【課題】マスクホルダを空気圧で支持しながら、マスクホルダをＺ方向へ移動及びチルトして、マスクと基板とのギャップ制御を行う際、ギャップ合わせ後にマスクホルダが下降するのを防止して、マスクと基板とのギャップ制御を短時間で行う。
【解決手段】空気圧回路から空気圧支持装置２３へ圧縮空気を供給し、マスクホルダ２０を空気圧支持装置２３により空気圧で支える。空気圧支持装置２３を空気圧回路から遮断して、空気圧支持装置２３内の空気を密封しながら、複数のＺ−チルト機構３０によりマスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトして、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行う。ギャップ合わせ後に、空気圧支持装置２３から空気が流出せず、マスクホルダ２０が下降しない。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、熱負荷によるガラス基板の割れなどを誘発することなく、１枚のガラス基板から複数枚のパネルを省エネルギーのもとに調製することを可能にする、基板への蒸着被膜の形成方法および当該方法を実施するための搬送トレイを提供すること。
【解決手段】 搬送トレイを、四角形状の枠体と、枠体の対向する枠辺と枠辺の間に、その両端を枠体の各枠辺と弾性部材を介して連結することでテンションを付加して架設した薄体状部材とから構成し、複数本の薄体状部材を、基板が搬送トレイに載置されている状態を形成するための保持部材として機能させるとともに、基板における２つ以上の蒸着被膜形成領域を画定するためのマスク部材として機能させる。 （もっと読む）

【課題】 減圧環境下であっても変形を回避でき、収納された基板の信頼性ある保管を実現できる基板収納容器を提供することにある。
【解決手段】 ボトムプレートと、前記ボトムプレートに載置される基板収納カセットと、前記基板収納カセットを被って前記ボトムプレート上に配置されるシェルとを備える。前記シェルは、前記ボトムプレート側の一端が開口され、他端が閉じられた天面を有する円筒形状をなしている。前記天面は、外側に凸面となるドーム状の湾曲面となっているとともに、前記シェルの周側面とのコーナにＲ加工がなされている。前記ボトムプレートと前記シェルによって形成される容器内を真空環境から大気圧の環境に変化させた際に最大変形量が１ｍｍ以下となる。 （もっと読む）

【課題】 容器本体の取付機構に対する搬送部品の取付作業の作業性を向上させ、取付機構から搬送部品が外れ易くなるおそれを排除し、取付機構や搬送部品に洗浄水等の液体が残存するのを抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハ収納用の容器本体１の天井２に取付機構２０を設け、取付機構２０に搬送部品３０であるロボティックフランジ３１を着脱自在に装着する基板収納容器であり、取付機構２０は、天井２に対設される複数対の支持レール２１と、天井２に設けられる複数のガイド片２３と、各ガイド片２３に形成される干渉係合部２４とを備え、ガイド片２３と干渉係合部２４を組み合わせてその前部を二股部２５に形成する。また、搬送部品３０は、複数対の支持レール２１間に支持される部品本体３２を備え、部品本体３２に、流体用の流通口３６を穿孔するとともに、二股部２５に干渉する弾性変形可能な弾性係合片３５を内蔵する。 （もっと読む）

【課題】マスクを収容するカセットの管理棚からのカセット取り出しから、マスクを露光装置に供給するまでの全工程を自動的に行うことができるマスクストッカー、マスク供給システム、及びマスク供給方法を提供する。
【解決手段】シャッター１を介して外部と隔離されたチャンバー２と、チャンバー２の外部に配置されてマスクＭを収納する多数のカセット３を収容管理する管理棚４と、チャンバー２の外部でチャンバー２と管理棚４との間を自在に走行する自動搬送装置６と、チャンバー２内にそれぞれ配置された露光装置７、マスクローダ８、及びマスクストッカー１０と、を備え、マスクストッカー１０は、カセット３を載置してカセット受け渡し位置ＣＰとマスク受け渡し位置ＭＰとの間で移動可能なカセット載置ステージ１２と、カセット載置ステージ１２に載置されたカセット３の位置を、マスクローダ８がカセット３からマスクＭを取り出し可能な位置精度にアライメント調整するアライメント調整機構１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】装置コストを大幅に抑制することができる露光装置、露光方法及び基板の製造方法を提供する。
【解決手段】スキャン露光装置１は、基板ＷをＸ方向に搬送する基板搬送機構１０と、マスクＭをそれぞれ保持し、Ｙ方向に沿って配置される複数のマスク保持部１１と、露光用光を照射する照射部１４と、各マスク保持部１１の下面と対向可能なマスクトレー部３３を有するマスクチェンジャー２と、を備える。マスクチェンジャー２は、マスクトレー部３３に載置されるマスクＭを、Ｘ方向及びＺ方向回りのθ方向に駆動可能な駆動機構３５Ａ、３５Ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】低温の処理液を用いた処理処理において、処理液ノズルの結露の発生を防止し、処理を基板面内で均一に行う。
【解決手段】現像処理装置１は、基板を保持する保持部材と、基板上に現像液、リンス液、処理液を供給する複合ノズル体４２と、保持部材上から退避した複合ノズル体４２を待機させるノズルバス４４とを有している。ノズルバス４４内には、複合ノズル体４２の先端部が収容される。ノズルバス４４は、待機中の複合ノズル体４２を挟んで設けられ、当該複合ノズル体４２においてノズルバス４４から露出した露出部を覆うように水平方向に延伸する一対のパージガスノズル９３、９３を有している。一対のパージガスノズル９３、９３は、複合ノズル体４２の露出部に対して水分を含まないパージガスを供給する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な計算で、マスクとワークのギャップを平均化することができ、露光精度を向上することができる近接露光装置及び近接露光方法を提供する。
【解決手段】ギャップセンサ１７によってマスクＭ及びワークＷとの間のギャップを４箇所の測定点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄで測定し、４箇所の測定点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄによって画成される四角形ＡＢＣＤの各辺の中点Ｋ，Ｌ，Ｍ，Ｎの４箇所の座標のうち、３箇所の中点Ｋ、Ｌ、Ｍの座標における各ギャップが一様になるようにＺ−チルト調整機構４３を駆動する。 （もっと読む）

【課題】 ハンドル、ペリクル固定部材、補強材などの機能部品をペリクル収納容器に取り付けた際でも、容器内部を清浄に保つことができるペリクル収納容器を得ることを課題とする。
【解決手段】 ペリクルを載置するペリクル収納容器本体２０と、ペリクルを被覆すると共にペリクル収納容器本体２０と周縁部で嵌め合い係止する蓋体からなるペリクル収納容器において、樹脂製の容器本体２０あるいは蓋体に、取っ手、ペリクルの固定部材、補強材のいずれかからなる機能部品がネジ締結手段により取り付けられているとともに、容器本体２０あるいは蓋体の内側にオスネジ及びメスネジの表面が露出していないペリクル収納容器である。 （もっと読む）

【課題】レチクルとの接触箇所に弾性を有する複数の支持材を配置したレチクルポッドを提供すること。
【解決手段】上部蓋体、下部蓋体、及び、複数の下部蓋体の四隅に配置された支持部品からなり、支持部品は、垂直方法により一体的に相互連結し、且つ、両端にそれぞれ留め具が配置される座体と、それぞれ座体に配置され、各弾性部材が座体の縦方向から１つの段部を延伸した後、更に座体の内側横方向に沿ってもう１つの段部を延伸する１対の弾性部材と、それぞれ弾性部材の横方向延伸段部と連結した後、更に縦方向に凸起部を延伸して、凸起部の座体内側にある側面に第１傾斜面と第２傾斜面を形成する１対のガイド部材、及び、その第１端と第２端がそれぞれガイド部材の第２傾斜面と連結して、その第３端箇所に支持柱が配置される支持底板とを含む。 （もっと読む）

【課題】複数の光ファイバを接続した光ファイバケーブルを介してエンコーダヘッドから検出器へ出力ビームを接続損失なく送る。
【解決手段】エンコーダから出力ビームを検出器へ送る一系統の受光用ファイバとして、エンコーダ側に位置する光ファイバＦ１のコアＣＲ１の端面（射出端面）と該射出端面より大きな検出器側に位置する光ファイバＦ２のコアＣＲ２の端面（受光端面）とを対向して継がれた光ファイバケーブルを用いる。これにより、光ファイバの継ぎ部において光の漏れが生じることがなく、エンコーダの高い計測精度を確保することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】マスク保持部のフレームの熱変形を抑制して、露光精度を向上することができる露光装置を提供する。
【解決手段】マスクステージベース１１は、複数の中空フレーム９１〜９４によって構成されており、中空フレーム９１〜９４の内部には、サーマルチャンバ８０内に供給されるエアと共に温調されたエアが供給される。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で基板や容器に付着している汚染物質及び容器内に存在する汚染物質を取り除くことができるだけでなく、二次的に発生する汚染物質が基板や容器に付着することを抑制することができる可搬容器を提供する。
【解決手段】基板１の容器であって、容器内を区画するための隔壁５を備え、前記隔壁５には前記基板１を収納する区画Ｋ１とその他の区画とを連通する孔５ａ，５ｂが設けられており、前記その他の区画Ｋ２には前記基板１を収納する区画に存在する汚染物質を取り除くための除去手段６を備えた。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置内の交換可能物体を位置決めするサポート構造を提供する。
【解決手段】サポート構造は、物体を支持およびクランプするチャックと作動構造とを有する。作動構造は、第１作動構造１６（例えば、バネ）および第２作動構造１８（例えば、リニアアクチュエータ）を有してよい。第１作動構造１６は、チャックに対して移動可能であり、第２作動構造１８を物体の側面と接触する第１位置と物体の側面と接触しない第２位置との間で移動させるように構成されている。第２作動構造１８は、その少なくとも一部を第１作動構造１６に対して物体の側面と接触する第１位置と物体の側面と接触しない第２位置との間で移動させ、かつ押力を物体の側面に加えるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】露光装置の一部を構成する移動体モジュールの移動を効率化する。
【解決手段】ステージモジュールＷＳＭには、ステージモジュールＷＳＭを浮上させるエアホバー２９と、Ｙ軸周りに回転可能かつ接地可能な駆動輪１６０とが設けられている。エアホバー２９により浮上させた状態のまま、ステージモジュールＷＳＭを、駆動輪１６０を床面上で回転駆動することで、Ｘ軸に平行な方向に移動させる。このため、ステージモジュールＷＳＭのθｚ方向及びＹ軸に平行な方向への動きを規制してＸ軸に平行な方向に安定して露光装置本体１１０から引き出す（移動させる）ことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】基板ステージ装置を迅速に組み立てる。
【解決手段】基板ステージ装置の製造工場において相互位置などがそれぞれ調整された、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ、重量キャンセル装置４０、及び本体部５１を、分解せずにステージユニット２０として輸送し、その輸送先で基板ステージ装置の再組み立てに用いる。再組み立て時におけるＸ粗動ステージ、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ、重量キャンセル装置４０、及び本体部５１相互間における位置調整が不要となるので、基板ステージ装置を迅速に組み立てることができる。 （もっと読む）

【課題】近接スキャン露光方法でも共取りが可能で、高精度に露光を行うことができる近接スキャン露光装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗを所定方向に搬送する基板搬送機構と、パターンＭｐ１〜Ｍｐ４を形成した複数のマスクＭをそれぞれ保持し、所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置される複数のマスク保持部１１ａ、１１ｃと、複数のマスク駆動部と、複数のマスク保持部の上部に配置される複数の照射部とを備え、所定方向に搬送される基板Ｗに対してマスクＭを介して露光用光を照射し、基板にマスクＭのパターンを露光する近接スキャン露光装置であって、マスクＭに複数のパターンが配置され、露光動作中にマスク駆動部を駆動し、パターンＭｐ１〜Ｍｐ４を切り替えるマスクパターン切り替え機能を備えることにより一定速度で基板が搬送され続ける近接スキャン露光方法でも共取りが可能で、高精度に露光を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにすること。
【解決手段】容器本体と容器蓋とから成る収納容器の容器本体の左右および底にはマスクブランク１０の左右および下側の外周端面１１ｂが収納保持されている保持溝４３、４５が形成されており、保持溝４３（４５）は、溝底面４３ａ（４５ａ）と溝側面４３ｂ、４３ｃ（４５ｂ、４５ｃ）の入り隅の角度θａを適切に設定することにより、当該溝側面がマスクブランク１０の遮光膜およびレジスト膜の端１４に干渉しないようにしてある。 （もっと読む）

【課題】基板ステージ、パターニングデバイスステージ（例えばマスクステージ）、冷却デバイス等の移動により、リソグラフィ装置の投影系（投影レンズとも呼ばれる）に作用する振動または他の外乱の発生を抑制する。
【解決手段】投影系は、アクティブレンズマウントによってリソグラフィ装置の基準構造に取り付けられる。アクティブレンズマウントは、上面２７を持つ上部と、底面２８を持つ底部とを有する。上部および底部は弾性構造５０によって両側で相互接続される。さらに３０、４０で示す圧電アクチュエータ−センサ複合体によって相互に接続される。適切な電気信号を用いて圧電素子３０、４０を介して上部および底部の間に作用する所望の力を導出することができる。 （もっと読む）

【課題】基板収納容器の各スロットに収納されている基板の収納状態を定量的に表す指標として少なくとも基板の飛び出し量及び基板の垂れ量を簡易な構成で速やかに検出する。
【解決手段】基板１１の配列方向及び基板１１の搬出方向に交差する方向から見た各スロットに収納されている基板１１の開口部１９側の端部の画像を撮像する撮像手段３と、撮像手段３により撮像された画像に基づいて、各スロットに収納されている基板１１の収納状態を定量的に表す指標として、所定の収納位置から開口部１９の前方へと飛び出している基板１１の飛び出し量と開口部１９側の端部が垂れている基板１１の垂れ量とを検出するとともに、検出された基板１１の飛び出し量及び垂れ量を出力する基板収納状態検出手段６１と、を備える基板収納状態検出装置。 （もっと読む）