【課題】不活性ガスの使用量を抑え、コスト低減を図ることができる磁気記録媒体の製造装置を提供する。
【解決手段】外側チャンバ１と、外側チャンバ１内に設けられて磁気記録媒体５０に紫外線を照射する光源２と、外側チャンバ２内に設けられて磁気記録媒体５０を収容する内側チャンバ３と、内側チャンバ３内に不活性ガスを供給する供給経路４と、内側チャンバ３内の不活性ガスを排出する排出経路５とを備えた紫外線照射装置１０を備えた製造装置。 （もっと読む）

【課題】被処理面にスクラッチや異物を発生させずに異物を除去することのできる機能を持ち、且つ安定したクリーニング特性を有するワイピングフィルム及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基材１と、基材１上に配置された凹凸を有する下地層２と、凹凸を有する下地層２上に配置されたコーティング層３とコーティング層３内に分散する研磨粒子４とを含む表面層５とを備えるワイピングフィルムである。 （もっと読む）

【課題】ブロック共重合体自己組織化方法、パターン化基板およびパターン化テンプレートを提供する。
【解決手段】リソグラフィを行ない、基板上に第１のパターンを形成する工程と、ブロック共重合体自己組織化を行ない、基板上に第２のパターンを形成する工程とを含む方法、パターン化基板テンプレート、およびリソグラフィ技術と自己組織化技術との組合せを含む方法が提供される。パターン化基板は、第１および第２のパターンを含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】表面の平滑性が高く、表面のうねりが少ない磁気記録媒体用ガラス基板を高い生産性で製造することができる磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】１次、２次及び３次ラップ加工には、それぞれダイヤモンドパッド２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを用い、ダイヤモンドパッド２０Ａは、ダイヤモンド砥粒の平均粒径が４μｍ〜１２μｍ、ダイヤモンド砥粒の含有量が５〜７０体積％であり、ダイヤモンドパッド２０Ｂは、ダイヤモンド砥粒の平均粒径が１μｍ〜５μｍ、ダイヤモンド砥粒の含有量が５〜８０体積％であり、ダイヤモンドパッド２０Ｃは、ダイヤモンド砥粒の平均粒径が０．２μｍ以上２μｍ未満、ダイヤモンド砥粒の含有量が５〜８０体積％であり、第１、第２及び第３のラップ加工には、研削液として有機アミン水溶液を用い、１次ポリッシュ加工には、研磨剤として酸化セリウムを用いずに酸化ケイ素を用いる。 （もっと読む）

【課題】樹脂のパターン形成部に混入する気泡を減少させつつ、パターン形成部の欠陥の発生を抑えることが可能なインプリント装置を提供する。
【解決手段】本発明は、基板５上の未硬化樹脂５２とモールド３とを互いに押し付けて、基板５上に樹脂５２のパターンを形成するインプリント装置１に係る。ここで、モールド３は、基板５に対向する側の中央部に、樹脂５２と接触する凹凸パターン３ｃが形成される平板部３ａと、外周側に壁部３ｂとを有する箱形の形状を有する。このインプリント装置１は、壁部３ｂの垂直面３ｄを引き付けて保持する保持部２４を有するモールド保持装置４を備え、該モールド保持装置４は、平板部３ａの中央部と壁部３ｂとの間の形状を変形させるモールド変形機構５０を備える。 （もっと読む）

【課題】検出器の分解能に起因するエラーの発生を抑制する。
【解決手段】データ部とサーボ部とが基板上に形成され、磁気記録媒体又はそれを製造するために用いられるモールドをインプリントにより製造する際に用いられる原盤において、データパターンは以下の条件（１）及び（２）を満たすようにデータ部内に配置されている。（１）各々のトラックのサーボ部からデータ部に向かう方向において、データパターンの検出を開始するタイミング合わせの基準となるサーボパターンから、サーボ部に最も近いデータパターンまでの距離が、検出器における分解能の自然数倍である。（２）各々のトラック内において、データ部内のデータパターンから、該データパターンと隣接して形成された別のデータパターンまでの距離が、検出器における分解能の自然数倍である。 （もっと読む）

【課題】 両面インプリント装置において、下面側スタンパ装置の下側スタンパ上に位置決めされて載置された未硬化レジスト塗布ディスクが下面側スタンパ装置の移動の際に位置ズレを起こさないための方法を提供する
【解決手段】 前記方法は、(a)未硬化レジストが両面に塗布されているディスクを、前記下面側スタンパ装置に実装された、微細転写パターンを有する下側スタンパの上面に位置決めして載置するステップと、(b)前記下側スタンパと前記ディスク下面側との界面に存在する前記レジストのうち、前記スタンパの微細転写パターンにかからない部分の少なくとも一部分にＵＶ光を照射するステップと、(c)前記ＵＶ光照射部分のレジストを硬化させて前記ディスクを前記下側スタンパの上面に部分的に仮固着させるステップとからなる。 （もっと読む）

【課題】研磨後の被研磨物の表面粗さ及びパーティクルを低減できる研磨液組成物の製造方法。
【解決手段】一次粒子の平均粒子径が１〜１００ｎｍのコロイダルシリカを含有する被処理シリカ分散液を、ろ過助剤を含むフィルターでろ過処理する工程を有する研磨液組成物の製造方法であって、前記ろ過助剤は水銀圧入法による平均細孔径が０．１〜３．５μｍである、研磨液組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の板厚の仕上がり寸法バラツキをバッチ間で抑えることができる、研磨装置の提供。
【解決手段】毎回同じ目標板厚値Ａに従ってガラス基板の研磨処理を行う研磨手段として上定盤４０を備える、研磨装置であって、上定盤４０によって今回の研磨処理で研磨されているガラス基板の研磨中板厚値Ｔｃを測定するために上定盤４０のモーター駆動軸６１に対する相対位置を計測する接触式変位センサ６５と、上定盤４０によって前回以前の研磨処理で研磨されたガラス基板の仕上がり板厚値Ｔと目標板厚値Ａとの仕上がり誤差に基づいて、接触式変位センサ６５の計測結果に基づいて得られた研磨中板厚値Ｔｃの板厚補正値Ｔｐを算出する制御部９０とを備え、上定盤４０は、板厚補正値Ｔｐが目標板厚値Ａに到達するまでガラス基板を研磨する、ことを特徴とする、研磨装置。 （もっと読む）

【課題】データの記録領域として磁性細線でトラックを形成した磁気ディスクにおいて、磁性細線の加工形状によらずに再生エラーのない磁気ディスクを提供する。
【解決手段】磁気ディスクは基板上に磁性細線５を同心円状に備え、それぞれの磁性細線５に、イオン注入により相対的に飽和磁化の高い高Ｍs領域５ｓを局所的に設けたことを特徴とする。磁性細線５には「０」または「１」のデータが連続して記録され、データを記録された領域は磁区Ｄ０，Ｄ１等として、磁性細線５の両端に接続された一対の電極６１，６２にて供給されるパルス電流により磁性細線５中を断続的に移動する。電流供給により高Ｍs領域５ｓ外に到達した磁壁ＤＷ２は、パルス電流における電流停止時に、近傍の高Ｍs領域５ｓまで自発的に移動して係止される。したがって、磁性細線５において高Ｍs領域５ｓを磁壁が通過する度に微小な位置ズレが補正されるため、再生エラーを防止できる。 （もっと読む）

【課題】表面粗さＲａが低減され、落下衝撃に強く、さらにヘッドクラッシュを起こしにくい情報記録媒体用ガラス基板を製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】アルミノシリケートガラス素材を研磨して情報記録媒体用ガラス基板を製造する方法であって、前記アルミノシリケートガラス素材を粗研磨する粗研磨工程、及び粗研磨工程後の前記ガラス素材を精密研磨する精密研磨工程を含み、前記粗研磨工程において、（Ａ）酸化セリウムと、（Ｂ）ケイ酸ジルコニウム、酸化ジルコニウム、酸化マンガン、酸化鉄、酸化アルミニウム、炭化ケイ素及び二酸化ケイ素からなる群より選択される少なくとも１つと、（Ｃ）ウレタンとを含み、前記（Ａ）：（Ｂ）：（Ｃ）の割合が、１〜９質量％：５〜２４質量％：７５〜９０質量％である、研磨パッドを用いて粗研磨を行うことを特徴とする、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板上の被クランプ部における欠陥の発生を抑制することが可能な情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラスブランク材を準備し（Ｓ１０）、ガラスブランク材を用いて略円形状のガラス基板を形成し（Ｓ２０）、ガラス基板に対してラップ研磨処理を施し（Ｓ３１）、ガラス基板に対してポリッシュ研磨処理を施し（Ｓ３３，Ｓ３４）、ガラス基板の主表面を洗浄することによってガラス基板上の複数の付着物を除去し（Ｓ４０）、ガラス基板に化学強化処理を施す（Ｓ５０）。１μｍ以下の大きさを有する付着物の数がガラス基板上の被クランプ部内において５個以下となるようにガラス基板は洗浄される。付着物の数は、ガラス基板の主表面上における被クランプ部に対して、２波長のレーザ光を異なる方向で照射し、それぞれの反射光に基づいて算出される値である。 （もっと読む）

【課題】
カセットに収納されている磁気ディスクを複数の検査装置に供給し、検査した磁気ディスクをそれぞれの検査装置から回収するのに適した磁気ディスクの検査方法及びそのシステムを提供する。
【解決手段】
検査前の磁気ディスクを収納したカセットをカセット収容ユニットから取出して複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送し、検査前の磁気ディスクを収納したカセットが搬送された光学式検査ユニットにおいてカセットに収納された検査前の磁気ディスクを取出して磁気ディスクの両面を検査し、この両面を検査して良品と判定された磁気ディスクを良品磁気ディスクを回収するカセットに収納し、この良品の磁気ディスクが収納されたカセットを光学式検査ユニットからカセット収容ユニットへ搬送し、この搬送された良品の磁気ディスクが収納されたカセットを前記カセット収容ユニットに収容するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス基板上の硝酸イオンコンタミネーション量を一定以下のものにし、ハードディスク装置に装着した場合にヘッドが硝酸イオンコンタミネーションに衝突するおそれの少ない情報記録媒体用ガラス基板、その製造方法、情報記録媒体、及びハードディスク装置の提供を目的とする。
【解決手段】板状ガラス素材を硝酸塩を用いて化学強化する化学強化工程を含む製造工程を経て得られる本発明の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、製造工程の最終工程としての最終洗浄工程で、前記板状ガラス素材１０の表面に存在する硝酸イオン（ＮＯ_３⁻）コンタミネーション量を５０ｎｇ／ｃｍ^２以下になるように洗浄する。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れた磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】粗研磨行程を備える磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法で、前記粗研磨行程は、ガラス素板の主面を、酸化セリウムを含有する研磨スラリーにて研磨した後に、前記研磨スラリーを研磨装置外に取り出す行程、前記取り出した研磨スラリー中の研磨剤のレーザ回折散乱法で測定された粒度分布の最大値が３．５μｍ以下であり、その粒度分布での累積５０体積％径Ｄ５０が０．５〜１．５μｍとなるように分級する行程、前記分級した研磨剤を含む研磨スラリーにて、他の異なるガラス素板の主面及び端面を研磨する行程を備える製造方法。好ましくは、この分級した研磨剤が、酸化セリウムと、ＳｉＯ_２，ＡｌＯ_３を含むアルミノシリケートとを含有し、アルミノシリケートの含有量が、酸化セリウムの含有量に対して０．１〜３０質量％である。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れた情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス素板の表面を、研磨剤を用いて研磨する研磨工程と、前記研磨工程の後に、研磨されたガラス素板の表面を、化学強化処理液を用いて強化する化学強化工程とを備え、前記ガラス素板として、そのガラス組成におけるＣｅＯ_２濃度が０．０２〜１質量％であるものを用い、前記研磨剤として、希土類酸化物を含み、ＣｅＯ_２の含有量が、前記希土類酸化物の含有量に対して９９〜９９．９９９９質量％であり、アルカリ土類金属の含有量が、前記研磨剤全量に対して１０ｐｐｍ以下であるものを用いる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】表面粗さＲａが低減され、落下衝撃に強く、さらにヘッドクラッシュを起こしにくい情報記録媒体用ガラス基板を製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】酸化セリウムを０．０２〜１質量％含むアルミノシリケートガラス素材を研磨して情報記録媒体用ガラス基板を製造する方法であって、前記アルミノシリケートガラス素材を粗研磨する粗研磨工程、及び粗研磨工程後の前記ガラス素材を精密研磨する精密研磨工程を含み、前記粗研磨工程において、（Ａ）酸化セリウムと、（Ｂ）ケイ酸ジルコニウム、酸化ジルコニウム、酸化マンガン、酸化鉄、酸化アルミニウム、炭化ケイ素及び二酸化ケイ素からなる群より選択される少なくとも１つと、（Ｃ）ウレタンとを含み、前記（Ａ）酸化セリウムの配合量が１〜５０質量％である研磨剤を用いて粗研磨を行うことを特徴とする、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】多数のステーションを有する磁気ディスク等の基板を処理するフートプリントの小さいシステムを提供する。
【解決手段】それぞれの上部に処理チャンバが積層され、さまざまなサイズのディスクを取るように調節可能なディスクキャリア上でディスクがシステムを通じて移動するところのディスク処理及び製造装置が記述されている。ディスクはロードゾーンを通じてシステムに進入し、その後ディスクキャリア内に装着される。ディスクはキャリア内にあって、ひとつのレベルで、処理チャンバを通じて連続的に移動し、その後、リフトまたはエレベータにより他のレベルへ移動する。他のレベルにおいて、再びディスクはシステムを通じて連続的に移動し、その後アンロードゾーンで出力される。 （もっと読む）

【課題】平坦性に優れたガラスブランクを製造すること。
【解決手段】溶融ガラス塊に対して、水平方向に対向配置され、プレス成形面５２Ａおよびプレス成形面６２Ａの温度が実質同一である一対のプレス成形型５０、６０を略同時に接触させた後にプレス成形して板状ガラス２６を作製し、板状ガラス２６を一対の成形型５０，６０によりプレスし続けた後に取り出す際に、板状ガラス２６のプレス継続時間をガラスブランクの平坦度が１０μｍ以下となるように制御する磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法、および、これを用いた磁気記録媒体ガラス基板製造方法、および、磁気記録媒体製造方法。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の内端面を含む全ての領域を洗浄することが可能な情報記録媒体用ガラス基板の製造方法およびその情報記録媒体用ガラス基板を備えた情報記録媒体を提供する。
【解決手段】洗浄工程において、超音波を走査させながらガラス基板１の洗浄を行なっている。これにより、ガラス基板１の全面を同時に洗浄することが可能となる。特に、ガラス基板１の孔１Ｈの内端部にも超音波が入り込むことにより、内端部の清浄度を向上させることができる。 （もっと読む）