【課題】流出した液体による被害の拡大を防止し、露光処理及び計測処理を良好に行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置（ＥＸ）は、移動可能なテーブル（ＰＴ）と、テーブル（ＰＴ）の移動を案内する上面（４１Ａ）を有するベース部材（４１）と、ベース部材（４１）の上面（４１Ａ）に液体（ＬＱ）が有るか否かを検出する検出装置（６０）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】交互に基板を搬送するための２基の搬送機構を備える搬送装置であって、基板搬送時における基板の高さ精度が良く、かつ、基板の平行度が高い搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置２は、搬送路１０と、Ｙ軸方向に延びるスライダーチャックガイド３１及び３２と、スライダーチャックガイド３１及び３２に沿って自在に移動するスライダーチャック４１及び４２とを備える。スライダーチャック４１及び４２の各々の上端面には、基板の下面に吸着する吸着面と、基板の下面にエア噴出する噴出口とが設けられている。スライダーチャックの各々は、基板の下面に吸着した状態で基板をＹ軸正方向に移動し、基板搬送後は、吸着状態を解除した状態でＹ軸負方向に復帰する。復帰時には、例えば、スライダーチャック４１が基板６２が通過する間、基板６２の下面にエアを噴出して、基板６２を浮上させる。 （もっと読む）

【課題】独立した複数の装置間で、複数の基板を処理する場合においても、基板受け渡しに待ちを生じない基板搬送処理装置を提供する。
【解決手段】第１の基板処理装置の第１のセパレーションチャンバーと第２の基板処理装置の第２のセパレーションチャンバーとが、基板受け渡しチャンバーを介して気密に接続されており、基板受け渡しチャンバーは、設置床面に対して垂直方向に積み重ねられた第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージとを有する。 （もっと読む）

【課題】板を搬送し膜厚測定器との間で基板の受渡しを行う搬送用ロボットの待機時間を削除または減少させるように搬送用ロボットの基板搬送動作を制御することで、装置全体としてのスループットを向上させる。
【解決手段】基板の膜厚を測定する膜厚測定器との間で基板の受渡しを行いながら搬送用ロボットで基板を搬送する基板搬送方法において、膜厚測定器は、内部に搬入された基板に対する膜厚測定が終了する所定時間前に事前終了予告信号を出力し、膜厚測定器から出力された事前終了予告信号を受けて基板搬送動作を開始するように搬送用ロボットを制御する。 （もっと読む）

【課題】製造装置を変更した際に新たにケースの昇降を制御する制御部を用意する必要のない搬送システムを提供すること、および複数の製造装置を同時に設置した際に各製造装置にケースの昇降を制御する制御部を搭載する必要のない搬送システムを提供する。
【解決手段】オープナ２０に、搬送機４０との間で信号の送受信を行うことにより、ケース３０の昇降を制御するオープナ制御盤２１を備え、搬送機４０に、オープナ制御盤２１と信号の送受信を行うことにより、ケース３０をオープナ２０に載置させる。 （もっと読む）

【課題】異常が検知されていない被処理体を簡単、かつ、早く搬送することができる被処理体の搬送方法、被処理体の搬送装置、及び、プログラムを提供する。
【解決手段】ウエハボートに収納されている半導体ウエハに異常があると（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、異常位置、及び、異常の種類を特定し（ステップＳ３）、スキップ位置を決定する（ステップＳ４）。次に、スキップ位置に収容された半導体ウエハの回収をスキップし、異常が検知されなかった半導体ウエハＷの自動回収を実施する（ステップＳ５）。続いて、ウエハボート内に半導体ウエハが残存し（ステップＳ６：Ｙｅｓ）、自動回収可能な半導体ウエハがあると（ステップＳ７：Ｙｅｓ）、自動回収可能な半導体ウエハの自動回収を実施する（ステップＳ８）。そして、残存した半導体ウエハのマニュアル回収を実施する（ステップＳ１０）。 （もっと読む）

【課題】小ロット処理に対応した塗布現像処理装置を提供する。
【解決手段】塗布現像処理装置のカセット搬入出部１０のカセット載置台１２の上方に、２段の空カセット載置台２０、２１と、カセット移送機構２２が設けられる。空カセット載置台２０、２１は、外部カセット搬送装置Ａが上下に通過できるように構成されている。各空カセット載置台２０、２１は、カセットが載置される４台のカセット移動装置３０を有し、載置したカセットを隣のカセット移動装置に移送できる。外部カセット搬送装置Ａによりカセット載置台１２に搬入され、ウェハＷが処理ステーションに搬送された空のカセットは、カセット移送機構２２により空カセット載置台に一時的に貯め置かれる。空いたカセット載置台１２には次のカセットが搬入される。空カセット載置台の空のカセットは、ウェハ処理が終了する前にカセット載置台１２に戻される。 （もっと読む）

【課題】大型の基板で製膜処理等を行うにあたり、調整が容易で高速に基板搬送が可能な真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空処理装置は、搬送室１０、第１処理室１２−１〜２、第２処理室１２−３〜４、第１基板搬送台車２０−１〜２、第２基板搬送台車２０−３〜４を備える。搬送室１０は、Ｘ方向に伸び、第１搬送領域１０−１と第２搬送領域１０−２を含む。第１処理室１２−１〜２は、第１搬送領域１０−１側に接続される。第２処理室１２−３〜４は、第２搬送領域１０−２側に接続される。第１基板搬送台車２０−１〜２は、第１搬送領域１０−１内を移動する。第２基板搬送台車２０−３〜４は、第２搬送領域１０−２内を移動する。第１基板搬送台車２０−１〜２は第２処理室１２−３〜４の少なくとも一つと第１処理室１２−１〜２とに対し基板２を搬入、搬出する。第２基板搬送台車２０−３〜４は第２処理室１２−３〜４に対し基板２を搬入、搬出する。 （もっと読む）

【課題】基板を反転させるとともに、搬送方向に対する上記基板の配置を変更して、タクトタイムを短くすること。
【解決手段】本発明の基板搬送機構または偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、長方形の基板５を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構６１と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２とを備える基板搬送機構において、上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５を支持する基板支持部６６ａ、６６ｂに連結した基板反転部６７の反転動作により、上記基板支持部に支持された上記基板５を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構６２に配置するように構成されている反転機構６５を備えている。 （もっと読む）

【課題】ロボット設置領域を小さくして小型化を図ることが可能な基板搬送システムを提供する。
【解決手段】この基板搬送システム１０は、アーム部（第１アーム部１２３および第２アーム部１２４）およびハンド部１２５を水平面内で回動させることによって、処理装置２０側に設けられた開口部２０２を介して基板収納装置１１内から処理装置２０内に基板１１０を搬送するとともに、ハンド部１２５により基板１１０を支持した状態の最小旋回領域の外縁が開口部２０２を介して処理装置２０内に突出するように構成された基板搬送ロボットを備えている。 （もっと読む）

【課題】 各ウエハの処理／未処理だけでなく、処理が正常に終了したかどうかを表示して、正常ウエハと不良ウエハの区別を明確にし、正常ウエハと不良ウエハの混同を防ぐことができ、また、ウエハカセットの有無を表示してオペレータがウエハカセットを確実に搭載することができる半導体製造装置における表示方法及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 少なくともカセットを格納するカセット室５と、処理を行うプロセスチャンバと、カセット内のウエハをプロセスチャンバ６へ搬送するための搬送室７とを備える半導体製造装置の表示部１７に、上から見た当該半導体製造装置イメージを描画し、カセットの有無を表示する表示エリア８が設けられ、表示エリア８には、カセット室内にカセットが存在するかどうかが表示される半導体製造装置である。 （もっと読む）

【課題】
移動体システムでのトラブルの発生を予防する。
【構成】
複数の走行台車が地上側コントローラの指示により走行経路に沿って走行するシステムを自己診断する。地上側コントローラは、走行経路上の位置を一意に特定する絶対座標により、異常検出用センサによる検出を行う位置を走行台車に指定し、走行台車は、指定された位置で異常検出用センサによる検出を行い、検出位置と検出時刻を含む検出データを地上側コントローラへ報告する。 （もっと読む）

【課題】ロットが誤って識別されないことを保証する証明機能をＡＭＨＳシステムを提供する。
【解決手段】マテリアルハンドリングシステムは、コントローラと、トランスポートシステムであって、このトランスポートシステムは、トランスポートトラックセクションおよびトランスポートビークルとを含み、トランスポートビークルは、トランスポートトラックセクションに沿って移動すると共にキャリアをトランスポートするようになっているトランスポートシステムと、特定のトランスポートトラックセクションに沿って位置する識別タグリーダーであって、この識別タグリーダーは、トランスポートビークルによってトランスポートされているキャリアの識別タグを読み出すと共に、情報信号をコントローラに送るようになっている識別タグリーダーと、を備え、コントローラは、情報信号に基づき、前記キャリアのロケーションを証明するようになっている。 （もっと読む）

【課題】基板を一時的に収納、保管するための大型基板収納装置において、ロボット等によるランダムアクセス可能で、基板収納効率が良く省スペースで、メンテナンスや目視確認実施を安全に行える基板収納装置を提供する。
【解決手段】多段の棚状の収納部を備え、任意の対象とする収納部にロボットハンド等の基板搬送装置により基板を一枚づつ一時的に収納・保管・払い出しを行う基板収納装置において、基板の格納／払い出し時に任意の対象とする収納部と該収納部上部の収納部間が開口してロボットハンド等の基板搬送装置がアクセス可能となる機構を備え、且つ、前記収納部のそれぞれは、ロボットハンド等の基板搬送装置と干渉しないスペースに所定の間隔で設けられた基板支持ピンを有する複数本の支持体が側壁フレームに横架され、前記支持体が個別の前記収納部毎に動くことで前記収納部毎の前記支持ピンが上下に可動な機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークの裏面の擦り傷を防止し、また、静電気の発生を抑制する吸着装置および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】平坦面１０ａを有しワークを吸着する吸着穴１１が設けられたステージ１０と、ステージ１０の吸着穴１１に接続され負圧を発生させる減圧ポンプ１５と、環状の無終端となる多孔質ベルト２１が駆動ローラー２５と従動ローラー２６とに掛け渡されたベルト駆動装置２０と、を備え、駆動ローラー２５と従動ローラー２６との間にステージ１０が配置され、ワークの搬送方向と同じ方向に多孔質ベルト２１が駆動可能であり、多孔質ベルト２１がステージ１０に吸着され、多孔質ベルト２１を介してワークがステージ１０に吸着される。 （もっと読む）

【課題】 露光現像システムの故障時の処理量の低下を抑えることと、投資効率の低下を抑えることを両立する。
【解決手段】 基板上に感光性の材料を塗布して膜を形成する塗布装置と、前記基板の上に形成された前記膜を露光する露光装置と、露光した前記膜を現像する現像装置とを、それぞれ複数台有する露光現像システムであって、前記露光装置は、あらかじめ用意された描画データに基づく数値制御により前記膜に照射する光のパターンを生成する装置であり、前記塗布装置、前記露光装置、および前記現像装置の稼働状況に応じて、前記基板を前記塗布装置から前記露光装置へ搬送するときの前記塗布装置と前記露光装置との組み合わせ、および前記基板を前記露光装置から前記現像装置へ搬送するときの前記露光装置と前記現像装置との組み合わせを制御する露光現像システム。 （もっと読む）

【課題】大型化を抑制しつつ基板処理のスループットを十分に向上させることができる基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置においては、ストッカー装置、インデクサブロック、処理ブロックおよびインターフェースブロックがこの順で並ぶように配置される。ストッカー装置は、複数の基板を収納するキャリアＦを載置可能な複数のオープナーを有する。ストッカー装置にキャリアＦが搬入される。ストッカー装置においては、搬送装置２００により複数のオープナーの間でキャリアＦが搬送される。搬送装置２００は、キャリアＦを保持可能に構成され、水平方向および上下方向に移動可能な第１および第２のハンド２３０，２４０を有する。第２のハンド２４０は第１のハンド２３０の下方に設けられる。 （もっと読む）

【課題】
フィンガ部が水平面内で回転方向にずれて取り付けられていても、最適な位置教示データが自動で取得できる位置教示方法を提供する。フィンガ部の位置ずれ量を検出して、このずれ量を補正して、最適な位置に被搬送物を搬送できる位置教示方法を提供する。
【解決手段】
搬送ロボットが移動可能なＸ軸方向に対し平行に備えられた第１、第２の目的物を検出することで搬送ロボットの中心位置を特定し、その後、第３の目的物を検出する。これらの動作で得られた位置データから最適な搬送位置を自動で教示する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置への基板の搭載および基板搬送装置からの基板の取り出しを自動化する。
【解決手段】ロボットアーム１１の先端に取り付けられた基板ハンドリング装置１０を使用して基板搬送装置１３へ基板２１を搭載する方法であって、基板２１を立てた状態で保持した基板ハンドリング装置１０を基板搬送装置１３の挿入する工程と、基板ハンドリング装置１０を基板搬送装置１３の基板保持枠２７に向けて前進させる工程と、基板ハンドリング装置１０を傾ける工程と、基板ハンドリング装置１０のロック機構１７を解除する工程と、基板２１の底部付近を基板保持枠２７に押し付ける工程と、基板２１を基板保持枠２７に押し付けたまま降ろして基板２１の荷重を基板保持枠２７に移す工程と、基板２１を垂直に立てて基板保持枠２７でクランプする工程と、基板ハンドリング装置１０を基板保持枠２７から離間させる工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】搬送車システムにおいて移載装置のコストを低減する。
【解決手段】搬送車システム１は、軌道３と、搬送車５と、バッファ９とを備えている。軌道３は、複数の処理装置２に沿って設けられている。搬送車５は、軌道３を走行して物品を搬送する。バッファ９は、軌道３の側方に配置され、ローラコンベア６３からなる載置面を有する。搬送車５は、支持台としてのローラコンベア３９と、プッシュプル移載装置４１とを有している。ローラコンベア３９は、バッファ９のローラコンベア６３と同一高さの支持面を有する。プッシュプル移載装置４１は、物品を押し引きすることでバッファ９と搬送車５との間で移動させる。 （もっと読む）