【課題】フィルタードカソーディックアーク装置において、パーティクル粒子の低減と高い成膜レートを両立させた成膜装置を提供すること。
【解決手段】成膜処理室へ誘導する屈曲した磁場ダクトの内壁を非磁性の金属繊維からなるウール材によって被覆し、かつウール材にバイアス電圧を印加することを特徴とする。
ウール材はアルミニウム合金、ステンレス合金または銅を含むことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】マグネトロンスパッタリングにおいて利用される磁界が磁気記録媒体の成膜において及ぼす影響を鑑みて、さらに保磁力Ｈｃまたは逆磁区核形成磁界Ｈｎを向上させることが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために、本発明にかかる磁気記録媒体の製造方法の代表的な構成は、回転マグネット３６を回転させてマグネトロンスパッタリングを行うことにより、ディスク基体１１０上に複数の磁性層を成膜する磁気記録媒体の製造方法において、複数の磁性層（軟磁性層１１４、磁気記録層１２２、補助記録層１２６）のうちの少なくとも１つの層を被処理層としたとき、被処理層を成膜する際に、回転マグネット３６の回転数を１００ｒｐｍ〜４００ｒｐｍの所定回転数とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ヘッドスライダの浮上量の変動を抑制することが可能な磁気ディスク媒体を提供する。
【解決手段】本発明の磁気ディスク媒体は、磁性層を含む表層に溝が形成され、溝によって分離された磁性層を含むランドによりトラックが構成されるデータトラック領域２１と、磁性層を含むランドと溝とのパターンによりサーボデータが表されるサーボ領域２３と、が周方向に交互に配列し、データトラック領域２１における溝の面積比をＡＲ_ｔとし、サーボ領域２３における溝の面積比をＡＲ_ｓとするとき、０．９ＡＲ_ｔ≦ＡＲ_ｓ≦１．１ＡＲ_ｔを満たす。 （もっと読む）

【課題】基板上に安価にナノワイヤを形成する。
【解決手段】本開示は、概して、基板上にナノワイヤを形成するための方法を記載しており、この方法において、カーボンナノチューブは基板表面上のパターン中に配置され得る。前記基板表面は、前記カーボンナノチューブと前記基板との間で炭素熱還元が発生し、前記パターン中にナノトレンチが形成するような条件に暴露され、そして導電材料は、ナノワイヤを形成するために前記ナノトレンチ内に堆積させられ得る。 （もっと読む）

【課題】良好な記録再生特性と信頼性を両立したディスクリートトラック媒体やビットパターン媒体を作製する。
【解決手段】レジストパターン２１’をマスクとして非磁性元素２２をトラック分離域２３にイオン注入することで、トラック分離域２３の合金結晶の格子定数が、磁性層１８，１９のイオン注入されていない部分である記録トラックの合金結晶の格子定数よりも大きくなるようにする。 （もっと読む）

【課題】タクトタイムの短縮とともに、非磁性材の使用量（充填量）を低減でき、製造コストの抑制および低価格な磁気記録媒体を実現することができる磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体および情報記憶装置を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体２は、基板２０上に成膜された多層膜層３０と、多層膜層３０に積層された磁性記録層４０と、エッチングにより除去されるとともに、磁性記録層４０の一部として残存された磁性層の凹部４１に充填される非磁性材４２と、磁性記録層４０の一部として残存されている磁性層の底部４４を酸化により変質させることで形成される非磁性層４５とから形成する。 （もっと読む）

【課題】
検査時間を増大させることなく、微細凹凸パターンが形成された、ハードディスク用のパターンドメディアなどの試料よりの欠陥種類の特定を容易に行うようにする。
【解決手段】
微細凹凸パターンの欠陥検査において、スキャッタロメトリー法にて検査対象物の特徴を検出する際に、検査対象物の検出対象領域の分光波形を検出し、検出対象領域が検査対象物のパターン種類によって決まるどの領域区分に属するかの領域判定を行い、領域判定の結果により、判定された領域区分に対応する、欠陥種類毎に異なる特徴量の演算式と判定指標値を選択し、選択した特徴量の演算式にしたがって、前記分光波形データに対し、特徴量演算を行い、算出した特徴量の値と、前記選択した判定指標値とを比較して欠陥種類毎の判定処理を行う。 （もっと読む）

【課題】垂直磁気記録層の磁性粒子の粒度分布を改善し、記録再生特性の良好な垂直磁気記録媒体を得る。
【解決手段】磁気記録層の下に、不活性ガス雰囲気でスパッタされた、ルテニウムまたは第１のルテニウム合金からなる第１非磁性下地層と、不活性ガス雰囲気で、第１非磁性下地層をスパッタするときの圧力よりも高い圧力でスパッタされた、ルテニウム、及び第２のルテニウム合金のうち一方からなる第２非磁性下地層との間に、ルテニウムとシリコンからなる非磁性テンプレート層が設けられた構造を有する多層下地層を設ける。 （もっと読む）

【課題】イオン注入型によるディスクリートトラック媒体の分離域形成加工において、入射するイオンが被処理磁気ディスク基板の端面のような鋭角部に集中、アーキングと呼ばれる異常放電が発生し、磁性膜の破壊が発生してしまう。
【解決手段】被処理磁気ディスク基板（被処理基板）２０と同電位になるグリッド３０を被処理基板が保持された電極板４４の上面に設けた電極構造に対して、高電圧パルス３２を印加することで、グリッド表面のみに高電圧のシース４１を形成し、グリッドに囲まれた被処理基板表面にはシースを形成しないことで、アーキングを抑制する。さらに、グリッドを通過して照射されるイオンに晒される電極板上に配置された被処理基板の面積に対して、被処理基板に覆われた部分を除く電極板の面積が等倍以上とすることで二次電子を積極的に利用して、無損傷なイオン注入処理を行う。 （もっと読む）

【課題】よりいっそうの高記録密度化に対応可能な垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】垂直磁気記録方式での情報記録に用いる垂直磁気記録媒体であって、基板上に少なくとも軟磁性層と中間層と磁気記録層とを備える垂直磁気記録媒体の製造方法において、中間層を連続するＮ層（但しＮは少なくとも３以上の整数）で構成し、まずＲｕを主成分とする１層目の成膜を行い、次いで、成膜時のガス圧を１層目より高く又は同一に設定して、Ｒｕもしくは酸素又は酸化物を含有させたＲｕを主成分とする２層目の成膜を行い、２層目以降は上層へいくほど酸素含有量が同一又は増加するように調整する。 （もっと読む）

【課題】適量の液体材料を用いて、平坦で略均一の膜厚を有する塗膜を基板上に形成できる、塗布用嵌合部材を提供する。
【解決手段】基板４の上面に液体材料５をスピンコート法によって塗布する際に使用される塗布用嵌合部材２であって、基板４の中心孔４ａと同一の径を有し、中心孔４ａに嵌め込まれて使用され、窪み部２ａを備え、窪み部２ａは、中心孔４ａに嵌め込まれた際に基板４の上面に対して垂直であって平面視において窪み部２ａの中心を通る軸２ｄに対して対称である形状を有する。 （もっと読む）

【課題】ディスクリートトラックメディア等の加工プロセスマージン及びプロセススループットの向上を可能とする垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】ディスクリートトラックメディア等に用いる垂直磁気記録媒体であって、基板上に、少なくとも軟磁性層と下地層と磁気記録層と保護層を備える垂直磁気記録媒体において、前記磁気記録層は、垂直磁気異方性エネルギー（Ku）が５．０×１０^６erg/cc以上の高磁気異方性材料を含有する。そして、この高磁気異方性材料は、好適にはたとえばＣｏＰｔ又はＦｅＰｔを主成分とする材料である。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアの製造に際し、大気転写中に、気泡混入による欠陥をなくす。
【解決手段】ベース２０上に載置したディスク基材１２の表面にレジスト１８を塗布するステップと、前記ディスク基材よりも大きな面積を有し、前記ディスク基材の内径部及び外径部の面取り部１３の間に対応する領域に凹凸を有するスタンパ２２を、前記レジスト上に載置するステップと、前記ディスク基材の内径部及び外径部の面取り部よりも小さく、かつ前記スタンパの凹凸領域よりも大きい内径部及び外径部を有する弾性体プレート２４を、前記スタンパ上に載置するステップと、前記弾性体プレート上に押圧部材２６を載置して前記弾性体プレートを前記ディスク基材の方向に押圧するステップと、前記レジストを露光し、露光されたレジストをマスクとして前記ディスク基材をエッチングするステップと、前記ディスク基材上のレジストを除去するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】インライン方式の成膜装置において、各層を成膜する間の時間に、チャンバー内で各層の表面が劣化（酸化）する。各層にダメージを与えることなく生じた劣化を解消し、効果的に性質を向上させることが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供。
【解決手段】基板上に複数の層を積層してなる磁気記録媒体の製造方法において、成膜装置を用いて、基板上に複数の層のいずれかを成膜し、成膜を行わずに基板にバイアスを印加し、基板上に次の層を成膜する。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／Ｎ比を大幅に向上させることができ、また熱揺らぎ特性、記録特性を向上させることによって、更なる高記録密度化を可能とした磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】少なくとも非磁性基板の上に、軟磁性下地層と、直上の層の配向性を制御する配向制御層と、磁化容易軸が非磁性基板に対して主に垂直に配向した垂直磁性層４とを積層してなる磁気記録媒体において、垂直磁性層４を２層以上の磁性層４ａ，４ｂから構成し、当該磁性層４ａ，４ｂの間にＦｅと非磁性材料とを含む合金層７を配置する。 （もっと読む）

【課題】 補助記録層の膜厚を保ち、ＯＷ特性を良好な状態に保持しつつ、トラック幅を狭小化してＳＮＲを向上させるという、トラック幅とＳＮＲとの両立を図り、高記録密度化の達成が可能な垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる垂直磁気記録媒体１００の構成は、基体上に少なくとも、柱状に連続して成長したＣｏＣｒＰｔからなる磁性粒子の間に非磁性の粒界部を形成したグラニュラ構造を有し信号を記録する磁気記録層１２２と、補助記録層１２６とを、この順に備える垂直磁気記録媒体において、補助記録層は、基体主表面の面内方向に磁気的にほぼ連続した磁性層である非グラニュラ補助記録層１２６ｂと、非グラニュラ補助記録層の下に設けられ、非グラニュラ補助記録層に比較して保磁力が高く、グラニュラ構造を有するグラニュラ補助記録層１２６ａと、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンで形成された記録層を有し、表面が充分に平坦で記録再生精度が良好な磁気記録媒体を効率的に製造する。
【解決手段】開示の磁気記録媒体の製造方法は、基材の上に磁性層を形成する工程と、前記磁性層に凹部を形成して、凹凸パターンを有する記録層を形成する工程と、前記凹部に空間を残し、前記凹部の内面上に酸化性材料又は窒化性材料を成膜する工程と、成膜された前記材料を酸化又は窒化して、酸化材料又は窒化材料で前記空間を充填する工程と、前記記録層上の余剰の前記酸化材料又は前記窒化材料を除去して平坦化する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ターゲット表面に生じるエロージョンを高度に均一化し、ターゲットの寿命を高める。
【解決手段】ターゲットの表面上に磁場を発生させる磁気回路１１は、磁化方向が軸線と平行となる筒状の第１のマグネット４０と、第１のマグネット４０の内側に同心円状に配置されて、第１のマグネット４０とは磁化方向が反平行となる筒状又は柱状の第２のマグネット４１とを有し、且つ、これら第１及び第２のマグネット４０，４１の軸線とターゲットの軸線とが互いに平行となる状態で、ターゲットの表面と平行な面内で回転自在とされると共に、第１のマグネット４０と第２のマグネット４１との間で発生する磁場Ｍの、ターゲットの表面における磁束密度の垂直成分Ｂｚが０［Ｔ］となる点を結ぶＢｚ＝０ラインが、ターゲットの表面と平行な面内において、複数の変曲点Ｃ１，Ｃ２を有する曲線Ｌ１を描くようにする。 （もっと読む）

【課題】 良好なＳＮＲを確保しつつ、磁気記録媒体の表面粗さを低下させることで、磁気ヘッドの低浮上量化を図り、更なる高記録密度化を達成することが可能な垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる垂直磁気記録媒体の構成は、基体上に、磁気記録層と、磁気記録層より下に設けられＲｕまたはＲｕ化合物からなる下地層と、非磁性の結晶質材料からなる前下地層と、前下地層より下に設けられる軟磁性層とを備える垂直磁気記録媒体において、断面ＴＥＭ画像より求められる、軟磁性層と前下地層の界面の凹凸の最高点と最低点との差分を界面ラフネス（ｎｍ）とし、軟磁性層と磁気記録層との間のこれらを含まない距離をＳＵＬ−ＭＡＧ間距離（ｎｍ）としたとき、界面ラフネス（ｎｍ）≦０．４（ｎｍ）、且つ界面ラフネス×ＳＵＬ−ＭＡＧ間距離（ｎｍ）≦１２（ｎｍ）を満たすことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】サーボ領域部を形成するサーボパターンによる磁化の安定とともに磁気記録媒体による高記録密度化を図ることができる磁気記録媒体、情報記憶装置および磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】サーボ領域２１は、パターン部２２である第一磁性層２３と、この第一磁性層２３の磁化方向と反平行に磁化され、第一磁性層２３より保磁力が低い非パターン部２４として形成された第二磁性層２５と、第一磁性層２３と第二磁性層２５との間に設けられた非磁性層２６とから形成される。 （もっと読む）