【課題】膜欠陥の少ない高性能の発熱体ＣＶＤ装置及び発熱体ＣＶＤ法を提供すること。
【解決手段】基体２を収容する真空容器１と、該真空容器１内に原料ガスを供給するガス供給手段７と、該ガス供給手段７より供給される原料ガスに接触するように配置された発熱体４と、ガス供給手段７と基体２との間に配置され、且つガス供給手段７からの原料ガスを通過させるための穴部９ａを有する遮蔽部材９と、を備えた発熱体ＣＶＤ装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】高周波電力によって生起されたプラズマを用いた堆積膜形成において、異常成長の発生を低減すること。
【解決手段】堆積膜形成装置は、内部を減圧可能な反応容器１０１を有し、反応容器１０１内には、原料ガスを供給するガス供給手段１１０が設けられ、複数の円筒状基体１０５が同一円周上に等間隔に配置され、反応容器１０１の外に、高周波電力導入手段１０２が配置されており、原料ガスを高周波電力によって励起、解離させることによって、円筒状基体１０５上に堆積膜が形成される。この堆積膜形成装置には、同一円周上に配置された円筒状基体１０５に囲まれた領域の内部に、アースに落とされ冷却された導電性の円筒状部材１１１が設置されている。 （もっと読む）

【課題】 温度差のある二つの部材を電気絶縁し、かつ効率良く高温部の熱を低温部へ伝達させる熱交換絶縁部材を廉価で提供する。
【解決手段】 本発明の熱交換絶縁部材は、高温部４と、高温部４より低温の低温部２と、高温部４と低温部２との境界の少なくとも一部に配置され、ＣとＳｉとを含むアモルファス炭素−珪素部材３と、を備え、アモルファス炭素−珪素部材３は、高温部４と低温部２とを電気絶縁し、かつ高温部４と低温部２とを熱交換させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 人工関節用インプラントの耐久性を高める。
【解決手段】 炭化水素ガス及び有機シリコンガスの混合ガスのプラズマを使用し、炭化水素ガスのガス種とイオン注入電圧とを変化させて、イオン注入及びＣＶＤを組み合わせた複合プロセスにより、インプラント基材（１ａ）の表面にＤＬＣ膜（５）を成膜する。人工関節用インプラントのＤＬＣ膜の界面接着強度を高め、摩擦係数を低減することができ、従って、人工関節の強度、耐久性を高めることができる。 （もっと読む）

【解決手段】基板を磁気ディスクメモリに製造するのに使用するための冷却装置であって、冷却プレートが基板に関して動的に配置されるところの冷却装置が説明される。これにより、効果的な冷却のために冷却プレートを基板により近く配置することが可能となる。配置は冷却プレートと冷却すべき基板との間の容量測定値により制御される。 （もっと読む）

【課題】耐腐蝕性が改良されたダイヤモンド被覆電極を提供すること。
【解決手段】本発明は、導電性ダイヤモンドで形成された被覆部を、少なくともその一方の面に有する基板（Ｆ）からなる電極で、該被覆部が、第１平均粒径を有する少なくとも１つの第１ダイヤモンド層（Ｂ、Ｄ）と、第２平均粒径を有する少なくとも１つの第２ダイヤモンド層（Ｃ、Ｅ）とからなり、該第１平均粒径が、第２平均粒径よりも大きく、第１ダイヤモンド層（Ｂ、Ｄ）が、第２ダイヤモンド層（Ｃ、Ｅ）で覆われている、電極に関する。 （もっと読む）

少なくとも滑り面の一定部分に少なくとも支持コート層と滑りコート層とからなる被覆コート層が析出被着された、滑り軸受に使用するための銅または銅含有合金からなる軸受材料であって、滑りコート層は硬質コート層であって、ダイヤモンドタイプの炭素を含有してなる軸受材料。 （もっと読む）

本発明は、核形成密度が高い有機金属ルテニウム化合物に関する。本発明はまた、前記核形成密度が高い有機金属ルテニウム化合物を生成するのに十分な反応条件下で、ビス（置換ペンタジエニル）ルテニウム化合物を置換シクロペンタジエン化合物と反応させることを含む核形成密度が高い有機金属ルテニウム化合物を製造する方法に関する。本発明は、核形成密度が高い有機金属ルテニウム化合物前駆体を分解し、これにより被膜、コーティング又は粉末を製造することにより、被膜、コーティング又は粉末を製造する方法にさらに関する。 （もっと読む）

化学蒸着（ＣＶＤ）を用いてナノ構造を合成するためのシステムが提供される。該システムは、ハウジンングと、ハウジング内の多孔質基板と、該基板の下流面上における複数の触媒粒子とを含む。多孔質基板を通過する反応ガスとの相互作用により、該触媒粒子からナノ構造が合成され得る。成長中のナノ構造を支持させる電界を発生させるため、電極が設けられ得る。伸長した長さのナノ構造を合成するための方法も提供される。ナノ構造は、熱導体、ヒートシンク、電動機用の巻線、ソレノイド、変圧器、織物製造用、甲冑、並びに他の用途に有用である。 （もっと読む）

本発明は、金属加工物上に防錆性の機能表面を形成する方法において、前記加工物に複数の層を提供し、少なくとも一層が防錆層であるようにする方法に関する。これらの層はプラズマコーティングにより単一工程で提供し、プラズマは化学物質の混合物を含む。 （もっと読む）

少なくとも２つの層の誘電体を有する層システムを含むディスプレイ装置用拡散バリアシステムであって、その層システムのうち少なくとも２つの隣接する層は同一の材料を含む。そのような拡散バリアシステムの製造方法であって、プラズマ蒸着システムの単一のプロセスチャンバにおいて、該プロセスチャンバに処理対象の基板を投入し、蒸着中に、制御された態様で、プロセスチャンバにおける少なくとも１つのプロセスパラメータを、そのプロセスパラメータを全く妨害することなく個別に変化させて、各々の変化によって異なる特性を備えた層を生じさせ、最後に該基板を該プロセスチャンバから取出すという工程を有する。
（もっと読む）

摺動面異形断面を備える摺動面と、上側および下側の側面とを含み、摺動面の部分領域が除去可能な被覆部を備えるように、少なくとも摺動面が蒸着層を備えており、したがって蒸着層が生成されて被覆部が除去された後に、摺動面と少なくとも一方の側面との間で実質的に鋭利な摺動エッジが生じるようになっているピストンリング。
（もっと読む）

化学的気相成長を用いて物質の膜を形成する方法。この方法は、選択された材料でできた、少なくとも一つの金属ナノ構造の模様からなる回路基板を提供することを含む。この方法は、ナノ構造の選択された材料のプラズモン共振周波数を決定すること、そして、選択された材料の熱エネルギーを増加させるために、プラズモン共振周波数に既定の周波数を持つ電磁放射源を用いて、選択された材料の一部を励起すること、を含む。この方法は、プラズモン共振周波数で励起された選択された材料を含む回路基板を覆うように、一つ、または複数の、化学的な前駆物質を適用して、選択された材料の少なくとも一部を覆う膜の選択的な蒸着を引き起こすことを含む。
（もっと読む）

差動装置（１０）の耐久性を改良するための方法であって、作動装置（１０）は、ピニオンシャフト（１２）と、ピニオン（１３）の内径の表面と接触するピニオン（１２ａ）とを有する。本方法は、ピニオンシャフト（１２）又はピニオン（１３）又は両方の表面の、ピニオンシャフト（１２）とピニオン（１３）との間の接触面に、ピニオン（１３）の材料と接触する際にピニオンシャフト（１２）の材料より低い摩擦係数及び高い焼き付き抵抗を有するコーティングＣを結合すること、を備える。

（もっと読む）

【課題】
【解決手段】カソードの製造方法において、炭素材料をチタン基板の一部分上に堆積させるステップと、堆積させた材料及びチタン基板を減少した圧力及び（又は）化学的に不活性な保護ガスの下にて約６００℃ないし約１０００℃の範囲にて加熱し、チタンと炭素材料との境界面に炭化チタン層を形成するステップと、約０．１時間ないし４時間の範囲、２００℃ないし５００℃の範囲の温度にて酸素を含む雰囲気中で加熱することにより堆積させた炭素材料を活性化するステップとを備える、カソードの製造方法である。
（もっと読む）

実質的に純粋な、同形の金属層を１以上の基体上に金属含有前駆体の分解によって堆積する方法。この堆積プロセスの間、基体（一または複数の基体）は前駆体の分解温度より高い温度に維持され、一方、周囲の環境は前駆体の分解温度より低い温度に維持される。前駆体は輸送媒体、たとえば蒸気相の中に分散される。蒸気相はその中に液体も含有し、該蒸気相中の金属含有前駆体（一または複数の金属含有前駆体）の濃度は、金属前駆体（一または複数の金属前駆体）について飽和またはそれに近い状態を与えるレベルにあることができる。輸送媒体と基体との間の上述の温度の制御を確保することによって、かつ輸送媒体について飽和状態を維持することによって、堆積された金属薄膜の品質は顕著に改善され、かつ副生金属粉塵の生成は大きく低減されまたは実質的になくされる。 （もっと読む）

コーティングされるべき基板(１１６)上に照射するイオン源(１３２)或いは(２１８)が、ＭＯＣＶＤ、ＰＶＤ或いは超伝導体素材の調整のためのその他の処理を強化するのに用いられる。
（もっと読む）

【課題】半導体用途における誘電体膜を形成するためのシステム及び方法、特に、混合気化前駆体を用いて基板上に多成分誘電体膜を作製するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】本発明は、気化した前駆体の混合物が、原子層堆積（ＡＬＤ）処理における単一パルス段階中にチャンバ内に一緒に存在して多成分膜を形成するような気化前駆体の混合をもたらすためのシステム及び方法を提供する。気化前駆体は、少なくとも１つの異なる化学成分から成り、そのような異なる成分が単層を形成して多成分膜を生成することになる。本発明の更に別の態様では、組成勾配を有する誘電体膜が提供される。 （もっと読む）

内燃モータ用のピストン（２０）は、少なくとも部分的に研磨され、その後８ＧＰaを越える硬度を有しかつ０．２０未満の摩擦係数を有しているコーティング（２６）を被覆された表面（２４）を有しているスカート（２２）を有する。該ピストンは、性能の向上、寿命の延長、および低減された摩擦を有する。

（もっと読む）

グロー放電を用いて、基体上にプラズマ重合された付着を生成させる方法を記載する。グロー放電は電極と対電極との間に発生させる。バランスガス及びテトラアルキルオルトシリケートの混合物がグロー放電を通って基体上に流れ、基体上に、光学的に透明な被膜として、被膜を付着させるか、又は表面改質を生じさせる。この、好ましくは大気圧又はその近傍で実施する方法は光学的に透明で、粉末を含まないか又は事実上粉末を含まない被膜を生成するように設計することができる。
（もっと読む）