【課題】よりいっそうの高記録密度化に対応可能な垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも軟磁性層、シード層、下地層、磁気記録層、および保護層を順に成膜する垂直磁気記録媒体の製造方法である。前記下地層は複数層からなり、このうちの少なくとも１層は酸素を１０００〜１００００ｗｔｐｐｍ含有する。そして、前記軟磁性層の成膜後であって、前記下地層における酸素を含有する層のうちの最下層の成膜前に、少なくとも１回加熱処理を施す。この加熱処理は、基板表面温度で８０〜２３０℃の範囲で行う。 （もっと読む）

【課題】 高い位置決め精度を有する磁気記録媒体及び磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】 サーボ領域が記録部と非記録部とで構成されるパターン構造を含む磁気記録媒体において、前記サーボ領域はプリアンブル情報が記録されるプリアンブル部およびアドレス情報が記録されるアドレス部を有しており、プリアンブル部内にトラック方向に隣接して存在するプリアンブル情報を示すパターンの桁間に非記録部が配置され、アドレス部内にトラック方向に隣接して存在するアドレス情報を示すパターンの桁間に非記録部が配置され、アドレス部のパターンと非記録部とを合わせた幅はプリアンブル部の周方向ピッチと同一である。 （もっと読む）

【課題】保磁力Ｈｃと逆磁区核形成磁界Ｈｎ、およびＳＮＲを総合的に向上することにより、さらなる高記録密度化を実現可能にする。
【解決手段】上記課題を解決するために、本発明にかかる垂直磁気記録媒体の代表的な構成は、軟磁性層１３０と、Ｎｉを主成分とし、Ｗ、Ｂを含有し、さらにＺｒ、ＡＬ、ＳｉからなるＡ群の元素のうち１つ以上の元素を含有する前下地層１４０と、ＲｕまたはＲｕ合金を主成分とする下地層１５０と、ＣｏＣｒＰｔ系の磁性粒子と非磁性の粒界部からなるグラニュラ構造を有するグラニュラ磁性層１６０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高記録密度ハードディスク（ＨＤＤ）等に用いられるディスクリートトラックメディア等のパターンドメディアをイオン注入法において製造する方法において、レジストマスク層除去後に残存するレジスト残りによる表面平坦度の悪化を根絶する。
【解決手段】レジスト塗布し、イオン注入後、通常のレジストマスク層６除去だけでなく、レジストマスク層６と磁気記録層４の間にある剥離層５ａをレジスト残り６ａとともに除去し、露出した磁気記録領域と非記録領域がパターン化された磁気記録層４に保護層５ｂを成膜することにより、レジスト残りを皆無にした、高表面平坦度のパターンド磁気記録媒体を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】磁気記録層のトラック相互間を磁気的に分離する分離層の充填材料として、充填後の表面が平滑であり、しかも耐食性に優れた非磁性金属を用いることにより、信頼性を損なうことなく、簡便な方法で製造でき、生産性に優れた磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板１上に少なくとも磁気記録層４を備え、該磁気記録層４のトラック相互間を磁気的に分離する分離層５を有してなる磁気記録媒体であって、前記分離層５が、クロムホウ化物（ＣｒＢ）、ニッケルホウ化物（ＮｉＢ）、クロムリン化物（ＣｒＰ）及びニッケルリン化物（ＮｉＰ）からなる群から選ばれる非磁性アモルファス合金からなる。 （もっと読む）

【課題】 データ領域とサーボ領域とで磁性パターンの凹凸比の差を小さくして、記録再生時のヘッド振動を防止できる磁気記録装置を提供する。
【解決手段】 ダウントラック方向にピッチｐで配列した磁性ドット列を含む記録トラックが、クロストラック方向に複数列形成されたデータ領域と、クロストラック方向にピッチｐで配列した磁性ドット列が、ダウントラック方向に等間隔で複数列形成されたプリアンブルを含むサーボ領域とを有する磁気記録媒体と、アクチュエータアームに取り付けられ前記磁気記録媒体上を径方向に移動する再生ヘッドとを有し、前記磁気記録媒体のプリアンブルの磁性ドット列が、前記磁気記録媒体上における前記再生ヘッドの軌跡に相当する曲線に沿って配列し、前記再生ヘッドの読み取り幅が、前記磁性ドットのピッチｐの整数倍であることを特徴とする磁気記録装置。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体を非破壊により短時間で検査することを可能とした磁気記録媒体の検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象となる磁気記録媒体の表面に直線偏光の光を照射し、磁場を印加しながら、媒体表面からの反射光を測定することによって、磁気カー効果によるカー回転角を測定し、印加磁場の大きさと磁化量との関係を示すヒステリシス曲線を求める工程と、ヒステリシス曲線から磁気記録領域からの信号成分と、分離領域からの信号成分とを分離し、この分離された信号成分から磁気記録領域におけるヒステリシス曲線と、分離領域におけるヒステリシス曲線とを求める工程と、磁気記録領域におけるヒステリシス曲線と、分離領域におけるヒステリシス曲線とを参照し、これら磁気記録領域と分離領域との磁気的な分離状態を判別する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】トラック間の磁気的な相互干渉を低減し、かつ記録密度を向上させるために、複合磁気記録層に設けた凹凸形状における凸部を、連続膜で設計した垂直磁気記録層と同等の膜厚で同等の垂直磁気記録特性を示すように高品質に形成されるディスクリートトラックメディア型垂直磁気記録媒体の製造方法を提供すること。
【解決手段】非磁性基体１上に少なくとも磁気記録層５と犠牲層とカーボン保護層６とをこの順に積層する第１工程と、記録トラックとなる凸部を形成するように同心円状に形成したレジスト膜パターンをマスクとして開口部の前記レジスト膜と前記カーボン保護層６を除去して凹部を形成する第２工程と、該凹部に露出する前記犠牲層と磁気記録層５とを非磁性化する第３工程と、前記凹部に挟まれる前記凸部の前記レジスト膜と前記カーボン保護層６と前記犠牲層を除去する第４工程と、前記凹部と前記凸部の上にカーボン保護層６と潤滑層７をこの順に被着する第５工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】室温で大きな垂直磁気異方性エネルギーや高い保磁力を有し、熱特性かつ磁気特性が良好な垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板１０１上に設けられた下地層１０２、ヒートシンク層１０３、及び中間層１０４と室温で垂直磁気異方性を有する磁気記録層１０５を有し、エネルギー照射により磁気記録層１０５の垂直磁気異方性を低下させた状態で記録を行う垂直磁気記録媒体とする。ヒートシンク層１０３は磁気記録層１０５から２０ｎｍ以内の距離、かつ中間層１０４と基板１０１間に形成され、熱伝導率が２３Ｗ／ｍ ｋ以上、９０Ｗ／ｍ ｋ以下の材料を用い、ラフネスＲａは０．３５ｎｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】微弱な加熱パワーでも磁性層を３００℃以上まで加熱でき、かつ、加熱後の冷却速度が十分に速い、１Ｔｂｉｔ／ｉｎｃｈ^２以上の面記録密度を有する熱アシスト磁気記録媒体を実現することを課題とする。
【解決手段】基板１０１上に複数の下地層を介してＬ１_０構造のＦｅＰｔ合金、もしくはＣｏＰｔ合金を主成分とする磁性層１０８が形成されており、該磁性層１０８が、ＢＣＣ構造を有し、かつ、格子定数が２．９７Å以下の金属もしくは合金からなる圧縮応力導入層１０３ａ、１０４ａ、１０５ａ、１０６ａと、複数のＭｇＯ層１０３ｂ、１０４ｂ、１０５ｂ、１０６ｂとが交互に積層された積層膜１０７上に形成されている熱アシスト磁気記録媒体を用いることにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】ビット・パターン化媒体およびそのサーボセクタ・ヌルパターンを用いてヘッダの位置検出を行う。
【解決手段】パターン化記録媒体はセグメントおよびその中に形成されたヌルパターンを含む。セグメントは非磁性材料により分離された個別磁気素子の第１および第２行、および第１および第２行間に配置された非磁性材料行を含む。ヌルパターンはセグメントの第１および第２行内の個別磁気素子の連続グループを含む。第１行内の各グループは第１行内の隣接グループの磁気極性とは反対の磁気極性を有する。第２行内の各グループは第２行内の隣接グループの磁気極性とは反対の磁気極性を有する。これらの個別磁気素子の連続グループのリードバック信号の和を第1および第２行において求め、これらの和の減算値に基づいてヘッダ位置に対応する復調位置信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】ルテニウム（Ｒｕ）、白金（Ｐｔ）などの希少金属を用いることなく、磁気的に反平行状態で結合した構造と磁気異方性を有する垂直磁気記録媒体、磁気記憶装置、及び垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】垂直磁気記録層４１と軟磁性裏打ち層４２とを有する垂直磁気記録媒体であって、前記軟磁性裏打ち層４２は第１軟磁性層４４と、第２軟磁性層４０とが非磁性層４５を介して、磁気的に反平行状態で結合した構造を含む膜を有し、前記第１軟磁性層４４がスピネル型または逆スピネル型のイオン結晶構造をもつ酸化物からなり、前記第２軟磁性層４０が単体で強磁性を有する金属または、単体で強磁性を有する金属を含む合金からなり、前記非磁性層４５がバンドギャップ３ｅＶから８ｅＶの絶縁物からなり、前記垂直磁気記録層４１は、垂直磁気異方性を持つコバルトフェライト単結晶薄膜である垂直磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】鮮明な磁気記録パターンを有する磁性層の平滑化プロセスを高速で行うことを可能とした磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】研磨加工は、回転する研磨パッド１０１を非磁性基板１の表面に押し付けながら、この非磁性基板１の表面と研磨パッド１０１との間に研磨液Ｓを供給し、非磁性基板を回転又は揺動させることにより行い、研磨液Ｓは、単結晶のダイヤモンド粒子と研磨助剤とを含み、ダイヤモンド粒子は、その１次粒子径が１〜１０ｎｍの範囲、その２次粒子径が５０〜１００ｎｍの範囲にあり、研磨助剤は、スルホン酸基又はカルボン酸基を有する有機重合物を含む。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクの基板に形成されたナノオーダーのパターンを埋め込み乃至平坦化し、非磁性体として用いられるポリシロキサン組成物を提供する。
【解決手段】フェニルシルセスキオキサンを含むハードディスク用被膜形成組成物。フェニルシルセスキオキサンが下記式（１）：


（式中Ｒ^１はアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン基である。Ｒ^２は炭素数１〜１０のアルキル基、アルコキシ基、又はフェニル基である。）で示される加水分解性シランの加水分解縮合物である。 （もっと読む）

【課題】磁性層のパターン形状を精度よく形成できる、歩留まりの高い磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板１に、磁性層２と、炭素により構成される炭素マスク層３と、Ｓｉ、ＳｉＯ_２、Ｔａのいずれかを主として構成される膜厚０．５ｎｍ〜２ｎｍの薄膜１０と、レジスト層４とを順次積層して、前記レジスト層４に前記磁気記録パターンを転写する工程と、前記レジスト層４をマスクにして前記炭素マスク層３を酸素を用いたイオンエッチングによりパターニングする工程と、前記レジスト層４と前記薄膜１０及び前記炭素マスク層３を除去する工程を有することを特徴とする、磁気記録媒体の製造方法を採用する。 （もっと読む）

【課題】プロセスダメージを除去して磁気特性の劣化を防止できる磁気記録媒体（パターンド媒体）の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に磁気記録層、エッチング保護層、および密着層を形成し、前記密着層上にレジストを塗付し、インプリントにより前記レジストに凹凸パターンを転写してレジストパターンを形成し、前記レジストパターンをマスクとして前記密着層をパターニングし、前記レジストパターンをマスクとしてエッチング保護層をパターニングし、前記密着層およびエッチング保護層のパターンをマスクとして磁気記録層をエッチングして磁気記録層の凹凸パターンを形成するとともに前記密着層のパターンを剥離し、前記エッチング保護層のパターンを剥離し、前記磁気記録層の凹凸パターンを非イオン化還元性ガスに曝すことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】従来の連続媒体から区別したパターニングされた媒体を識別するパターン転写ステップを統合した複数の基板の処理装置などの技術を提供すること。
【解決手段】ハードディスクドライブに用いるためのハードディスク上に磁気記録層をパターニングするためのインライン処理システム。ディスクは、ＭＤＣと呼ばれるラウンドプレート形状ホルダ（ｐｌａｔｅ−ｌｉｋｅ ｈｏｌｄｅｒ）の垂直方向に同時に両側に処理される。複数（１０個程）のディスクは、ＭＤＣのダイヤルキャリアでホールディングされ、１つの処理ステーションから他の処理ステーションに移動する。ＭＤＣのダイヤルキャリアは、１つまたは複数の処理源がディスクを同時に処理できるように各処理ステーションで、正常から７０°までの回転及び／または角度を提供する。このような構成は、時間節約及び要求される処理源の数と大きさの減少を提供する。磁気媒体のパターニングのためのマスク改善処理、及び充填と平坦化処理は共に用いられ、また開示される。 （もっと読む）

【課題】 強磁性層における磁性結晶粒子を適切に微細化する。
【解決手段】 垂直磁気記録に用いる磁気ディスク１０であって、基体１２と、下地層１８と、グラニュラー構造の微細化促進層２０（非磁性グラニュラー層）と、グラニュラー構造の強磁性層３２を有する磁気記録層２２とを備え、微細化促進層２０は、無機酸化物のマトリックスと、非磁性の金属結晶粒子とを有し、強磁性層３２は、無機酸化物のマトリックスと、金属結晶粒子の結晶方位に応じた所定の方位に磁化容易軸が向く磁性結晶粒子とを有する。 （もっと読む）

【課題】低温プロセスで短時間に作製可能であり、高［１００］垂直配向、高Ｌ１_０規則度、低キュリー温度、及び高結晶磁気異方性を有する、Ｌ１_０ＦｅＰｔ薄膜を備えた磁気記録媒体を製造できる方法、並びに、該方法によって得られるＬ１_０ＦｅＰｔ薄膜を備えた磁気記録媒体を提供することを課題とする。
【解決手段】ＦｅＰｔ合金とＣｕ酸化物とを含む薄膜を形成する薄膜形成工程、及び該薄膜を加熱する加熱工程を経て、Ｌ１_０規則構造を有したＦｅＰｔ合金とＣｕ酸化物とを含有した磁気記録層を形成する磁気記録媒体の作製方法、および該製造方法で得られる磁気記録媒体とする。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクドライブ磁気媒体用の部分酸化キャップ層を提供する。
【解決手段】部分酸化キャップ層を有する垂直磁気記録媒体は、第２酸化物層を第１キャップ層と結合して単一の部分酸化キャップを形成する。部分酸化層の酸化部分および非酸化部分は、同じターゲットからスパッタリングされ、金属元素の組成が同じである。酸化部分のＭｓは非酸化部分の約２倍である。酸化部分は、厚さが約５〜２５Åの範囲である。層組成はＣｏＰｔＣｒＢＴａを含むことができ、Ｃｒのａｔ％は約１８〜２４％、Ｐｔは約１３〜２０％、Ｂは約４〜１０％、Ｔａが約０〜２％である。 （もっと読む）