【課題】均一な蒸着膜厚分布と材料利用効率向上を実現し，かつ熱による基板に形成された蒸着膜へのダメージを与えず，ノズルつまりも防止する真空蒸着装置を実現する。
【解決手段】複数のノズル４が第１の方向に配列した蒸発源ユニット３１が複数幅方向に配列して蒸発源３を形成している。ノズル４の出口において、蒸発源３から放射される蒸発物質を左右から挟む形で第１の反射散乱板５と第２の反射散乱板６を配置する。蒸発源３に近い第１の反射散乱板５は加熱手段によって加熱され、蒸発源３から遠く、基板に近い第２の反射散乱板６は加熱手段を有さず、冷却手段を有する。これによって、基板における蒸着膜厚分布を均一化でき、蒸着材料の利用効率を上昇させ、基板に形成された蒸発物質に対する熱によるダメージを抑えることが出来、蒸着ノズル付近における蒸発物質の堆積を防止することが出来る。 （もっと読む）

【課題】大型基板に偏りなく均一に多品種の積層膜を成膜可能な成膜装置若しくは成膜方法を提供することを課題の一とする。また、複数の材料で形成される薄膜の組成を精密に制御することが可能な成膜装置若しくは成膜方法を提供することを課題の一とする。
【解決手段】半径方向に並べて配置された複数の蒸着源を有する蒸着源群を、回転軸に対して放射状に複数配置する。成膜は回転軸に対して基板が公転、または蒸着源群を配置したテーブルが自転、若しくはその両方をさせながら行う。その際、回転半径の小さい箇所と大きい箇所とでは線速度が異なるため、成膜速度を均一にするために、テーブルに半径方向に並べた蒸着源は、外側に向かうほど気化速度が速くなるよう制御すればよい。 （もっと読む）

【課題】蒸着対象物の表面に分布が均一の蒸着を高速で行うことができる技術を提供する。
【解決手段】本発明の蒸着装置１０は、蒸気放出器１００が、蒸発材料の蒸気の導入側から放出側に向って４^n-1（ｎは自然数）の等比級数で段階的に分岐する連通口を介して連通された箱状の第１〜第３蒸気分岐部１〜３を備えている。第３蒸気分岐部３の蒸気放出側端部に、蒸発材料の蒸気を蒸着対象物に向って面状に放出する複数の蒸気放出口３Ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】蒸発材料を劣化させずに長時間放出を継続できる技術を提供する。
【解決手段】
真空槽１１内に加熱側筒体２３と冷却側筒体２４とを、加熱側筒体２３が上になるように配置して、それらの内部に蒸発材料１５が配置された蒸発材料容器２６を挿入し、蒸発材料１５の上部の所定量が、加熱側筒体２３の内側に配置されて、加熱側筒体２３から加熱されて蒸気が放出されるようにする。このとき、蒸発材料１５の下部は、冷却側筒体２４によって冷却され、不必要に加熱されず、劣化しないようになる。 （もっと読む）

【課題】解像度特性が向上した放射線検出素子およびその製造方法、放射線検出モジュール並びに放射線画像診断装置を提供する。
【解決手段】加熱し蒸発させた蒸着材料を複数の放出孔４１Ａ１，〜４１Ａｎ，４１Ｂ１〜４１Ｂｍを有する蒸着用容器（プレート）４１に誘導し、蒸着材料を複数の放出孔４１Ａ１，〜４１Ａｎ，４１Ｂ１〜４１Ｂｍから放出してセンサー基板１１に蒸着する。これによりシンチレータ層を構成する柱状結晶の成長および分布のばらつきが低減される。 （もっと読む）

【課題】発光層などの薄膜素子に損傷を与えることなく、成膜可能な蒸着装置を開発する。
【解決手段】
真空雰囲気に維持可能であってガラス基板８を設置可能な蒸着室２と、電子ビームを照射して薄膜材料１５を蒸発させる蒸発装置３とを有し、蒸着室２にガラス基板８を設置し、蒸発装置３によって蒸発された薄膜材料１５を蒸散させて前記ガラス基板８に所定成分の薄膜を蒸着する真空蒸着装置１において、蒸発装置３と蒸着室２との間に管路６があり、蒸発装置３で蒸発した薄膜材料１５の気体が管路６を経て蒸着室２に導入される構成とする。 （もっと読む）

【課題】蒸着ステージを移動しながら、多層膜の蒸着を行う場合に、蒸着マスクと基板の熱膨張の差によって、蒸着マスクと基板が位置ずれを起こすことを防止する。
【解決手段】
蒸着ステージにおいて蒸着マスクを介して基板に所定の蒸着を行い、その後蒸着マスク、基板および押さえ板３０の組を移動させ、他の蒸着ステージにおいて、蒸着マスクを介して基板に他の蒸着を行う。蒸着マスク、基板、押さえ板３０の組が移動している間、冷却ローラ６０を押さえ板３０に接触させ、蒸着マスクを介して基板に他の蒸着を行っている間は、冷却ローラ６０は押さえ板３０からは離しておく。冷却ローラ６０は金属で形成され、表面に高分子材料がコーティングされており、内部を冷却媒体が流れることが出来る。基板および蒸着マスクの温度が上がって熱膨張することを回避することが出来るので、有機ＥＬ表示装置の製作裕度を向上させることが出来る。 （もっと読む）

【課題】大型基板の量産工程にさらに適しており、高精細のパターニングを可能にする有機層蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に有機層を形成するための有機層蒸着装置において、基板と結合して基板を固定させ、基板の載置面が所定の曲率を持つように形成される静電チャック；基板側に蒸着物質を放射する蒸着源；蒸着源の一側に配置され、第１方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部；蒸着源ノズル部と対向して配置され、第１方向に対して垂直の第２方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、第２方向と、第１方向及び第２方向に対して垂直の第３方向とが形成する平面上での断面が一定に曲げられるように形成されるパターニングスリットシート；を備える有機層蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】蒸発源から蒸発材料が無くなった場合も、真空を破らずに蒸発源の交換を可能にすることが出来る真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】複数の蒸発源と蒸気放出部を配管とバルブで接続し、バルブは蒸発源側配管側に形成された中空コーン部に超弾性β系チタン合金による弾性シール１００を配置した構成をシール部とし、弁体にはステンレスによるコーン状弁体１２０を用いる。超弾性β系チタン合金による弾性シールは、弾性係数が非常に小さく、コーン状弁体の形状に対してフレキシブルに変形することが出来、変形後も元の形に復帰するという性質を有するので、シールの信頼性を上げることが出来る。また、繰り返し変形を受けても硬化あるいは、塑性変形をしないという性質があるので、シール部として繰り返し使用することが出来る。したがって、バルブの信頼性の向上と蒸着工程のタクトタイムを向上することが出来る。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス素子の発光効率と発光寿命を改良する金属パターン形成用積層体とそれを用いた金属パターン形成方法及び該金属パターンを有する有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】光熱変換層３と金属転写層４とを有する金属パターン形成用積層体１に真空下で赤外レーザー８を照射し、該赤外レーザーを照射した領域９の金属転写層を蒸発させて、非接触の被転写体５の上に金属パターンを形成することを特徴とする金属パターン１０の形成方法。 （もっと読む）

【課題】薄膜材料の使用効率が高く、大型基板に所定の形状の薄膜を形成できる技術を提供する。
【解決手段】
材料ガス放出装置３０は、内部に材料ガスが配置される中空の蒸気タンク３２ｈ、３２ｄと、載置面１３と対面する位置に配置され、蒸気タンク３２ｈ、３２ｄにそれぞれ接続された複数の放出装置本体３１₁、３１₂、３１₃と、各放出装置本体３１₁、３１₂、３１₃を、載置面１３に平行で薄膜形成方向５と直角な成分を有する方向にそれぞれ個別に移動する位置調整装置とを有している。材料ガス放出装置３０と処理台１２を一の薄膜形成方向５に沿って相対移動させながら、各放出装置本体３１₁、３１₂、３１₃から材料ガスを真空槽１１内に放出させて載置面１３上の成膜対象物２０に到達させ、直線状の薄膜を複数本同時に形成する。 （もっと読む）

【課題】所定量の成膜材料を供給しながら蒸発できる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】
真空槽１１内を真空排気し、放出容器１６に接続された気化容器２１を成膜材料の蒸発温度以上で、かつ成膜材料を含有する液体材料の溶媒の蒸発温度以上に加熱し、気化容器２１内に液体材料を所定量噴出させ、成膜材料を気化容器２１内に配置された気化部材２２に付着させ、次いで気化容器２１内から溶媒の蒸気を排出した後、気化部材２２を成膜材料の蒸発温度以上に加熱して、気化部材２２に付着した成膜材料を蒸発させ、成膜材料の蒸気を放出容器１６に流入させ、放出容器１６の孔１７から成膜材料の蒸気を放出させ、真空槽１１内に配置された基板１５に到達させる。 （もっと読む）

【課題】均質で欠陥のない金属蒸着膜を効率良く被蒸着体上に形成することができる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー内に蒸着される金属を含有する円形坩堝と被蒸着体とを配置し、円形坩堝から気化した金属を被蒸着体の表面に蒸着させるようにした真空蒸着装置において、円形坩堝の開口部から当該円形坩堝の内面底部にまで達していない長さの当該円形坩堝の内周面に外接した金属円筒状体を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の回収手段を備えた蒸着装置において、蒸着材料の回収効率を向上し、生産性の改善を図る。
【解決手段】材料容器９から噴出部５までの第１流路１１と、材料容器９から材料回収容器１０までの第２流路１２に、検出口６，７を設け、該検出口６，７から噴出する蒸着材料の噴出状態を検知する検出器３，４を配置し、材料容器９から検出口６までのコンダクタンスと、材料容器９から検出口７までのコンダクタンスを等しく構成する。 （もっと読む）

【課題】長時間に亘る蒸着でもコンタミネーションの発生を抑制可能な蒸発装置及び該蒸発装置を有した蒸着装置を提供することである。
【解決手段】薄膜材料４０を保持する材料保持部２１を複数有し、さらに１又は２以上の材料保持部２１内の薄膜材料４０を加熱する加熱手段２２と、材料保持部２１に薄膜材料４０を供給する材料供給手段２４と、材料保持部２１を移動させる保持部移動手段２３を有し、１又は２以上の材料保持部２１を使用し、材料保持部２１に対して材料供給手段２４によって連続的に又は間欠的に薄膜材料４０を供給すると共に、材料保持部２１に供給された薄膜材料４０を加熱手段２２によって加熱して蒸発させ、一定要件を満足することを条件の一つとして保持部移動手段２３によって材料保持部２１ａを移動し、新たな材料保持部２１ｂに交換する。 （もっと読む）

【課題】種々の基板５の表面に分布が均一の成膜等の真空処理を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】基板５が配置される真空槽２と、真空槽２の外部に設けられ処理ガスを供給する処理ガス供給源７と、配管を用いて構成され、処理ガス供給源７から供給された処理ガスを基板５に向って放出する蒸気放出器１０とを備える。蒸気放出器１０は、有機材料の蒸気の導入側から放出側に向って４^n-1（ｎは自然数）の等比級数で段階的に分岐する第１〜第３の分岐配管ユニット１１〜１３を有する分岐配管群１１０〜１３０を備え、最終段の第３の分岐配管群１３０における分岐配管ユニット１３のガス放出側端部に、処理ガスを放出する蒸気放出口１４ａ〜１４ｄがそれぞれ設けられ、これら複数のガス放出口１４ａ〜１４ｄから基板５に向って有機材料の蒸気を放出するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】マスクが撓むことなく、パターニングした有機薄膜を形成する技術を提供する。
【解決手段】基板１１上に蒸気放出装置１４を配置し、蒸気放出装置１４内の蒸気供給源２１のノズル２２から有機化合物蒸気を放出させ、ノズル２２と対面する位置のアパーチャ孔２４を通過した有機化合物蒸気をマスク板２５に到達させ、マスク貫通孔２６を通過させ、相対移動によって、基板１１表面に直線状の複数の有機薄膜を形成する。マスク板２５の相対移動方向の長さは、基板１１の相対移動方向の長さよりも短いので、マスク板２５が垂れ下がることはない。有機化合物蒸気がアパーチャ孔２４を通過してマスク板２５に到達するから、斜め成分が除去されてシャープなパターンの有機薄膜を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】クラスタービーム強度をさらに向上させるとともに、基板上に適切に堆積させて、クラスターを有効に利用できるクラスター成膜装置を提供する。
【解決手段】クラスター成膜装置は、ターゲットＴを蒸発させてクラスターを生成するようにターゲットの蒸発面にレーザを照射するレーザ手段と、生成したクラスターを閉込めるクラスター生成室３１を有するクラスター生成本体１２と、基板Ｓをその成膜面がクラスター生成室内に臨ませられるように保持するホルダ１３とよりなる。 （もっと読む）

【課題】薄膜素子の生産効率と材料の利用効率を向上させることが可能な蒸着装置を提供することである。
【解決手段】ガラス基板７を設置可能な真空室２と、薄膜材料を真空雰囲気中で蒸発させる蒸発装置５と、蒸発された薄膜材料を面状に蒸散させる複数の蒸散管４とを有し、真空室２内にガラス基板７を設置して所定成分の薄膜を蒸着する蒸着装置１において、揺動装置２０を有し、ガラス基板７は揺動装置２０に固定されるものであり、ガラス基板７に薄膜を蒸着する際には、ガラス基板７を蒸散管４に対向した状態で近接させ、ガラス基板７を平面内で揺動させる。 （もっと読む）

【課題】蒸発材料の指向性を弱めるとともに、絞り板の絞り口が塞がれることなく、安定して均一な膜厚の蒸着膜を生成し得る真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸発容器と、この蒸発容器で得られた蒸発材料を拡散し得る拡散容器と、この拡散容器に設けられて放出口３３から蒸発材料を基板に向かって放出する放出用ノズル３２と、この基板が内部に配置されて所定の真空度下で蒸着を行う蒸着用容器とを具備する真空蒸着装置であって、放出用ノズル３２の内径を拡大することで形成されるとともに放出口３３に対向する内壁段差３４を有し、この内壁段差３４に配置されて放出用ノズル３２の内径よりも小径のオリフィス３７が形成されたオリフィス板３６と、このオリフィス板３６を上記内壁段差３４とで挟むように配置されたＣ形止め輪３８とを具備したものである。 （もっと読む）