【課題】マイクロ波加熱の採用を前提とし、各種の被加熱物に対してさらに効率的な加熱処理を施し得るように改良する。
【解決手段】被加熱物Ｇに加熱処理を施すべく当該被加熱物Ｇを収容する内容器２０と、この内容器２０を収容する外容器３０と、内容器２０内に過熱水蒸気を供給する過熱水蒸気発生装置５０と、外容器３０，３０′内にマイクロ波を照射するマイクロ波発振装置４０とを備えて加熱装置１０が構成されている。そして、特に内容器２０は、内部の加熱空間を覆う容器本体がマイクロ波を透過し得る材料によって形成されている。マイクロ波を透過し得る材料としてセラミックスが採用されている。 （もっと読む）

【課題】要求品質が互いに大きく異なる複数の浸窒部品を同一炉内で同一処理により生産することができるガス浸窒方法及びガス浸窒装置を提供する。
【解決手段】ガス浸窒装置１は、複数の被処理部材２１、２２を順番に並べた状態で収容可能なガス浸窒炉２と、ガス浸窒炉２内で複数の被処理部材２１、２２の並び方向に並べて配置され、互いに触媒作用が異なる材料によって構成される複数の加熱ヒータ１１、１２を有する。そして、ガス浸窒炉内に、複数の被処理部材を順番に並べた状態で収容し、ガス浸窒炉内のアンモニアガスＧを加熱ヒータ１１、１２で高温加熱する。これにより、ガス浸窒炉２内におけるアンモニアガスＧのガス濃度を、被処理部材２１、２２の並び方向に変化させる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を熱処理する熱処理装置を改良するものであり、メンテナンスを容易に行うことができる熱処理装置を開発する。
【解決手段】熱処理室１２の略中央部には、基板換装システム１８が配されて、基板換装システム１８に載置棚１６が設けられている。載置棚１６の全部の段部２３には、中央部分の小梁３１が欠落した欠落部３７を有し、当該欠落部３７によって吹き抜け部３８が設けられている。吹き抜け部３８に作業者が入ることができる。 （もっと読む）

半導体層と被覆基板、特には少なくとも１つの導体層、半導体層、および／または絶縁層を含む平坦基板を、セレン元素および／または硫黄元素処理によって製造する方法に関する。少なくとも１つの金属層および／または少なくとも１つの金属含有層を備える少なくとも１つの基板を、処理チャンバ内に導入し、所定の温度にまで加熱し、それをセレンまたは硫黄と目標通りに化学反応させるために、処理チャンバの内部および／または外部に配置されたソースからのセレン元素および／または硫黄元素の蒸気を、軽い真空状態または大気圧状態または加圧状態の下で、キャリアガス、特には不活性のキャリアガスによって、金属層および／または金属含有層の上を通過させ、基板を、少なくとも１つのガスを配合した強制対流によって加熱する。本発明はまたそのような方法を実行するプロセス装置にも関する。
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【課題】ヒーターの絶縁支持構造の信頼性を向上させることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係る熱処理装置１は、発熱体（ヒーター板Ｈ４）を支持する支持機構Ｓ４において、発熱体を支持する支持部材４０２が金属材料で構成されている。このため、発熱体が炭素系材料のような材料で構成されている場合でも、発熱体と第２の部材との間の熱反応による当該第２の部材の変質あるいは融解を防止できる。また、支持部材４０２は電気絶縁性の絶縁部材４０３を介して金属製の支持軸４０１に支持されているため、発熱体の絶縁耐圧を安定に確保することができる。 （もっと読む）

【課題】 遮熱特性を低下させることなく大型化することが可能な扉を備えた熱処理装置を提供する。
【解決手段】ＩＲ炉１０は、炉体１２、扉２０、および駆動ユニット２８を備える。扉２０は、シャッタ２６およびメインフレーム２２を備える。シャッタ２６は、炉体１２の内部および外部を熱的に遮断する。また、シャッタ２６は、扉２０の長さ方向に沿って連続して配置された複数のシャッタ片２６２を有する。メインフレーム２２は、複数のシャッタ片２６２の少なくとも一部が長さ方向で移動自在になるようにシャッタ２６を支持するように構成される。また、メインフレーム２２は、駆動ユニット２８に接続されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって安定した窒化品質を維持することができる熱処理炉を提供する。
【解決手段】鋼材を所定の雰囲気で加熱してハロゲン化処理および窒化処理を行う熱処理炉であって、上記窒化処理が行われる処理空間に露出する炉内構造物の表面を構成する材料として、Ｎｉが５０質量％以上８０質量％以下、かつＦｅが０質量％以上２０質量％以下である合金が使用されている。これにより、上記炉内構造物の表面が窒化反応を起こしづらくなり、被処理物に対するハロゲン化処理および窒化処理を長期間にわたって安定的に実施することが可能となり、難窒化鋼種を含めたあらゆる鋼材に目的に応じた窒化層を安定的に形成させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって安定した窒化品質を維持することができる熱処理炉の使用方法を提供する。
【解決手段】鋼材を所定の雰囲気で加熱してハロゲン化処理および窒化処理を行う熱処理炉の使用方法であって、上記熱処理炉が、上記窒化処理が行われる処理空間に露出する炉内構造物の表面を構成する材料として、Ｆｅが０質量％以上２０質量％以下のＮｉ基耐食耐熱合金を使用し、上記ハロゲン化処理および窒化処理を、上記炉内構造物の表面に形成される窒化層の厚さが２５μｍ以下かつ表面硬度が９００Ｈｖ以下の範囲内で繰り返し行う。これにより、上記炉内構造物の表面が窒化反応を起こしづらくなり、被処理物に対するハロゲン化処理および窒化処理を長期間にわたって安定的に実施することが可能となり、難窒化鋼種を含めたあらゆる鋼材に目的に応じた窒化層を安定的に形成させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】炉ハウジング（Ｉ．２，ＩＩ．２，ＩＩＩ．２）によって取り囲まれた筒状レトルト（Ｉ．３，ＩＩ．３，ＩＩＩ．３）を用いる金属加工品の熱処理のためのレトルト炉（Ｉ．１，ＩＩ．１，ＩＩＩ．１）の実際的な価値を増加させ、かつ使用可能性を増加させる。
【解決手段】第１の変形形態に従って装入物の重量がレトルト（Ｉ．３）に加わらないようにし、第２の変形形態に従って第２の循環装置（ＩＩ．１８．２）をレトルト（ＩＩ．３）の加熱素子（ＩＩ．６）に対して配置し、第３の変形形態に従ってレトルト（ＩＩＩ．３）の底部（ＩＩＩ．９）に第２の底部（ＩＩＩ．９．１）及び／または調整弁（ＩＩＩ．２０，ＩＩＩ．２１）を設ける。 （もっと読む）

【課題】 内筒と連通管の支持構造の応力集中を小さくすることで、長寿命化を図る。
【解決手段】 供給側と排出側の連通管７，８をリング状の端面板９，１０を介し接続した内筒３の外周に外筒２を配置し、各端面板９，１０の外側面の外周部に所要間隔で設けた支持プレート３０表面のブラケット３１と、外筒２の内周面に設けたブラケット３３のピン孔３２，３４に、支持ピン３５を挿通させて、内外筒間に加熱流路６を備えたキルン本体１を形成する。支持プレート３０と連通管７，８の外周面との間に、径方向に沿うリブ部材４０を配置して、リブ部材４０の外側端部と内側端部と幅方向一端縁部を、支持プレート３０の裏面と連通管７，８の外周面と端面板９，１０の外側面にそれぞれ取り付ける。連通管７，８の荷重はリブ部材４０を介して支持プレート３０へ直接伝えさせることで構造不連続部を少なくし、更に応力集中を小さくして長寿命化を図る。 （もっと読む）

【課題】不純物の含有量が低減されたより高純度の炭化珪素粉体を製造できる焼成炉、及び炭化珪素粉体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る焼成炉１００は、マッフル４によって区画された処理室３と、処理室３内に配設され、被焼成物８が収められる坩堝５と、外部から不活性ガスを供給する不活性ガス供給管６とを備え、マッフル４と坩堝５との間には空隙４５が形成され、不活性ガス供給管６の開口端部６２は、空隙４５に配設される。 （もっと読む）

【課題】従来の加熱炉においては、蛇行状ヒータエレメントの湾曲部を炉壁用断熱材に固定しているため、加熱中のヒータエレメントの膨脹及び冷却中の収縮による歪みがヒータエレメントに蓄積し、そのため長期亘って使用しているとヒータエレメントがこれを配置した溝内から飛び出したり、ヒータエレメント同士が接触したり、ヒータエレメントが炉内の被加熱物に接触したり、熱疲労によりヒータエレメントが破断してしまうという欠点があった。
【解決手段】本発明の高温用加熱炉は、炉壁用断熱材と、この断熱材の炉芯側面に上下方向に互いに離間して多段に配置した、夫々上下端で蛇行状に折れ曲がるヒータエレメントと、上下に隣接する上記ヒータエレメントの互いに対向する蛇行部分を連結する、上記断熱材に固定されていない耐熱・絶縁性フックと、上記ヒータエレメントの最上段のものを吊下する手段とより成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】余分なパージガスやパージ時間を必要とせず、熱処理の省エネルギー化とコストダウンを達成できるとともに、炉を取り扱う作業者の安全にも配慮した密閉式雰囲気熱処理炉を提供する。
【解決手段】密閉式雰囲気熱処理炉に、炉内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサを装備するとともに、炉内の酸素濃度が所定の値以下へ低下した際に、この酸素濃度センサの信号により、高温かつ酸欠状態の炉内へのアクセスを防止する炉口扉ロック手段（炉口扉シャッタ４）を設けることにより、熱処理完了前に作業員が誤って炉口扉を開放してしまうことを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも低コストでかつ簡易な構造で、チューブ内の２種類の流体の他方への混入を防ぐ流体混入防止装置を提供する。
【解決手段】 流体混入防止装置１４のチューブ１５ｂの壁面にはガスカーテンを形成するための不活性ガスを導入する第３成分流体導入口４が設けられ、第３成分流体導入口４の対面には不活性ガスを放出する第３成分流体放出口５が設けられている。
第３成分流体導入口４の周囲には流体遮断壁６が設けられ、流体遮断壁６には第３成分流体供給孔１３が形成されている。
このように、第３成分流体導入口４の周囲に流体遮断壁６を設ける構造とすることにより、流体遮断壁６も第１成分流体１６と第２成分流体１７の他方への流入を防止する。
そのため、不活性ガスの量を従来よりも減少させることができる。
また、流体遮断壁６は整流作用を有するため、極力乱流の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】昇華物が導出ダクト内で堆積することを抑制することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置１Ａは、熱処理部２１内に被処理物Ｗが収容された状態で、熱処理部２１内の空気を循環させながら加熱することにより被処理物Ｗを熱処理するとともに、外気を加熱して熱処理部２１内に送り込みつつ熱処理部２１内の空気を導出ダクト５内に流出させることにより熱処理部２１内を換気するものである。前記導出ダクト５には、被処理物Ｗを熱処理する際に当該被処理物から発生する昇華物を分解可能な触媒６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】加熱処理によって気化する気化材料を含む粉末材料を、加熱容器内で連続的に加熱処理でき、加熱容器内で気化された気化材料の加熱容器内での蒸気圧のムラが小さく、加熱容器内で気化された気化材料の利用効率を向上できる真空加熱炉を提供する。
【解決手段】加熱容器２と、加熱手段３と、加熱容器２に設けられた排気口から排気する排気手段４とを備え、加熱容器２は筒状であり、加熱容器２の一端部２ａには粉末材料５が連続的に供給される供給口が設けられ、加熱容器２の他端部には加熱処理された粉末材料５が連続的に排出される排出口が設けられ、粉末材料５が加熱処理によって気化する気化材料を含み、排気口が加熱領域２ｃよりも一端部２ａに近い位置に配置されている真空加熱炉１とする。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮時の支持体と抵抗発熱体との間の摩擦抵抗を低減して抵抗発熱体の残留応力による永久歪の発生を抑制し、耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、上記断熱材４の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体５を所定ピッチで支持する支持体１３と、上記抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４とを備えた熱処理炉において、上記支持体１３は断熱材４に一端が埋め込まれ、他端が径方向内方へ突出された複数本の管状部材５１から成り、該管状部材５１の曲面状の上面部に上記抵抗発熱体５が支持され、上下に隣り合う上記管状部材５１の先端部間には、上記抵抗発熱体５の脱落を防止するための線状部材５５が掛け渡され、該線状部材５５の両端部５５ａが上下の上記管状部材５１の軸孔を通り断熱材４中に埋設されて固定されている。 （もっと読む）

【課題】搬送炉に収容した際の被処理品の変温を防止し、良質な被処理品を得ることができ、併せて多品種少ロットの被処理品の熱処理に良好な熱処理システムを提供する。
【解決手段】加熱炉と冷却炉とを含む複数の処理部と、これら各処理部間を移動可能とされる搬送炉１０とを備え、前記各処理部と搬送炉１０との間で被処理品Ｗの受け渡しが可能となるように構成された熱処理システムにおいて、搬送炉１０は、搬送炉１０の炉内の温度を昇温させる加熱装置１９と前記炉内の温度を降温させる冷却装置２０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】断熱効果の向上および炉内へのワーク搬入の容易化を図ることができる管状炉用リフレクターを提供する。
【解決手段】炉芯管の両端部に装着される管状炉用リフレクターであって、搬入孔４ａ付きの一対の円板３が、前記搬入孔４ａ、４ａ同士が連通するように管体４で連結されている通路形成部材と、この通路形成部材の外周を覆う外筒５とを組み合わせてリフレクター本体１を構成し、このリフレクター本体の内部に断熱材１０を充填した構造とした。前記リフレクター本体は、炉芯管と同質の部材で形成されていることが好ましい。また、断熱材は、断熱性ファイバーからなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】不活性ガスを内有した乾燥処理装置又は焼成処理装置等においては、当該装置内へ被加工ワークを供給したり又はそこからワークを取出す際に、装置内部の不活性ガスが装置外部へ漏洩する。不活性ガスの漏洩を防止若しくは最小にするワーク出し入れの為の開口部をできるだけ小さくできる乾燥処理装置又は焼成処理装置を提供する。
【解決手段】不活性ガス雰囲気下で被加工ワークを処理するための不活性ガス雰囲気炉装置であって、炉本体と大扉１４とにより構成されており、複数のワーク保持手段と、少なくとも１つのワーク移送開口と、小扉３４と、大扉移動手段３０と、小扉開閉手段と、ワーク移送ロボットと、封止手段２０及びクランプ手段と、シール手段と、から成る不活性ガス雰囲気炉装置。 （もっと読む）