着装置、蒸着方法を提供する。
【解決手段】
蒸着マスク１０上で開口部１１をその中心間距離が基板５０のピクセル５１ａ₁、５１ａ₂の中心間距離の２倍になるように形成する。この蒸着マスク１０を基板５０上に配置し、各ピクセル５１ａ₁、５１ａ₂、５１ａ_xの上方に開口部１１と遮蔽部１９が交互に配置されるように位置合わせした状態で、開口部１１と対面するピクセル５１ａ₁を成膜し、次いで蒸着マスク１０をピクセル５１ａ₁、５１ａ₂の中心間距離だけ移動させ、移動前に遮蔽部１９と対面していた未成膜のピクセル５１ａ₂、５１ａ_xの上方に開口部１１を位置させ、その状態で未成膜のピクセル５１ａ₂、５１ａ_xに薄膜を成膜する。開口部１１の間隔が従来より広いため、開口部１１形成の際に蒸着マスク１０が破損する虞を従来より低減でき、大型の蒸着マスク１０の製作が容易になる。 （もっと読む）

本発明は、２つの区画を備えた容器を有する気相蒸着供給源について記載する。第１の区画は、蒸気を生成するためのものである。この区画は、材料のための入れ物およびその入れ物の中に置かれる材料を加熱するための手段を備えている。第２は、生成区画と連通している拡散区画である。この拡散区画は、少なくとも１つのオリフィスを備え、その結果、気相状態の材料がこのオリフィスを通って容器の外側に向かって送られる。この供給源の特徴は、オリフィスを閉じるための手段、およびその閉じるための手段を、有効閉位置とオリフィス開位置との間で動かす手段を含んでいることである。
（もっと読む）

【課題】ヒーターや保温構造のような新たな構成を追加することなくノズルの温度低下を抑制することができる真空蒸発装置を提供する。
【解決手段】真空容器１１内に、蒸発させる材料１２を加熱するための容器である坩堝２と、坩堝２の蓋２ａに取り付けられる蒸発した気化材料１３を坩堝２外へ放出するためのノズル３とにより構成される蒸発源１と、材料１２を蒸着させる蒸着対象物である基板１０とを備える真空蒸発装置において、ノズル３を、坩堝２内に突き出した部分２ａと、坩堝２外に突き出した部分２ｂとにより構成した。 （もっと読む）

【課題】静電容量バラツキの少ない大容量電極箔を形成する事を目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、表面に凹溝１７が形成された基体１８からなる蒸着用ボート１３であって、凹溝１７は、少なくとも蒸着材料が供給される供給用凹溝１９と、この供給用凹溝１９と連通し、蒸着材料を蒸発させる蒸発用凹溝２０とで構成され、供給用凹溝１９は蒸発用凹溝２０よりも幅が狭く、表面に供給用凹溝１９が形成された領域の基体１８の抵抗値に対する、表面に蒸発用凹溝２０が形成された領域の基体１８の抵抗値の比は、蒸着材料の沸点を蒸着材料の融点で除した値以上であるものとした。これにより本発明は、供給用凹溝１９近傍の温度を下げ、供給用凹溝１９近傍における蒸着材料の溶融や酸化を抑制し、蒸発量を安定化し、均一に粗膜層７を形成できる。 （もっと読む）

【課題】面型蒸着源及びその蒸着メッキ法とシステムの提供。
【解決手段】本発明の面型蒸着源及びその蒸着法とシステムは、少なくとも一つの蒸着材料を蒸着源基板の内の一面に被覆して面型蒸着源とする。前記蒸着材料の分布エリアは、蒸着材料の気化後に蒸着対象基材を包含するエリアとなる。加熱装置を蒸着源基板を加熱可能なエリア内に配置し、加熱装置が面型蒸着源に対して熱源を提供することにより、面型蒸着源は固体から気体へと変換し、蒸着対象基材の表面に拡散する。蒸気を原子或いは分子状態で段階的制御を行う手段に基づき、蒸着対象基材の表面にて核生成、凝結、及び核生成、成長させるメカニズムにより薄膜を形成するため、伝統的な塗布及びインクジェット技術では得られなかった均等性、ナノサイズのコントロール特性等を備える特殊構造及び機能性を有する薄膜を獲得できる。 （もっと読む）

【課題】単一の蒸発源で、しかも蒸発源と基板との相対運動を必要とすることなく、大面積で均一な膜形成を実現することのできる蒸発源を提供する。
【解決手段】蒸発源３は、セラミック製のルツボ４、ルツボを加熱するヒーター５等を有する。ルツボ内の蒸着材料８を気化させて蒸着材料の蒸気を発生させ、ルツボの蒸発口に配置された多孔体９の空孔から放出し、平板状の基板上に堆積させて薄膜を形成する。多孔体は、多孔性の板材９ａの一部を切り取り、円錐状に曲げたもので、ルツボの蒸発口における空孔の面内位置に応じた蒸気放出方向の分布をもつことで、薄膜の膜厚を均一化する。 （もっと読む）

【課題】有機材料が変成しない有機薄膜形成装置の加熱容器を提供する。
【解決手段】内部に有機材料が収容される空間部が形成されて密閉された上部に少なくとも一つ以上の吐出孔が形成される本体と、上記本体の外周面に設けられるヒータを含む有機薄膜形成装置の加熱容器において、吐出孔の大きさが本体の容積、蒸着レートによって設定される。例えば本体の容積が２０ｃｃ以上２００ｃｃ以下の場合には、吐出孔は直径５ｍｍ以上２５ｍｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】大型基板の量産工程に容易に適用でき、歩留まりが向上した薄膜蒸着装置、これを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法及びこれにより製造された有機発光ディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】蒸着物質を放射する蒸着源と、蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、蒸着源ノズル部と対向するように配され、第１方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、複数のパターニングスリットの長さが互いに異なって形成されるパターニングスリットシートと、蒸着源ノズル部とパターニングスリットシートとの間に第１方向に沿って配されて、蒸着源ノズル部とパターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間で区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリーと、を備え、薄膜蒸着装置は、基板と所定距離ほど離隔して形成され、薄膜蒸着装置と前記基板とは、いずれか一側が他側に対して相対的に移動自在に形成されることを特徴とする薄膜蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】大型基板の量産工程に容易に適用され、製造収率が向上した薄膜蒸着装置を提供する。
【解決手段】基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、蒸着物質を放射する蒸着源と、蒸着源の一側に配され、第１方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、蒸着源ノズル部と対向するように配され、第１方向に対して垂直である第２方向に沿って複数個のパターニング・スリットが形成されるパターニング・スリットシートと、を含み、基板が薄膜蒸着装置に対して、第１方向に沿って移動しつつ蒸着が行われ、蒸着源、蒸着源ノズル部及びパターニング・スリットシートは、一体に形成されることを特徴とする薄膜蒸着装置である。 （もっと読む）

【課題】蒸着圧力と膜均一度を向上させた蒸着装置を提供する。
【解決手段】モノマー流入口２０と蒸気流出口４０とを有する気化チャンバ１５を備える蒸着装置１０である。蒸気流出口には、蒸気ノズル４５が備えられている。蒸着装置は、気化チャンバと蒸気ノズルとの間に位置したカラー５０を備え、カラーは、ノズルを通じたコンダクタンスがほとんど変わらない間に気化チャンバの圧力を増大させる。 （もっと読む）

【課題】所定パターンに形成された複数のスリットを含むマスク組立体を用いて蒸発源から放射される蒸発物質を選択的に基板に蒸着する蒸着装置において、上記蒸発源のノズル構造を変更してシャドー効果を最小化する蒸発源及びそれを用いた蒸着装置を提供する。
【解決手段】本発明の蒸発源は、一側が開口され、蒸発物質が保存されるるつぼと、上記るつぼの開口側に位置し、内壁の一部領域が傾斜された１つまたは複数のノズルを含むノズル部と、加熱部と、るつぼ、ノズル部及び加熱部を収納するためのハウジングとを含み、ノズル部の最大放射角は６０゜未満であることを特徴とする。また、本発明の蒸着装置は、工程チャンバと、内壁の一部領域が傾斜された１つまたは複数のノズルを含む蒸発源と、基板ホルダと、側面が表面を基準に第１傾斜角度をなす複数のパターンが形成されたマスクとを含み、蒸発源の最大放射角は上記第１傾斜角度以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、原料物質を収容する気化ルツボと、前記気化ルツボを加熱して前記原料物質を気化させる気化加熱部と、前記気化ルツボの温度を測定する温度測定部と、前記気化加熱部の印加電源を測定する電源測定部及び前記温度測定部の温度変化値及び前記電源測定部の電源変化値のうちのいずれか一方に基づいて、原料物質の気化量を調節する制御部を備える気化装置及びこの制御方法を提供する。このように、本発明は、原料物質の気化時に温度変化値または電源変化値に基づいて気化量を測定する非接触／電子方式を用いる。従って、接触方式とは異なり、気化量測定手段が原料ガスに直接的に接触しないことから、種々の原料が供給可能であり、しかも、大容量の原料を長時間に亘って供給しても性能が低下することがない。なお、電子方式により気化量を極めて精度よく測定することができるので、より精度よい原料の供給が可能となる。 （もっと読む）

【課題】異物が流出することによる不都合を防止した蒸着坩堝と、これを備えた蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料３を収容する坩堝本体８と、坩堝本体８の開口部８ａに着脱可能に被着された、蓋板部１２と筒部１３とを有する蓋９と、を備えた蒸着坩堝４である。蓋９には、蓋板部１２に蒸着材料３の昇華物又は気化物を通過させる流出口１２ａが設けられている。坩堝本体８の開口部８ａと流出口１２ａとの間には、蒸着材料３の昇華物又は気化物の流路の一部を遮断する邪魔板１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】複数の隔壁を用いて、るつぼの内部空間を分離する線形蒸発源において、るつぼの分離された空間に残存する蒸発物質量の偏差を最小化し、成膜の不均一が防止できる線形蒸発源及びそれを用いた蒸着装置を提供する。
【解決手段】一側が開口され、蒸発物質を保存するるつぼ３２０と、るつぼの内部空間を分割し、下部に１つまたは複数の貫通ホール３２５ｂが形成される複数の隔壁３２５と、るつぼの開口側に位置し、複数のノズル３３５を含むノズル部と、るつぼを加熱するための加熱手段３４０と、るつぼ、ノズル部、及び加熱手段を収納するためのハウジング３１０とを含む線形蒸発源３００。また、工程チャンバ２００と、該工程チャンバの一側に位置する線形蒸発源３００と、線形蒸発源に対向するように位置する基板ホルダ５００とを含む蒸着装置１００。 （もっと読む）

【課題】大面積基板に均一な膜厚の薄膜を形成する技術を提供する。
【解決手段】真空槽８内に配置された細長の放出装置３０の両端位置の第一、第二の接続口３８ａ、３８ｂに、第一、第二の蒸気生成装置２０ａ、２０ｂを接続し、第一、第二の蒸気生成装置２０ａ、２０ｂから、放出装置３０の両端位置に成膜材料の蒸気を供給する。放出装置３０の一端から他端に亘って、真空槽８内に蒸気が均一に放出される。第一、第二の蒸気生成装置２０ａ、２０ｂから放出装置３０に供給される蒸気の供給速度を個別に制御することで、膜厚が均一な薄膜を基板６の成膜面上に成膜することができる。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の補充や交換の作業を容易にし、さらに坩堝のメンテナンスについてもこれを容易にした、蒸着装置を提供する。
【解決手段】被処理体に蒸着材料を蒸着させる蒸着装置である。蒸着室内に配置されて蒸着材料３を収容する収容容器４と、収容容器４内の蒸着材料３を加熱する加熱手段３と、を含む。収容容器４は、外容器８と、外容器８内に着脱可能に収容されて蒸着材料３を収容する内容器９と、を有している。 （もっと読む）