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【課題】微細配線を形成する場合であっても、ブリッジの発生を十分に低減でき、しかも優れたワイヤボンディング性を有する半導体チップ搭載用基板を製造可能な方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る半導体チップ搭載用基板製造方法は、基板の表面の導体回路の少なくとも一部を覆うように、電解ニッケルめっきによりニッケル層を形成する工程と、基板に対してデスミア処理を施す工程と、クエン酸を含む溶液に基板を浸漬する工程と、ニッケル層の少なくとも一部を覆うように、無電解めっきによりパラジウム層又は金層を形成する無電解めっき工程とをこの順序で備える。 (もっと読む)


【課題】絶縁樹脂層の初期密着性、および、絶縁樹脂層の密着性の経時安定性に優れたプリント配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】所定の官能基を有するチオール化合物を用いて、金属配線付き絶縁基板10の絶縁基板12表面と金属配線14表面とを覆う第1の被覆工程と、溶剤を用いて、金属配線付き絶縁基板10を洗浄して、絶縁基板10表面上のチオール化合物16を除去する第1の洗浄工程と、所定の官能基を有するポリマー20を用いて、チオール化合物16で覆われた金属配線14表面と絶縁基板10表面とを覆う第2の被覆工程と、溶剤を用いて、金属配線付き絶縁基板10を洗浄して、絶縁基板12表面上のポリマー20を除去する第2の洗浄工程と、金属配線付き絶縁基板10の金属配線14側の表面上に、絶縁樹脂層24を形成する絶縁樹脂層形成工程とを有するプリント配線基板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】プリント回路板製造等の電子工業分野や、塗装等の一般工業分野に用いる、銅及びまたは銅合金の表面の光沢性を維持したまま銅及びまたは銅合金の表面とレジン類等とを強固に密着させる表面処理液を提供する。
【解決手段】本発明は、(1)過酸化水素、(2)燐酸または燐酸および硫酸の混合物、(3)ベンゾトリアゾール類、(4)アミノテトラゾールおよび(5)塩化物イオンを含有する銅及びまたは銅合金の表面処理液である。 (もっと読む)


【課題】抗酸化特性およびエッチング特性が良好であり、さらに、高温高圧環境でも剥離性に優れた極く薄い銅箔と、厚さが均一であり、ピンホールがほとんどない担体とを備える、担体としてベリーロープロファイル銅箔付きの極く薄い銅箔を提供すること。
【解決手段】ベリーロープロファイル銅箔を担体とした極く薄い銅箔の製造方法が、担体の両面が平坦で,粗さが1.5μm以下,厚さが18〜35μmのベリーロープロファイル銅箔を;リブテン,ニッケル,クロムとカリウム金属イオンからなるめっき液でめっきして剥離層とし;剥離層の上に、Cu2P2O73H2O;10〜60g/L,K4P2O7:100〜400 g/L,PH=6〜10,浴温10〜600 Cからなるめっき液を電流密度1〜5A/dm2でめっきして剥離層の保護膜を形成し、;更に銅濃度50〜100g/L,硫酸濃度90〜125g/L,浴温40〜700 C,のめっき液を電流密度10〜50A/dm2でめっきして、厚さ1〜6μm以下の極く薄い銅箔とからなること。 (もっと読む)


【課題】歩留まりに優れたプリント配線板を提供する。
【解決手段】プリント配線板101の製造方法は、少なくとも絶縁層102の一面上にキャリア基材付き銅箔が積層された積層板からキャリア基材を分離する工程と、銅箔層104上に、銅箔層104よりも厚い金属層115を全面にまたは選択的に形成する工程と、少なくとも銅箔層104をエッチングすることにより、銅箔層104および金属層115から構成される導電回路119のパターンを得る工程と、を含み、金属層115と接する銅箔層104の面(上面20)において、XRD(X−ray Diffraction)薄膜法で測定したときの面方位(111)、(200)、(220)および(311)のピーク強度の和に対して、面方位(200)のピーク強度の比率が26%以下である。 (もっと読む)


【課題】絶縁樹脂層表面の凹凸形状が小さい状態でも、配線導体に対して容易に高い接着力を発現し得る絶縁樹脂、配線板及び配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】(A)1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、(B)紫外線活性型エステル基含有化合物、(C)イソシアネートシラン、及び(D)エポキシ樹脂硬化促進剤を含む樹脂組成物である。 (もっと読む)


【課題】Snメッキ層で被覆された金属パッドの半田濡れ性を向上させることが可能な配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の配線基板の製造方法においては、配線積層部のソルダーレジスト層に複数の開口部を形成して複数の金属パッドを露出させた状態の配線基板を準備し(ステップS10)、金属パッドの表面をSnメッキ層で被覆し(ステップS11:Snメッキ工程)、Snメッキ層で被覆された金属パッドを加熱し(ステップS13:リフロー工程)、加熱後のSnメッキ層の表面を、アミンを含むアルカリ洗浄液により洗浄する(ステップS15:アルカリ洗浄工程)。これにより、Snメッキ層の表面の不純物が除去されて半田濡れ性が向上し、金属パッドにおけるチップ立ち不良を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】例えば幅および間隔が20μm以下の微細な半導体素子接続パッドを含む配線を形成することが可能であるとともに、外部接続パッドを外部電気回路基板に接続したときに大きな応力が加わったとしても外部接続パッドに剥がれが発生することのない配線基板を提供すること。
【解決手段】絶縁基板1の一方の主面に半導体素子接続パッド5を含む第1の配線導体3がセミアディティブ法により被着形成されているとともに絶縁基板1の他方の主面に外部接続パッド6を含む第2の配線導体3がセミアディティブ法により被着形成されて成る配線基板であって、第1の配線導体3は一方の主面の絶縁層2上に被着された無電解めっき層3aおよびその上の電解めっき層3bから成り、第2の配線導体3は、他方の主面の絶縁層2上に直接被着された金属箔3cおよびその無電解めっき層3aおよびその上の電解めっき層3bから成る。 (もっと読む)


【課題】SAPプロセスでの無電解メッキ付き性に優れ、微細回路の形成を可能とし、かつ、金メッキ処理での異常析出を抑制して微細回路の配線間絶縁信頼性および接続信頼性を向上させることを可能とする金メッキ金属微細パターン付き基材の製造方法を提供し、前記製造方法によって、金メッキ金属微細パターン付き基材、特にプリント配線板、及び前記プリント配線板を用いた半導体装置を提供する。
【解決手段】樹脂からなる支持表面を有する基材を準備する工程と、当該支持表面上に、表面粗度が0.5μm以下であるプライマー樹脂層を形成し、その上にSAP法によって金属微細パターンを形成して金属微細パターン付き基材を得る工程と、当該金属微細パターンの少なくとも一部の表面に金メッキ処理を行う工程とを含み、前記金メッキ処理を行う前の任意の段階において、金属微細パターン付き基材に対し、パラジウム除去処理を行う。 (もっと読む)


【課題】はんだ浴浸漬処理後のホットエアーレベラー方式やソルダーペーストのリフロー処理方式などにおいて、隣接回路へのブリッジを生じ難く、品質の安定した均一な厚さのはんだプリコート被膜を安定生産する。
【解決手段】下層に溶融錫液または溶融はんだ液がそれぞれ入った貯槽を備えた処理装置の上層中で被処理物を有機脂肪酸溶液と接触させ、表面に有機脂肪酸の保護被膜を形成した後、溶融錫液または溶融はんだ粒子を散布し、被処理物表面に溶融錫または溶融はんだを接着し、次いで、被処理物を下層の溶融錫液または溶融はんだ液に浸漬して錫またははんだ被膜を形成する第1のステップと、錫液またははんだ被膜の形成された被処理物を引き上げながら、加熱した有機脂肪酸溶液を吹付けて余剰に付着した錫またははんだ被膜を吹き落す第2のステップとによりなる。 (もっと読む)


【課題】クラック、断線、短絡等の発生が防止された、信頼性の高い導体パターンを備えた信頼性の高い配線基板を提供すること、前記配線基板を効率よく製造することのできる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の配線基板の製造方法は、セラミックス材料とバインダーとを含む材料で構成されたセラミックス成形体を用意するセラミックス成形体用意工程と、セラミックス成形体上に、金属粒子と分散媒とを含む導体パターン形成用インクを液滴吐出法により吐出して、導体パターン前駆体を形成する導体パターン前駆体形成工程と、導体パターン前駆体上に、多価アルコールを含む多価アルコール含有インクを付与する多価アルコール含有インク付与工程と、複数のセラミックス成形体を積層して積層体を得る積層工程と、積層体を焼結して、導体パターンおよびセラミックス基板とを有する配線基板を得る焼成工程とを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高性能の内部電極を量産性良く提供することを目的とするものである。
【解決手段】ベース基板11に第1のメッキ層12を形成する工程と、第1のメッキ層の上に所定の開口部13を有するレジストパターン14を形成する工程と、レジストパターンの開口部13に第1のメッキ層12と同じ金属材料で、第1のメッキ層の平均表面粗さよりも平均表面粗さが小さい第2のメッキ層15を形成する工程と、レジストパターンの開口部13に転写用導体16を電解メッキにより形成する工程と、を備えた製造方法であり、これにより高性能の内部電極を量産性良く得ることができる。 (もっと読む)


【課題】化学的研磨を行うが、メッキ層の表面が平坦であり、メッキ層の厚さが一定であるうえ、絶縁層に残余メッキ層が残らない基板の研磨装置および研磨方法を提供する。
【解決手段】被研磨基板101が浸漬されるエッチング液入りのエッチング槽102を含む化学的研磨部109と、ブラシ110aを含む機械的研磨部112aとを含むものである。 (もっと読む)


【課題】はんだバンプを形成する際の脱落や針状結晶の発生を防止し、正常な回路基板の安定した提供を可能とする回路基板製造方法を提供する。
【解決手段】回路基板1上の端子2の表面に粘着性付与化合物を塗布して粘着層5を形成する工程と、前記粘着層上に、はんだ粒子11を付着する工程と、前記はんだ粒子に有機酸塩基のハロゲン化水素酸塩を含む活性剤を塗布してから、前記はんだ粒子が付着された回路基板を、はんだの融点以下で加熱して、はんだ粒子を定着させる工程と、前記はんだ粒子が定着された回路基板にフラックスを塗布する工程と、前記回路基板を加熱して、前記はんだ粒子を溶融する工程と、を具備してなることを特徴とする回路基板の製造方法を採用する。 (もっと読む)


【課題】 基板との接着性に優れた銅箔を提供し、はんだ耐熱性、耐熱耐久性に優れ、プリント配線板用に好適な銅張積層体を提供することにある。
【解決手段】 銅箔上に有機ケイ素化合物の加水分解縮合物から成る層を設けることにより、基板との接着性に優れた銅箔を提供する。さらに該銅箔の有機ケイ素化合物の加水分解縮合薄層上にポリイミド系樹脂層を積層することにより、はんだ耐熱性、耐熱耐久性に優れた銅張積層体を得る。 (もっと読む)


金属表面のはんだ付け性を向上させる方法であって、はんだ付けする前に金属表面に銀めっきを施し、メルカプト置換又はチオ置換シラン化合物を含む添加剤で浸漬銀めっきを処理する方法を開示する。好ましい後処理は、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン及び/又は3−オクタノイルチオ−1−プロピルトリエトキシシランを含む。 (もっと読む)


【課題】廃液処理が容易であり、かつスミアの除去効果が充分に得られるプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂層(1a,2)と銅層(1b,3)とが積層された多層積層板にレーザー光を照射してビア(BV)を形成するプリント配線板の製造方法において、レーザー光を照射した後の前記多層積層板を非酸化性膨潤剤に浸漬する膨潤処理工程と、前記膨潤処理工程後の前記多層積層板にマイクロエッチング剤を接触させるマイクロエッチング処理工程と、前記マイクロエッチング処理工程後の前記多層積層板を液中に浸漬した状態で超音波を印加する超音波処理工程とを含むことを特徴とするプリント配線板の製造方法とする。 (もっと読む)


【課題】微細化された導体回路とソルダーレジスト層との密着性を高め、はんだバンプ形成部においても、導体回路とソルダーレジスト層とが強固に密着して剥離せず、はんだバンプ形成部に導通不良を引き起こさない多層プリント配線板を得る。
【解決手段】はんだパッド用導体回路と、ソルダーレジスト層と、はんだバンプとを備える多層プリント配線板の製造方法において、(a)無電解めっき及び電解めっきにより、線幅が50μm以下でなる前記はんだパッド用導体回路を形成する工程と、(b)前記はんだパッド用導体回路の上面および側面を第二銅錯体と有機酸とを含有するエッチング液によって処理し、前記はんだパッド用導体回路上に最大粗度(Rmax)が0.5〜10μmの粗化面を形成する工程と、(c)前記工程(b)の後、前記はんだパッド用導体回路上にエッチング処理または研磨処理等による酸処理を行う工程と、(d)前記はんだパッド用導体回路をソルダーレジスト組成物で被覆する工程と、(e)前記はんだパッド用導体回路部分の前記ソルダーレジスト組成物を除去し、開口を有するソルダーレジスト層を形成する工程と、(f)前記開口において、はんだバンプを形成する工程とを含むことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】配線層の微細化(ライン:スペース=10:10μm以下)に対応できると共に、配線層とその上の絶縁層との十分な密着性が得られる配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】下地層10の上にシード層20aを形成する工程と、シード層20aの上に開口部が設けられためっきレジストを形成する工程と、電解めっきによりその開口部に銅めっき層20bを形成する工程と、めっきレジストを除去する工程と、銅めっき層20bをマスクにしてシード層20aをウェットエッチングして配線層20を得る工程と、配線層20の表面を黒化処理して粗化する工程と、配線層20の上に絶縁層30を形成する工程とを含み、シード層20aをエッチングする工程で銅めっき層20bの表面が同時にソフトエッチングされ、これによって黒化処理の工程の前に行われる配線層20のソフトエッチング工程を省略する。 (もっと読む)


【課題】安定した表面処理を行うべく、濁りが少なく安定な銅の表面処理液および表面処理液を接触させる銅の表面処理方法を提供する。
【解決手段】スズ化合物と、フッ素化合物と、錯化剤とを含有し、表面処理液全体に対する遊離フッ素の濃度が0.1ppm以上、100ppm以下の範囲内であり、表面処理液のpHが5以下である。 (もっと読む)


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