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Fターム[5E339CE16]の内容

Fターム[5E339CE16]に分類される特許

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【課題】現像後解像性及び金属めっき耐性が良好で現像液分散安定性に優れ凝集物が発生しない光重合性樹脂組成物及びその用途の提供。
【解決手段】(A)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、一般式(I):


(式中、R1は水素原子又はメチル基であり、R2は水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、カルボキシル基又は炭素数1〜12のハロアルキル基である)で表されるモノマーを含む重合成分の重合により得られ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂:10〜90質量%、(B)光重合性不飽和化合物:5〜70質量%、及び(C)光重合開始剤:0.01〜20質量%を含有し、(B)光重合性不飽和化合物中のエチレンオキサイド基濃度が0.17mol/100g以下である光重合性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】エッチングレジスト又はめっきレジスト等のレジスト材料として、レジストのしみ出しが抑制され、かつ密着解像性に優れたドライフィルムレジストロールの提供。
【解決手段】感光層を有するドライフィルムレジストを、ロール状に巻き取ったフィルムロールの端面に乾燥剤を設けて成るドライフィルムレジストロールであって、該感光層が感光性樹脂組成物を含有し、該感光性樹脂組成物が、該組成物全量に対して、(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂:20〜90質量%、(b)光重合可能な不飽和化合物:3〜70質量%、及び(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%を含有し、該感光層の70℃における溶融粘度が10000Pa・sec以上100000Pa・sec以下であることを特徴とする、ドライフィルムレジストロール。 (もっと読む)


【課題】レジストのはく離性に優れ、密着性及び解像度を向上させることが可能な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法、及びプリント配線板の製造法を提供。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有する光重合性化合物及び(C)アクリジン化合物からなる光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であって、上記(B)光重合性化合物が、ビスフェノールの水素添加体を母核とするジアクリレート化合物を含む感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、工程途中の露光工程や工程間のマテリアルハンドリングにおいて、問題が発生し難い段差レジスト樹脂層の形成方法を提供することである。
【解決手段】基板上の段差レジスト樹脂層の形成方法において、a)基板上にカバーフィルムを伴った感光性樹脂層をラミネートする工程、b)該感光性樹脂層に第1のパターン露光を行う工程、c)カバーフィルムの除去を行う工程、d)該感光性樹脂層に潜在的薄層化処理層を形成する工程、e)該感光性樹脂層上にカバーフィルムを形成する工程、f)該感光性樹脂層に第2のパターン露光を行う工程、g)カバーフィルムを除去し、潜在的薄層化処理層及び未露光部の感光性樹脂層の除去を行う工程、をこの順で含む段差レジスト樹脂層の形成方法。 (もっと読む)


【課題】一枚の基板10から作製できる製品の数を増加させ、生産効率を向上させるプリント配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁性基材11の両主面に導電層12が形成された基板10の一方主面に、基板10の外縁Pよりも外側にキャリアフィルム20の外縁Qが位置するように、キャリアフィルム20を張り付ける工程と、基板10の他方主面に、基板10の外縁Pよりも外側にレジスト層30の外縁Rが位置するとともに、キャリアフィルム20の外縁Qよりも内側にレジスト層30の外縁が位置するように、レジスト層30を形成する工程と、レジスト層30が形成された基板の導電層12の所定領域をエッチング処理により除去して回路パターン41を形成する工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】めっき触媒又はその前駆体との吸着性及び加水分解に対する耐性に優れた絶縁性樹脂、絶縁性樹脂層形成用組成物、基板との密着性に優れた金属膜又は金属パターンを簡易に形成しうる積層体、表面金属膜材料及び金属パターン材料の作製方法を提供する。
【解決手段】下記式で表されるユニットを含み、(C)で表されるユニットの含有率が共重合体に含まれる全ユニット中20モル%未満である共重合体からなる絶縁性樹脂。
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【課題】エッチング液を用いないことにより、人体に悪影響を及ぼしたり、環境を汚染したりすることを防ぐセラミック基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミック基板上にドライフィルムを貼リ付ける工程100と、ドライフィルムに対して露光および現像加工を行い、ドライフィルム上に所定の配線パターンを形成する工程101と、セラミック基板およびドライフィルム上に第1の金属層をコーティングする工程102と、第1の金属層上に銅層を電気メッキする工程103と、セラミック基板上のドライフィルム、第1の金属層および銅層に切断および研磨を行なった後、ドライフィルムを前記セラミック基板上から除去する工程104と、セラミック基板上に適切な厚さを有する銅層を形成する工程105と、セラミック基板の銅層の表面に第2の金属層を電気メッキする工程106と、を含む。 (もっと読む)


【課題】露光時において、フォトマスクと感光性ドライレジスト層とを精度よく位置合わせでき、感光性ドライレジスト層を精度のよいパターンに現像して、配線回路基板を精密に形成できる配線回路基板集合体シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】
回路付サスペンション基板2を備える金属支持基板20に、第1保護フィルム21が貼着されている感光性ドライレジスト層22を熱圧着により積層し、第1保護フィルム21を剥離し、感光性ドライレジスト層22の表面に加熱することなく第2保護フィルム23を貼着し、フォトマスク24を介して第2保護フィルム23が貼着されている感光性ドライレジスト層22を所定パターンで露光し、第2保護フィルム23を剥離し、感光性ドライレジスト層22を所定パターンで現像し、感光性ドライレジスト層22から露出する金属支持基板20をエッチングして、回路付サスペンション基板集合体シート1を製造する。 (もっと読む)


【課題】 光感度、解像度、密着性および現像液に対する溶解性に優れた感光性樹脂組成物およびそれを用いた感光性エレメントを提供すること。
【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和基含有光重合性モノマー、(C)多環式芳香族炭化水素、(D)光重合開始剤、および(E)水素供与体を含有する感光性樹脂組成物、および、この感光性樹脂組成物層からなるレジスト層が支持体上に形成されてなる感光性エレメント。 (もっと読む)


【課題】基板にDFRをラミネートした際にエアーボイドの発生が少なく、露光、現像工程におけるレジストパターンの欠陥や、続くエッチング工程またはめっき工程において形成される回路の欠けや断線、ショートなどの欠陥の低減が可能であり、また、感光性樹脂層上に保護層を積層して感光性樹脂積層体を製造する際に、感光性樹脂層が保護層と密着しやすい感光性樹脂積層体を提供すること。
【解決手段】支持体(A)、感光性樹脂層(B)、および保護層(C)からなる感光性樹脂積層体において、前記保護層(C)の膜厚が30μm以上50μm以下であり、かつ中心線平均粗さ(Ra)が0.1μm未満であり、該感光性樹脂層(B)が(i)アルカリ可溶性高分子、(ii)エチレン性不飽和付加重合性モノマー、(iii)光重合開始剤を含有し、該(i)アルカリ可溶性高分子がスチレン及びスチレン誘導体を有し、該(iii)光重合開始剤が2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体を含有することを特徴とする感光性樹脂積層体。 (もっと読む)


【課題】基板厚が0.4mm以下と薄い基板に対して、従来から使用している枚葉基板対応の設備を使用しても、エッチング加工精度が低下せず、生産性も低下しない配線基板の製造方法の提供。
【解決手段】少なくとも、片面あるいは両面に金属銅箔が形成された枚葉状の絶縁樹脂基板の該金属銅箔上に、フォトレジストパターンを形成する工程、複数の絶縁樹脂基板をアルカリ剥離性樹脂テープを用いて基板処理搬送方向に帯状に連結する工程、フォトレジストパターン開口部の金属銅箔をエッチング処理し導体回路を形成する工程、フォトレジストパターンをアルカリ剥離すると同時にアルカリ樹脂テープを溶解し、連結された絶縁樹脂基板を再分離する工程、とをこの順で有することを特徴とする配線基板の製造方法としたものである。 (もっと読む)


本発明は、ドライフィルムフォトレジストに関する。具体的に、本発明に係るドライフィルムフォトレジストは、支持体フィルムを除去した状態での露光工程の実施が可能なので、支持体フィルムによる露光効果の悪影響を防止することにより解像度を向上させることができる。しかも、樹脂保護層が存在する状態で露光を実施しても、樹脂保護層による透明性の低下または現像速度の低下が発生しないため、高解像度を達成することができる。
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【課題】感度、解像度、密着性、レジスト形状及び硬化後の剥離特性がいずれも良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法の提供。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(B)光重合性化合物が、ノボラック型エポキシ樹脂に不飽和カルボン酸反応させて得られる化合物である感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】プリント配線板の製造に用いられたときに、感度、テント信頼性及び密着性について十分に高いレベルで達成可能な感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)バインダポリマーと、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性不飽和化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)セリウム化合物含有固体粒子と、を含有し、(D)成分を、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対して0.1〜30質量部含有する、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】 露光光として波長400〜450nmの光を使用した場合に十分な感度及び解像度を得ることができ、然も良好なレジスト形状を得ることのできる感光性エレメントの提供。
【解決手段】 感光性エレメントは、支持フィルムXと感光性樹脂組成物層Zとを有する。Zの材料の感光性樹脂組成物はバインダーポリマーAとエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物Bと光重合開始剤Cとを含有し、Cには、4,4´−ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン及び/又は4,4´−ビス(アルキルアミノ)ベンゾフェノンが含まれ、Zの層厚Q[μm]とZ中のAの総質量Wa[g]とZ中のBの総質量Wb[g]とZ中の上記ベンゾフェノンの質量Wc[g]とが下記式(1)〜(3)で表される条件;(1):P={Wc/(Wa+Wb)}×100,(2):P×Q=R,(3):6.5≦R≦21.5を同時に満たす。 (もっと読む)


【課題】導体パターン間に残渣が残ることを防いで、導体パターン間の絶縁信頼性を向上することができると共に、絶縁性基板の表面の反射率が低下することを防ぐことができる導体パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】絶縁性基板1の表面に導体膜2を形成する工程。導体膜2にエッチング処理を施して所定パターンで導体膜2の一部を除去する工程。サンドブラスト処理を施して、導体膜2を除去した部分において絶縁性基板1の表面に残存する導体膜2の残渣2aを除去する工程。これらの工程から導体パターン3を形成する。 (もっと読む)


【課題】高感度で且つホールドタイムによる感度低下(すなわち感度変化)が少ない、すなわち保存安定性が良好な感光性樹脂積層体を提供する。また、該感光性樹脂積層体を用いて、基板上に感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層を露光及び現像することを含むレジストパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】支持体フィルムと、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層と、保護フィルムとを少なくとも含む積層体であり、該保護フィルムが、OH基の両隣にそれぞれ独立に水素又は炭素数1〜6のアルキル基を有する4−フェノール構造を含む酸化防止剤を含有し、該酸化防止剤のフェノール当量が3.1×10-3以下であり、該保護フィルム中の該酸化防止剤の含有量が、1ppmより多く3000ppm以下である、感光性樹脂積層体。 (もっと読む)


【課題】プリント配線基板を構成する各層の薄型化しても、導体部分の酸化・腐食などが生じ難く、安全なプリント配線基板及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】基板本体10と、基板本体10上の回路を形成する導体パターン14とを備えている。基板本体10は、絶縁性を有する絶縁材料、例えばポリエチレンテレフタ−ト、ポリイミド又は液晶ポリマーなどから形成されている。また、導体パターン14は、銅などの導電部材から形成されており、上面14bと側面14c、14cとが交わる両縁14a、14aは、R状に形成されている。 (もっと読む)


【課題】めっき触媒等の金属に対して充分な吸着性を有し、吸水性が低く、重合性に優れ、且つアルカリ水溶液による加水分解を抑制しうる新規共重合ポリマーの提供。
【解決手段】下記式(1)で表されるユニット、及び、下記式(2)で表されるユニットを含むポリマー。式(1)及び式(2)中、R〜Rは、夫々独立して、水素原子、又は置換若しくは無置換のアルキル基を表し、Rは、無置換のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基を表し、V及びZは、夫々独立して、単結合、置換若しく無置換の二価の有機基、エステル基、アミド基、又はエーテル基を表し、L及びLは、夫々独立して、置換若しくは無置換の二価の有機基を表す。
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【課題】 優れた解像度(特に20μm以下)を維持したまま除去性を十分に向上させることが可能な感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 2以上のエチレン性不飽和結合を分子内に有する(A)光重合性化合物と、前記(A)光重合性化合物の光重合反応を開始させる(B)光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(A)光重合性化合物の分子内には、該(A)光重合性化合物を130〜250℃の温度条件で加熱した場合に切断される結合を有する特性基が更に含まれていることを特徴とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


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