【課題】 高い安定性と工程マージンを保障し、銅を含む金属層を均等にテーパエッチングすることができる優れたエッチング液を提供する。
【解決手段】 本発明は液晶表示装置の回路パターンに使用される銅配線をエッチングするエッチング液組成物に関するものである。本発明のエッチング液組成物は過硫酸アンモニウムとアゾール系化合物を含む。本発明のエッチング液組成物は過酸化水素を含有しないので安定性と工程上マージンを確保することができ、優れたテーパエッチングプロファイルを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、緩慢な条件下で合金製品表面の不動態化膜を破壊し、合金製品表面やエッジに発生した微小の凸部や微細なバリ或いは表面状態の不純を取り除くことができる上、エッジの盛り上がりのないミクロンオーダーの微細なくぼみを当該合金製品の表面に形成することができる新規な合金製品摺動面の化学処理剤及びこれを用いた合金製品摺動面の処理法方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 鉄を主成分とする合金製品における摺動面を処理するための酸性水溶液であって、この酸性水溶液には、更に、重金属イオン及び／又は金属酸化物を配合したことを特徴とする合金製品摺動面の化学処理剤。
（もっと読む）

【課題】 グラビア印刷法でレジストインキを印刷して、プリント配線板を製造する方法において、回路線端縁を鮮鋭にする方法を提供する。
【解決手段】 合成樹脂フィルムとアルミニウム箔とを貼合した積層体を準備する。一方、有機溶媒に樹脂が溶解されてなるレジストインキを準備する。このレジストインキには、シリカ微粉末が配合されている。このレジストインキを用い、積層体のアルミニウム箔面にグラビア印刷法で所定のパターンを印刷する。これによって、アルミニウム箔面に樹脂膜が付着したレジスト部と、樹脂膜の付着していない非レジスト部とを形成する。その後、エッチング処理を施して非レジスト部に露出しているアルミニウム箔を除去する。さらにその後、レジスト部に残存している樹脂膜を除去する。以上の方法を採用すると、シリカ微粉末の作用で、回路線端縁の鮮鋭なプリント配線板が得られる。 （もっと読む）

【課題】 機械的な除去を必要とすることなく表面層を化学的に、均一に除去するためのシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】 金属部品の表面処理方法は、チタン合金α相の析出物を有する表面層を化学的に除去しチタン合金β相を有するコアを露出させるステップを含む。化学的除去では、硝酸及びフッ化水素酸を含む第１の溶液及び硝酸を含む第２の溶液を使用する。 （もっと読む）

【課題】配線用板の処理を停止することなく処理液の更新ができる簡便な配線用板の処理装置を提供する。
【解決手段】配線用板処理部１と処理液供給部２とが仕切板３を介して区分される処理槽４と、第１バッファー槽５と、前記配線用板処理部１から排出された処理液を再び前記配線用板処理部１へ供給する第１循環路７と、前記配線用板処理部１から排出された処理液を前記第１バッファー槽５を通して再び前記配線用板処理部２へ供給する第２循環路８とを備えた配線用板の処理装置であって、処理液供給部１は外部から処理液を導入するための処理液導入管２２が設けられ、第１バッファー槽５は第２循環路８内の処理液を廃棄する第１廃棄管５２が設けられ、第１循環路７は第１循環ポンプ７１と処理液の循環を調整する第１循環バルブ７２とが設けられ、第２循環路８は第２循環ポンプ８１と、処理液の循環を調整する第２循環バルブ８２とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム新地金や使用済み平版印刷版等をアルミニウム板の原料に用いた場合であっても、耐刷性および耐汚れ性のいずれにも優れる平版印刷版を得ることができる平版印刷版用支持体の製造方法の提供。
【解決手段】マンガンおよびマグネシウムを合計で０．０５〜１．５質量％含有するアルミニウム板に、少なくとも、ブラシと研磨剤を含有するスラリー液とを用いて平均表面粗さＲ_aが０．３０〜０．４３μｍとなるように粗面化を施す機械的粗面化処理を施し、
更に、前記機械的粗面化処理の後に、電気化学的粗面化処理および化学的エッチング処理をこの順に施して、
前記機械的粗面化処理の後の平均表面粗さＲ_aに対して、平均表面粗さＲ_aが０．１０〜０．２０μｍ大きくなり、かつ、平均表面粗さＲ_aが０．４２〜０．６０μｍとなる平版印刷版用支持体を得る、平版印刷版用支持体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】外観欠陥がなく均一な電解粗面化面を有する平版印刷版用支持体を得ることができ、かつ、耐刷性および耐汚れ性に優れた平版印刷版を得ることができる平版印刷版用アルミニウム合金板ならびにそれを用いた平版印刷版用支持体および平版印刷版原版の提供。
【解決手段】アルミニウム合金溶湯を溶湯供給ノズルを介して一対の冷却ローラの間に供給し、前記一対の冷却ローラによって前記アルミニウム合金溶湯を凝固させつつ圧延を行う連続鋳造により得られる平版印刷版用アルミニウム合金板であって、
０．１０〜０．２０質量％のＳｉと０．１０〜０．４０質量％のＦｅとを含有し、Ｓｉの固溶量が２００〜６００ｐｐｍであり、Ｆｅの固溶量が２５０ｐｐｍ以下である、平版印刷版用アルミニウム合金板。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスやフラットパネルディスプレー等の電子デバイスに使用されるルテニウムにおいて、主成分に強酸を使用することなくルテニウムをエッチングできるエッチング用組成物を提供する。
【解決手段】バナジウム及び水を含んでなるルテニウムのエッチング用組成物では、ルテニウム以外の半導体材料にダメージがなく、ルテニウムをエッチングできる。バナジウムとしては、ハロゲン化バナジウム、メタバナジン酸塩、オキシハロゲン化バナジウム、硫酸バナジル等が用いられ、有機酸、無機酸を添加してもよい。 （もっと読む）

【課題】エッチング精度が優れ、ガラス基板に白濁の発生がないブラックマトリックスが得られ、エッチングの際にエッチング液の消耗が少ないエッチング液およびブラックマトリックスの製造方法を提供すること。
【解決手段】硝酸第二セリウムアンモニウム（ａ成分）と、過塩素酸および／または硝酸（ｂ成分）と、界面活性剤とを含み、該界面活性剤が、直鎖のフッ化炭素基を有するパーフルオロアルキルスルホン酸塩６０質量％〜８２質量％と、分岐鎖のフッ化炭素基を有するパーフルオロアルキルスルホン酸塩１８質量％〜４０質量％との混合物（ｃ成分）であることを特徴とするブラックマトリックス製造用のエッチング液、および該エッチング液を使用したブラックマトリックスの製造方法。 （もっと読む）

本発明は、液体ジェットガイドエッチングにより固形物から物質を除去するための方法に関する。本発明に係る方法は、特にウエハの切削、微細構造化、ドーピングまたはそれへの金属被膜形成のためにも使用される。 （もっと読む）

ハニカムの端を形成するセル端を包含するセル壁を有する複数個のハニカムセルから構成される耐食金属ハニカム。ポリアミドイミドを含む耐食被覆が該セル壁およびセル端を被覆するのに使用される。該耐食被覆は好ましくは該ハニカム構造が形成されてから適用される。
（もっと読む）

【課題】酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜のエッチングにおいて残渣の発生がなく、適度なエッチングレートを有し、亜鉛の溶解に対してエッチング性能が安定しているエッチング液組成物及びエッチング方法を提供する。
【解決手段】クエン酸、アコニット酸、１，２，３−プロパントリカルボン酸及びそのアンモニウム塩からなる群から選択される１種又は２種以上の化合物を含む水溶液または、酢酸、プロピオン酸、酪酸、コハク酸、クエン酸、乳酸、リンゴ酸、酒石酸、マロン酸、マレイン酸、グルタル酸、アコニット酸、１，２，３−プロパントリカルボン酸及びそのアンモニウム塩からなる1種または２種以上の化合物とポリスルホン酸化合物を含む水溶液からなる事を特徴とするエッチング液組成物でエッチングする。 （もっと読む）

【課題】好適なエッチング速度の選択が容易であり、安定したエッチング速度を持続でき、更には、容易に再利用が可能で、再利用場面が拡大された、エッチング液を提供する。特にシリコンウエハに要求されるウェハの平坦度、光沢度の向上、ウエハ全体の「うねり」抑制が充分に期待できる。
【解決手段】少なくとも、弗酸、硝酸およびヘキサフルオロ珪酸を含むエッチング液であって、ヘキサフルオロ珪酸濃度が１０重量％以上である。 （もっと読む）

【課題】 優れた耐熱性と強度を有するチタン合金からなる高い空力学的性能を期待できるコンプレッサ用鋳造羽根車を安価に安定して提供する。
【解決手段】 本発明は、ハブ軸の周りに配列された羽根部が形成された羽根車形状にチタン合金が鋳造され、表面の硬さが４００ＨＶ以下に調整されてなるコンプレッサ用鋳造羽根車である。例えば、ロストワックス鋳造法によりコンプレッサ用鋳造羽根車と実質的に同一の形状を有する鋳造羽根車素材を形成後、表面の硬さを４００ＨＶ以下とするよう鋳造羽根車素材の表面の硬化層を除去する製造方法により得られる。好ましくは、表面の硬さを３５０ＨＶ以上とし、また、Ａｌ、Ｖ、Ｆｅを質量％で５．５≦Ａｌ≦６．７５、３．５≦Ｖ≦４．５、Ｆｅ≦０．４の範囲で含むＪＩＳに規定されるＴＡＣ６４００合金を使用する。硬化層を除去する前にＨＩＰ処理してもよい。 （もっと読む）

【課題】可視発光が可能で膜厚の均一な多孔質シリコン膜とこの多孔質シリコン膜を簡便かつ再現性よく製造する製造方法とを提供する。また、この多孔質シリコン膜を用いた高発光効率の半導体発光素子を提供する。
【解決手段】酸化還元電位が＋０．４ｅＶ〜＋１．５ｅＶの範囲にある酸化剤を含有するフッ化水素酸（ＨＦ）水溶液を処理溶液として使用して、短時間（約１〜１５分）の光照射により光アシストエッチングを実施し、シリコン結晶の表面に均一な膜厚の多孔質シリコン膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】自動車用モータのコア材等に用いて好適な無方向性電磁鋼板を提供する。
【解決手段】Ｓｉ：０．５〜７ｍａｓｓ％、Ａｌ：４ｍａｓｓ％以下、Ｍｎ：５ｍａｓｓ％以下を含有し、好ましくは、Ｃｒ：０．５ｍａｓｓ％以下および／またはＣｕ：０．０４ｍａｓｓ％以下を含有し、残部がＦｅおよび不可避的不純物からなり、鋼板表面から５μｍの領域のＳｉ，Ａｌ系酸化物量が０．５ｍａｓｓ％以下である無方向性電磁鋼板。 （もっと読む）

【課題】 アルミニウム製シールドにダメージを与えることなく、アルミニウム溶射膜を除去することができる溶射膜除去用組成物、及びそれを用いたアルミニウム溶射膜の除去方法を提供する。
【解決手段】 アルカリ金属水酸化物、アルカリ土類金属塩及び水を含有する溶射膜除去用組成物を使用してアルミニウム上に溶射されたアルミニウム膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】微細加工処理剤の長寿命化と微細加工精度の向上を図ることが可能な微細加工処理方法を提供する。
【解決手段】微細加工処理方法は、フッ化水素酸、又はフッ化アンモニウムの少なくとも何れか一種を含む水溶液の微細加工処理剤を薬液温度５〜１５℃の範囲で所定期間保管しつつ使用し、かつ、前記微細加工処理剤の使用の際には、前記薬液温度の範囲内で被加工物を微細加工することを特徴とする。 （もっと読む）

メタルハードマスク用エッチング溶液。当該エッチング溶液は、希釈HF（フッ化水素）とシリコン含有先駆体の混合物を有する。当該エッチング溶液はまた、サーファクタント剤、カルボン酸、及び銅の腐食抑制剤をも有する。当該エッチング溶液は、メタルハードマスク材料（たとえばチタン）を選択的にエッチングしながら、タングステン、銅、酸化物誘電体材料、及び炭素ドープされた酸化物のエッチングを抑制する。 （もっと読む）

【課題】高圧処理装置の耐圧容器を開放せずに、また耐圧容器内を低い温度でクリーニングすること
【解決手段】耐圧容器内へ酸化剤を供給して耐圧容器内の壁面等に堆積したＣｕを銅酸化物に酸化させ、次いで耐圧容器内へエッチング剤を供給してこの銅酸化物を超臨界状態の二酸化炭素に溶解可能な銅化合物に変化させ、その後超臨界状態の二酸化炭素を耐圧容器内へ供給してこの銅化合物を溶解して、耐圧容器内から排出することによって、耐圧容器内に堆積したＣｕを除去することができる。 （もっと読む）