【課題】
各処理室間のゲートバルブ等を設けずに長尺の基板を搬送し、且つ、各処理室を真空に保持し、連続的に成膜処理することである
【解決手段】
基板連続処理装置は、第１組の前処理室，成膜処理室，後処理室の連結可能な連続体からなり、またこの連続体と合体でき得る第２組の前処理密封室，成膜処理密封室，後処理密封室の連結可能な連続体で構成される。また第２組の前処理密封室，成膜処理密封室，後処理密封室には、基板が通過でき得る溝が設けられ、前処理室密封，成膜処理密封室及び後処理密封室にはシールするために、１つ若しくは複数の密封材（Ｏリング等）を設置するための、密封材用取り付け溝を設置してなる構成により課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】複数の種類のガスを用いる場合においても、所望の膜質を得られる基板処理装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１０は、複数の基板９００を円周方向に支持するサセプタ６０と、サセプタを回転させる回転機構１２０と、サセプタの支持面６２上の空間に設けられた複数の領域と、これらの複数の領域にガスを供給するガス供給部２００と、を有し、ガス供給部２００は、複数の領域における隣り合う領域で同じガスを供給するか、若しくは複数の領域における隣り合う領域で異なるガスを供給するかが選択可能な構成である。 （もっと読む）

【課題】副次的問題を発生させることなく、膜品質を向上させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数の基板を収容する処理室と、前記基板を積層して支持する基板支持具と、前記処理室に処理ガスを供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段を制御する制御部と、を有し、前記ガス供給手段は、前記複数の基板間に開口する複数のガス供給孔と、前記処理ガスを紫外線光により活性化する紫外線照射部を有する前記処理室内に前記基板の積層方向に沿って立設するノズルであって、前記制御部は、前記ガス供給孔から紫外線光とともに前記処理ガスを前記複数の基板間に供給して該処理ガスを励起するよう前記ガス供給手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】 抗菌処理が必要な時にダイヤモンドライクカーボン膜を衛生装身材にコーティングすることができる。
【解決手段】 インナ電極１３の表面に立体マスク３５を装着支持し、導入管２３及び導入ガイド２１を介して処理ガスを供給すると共に、電源装置２６により治具１１を介してインナ電極１３に負電圧を印加し、アウタ電極２２との対向部位に炭素を含むプラズマ雰囲気を形成し、立体マスク３５にダイヤモンドライクカーボンを成膜し、抗菌処理が必要な時に容易に抗菌処理を施す。 （もっと読む）

【課題】繊維状物質上にコーティングを連続的に付着させるための方法及び装置を提供する。
【解決手段】繊維状物質の複数のストランド４６を、ハウジング４２により画定された包囲されたチャンバー４４内のコーティングゾーンに通して連続的に移動させることにより、ストランドの一部分がチャンバーを通って移動するときに前記部分が反応物質ガスと接触し、ストランドと物理的に接触することなく、かつハウジングを直接に加熱することなく、ストランドの前記部分を直接加熱し、反応物質ガスがストランドの前記部分と接触し分解する結果としてストランド上にコーティング材料を付着させてコーティング材料のコーティングを形成することを含む化学蒸着法である。 （もっと読む）

多孔性非セラミック基材上にコンフォーマルコーティングを堆積させる方法は、コンフォーマルコーティングが残留するように反応性ガスが基材を貫流することを必要とする。たとえ基材が本来疎水性のもの、例えば、オレフィン材料であったとしても、このプロセスを用いて、基材の内部細孔の表面を親水性にすることができる。本方法は、ロールツーロールプロセス、又はバッチ処理で用いることができる。後者の場合のいくつかの都合のよい実施形態では、バッチ反応器及び表面形状適合的にコーティングされた基材（１つ又は複数）はそれぞれ、全体として、最終生産物、例えば、フィルタ本体及びフィルタ要素の一部となり得る。
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製造物品は、入口と出口とを有する本体と、多孔性ポリマー基材が入口を出口から分離するように配置された、少なくとも１つの多孔性非セラミック基材の少なくとも一部と、を含む。多孔性非セラミック基材は、その内部表面の少なくとも一部にコンフォーマルコーティングを有する。
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カーボンナノチューブの成長を促進するのに十分な第１の温度まで加熱する成長チャンバーを準備するステップと、基材を成長チャンバーに通すステップと、少なくとも一部の原料ガスを少なくとも遊離炭素ラジカルに解離するのに十分な第２の温度まで予熱した成長チャンバーに導入し、これによって基材上でカーボンナノチューブの形成を開始するステップと、を含んで構成されたカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）合成方法。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤモンド皮膜と多孔性基材表面との間にボイドがないか、極めて少なく、また、多孔性基材表面にダイヤモンドの連続的な皮膜が形成された、生産性良く製造できるダイヤモンド被覆構造体、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明のダイヤモンド被覆構造体は、多孔性基材が、一次粒子径が１〜２０ｎｍのナノダイヤモンド粒子を核として成長したダイヤモンド皮膜によって被覆されている。本発明のダイヤモンド被覆構造体は、一次粒子径が１〜２０ｎｍのナノダイヤモンド粒子を主体とする分散溶液を多孔性基材に付着させた後、ナノダイヤモンド粒子を核として成長させて製造できる。 （もっと読む）

【課題】少ない工程で、水を使用せず、しかも繊維品の風合いや強力を損ねることなく、深色性とその耐洗濯性に優れた繊維品を提供する。
【解決手段】大気圧下の窒素又は空気の雰囲気中でグロー放電或いはアーク放電を行ってプラズマ化ガスを生成した後、このプラズマ化ガスにケイ素化合物をキャリアガスとともに気体状態で混入して複合プラズマ化ガスを生成し、この複合プラズマ化ガスを着色された繊維品２０に対して照射するプラズマ処理を行うことにより上記繊維品の表面にケイ素酸化物Ｂの被膜を形成して、繊維品を深色化する方法。上記ケイ素化合物が１分子中にケイ素を１原子又は２原子含む化合物であり、上記プラズマ処理がプラズマ処理面積１ｍ²当たりケイ素２０ｍモル以上１２０ｍモル以下の量のケイ素化合物を含む。 （もっと読む）

本発明は、物品（１２）を真空処理するための装置（１０）に関する。装置は、物品を処理圧力において真空処理可能な処理領域（１４）と、周囲圧力において装置に物品を取付け可能な取付け領域（１８）とを含む。物品を真空処理できるように、密閉通路（２４）に沿って取付け領域から処理領域へ物品を運搬するために、複数の物品キャリア（２０）が設けられる。キャリア（２０）は、物品を通路に沿って運搬する際に通路の内面に対して封止を行うための個々の封止手段（２６）を含む。取付け領域において周囲圧力下で取付けられ、処理領域に運搬された物品が処理圧力下で真空処理されるように、封止手段（２６）は、取付け領域から処理領域まで通路に沿って封止手段を通過するガスまたは蒸気の流れに抵抗する。
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【課題】セラミック被膜を形成する基材である炭素繊維強化炭素複合材が積層体である場合など剥離強度を十分に確保できない場合であっても、セラミック被膜との熱膨張差により生じる基材内部の層間剥離を防止する。
【解決手段】炭素繊維強化炭素複合材である基材１５と、基材１５の表面に被覆されたセラミック被膜１７とからなるセラミック複合部材１００であって、基材１５の表面には複数の孔１９を形成し、孔１９の内部表面１９ａをセラミック被膜１７によって覆う。セラミック被膜１７に覆われた後の孔１９の開口部の幅Ｗは、セラミック被膜１７の被膜厚さｔの２倍以下であることが好ましい。基材１５は炭素繊維層と炭素マトリクス層を複数積層して構成し、孔１９は少なくとも最表層の炭素繊維層を貫通することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】取り扱い性に優れており、且つ、熱伝導性等のダイヤモンドが本来有する性能を発揮することができるダイヤモンド繊維及びそれを含む不織布、並びにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】前記ダイヤモンド繊維は、ダイヤモンドのみから実質的になり、アスペクト比が２００以上である。前記不織布は、前記ダイヤモンド繊維を含む。前記ダイヤモンド繊維の製造方法では、ダイヤモンドナノ粒子とポリマーとを混合して紡糸液を調製し；前記紡糸液を紡糸空間へ供給し、この紡糸液に電界を作用させることにより細径化して、ダイヤモンドナノ粒子とポリマーとの複合微細繊維を形成し；前記複合微細繊維からポリマーを除去して、ダイヤモンドナノ粒子のみからなる繊維を形成し；前記ダイヤモンドナノ粒子のみからなる繊維にＣＶＤを行い、ダイヤモンド繊維を形成する。 （もっと読む）

履物のような１またはそれ以上の大型物品に、望ましい表面特性を付与するために、処理チャンバ（１４）へ物質を運搬する運搬システム（１０）は、液体が充填される第１コンテナ（１６）と、第１コンテナ（１６）から液体を受ける第２コンテナ（１８）と、第１コンテナから第２コンテナ（１８）に流れる液体の量を制御する第１流量制御手段（２０）と、第２コンテナ内の液体を気化させる気化手段（３０）と、第２コンテナ（１８）から処理チャンバ（１４）に流れる気化した物質の流量を制御する第２流量制御手段（３８）と、を具える。 （もっと読む）

本発明は、蒸気成長カーボンナノファイバーのような炭素材料の表面を改質する方法を提供するものであり、その方法では、ケイ素は化学蒸着法を用いて蒸気成長カーボンナノファイバー上に蒸着される。得られるケイ素−炭素合金は再充電可能なリチウムイオン電池のアノードとして用いうる。 （もっと読む）

本発明は封入層を高分子繊維及び弾道抵抗性布帛の表面上に蒸着するための方法を提供する。さらに詳しくは、本発明は、非半導性高分子繊維及び布帛への材料の原子層蒸着により塗被されたコンフォーマルな封入層を有する布帛を提供する。 （もっと読む）

【課題】大面積に亘って高い密度の低温プラズマを短時間に作業性よく照射し、且つ反応ガスを有効に導入する大気圧プラズマ発生照射装置の提供。
【解決手段】複数本の放電管２−２を担持するように加工された２個のバルク状金属を高電圧印加電極１−２および接地電極１−１とし、各放電管２−２で形成されたプラズマ流６を照射対象物８の形状に対応して集積する。また高電圧印加電極１−２の一部をプラズマ射出ノズルとすると供に、原始プラズマと混合すべき反応ガスなどの第２流体を導入口７から導入し、高電圧印加電極１−２内部で混合させる。 （もっと読む）

強化材の層を成長させること、及び、前記層をマトリックスで含浸することを含む、複合材の製造方法。強化材の層は化学蒸着法によって形成されうる。この方法は、所望の形状及び物性を有する部品を形成するためのアディティブ層製造技術として使用でき、又は、薄いシート材料を形成するために使用できる。
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【課題】その欠点を矯正し、多孔性の基材が、制御された微細構造の物質で高密度化されることを可能とする化学気相浸透方法の提供。
【解決手段】浸透条件を、化学蒸着浸透プロセスの開始および終わりにおいて、少なくとも１つの浸透パラメーター、すなわち、ガス相の滞留時間、圧力、温度、ガス相の前駆体含有量、およびガス相の任意のドーパントの濃度を変化させることによって修飾し、変化させ、それにより、浸透条件を、基材内に沈積した物質の微細構造を制御するための基材の孔サイズの変化に適合させることができ、特に一定の微細構造を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラスチック製品について、被膜で表面を被覆することで、優れたガスバリア性、耐摩耗性、耐衝撃性及び耐傷性に加えて、優れた耐変形性を付与することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る被覆プラスチック製品は、プラスチック成形体の表面上に炭素原子と水素原子とを主構成原子として含む被膜が形成された被覆プラスチック製品である。被膜は、例えば、ＴＯＦ−ＳＩＭＳ法の陰イオン解析において、単原子炭素のピークに対する３原子炭素のピークの強度比率（Ｃ３／Ｃ１）が０．０７以上であり、かつ、ＤＳＣ法の解析において、１４０〜１５０℃の間に発熱ピークの頂点が出現し、７０〜８０℃の間に吸熱ピークの頂点が出現する。 （もっと読む）