【課題】マルチモジュールを構成するモジュールが使用不可モジュールとなったときにおいて、基板の搬送を速やかに行ない、製品不良の発生を抑えること。
【解決手段】基板を搬送先モジュールに搬送する前に、当該搬送先モジュールが使用不可となったときには、基板の搬送先を、当該基板の次の基板が搬入されるべきモジュールに変更する。使用不可モジュールが発生したときに、前記搬送手段が例えば搬送サイクルの上流端のモジュールに対してアクセスする前であるときには、変更後の搬送先モジュール内にて前の基板が搬出できる状態となるまで搬送サイクルを進めるように制御を行う。また使用不可モュールが発生したときに、前記搬送手段が搬送サイクルにおいて前記使用不可モジュールよりも上流側に位置しているときには、変更後の搬送先モジュール内にて前の基板が搬出できる状態となるまで、搬送手段の搬送動作を待機するように制御を行う。 （もっと読む）

【課題】搬送車システムにおいて物品の搬送効率を高める。
【解決手段】搬送車システムは、複数の処理装置２間で物品を搬送するための搬送車システムであって、軌道と、搬送車５と、バッファ９とを備えている。軌道は、複数の処理装置２に隣接する複数のループ１１を有する。搬送車５は、複数のループ（例えば、第１ループ１１，第２ループ,第３ループ）を一方走行で走行することで物品を搬送する。バッファ９は、ループの内側においてループの両側部分に近接して配置され、ループの長手方向に一列に並んだ第１載置台８５および第２載置台８６を有している。第１載置台８５および第２載置台８６は、ループの両側部分の片側に向かって開いた第１開口部８５ａおよびループの両側部分の反対側に向かって開いた第２開口部８６ａをそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】処理管からボートを搬出する初期段階で発生する蓋の振動を抑制する。
【解決手段】基板を載置するボートと、ボートを収納する処理管と、ボートが載置され処理管の下端に設けられた炉口を開閉する蓋と、蓋を昇降させる昇降機構と、昇降機構を駆動するモータと、処理管の下端面と蓋との間を密封する密封部材と、処理管の下端面もしくは蓋の表面から密封部材を引き離す時に生じる蓋の変形の回復期に基板がボート内の載置位置に留まるようにモータのトルクを制御する制御部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板載置部から基板を受け取ったときに基板の姿勢が異常な状態であるか否かを確実に検出すること。
【解決手段】前記フォーク３Ａを基体３１に沿って前進させ、ウエハＷを保持する突き上げピン７３に対して上昇させることにより、当該突き上げピン７３上のウエハＷをフォーク３Ａに受け取る。このときに前記保持爪３０Ａ〜３０Ｄの各々に設けられた歪みセンサ４Ａ〜４Ｄにより、保持爪３０Ａ〜３０Ｄに上から荷重が加わったときの当該保持爪３０Ａ〜３０Ｄの歪み量を検出する。各々の歪みセンサの歪み量に基づいて、ウエハＷの姿勢が正常であるか否かを判断し、ウエハＷの姿勢が異常であると判断したときに、前記フォーク３Ａの後退を禁止する。 （もっと読む）

【課題】高効率のマテリアル自動化取扱システム（ＡＭＨＳ）を提供する。
【解決手段】本発明は、マテリアル自動化取扱システムであり、複数の貯蔵容器を含み、各貯蔵容器は、少なくともマテリアルの１ユニットを保持するようになっている少なくとも一つの貯蔵ユニット、及び、少なくとも一つのオーバーヘッドホイストを含み、このオーバーヘッドホイストは、所定の位置へ搬送するために複数の貯蔵容器の選ばれた一つにおける少なくとも一つのマテリアル・ユニットに直接にアクセスできるオーバーヘッドホイスト搬送サブシステム、を備える。 （もっと読む）

【課題】フープの蓋であるフープドアの閉状態の異常を迅速且つ確実に検知することができるようにすること。
【解決手段】半導体処理装置の内外を仕切るポートプレート４０の開口窓４１に着脱可能に装着されるポートドア４２と、フープ１０をフープドア着脱位置に位置決めするドックユニット６０とを備えており、ポートドア４２に、吸盤機構４３とフープドア３０をフープ本体２０に固定すると共に固定を解除するためのロック機構４４とが設置されているフープオープナＭであって、ドックユニット６０上のフープドア着脱位置に位置するフープ本体２０に固定されたフープドア３０がフープ本体２０の開口部２１に正常に装着されているか否かを検知するフープドア検知センサ８０，９０をポートプレート４０に設置した。 （もっと読む）

【課題】ウエハの把持を解放した後におけるウエハの位置ズレを抑え、且つウエハの搬送に要する時間を短縮する。
【解決手段】ウエハ２が載置されるハンド２０と、ウエハ２が載置される載置位置Ａからウエハ２をハンド２０から降ろす降ろし位置Ｄまでハンド２０を移動させるための移動装置１０において、ハンド２０は、載置されたウエハ２を受け部２３に押圧してウエハ２を把持し、且つ、押圧を解除してウエハ２を解放するための押圧装置３０を備えており、制御装置４０は、載置位置Ａにてウエハ２が載置されると押圧装置３０を制御してウエハ２を把持し、移動装置１０を制御してハンド２０をウエハ２を押圧する方向に移動させながら減速して降ろし位置Ｄへと移動させ、且つ、ハンド２０が減速している間に、押圧装置３０を制御してウエハ２を解放させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板移送ロボットを使用することなく、基板を水平方向に移送しつつ基板上にフォトレジスト膜を形成する。
【解決手段】基板処理装置１０はコーティングモジュール１００と乾燥モジュール２００を含み、コーティングモジュール１００は基板２を水平方向に移送して基板２を移送する間、基板２上にフォトレジスト組成物を供給してフォトレジスト膜を形成し、乾燥モジュール２００はコーティングモジュール１００から直接基板２を移送され基板２上に形成されたフォトレジスト膜を乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】半導体検査装置において装置のロット所要時間にはレシピ情報が必須となっている。（レシピ情報を指定しない場合に装置は予測時間を計算しない。）
【解決手段】検査パターンをＤＢとしてメモリに所持し、レシピ情報指定無しで処理ウエハ枚数のみを入力とした場合でも最短・最長のロット所要予測時間を提供する。また、レシピが指定された場合は特定された検査パターンによるロット所要予測時間を提供する。さらに、既にロット処理中の場合は処理済み時間を減算したロット所要予測時間を提供する。 （もっと読む）

【課題】１装置当たりの処理能力を増加する基板搬送装置。
【解決手段】半導体加工部品処理装置は第１チャンバと、搬送ビークルと、他のチャンバとを有している。第１チャンバは外部環境から隔離されることが可能である。搬送ビークルは第１チャンバ内に位置しており、第１チャンバから移動自在に支持されており、第１チャンバに対して直線状運動する。搬送ビークルはベースと、該ベースに運動自在に取り付けられて、該ベースに対して多アクセス運動が可能な統合した半導体加工部品移送アームとを有している。他のチャンバは第１チャンバに第１チャンバの閉鎖自在な開口部を介して連通自在に接続されている。開口部は搬送ビークルが第１チャンバと他のチャンバとの間で開口部を介して通行可能な大きさを有している。 （もっと読む）

【課題】基板をトレイに載置して搬送して処理を行う複数の処理室を有する基板処理装置において、処理室間を搬送する際に基板回転させる機構をなくし、且つ装置の大型化を防止することを課題とする。
【解決手段】基板処理装置を、第一の真空室から第二の真空室に向かう第一の直線方向に沿ってトレイを搬送する第一のトレイ搬送機構、第一の真空室から第三の真空室に向かう第二の直線方向に沿ってトレイを搬送する第二のトレイ搬送機構、前記第一の真空室の第二の搬送機構の真空室側の構成を搬送レベルから退避させて前記第一の真空室及び前記第二の真空室の間で前記第一の直線方向に沿ってトレイを搬送し、前記第一の真空室の前記第一のトレイ搬送機構の真空室側の構成を前記搬送レベルから退避させて前記第一の真空室及び前記第三の真空室の間で前記第二の直線方向に沿ってトレイを搬送する構成とする。 （もっと読む）

【課題】なるべく少ない回収用カセットで、ラインの停止や滞留を防止する。
【解決手段】カセット毎情報を常時監視し、このカセット毎情報と各ラインの最小必要カセット数とに基づいて、各ブロックに最小必要な回収カセット数を算出し（Ｓ３）、回収カセット数が最小必要数よりも不足しているブロックに、回収カセット数が最小必要数よりも上回っている他のブロックから、回収カセットを補充する搬送指示を出力すること（Ｓ１３）を特徴とするカセット搬送制御方法。 （もっと読む）

【課題】処理モジュールが連結されている搬送機構部に、複数の搬送ロボットが配され、複数の搬送ロボット間で被処理体の受け渡しが行われる線形ツールの処理システムにおいて、被処理体を搬送する搬送ルートが複数ある場合に、最も高いスループットが得られる搬送ルートを決定する技術を提供する。
【解決手段】線形ツールの処理システムにおいて、被処理体を搬送する搬送ルートが複数ある場合、各々の搬送ルートにおけるスループットを比較し、最もスループットの高い搬送ルートを選択する手段によって、搬送ルートを決定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】搬送車システムにおいて、下位のコントローラだけで運用試験を行うときに自動運転を可能にする。
【解決手段】搬送車システムは、搬送車を搬送させるための搬送車システムであって、複数のストッカ（５１，５３，５５，５７）と、搬送車（４４，４８）と、複数のコントローラ（５２，５４，５６，５８）とを備えている。ストッカは、内部で物品を搬送可能である。搬送車は、複数のストッカ間で物品を搬送可能である。複数のコントローラは、互いに通信可能であり、複数のストッカおよび搬送車を制御する。コントローラは、搬送制御部６１と、シナリオ記憶部６３と、搬送指令作成部６２とを有している。搬送制御部６１は、搬送指令を実行することで搬送制御を行う。シナリオ記憶部６３は、複数の搬送指令作成情報を含む搬送パターンシナリオを記憶する。搬送指令作成部６２は、搬送指令作成情報に対応する搬送指令を作成する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの搬送時間が短く処理の効率を向上させた真空搬送装置を提供する。
【解決手段】後方側に配置され、内部の処理室内で処理対象のウエハが処理される真空容器と、前方側に配置され、その内部で前記ウエハが大気圧下で搬送される搬送室とこの搬送室の前方に配置され前記ウエハが収納されたカセットが載せられるカセット台と、前記搬送室の後方でこれを連結されたロック室と、前記搬送室内に配置され前記カセットと前記ロック室との間で前記ウエハを搬送するロボット及び前記ウエハの位置を所定のものに合わせる位置合わせ機と、前記ロボットによる前記ウエハの前記カセットから前記搬送室内への取出しの際に、このウエハの位置ずれ量が所定の値より大きな場合に前記位置合わせ機上において前記ウエハの位置合わせをした後に前記ロック室に搬送する真空処理装置。 （もっと読む）

【課題】 各種処理における処理時間を短縮しても生産性が頭打ちになる事情を抑制できる被処理体の搬送方法を提供すること。
【解決手段】 処理室を、被処理体をｎ枚同時に処理可能に構成し（ただし、ｎは２以上の自然数とする）、搬送装置を、被処理体を前記ｎ＋１枚以上保持可能に構成し、搬送装置を用いて、ロードロック室から搬送室に対し、処理前の被処理体をｎ枚搬出する工程と、（１）搬送装置を用いて処理室から搬送室に対し、処理済の被処理体を少なくとも１枚搬出する工程と、（２）搬送装置を用いて搬送室から処理室に対し、搬送装置に保持された処理前の被処理体を少なくとも１枚搬入する工程と、を備え、（１）及び（２）の工程を、処理室に収容された処理済の被処理体が、搬送装置に保持された処理前の被処理体に全て交換されるまで繰り返す（工程２）。 （もっと読む）

【課題】
電子デバイスの製造設備内で基板キャリアを搬送するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】
キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含むと共に、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送する要求を受信し２０５、少なくともこの搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て２０７、第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを運び２０９、第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを運ぶ２１１ステップを含む。 （もっと読む）

【課題】基板搬送のスループットを低コストで向上させることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ステージとハンドが、いずれも駆動範囲内において非干渉となる位置の条件を定める駆動プロファイルを決定する決定手段と、駆動中のステージとハンドの位置情報を取得する取得手段と、前記取得された位置情報に基づいてステージとハンドの駆動を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記ステージとハンドとが、前記駆動プロファイルにより定められた非干渉の位置にあるときに、少なくとも、基板の保持手段又は前記ハンドが基板の供給又は回収をするときに基板を支持する支持手段のいずれか一方を駆動させることができる。 （もっと読む）

【課題】 アームをキャリア内に侵入させたとき、ウエハの姿勢に不正なゆがみがあると、アームがウエハに接触してしまう場合がある。
【解決手段】 アームが、ウエハを保持する。アーム駆動機構が、アームを退避位置から、ウエハを受け取る受取位置まで、または受取位置から退避位置まで移動させる。ガス吸引装置がガスを吸引する。第１のガス流路が、ガス吸引装置から、アームの内部を経由して、アームの表面に開口する。第１の検出器が、第１のガス流路内のガスの圧力または流速を測定する。 （もっと読む）

【課題】複数の建屋間の位置に相対的な位置ずれが発生し搬送車の走行方向と異なる方向の変位が生じた場合でも、該搬送車が該複数の工場間を安定して搬送可能な半導体ウエハの搬送装置および搬送システムを提供する。
【解決手段】搬送ユニット１００は、天井側吊り部材１と、吊りボルト２と、吊りサポート（可動サポート部）３と、軌道ユニット（軌道部）４と、搬送車走行面５と、接続板（接続部）６と、各部材同士を固定するボルトとを有し、変位追従部１０１は、ｙ軸方向に延びるスライド機構（スライド部）３１を有し、該搬送ユニット１００に該スライド機構３１を設けることで、搬送車７が移動できるように構成する。 （もっと読む）