吸着装置および液滴吐出装置
【課題】ワークの裏面の擦り傷を防止し、また、静電気の発生を抑制する吸着装置および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】平坦面１０ａを有しワークを吸着する吸着穴１１が設けられたステージ１０と、ステージ１０の吸着穴１１に接続され負圧を発生させる減圧ポンプ１５と、環状の無終端となる多孔質ベルト２１が駆動ローラー２５と従動ローラー２６とに掛け渡されたベルト駆動装置２０と、を備え、駆動ローラー２５と従動ローラー２６との間にステージ１０が配置され、ワークの搬送方向と同じ方向に多孔質ベルト２１が駆動可能であり、多孔質ベルト２１がステージ１０に吸着され、多孔質ベルト２１を介してワークがステージ１０に吸着される。
【解決手段】平坦面１０ａを有しワークを吸着する吸着穴１１が設けられたステージ１０と、ステージ１０の吸着穴１１に接続され負圧を発生させる減圧ポンプ１５と、環状の無終端となる多孔質ベルト２１が駆動ローラー２５と従動ローラー２６とに掛け渡されたベルト駆動装置２０と、を備え、駆動ローラー２５と従動ローラー２６との間にステージ１０が配置され、ワークの搬送方向と同じ方向に多孔質ベルト２１が駆動可能であり、多孔質ベルト２１がステージ１０に吸着され、多孔質ベルト２１を介してワークがステージ１０に吸着される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着装置および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、長尺のフィルム状シートを搬送しながら各種処理や加工を行う装置が知られている。
例えば、特許文献１にはフィルム状のＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープを搬送し、ステージが多孔質板で形成された吸着装置にＴＡＢテープを吸着させて固定し、液滴吐出ヘッドから機能液をＴＡＢテープに吐出して配線パターンを描画する描画装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−４８９９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような構成の装置において、ＴＡＢテープなどのフィルムを搬送する際に、吸着装置の多孔質板とフィルムの裏面とが接触して、フィルムの裏面に擦り傷が発生することがある。また、多孔質板とフィルムとの摩擦により静電気が発生してフィルムが帯電し、周囲のごみなどの異物がフィルムに付着する問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる吸着装置は、平坦面を有しワークを吸着する吸着穴が設けられたステージと、前記ステージの前記吸着穴に接続され負圧を発生させる負圧発生部と、前記ステージの前記平坦面の上方を覆う多孔質シートで形成されたベルトが移動可能に設けられたベルト駆動装置と、を備え、前記ベルトが前記ステージに吸着され、前記ベルトを介して前記ワークが前記ステージに吸着されることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ステージの平坦面の上方を覆う多孔質シートで形成されたベルトがステージに吸着され、ベルトを介してワークがステージに吸着される。
そして、ワークの搬送は多孔質シートで形成された移動可能なベルトと共に吸着された状態で搬送できるためワークの裏面に擦り傷が発生することがない。
さらに、このワークの搬送において、直接接触するワークとベルトの間で擦れが生じないため、静電気の発生を抑え周囲のごみなどの異物がワークに付着するのを防止することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる吸着装置において、前記ベルト駆動装置は、環状の無終端となる前記ベルトと、前記ベルトを駆動する駆動ローラーと、前記駆動ローラーと水平位置に設けられ、前記ベルトの駆動により回転する従動ローラーと、を有し、前記駆動ローラーと前記従動ローラーとの間に前記ステージが配置され、前記駆動ローラーと前記従動ローラーとに前記ベルトが掛け渡されて前記ワークの搬送方向と同じ方向に前記ベルトが駆動可能であることが望ましい。
【０００９】
この構成によれば、駆動ローラーと従動ローラーとの間にステージが配置され、環状の無終端となるベルトが駆動ローラーと従動ローラーとに掛け渡されてワークの搬送方向と同じ方向にベルトが駆動可能である。
このようにすれば、ワークの搬送方向とベルトの搬送方向を容易に同じ方向に構成することができ、吸着装置を小型化することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる吸着装置において、前記駆動ローラーおよび前記従動ローラーにスプロケットが設けられ、前記ベルトに前記スプロケットの歯と係合するスプロケット穴が形成されていることが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、駆動ローラーおよび従動ローラーにスプロケットが設けられ、ベルトにスプロケットの歯と係合するスプロケット穴が形成されていることから、駆動ローラーおよび従動ローラーとベルトの間の滑りを防止して確実にベルトを駆動させることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる吸着装置において、前記駆動ローラーおよび前記従動ローラーの表面にローラー吸着穴が設けられ、前記ローラー吸着穴から前記ベルトが吸着されることが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、駆動ローラーおよび従動ローラーの表面にローラー吸着穴が設けられ、ローラー吸着穴からベルトが吸着されることから、駆動ローラーおよび従動ローラーとベルトの間の滑りを防止して確実にベルトを駆動させることができる。
【００１４】
［適用例５］本適用例にかかる液滴吐出装置は、ワークをロール・ツウ・ロール方式で搬送する搬送装置と、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、を備え、前記吸着装置に吸着された前記ワークに対して前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、上述した吸着装置を液滴吐出装置に備えているため、ロール・ツウ・ロール方式で搬送されたワークを確実にステージ上で吸着および搬送ができ、ワーク裏面の擦り傷やワークの帯電を防止する液滴吐出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１の実施形態における吸着装置の構成を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略断面図。
【図２】第１の実施形態にかかるステージの構成を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略断面図。
【図３】第１の実施形態における吸着装置の動作を示す説明図。
【図４】第１の実施形態の吸着装置における変形例の構成を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略断面図、（ｃ）は駆動ローラーの概略断面図。
【図５】第２の実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す模式図。
【図６】第２の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドの構成を示す概略断面斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の寸法の割合を適宜変更している。
（第１の実施形態）
【００１８】
図１は本実施形態における吸着装置の構成を示し、図１（ａ）は概略平面図、図１（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断線に沿う概略断面図である。図２はステージの構成を示し、図２（ａ）は概略平面図、図２（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ断線に沿う概略断面図である。
【００１９】
吸着装置１は、ワークを吸着するステージ１０と、負圧発生部としての減圧ポンプ１５と、ベルト駆動装置２０と、を備えている。
ステージ１０は、図２に示すように板状に形成され、表面が平坦である平坦面１０ａを一面に有し、この平坦面１０ａに定ピッチで配置された吸着穴１１が設けられている。この各吸着穴１１はステージ１０の内部において、キャビティーが形成された空間部１２に連通している。そして、この空間部１２はステージ１０の端面に形成された吸引口１３に連通している。
【００２０】
そして、図１に示すように、吸引口１３には中空のチューブ１４が接続され、チューブ１４の先には負圧発生部としての減圧ポンプ１５が接続されている。
このようにして、減圧ポンプ１５を作動させることでチューブ１４を介してステージ１０内の空間部１２が減圧状態となり、大気と連通した吸着穴１１から吸引が行われ、ステージ１０の平坦面１０ａにてワークなどを吸着することができる。
なお、ステージ１０は金属、セラミックス、樹脂、石材などの材料にて形成されている。
【００２１】
ベルト駆動装置２０は、多孔質ベルト２１と、駆動ローラー２５と、従動ローラー２６と、を備えている。駆動ローラー２５と従動ローラー２６とは水平に配置され、駆動ローラー２５と従動ローラー２６とに多孔質ベルト２１が掛け渡されている。
多孔質ベルト２１は、多くの微細な穴を有する多孔質シートから形成され、環状の無終端となる平ベルト状に形成されている。例えば、多孔質シートは超高分子量ポリエチレンを材料とし、厚み０．１〜０．５ｍｍ、気孔率３０％、動摩擦係数０．１、であり、帯電防止処理が施されたものが採用されている。
【００２２】
駆動ローラー２５にはモーターなどの動力源が接続され、駆動ローラー２５の両端には多孔質ベルト２１の幅に沿って、スプロケット２７が取り付けられている。従動ローラー２６は多孔質ベルト２１の駆動により回転するように構成され、従動ローラー２６の両端にもスプロケット２７が取り付けられている。
そして、多孔質ベルト２１の両側端の全周に駆動ローラー２５および従動ローラー２６に取り付けられたスプロケット２７の歯に係合するスプロケット穴２２が設けられている。なお、駆動ローラー２５および従動ローラー２６は金属などの剛性の高い材料で形成されている。
【００２３】
ベルト駆動装置２０は駆動ローラー２５が駆動することで、駆動ローラー２５のスプロケット２７の歯と多孔質ベルト２１のスプロケット穴２２が係合して多孔質ベルト２１を送り出す。また、従動ローラー２６のスプロケット２７の歯と多孔質ベルト２１のスプロケット穴２２が係合しており、多孔質ベルト２１の動きに同期して従動ローラー２６が回転する。
このように、各ローラーのスプロケットの歯と多孔質ベルト２１のスプロケット穴２２が係合して多孔質ベルト２１が駆動されるため、各ローラーとの滑りなどがなく確実に多孔質ベルト２１を駆動させることができる。
【００２４】
そして、吸着装置１は駆動ローラー２５と従動ローラー２６との間にステージ１０が配置され、ステージ１０の上方を覆うように多孔質ベルト２１が設けられている。
ステージ１０は多孔質ベルト２１を吸着できるように、近接して配置されている。また、ステージ１０において多孔質ベルト２１を吸着しながら多孔質ベルト２１を駆動できるように吸着力と駆動力の力関係が設定されている。
また、ステージ１０は多孔質シートで形成された多孔質ベルト２１を吸着しているときには、ステージ１０の上方では多孔質ベルト２１の微細な穴から吸引が行われ、ワークなどの吸着が可能である。
【００２５】
次に、本実施形態の吸着装置１の動作について説明する。
図３は吸着装置の動作を示す説明図である。図３は、吸着装置１と吸着装置１の上方にワークＷを供給する搬送装置４０の一部を表している。搬送装置４０はロール・ツウ・ロールの搬送方式である。
ワークＷは長尺のフィルムが用いられ、例えば、厚み５０μｍ程度のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムなどが搬送ローラー４３ｃ，４３ｄなどにより搬送される。搬送装置４０の搬送と吸着装置１の駆動ローラー２５の動きとは同期がとられている。そして、吸着装置１は、吸着装置１の多孔質ベルト２１とワークＷの裏面とが接し、ワークＷの搬送方向と多孔質ベルト２１の移動方向が同じ方向となるように配置されている。
【００２６】
まず、搬送装置４０およびベルト駆動装置２０の動きが止まった状態で、負圧発生部の減圧ポンプが稼動して、ステージ１０の吸着穴１１より多孔質ベルト２１が吸引されてステージ１０の平坦面に沿って吸着される。
そして、ステージ１０の上方に供給されているワークＷが多孔質ベルト２１を介してステージ１０に吸引される。吸引されたワークＷはステージ１０の平坦面に倣って、平坦に保持される。
【００２７】
例えば、上記のようにワークＷがステージ１０上に多孔質ベルト２１を介して保持された状態でワークＷの表面に印刷などの処理が施される。そして、ステージ１０上のワークＷの処理が終了すると、ワークＷを搬送する。このとき、吸着装置１がワークＷを吸着しながらワークＷの搬送が行われる。つまり、ステージ１０の上方を通過するワークＷは多孔質ベルト２１に吸着された状態で移動していく。このように、ステージ１０の上方を搬送されるワークＷの裏面は他の部分と擦れることがなく搬送される。
【００２８】
また、上記ではワークＷを吸着装置１が吸着して、ステージ１０上でワークＷを停止して処理を行う場合について説明したが、ワークＷを搬送しながらワークＷに処理を施すこともできる。つまり、吸着装置１がワークＷを吸着してワークＷの搬送を行いながら各種の処理を行っても良い。このようにすれば、ステージ１０の上方を通過するワークＷは多孔質ベルト２１に吸着された状態で移動して行き、ワークＷの裏面は他の部分と擦れることがなく搬送される。
【００２９】
以上のように、本実施形態の吸着装置１は、ステージ１０の平坦面１０ａの上方を覆う多孔質シートで形成された多孔質ベルト２１がステージ１０に吸着され、多孔質ベルト２１を介してワークＷがステージ１０に吸着される。このため、例えば厚みの薄いワークＷの場合、吸引時にワークＷが吸着穴１１に沿ってへこむことがない。
また、ワークＷの搬送は移動可能な多孔質ベルト２１と共に吸着された状態で搬送できるためワークＷの裏面に擦り傷が発生することがない。
さらに、このワークＷの搬送において、直接接触するワークＷと多孔質ベルト２１の間で擦れが生じないため、静電気の発生を抑え周囲のごみなどの異物がワークＷに付着するのを防止することができる。
【００３０】
また、吸着装置１は、駆動ローラー２５と従動ローラー２６との間にステージ１０が配置され、環状の無終端となる多孔質ベルト２１が駆動ローラー２５と従動ローラー２６とに掛け渡されてワークＷの搬送方向と同じ方向に多孔質ベルト２１が駆動可能である。
このようにすれば、ワークＷの搬送方向と多孔質ベルト２１の搬送方向を容易に同じ方向に構成することができ、吸着装置１を小型化することができる。
【００３１】
なお、上記においてワークは長尺のフィルムとしたが、個別の形状のワークであっても本吸着装置の利用が可能であり、この場合、ステージの吸着範囲内であれば何処にでも吸着することができる。
また、多孔質ベルトを定期的に交換することでステージ上の清浄を容易に保つことができ、吸着装置のメンテナンス性が良い。
（変形例）
【００３２】
次に、第１の実施形態の変形例について説明する。
本変形例では、ベルト駆動装置の構成が第１の実施形態とは異なる。このため、第１の実施形態と同じ構成要素については同符号を付し、説明を省略する。
図４は変形例における吸着装置の構成を示し、図４（ａ）は概略平面図、図４（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ断線に沿う概略断面図、図４（ｃ）は駆動ローラーの概略断面図である。
【００３３】
吸着装置２は、ワークを吸着するステージ１０と、負圧発生部としての減圧ポンプ１５，４５と、ベルト駆動装置３０と、を備えている。
ベルト駆動装置３０は、多孔質ベルト３１と、駆動ローラー３５と、従動ローラー３６と、を備えている。駆動ローラー３５と従動ローラー３６とは水平に配置され、駆動ローラー３５と従動ローラー３６とに多孔質ベルト３１が掛け渡されている。
多孔質ベルト３１は、多くの微細な穴を有する多孔質シートから形成され、環状の無終端となる平ベルト状に形成されている。
【００３４】
駆動ローラー３５にはモーターなどの動力源が接続され、駆動ローラー３５の駆動を可能にしている。
駆動ローラー３５は内部に中空部３５ａを有し、この中空部３５ａに連通する複数のローラー吸着穴３７が設けられている。ローラー吸着穴３７は多孔質ベルト３１の幅方向に列をなして形成され、駆動ローラー３５の周上に複数列設けられている（図３（ｃ）参照）。
従動ローラー３６は多孔質ベルト３１の駆動により回転するように構成され、従動ローラー３６も駆動ローラー３５と同様に、内部に中空部３６ａを有し、この中空部３６ａに連通する複数のローラー吸着穴３８が設けられている。
なお、駆動ローラー３５および従動ローラー３６は金属などの剛性の高い材料で形成されている。
【００３５】
そして、駆動ローラー３５および従動ローラー３６には、それぞれの中空部３５ａ，３６ａを吸引する負圧発生部としての減圧ポンプ４５が接続されている。
なお減圧ポンプ４５は、ステージに接続された減圧ポンプ１５と共通化しても良い。
【００３６】
駆動ローラー３５はモーターなどの動力源により駆動され、多孔質ベルト３１を駆動する。従動ローラー３６は掛け渡された多孔質ベルト３１が駆動されることで摩擦により回転する。多孔質ベルト３１は駆動ローラー３５と従動ローラー３６に多孔質ベルト３１の摩擦が消滅しない弛みの無い様に掛け渡されている。
そして、駆動ローラー３５および従動ローラー３６に形成されたローラー吸着穴３７，３８から多孔質ベルト３１を吸着しながら多孔質ベルト３１を駆動している。このようにすることで、多孔質ベルト３１と各ローラーとの滑りなどがなく確実に多孔質ベルト３１を駆動させることができる。
【００３７】
そして、駆動ローラー３５と従動ローラー３６との間にステージ１０が配置され、ステージ１０の上方を覆うように多孔質ベルト３１が設けられている。
ステージ１０は多孔質ベルト３１を吸着できるように、近接して配置されている。また、ステージ１０において多孔質ベルト３１を吸着しながら多孔質ベルト３１を駆動できるように吸着力と駆動力の力関係が設定されている。
また、ステージ１０は多孔質シートで形成された多孔質ベルト３１を吸着しているときには、ステージ１０の上方では多孔質ベルト３１の微細な穴から吸引が行われワークなどの吸着が可能である。
【００３８】
以上のような、吸着装置２の構成においても、ステージ１０上に多孔質ベルト３１を介してワークを吸着でき、さらに、ワークは多孔質ベルト３１に吸着された状態で移動が可能で第１の実施形態と同様な効果を得ることができる。
（第２の実施形態）
【００３９】
次に、第２の実施形態として吸着装置を備えた液滴吐出装置について説明する。本実施形態では紫外線硬化型インクを用い、インクジェット方式にてインク（液滴）をワークに吐出して描画を行う液滴吐出装置を例にとり説明する。
図５は本実施形態の液滴吐出装置の構成を示す模式図である。
【００４０】
液滴吐出装置５は、吸着装置１と、搬送装置４０と、液滴吐出ヘッド５０と、紫外光照射ユニット４７と、を備えている。
搬送装置４０はロール・ツウ・ロール方式の搬送装置であり、フィルム状のワークＷが巻かれワークＷを供給する給材ローラー４１と、処理されたワークＷを巻き取って除材する除材ローラー４２と、給材ローラー４１と除材ローラー４２との間においてワークＷの搬送を行う搬送ローラー４３ａ〜４３ｆと、を有している。
【００４１】
そして、搬送装置４０の中間位置の搬送ローラー４３ｃと搬送ローラー４３ｄとの間には、吸着装置１が配置されている。
吸着装置１は図１で説明したように、吸着穴を有するステージ１０を覆うように多孔質ベルト２１が、駆動ローラー２５と従動ローラー２６の間に掛け渡されている。
【００４２】
ステージ１０の上方には紫外線硬化型インクを液滴としてワークＷに吐出する液滴吐出ヘッド５０が配置されている。また、ワークＷに吐出された紫外線硬化型インクに紫外光を照射して硬化させる紫外光照射ユニット４７がステージ１０より下流側に設けられている。
なお、ワークＷは厚み５０μｍ程度のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムやポリカーボネートフィルムが用いられる。
【００４３】
次に液滴吐出ヘッド５０の構成について説明する。
図６は液滴吐出ヘッドの構成を示す概略断面斜視図である。
液滴吐出ヘッド５０は、ノズルプレート５６に複数のノズル５５を備え、それぞれのノズル５５の開口に連通する圧力室５３、圧力室５３の一壁面を構成する振動板５２、振動板５２を変形させるＰＺＴなどの圧電素子５１、各圧力室５３にインクなどの液状体を送り込む共通インク室５４を有している。
【００４４】
振動板５２は、弾性変形可能な薄板から構成され、圧電素子５１の先端に当接している。このような構成により、圧電素子５１が収縮して、振動板５２が上方に撓んで圧力室５３が膨張すると、共通インク室５４の液状体が圧力室５３に流れ込む。所定時間の経過後に、圧電素子５１が伸長して、振動板５２が元に戻って圧力室５３が収縮すると、圧力室５３の液状体が圧縮されて、ノズル５５の開口から液滴が吐出する。このとき、液滴吐出ヘッド５０に形成されている多数のノズル５５のうち、いずれから液滴を吐出するかによってワークに所定の文字、マークや画像などの描画が可能である。
【００４５】
以上の構成の液滴吐出装置５において、ステージ１０の上方にワークＷが搬送され、ステージ１０の吸着穴から多孔質ベルト２１が吸引され、さらにワークＷが多孔質ベルト２１を介してステージ１０に吸引される。このようにして、ワークＷがステージ１０に平坦に保持される。
そして、液滴吐出ヘッド５０が搬送方向（主走査方向）に動き、液滴を吐出してワークＷに描画を行う。また、必要に応じてワークＷの幅方向（副走査方向）に動いて改行して描画を行う。所定の描画が終了すると、吸着装置１がワークＷを吸着しながらワークＷの搬送が行われる。つまり、ステージ１０の上方を通過するワークＷは多孔質ベルト２１に吸着された状態で移動していく。液滴が吐出されたワークＷの部分は紫外光照射ユニット４７により紫外光が照射されてインクの硬化が行われる。
【００４６】
また、ワークＷの搬送によりステージ１０の上方には液滴の吐出前のワークＷが吸着装置１に吸着されており、続いて液滴吐出ヘッド５０から液滴がワークＷに吐出される。
このような動作が繰り返されて、ワークＷに連続して液滴を吐出することが可能である。なお、このようにワークＷをステージ１０上で吸着固定し、液滴吐出ヘッド５０を走査させて描画する方法に加え、液滴吐出ヘッド５０を固定し、ワークＷを搬送させながら描画する方法の２通りの描画方法が可能である。
【００４７】
以上、本実施形態の液滴吐出装置５は、多孔質ベルト２１を介してワークＷがステージ１０に吸着されるため、厚みの薄いワークＷの場合、吸引時にワークＷが吸着穴１１に沿ってへこむことがない。このためワークＷに変形がなく、精度の高い描画が可能となる。
また、ワークＷの搬送は移動可能な多孔質ベルト２１と共に吸着された状態で搬送できるためワークＷの裏面に擦り傷が発生することがない。
さらに、このワークＷの搬送において、直接接触するワークＷと多孔質ベルト２１の間において、擦れが生じないため、静電気の発生を抑え周囲のごみなどの異物がワークＷに付着するのを防止することができる。
このように、第１の実施形態で説明した吸着装置１を液滴吐出装置５に備えているため、ロール・ツウ・ロール方式で搬送されたワークＷを確実にステージ１０上で吸着および搬送ができ、ワークＷの裏面の擦り傷やワークＷの帯電を防止する液滴吐出装置５を提供することができる。
【００４８】
なお、液滴吐出装置に用いるインクとして紫外線硬化型インクに限らず、ホットメルトタイプのインクなど他のインクを用いても良い。
【符号の説明】
【００４９】
１，２…吸着装置、５…液滴吐出装置、１０…ステージ、１０ａ…平坦面、１１…吸着穴、１２…空間部、１３…吸引口、１４…チューブ、１５…負圧発生部としての減圧ポンプ、２０…ベルト駆動装置、２１…多孔質ベルト、２２…スプロケット穴、２５…駆動ローラー、２６…従動ローラー、２７…スプロケット、３０…ベルト駆動装置、３１…多孔質ベルト、３５…駆動ローラー、３６…従動ローラー、３７，３８…ローラー吸着穴、４０…搬送装置、４１…給材ローラー、４２…除材ローラー、４３ａ〜４３ｆ…搬送ローラー、４５…負圧発生部としての減圧ポンプ、４７…紫外光照射ユニット、５０…液滴吐出ヘッド、５１…圧電素子、５２…振動板、５３…圧力室、５４…共通インク室、５５…ノズル、５６…ノズルプレート、Ｗ…ワーク。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着装置および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、長尺のフィルム状シートを搬送しながら各種処理や加工を行う装置が知られている。
例えば、特許文献１にはフィルム状のＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープを搬送し、ステージが多孔質板で形成された吸着装置にＴＡＢテープを吸着させて固定し、液滴吐出ヘッドから機能液をＴＡＢテープに吐出して配線パターンを描画する描画装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−４８９９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような構成の装置において、ＴＡＢテープなどのフィルムを搬送する際に、吸着装置の多孔質板とフィルムの裏面とが接触して、フィルムの裏面に擦り傷が発生することがある。また、多孔質板とフィルムとの摩擦により静電気が発生してフィルムが帯電し、周囲のごみなどの異物がフィルムに付着する問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる吸着装置は、平坦面を有しワークを吸着する吸着穴が設けられたステージと、前記ステージの前記吸着穴に接続され負圧を発生させる負圧発生部と、前記ステージの前記平坦面の上方を覆う多孔質シートで形成されたベルトが移動可能に設けられたベルト駆動装置と、を備え、前記ベルトが前記ステージに吸着され、前記ベルトを介して前記ワークが前記ステージに吸着されることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ステージの平坦面の上方を覆う多孔質シートで形成されたベルトがステージに吸着され、ベルトを介してワークがステージに吸着される。
そして、ワークの搬送は多孔質シートで形成された移動可能なベルトと共に吸着された状態で搬送できるためワークの裏面に擦り傷が発生することがない。
さらに、このワークの搬送において、直接接触するワークとベルトの間で擦れが生じないため、静電気の発生を抑え周囲のごみなどの異物がワークに付着するのを防止することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる吸着装置において、前記ベルト駆動装置は、環状の無終端となる前記ベルトと、前記ベルトを駆動する駆動ローラーと、前記駆動ローラーと水平位置に設けられ、前記ベルトの駆動により回転する従動ローラーと、を有し、前記駆動ローラーと前記従動ローラーとの間に前記ステージが配置され、前記駆動ローラーと前記従動ローラーとに前記ベルトが掛け渡されて前記ワークの搬送方向と同じ方向に前記ベルトが駆動可能であることが望ましい。
【０００９】
この構成によれば、駆動ローラーと従動ローラーとの間にステージが配置され、環状の無終端となるベルトが駆動ローラーと従動ローラーとに掛け渡されてワークの搬送方向と同じ方向にベルトが駆動可能である。
このようにすれば、ワークの搬送方向とベルトの搬送方向を容易に同じ方向に構成することができ、吸着装置を小型化することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる吸着装置において、前記駆動ローラーおよび前記従動ローラーにスプロケットが設けられ、前記ベルトに前記スプロケットの歯と係合するスプロケット穴が形成されていることが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、駆動ローラーおよび従動ローラーにスプロケットが設けられ、ベルトにスプロケットの歯と係合するスプロケット穴が形成されていることから、駆動ローラーおよび従動ローラーとベルトの間の滑りを防止して確実にベルトを駆動させることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる吸着装置において、前記駆動ローラーおよび前記従動ローラーの表面にローラー吸着穴が設けられ、前記ローラー吸着穴から前記ベルトが吸着されることが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、駆動ローラーおよび従動ローラーの表面にローラー吸着穴が設けられ、ローラー吸着穴からベルトが吸着されることから、駆動ローラーおよび従動ローラーとベルトの間の滑りを防止して確実にベルトを駆動させることができる。
【００１４】
［適用例５］本適用例にかかる液滴吐出装置は、ワークをロール・ツウ・ロール方式で搬送する搬送装置と、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、を備え、前記吸着装置に吸着された前記ワークに対して前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、上述した吸着装置を液滴吐出装置に備えているため、ロール・ツウ・ロール方式で搬送されたワークを確実にステージ上で吸着および搬送ができ、ワーク裏面の擦り傷やワークの帯電を防止する液滴吐出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１の実施形態における吸着装置の構成を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略断面図。
【図２】第１の実施形態にかかるステージの構成を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略断面図。
【図３】第１の実施形態における吸着装置の動作を示す説明図。
【図４】第１の実施形態の吸着装置における変形例の構成を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略断面図、（ｃ）は駆動ローラーの概略断面図。
【図５】第２の実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す模式図。
【図６】第２の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドの構成を示す概略断面斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の寸法の割合を適宜変更している。
（第１の実施形態）
【００１８】
図１は本実施形態における吸着装置の構成を示し、図１（ａ）は概略平面図、図１（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断線に沿う概略断面図である。図２はステージの構成を示し、図２（ａ）は概略平面図、図２（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ断線に沿う概略断面図である。
【００１９】
吸着装置１は、ワークを吸着するステージ１０と、負圧発生部としての減圧ポンプ１５と、ベルト駆動装置２０と、を備えている。
ステージ１０は、図２に示すように板状に形成され、表面が平坦である平坦面１０ａを一面に有し、この平坦面１０ａに定ピッチで配置された吸着穴１１が設けられている。この各吸着穴１１はステージ１０の内部において、キャビティーが形成された空間部１２に連通している。そして、この空間部１２はステージ１０の端面に形成された吸引口１３に連通している。
【００２０】
そして、図１に示すように、吸引口１３には中空のチューブ１４が接続され、チューブ１４の先には負圧発生部としての減圧ポンプ１５が接続されている。
このようにして、減圧ポンプ１５を作動させることでチューブ１４を介してステージ１０内の空間部１２が減圧状態となり、大気と連通した吸着穴１１から吸引が行われ、ステージ１０の平坦面１０ａにてワークなどを吸着することができる。
なお、ステージ１０は金属、セラミックス、樹脂、石材などの材料にて形成されている。
【００２１】
ベルト駆動装置２０は、多孔質ベルト２１と、駆動ローラー２５と、従動ローラー２６と、を備えている。駆動ローラー２５と従動ローラー２６とは水平に配置され、駆動ローラー２５と従動ローラー２６とに多孔質ベルト２１が掛け渡されている。
多孔質ベルト２１は、多くの微細な穴を有する多孔質シートから形成され、環状の無終端となる平ベルト状に形成されている。例えば、多孔質シートは超高分子量ポリエチレンを材料とし、厚み０．１〜０．５ｍｍ、気孔率３０％、動摩擦係数０．１、であり、帯電防止処理が施されたものが採用されている。
【００２２】
駆動ローラー２５にはモーターなどの動力源が接続され、駆動ローラー２５の両端には多孔質ベルト２１の幅に沿って、スプロケット２７が取り付けられている。従動ローラー２６は多孔質ベルト２１の駆動により回転するように構成され、従動ローラー２６の両端にもスプロケット２７が取り付けられている。
そして、多孔質ベルト２１の両側端の全周に駆動ローラー２５および従動ローラー２６に取り付けられたスプロケット２７の歯に係合するスプロケット穴２２が設けられている。なお、駆動ローラー２５および従動ローラー２６は金属などの剛性の高い材料で形成されている。
【００２３】
ベルト駆動装置２０は駆動ローラー２５が駆動することで、駆動ローラー２５のスプロケット２７の歯と多孔質ベルト２１のスプロケット穴２２が係合して多孔質ベルト２１を送り出す。また、従動ローラー２６のスプロケット２７の歯と多孔質ベルト２１のスプロケット穴２２が係合しており、多孔質ベルト２１の動きに同期して従動ローラー２６が回転する。
このように、各ローラーのスプロケットの歯と多孔質ベルト２１のスプロケット穴２２が係合して多孔質ベルト２１が駆動されるため、各ローラーとの滑りなどがなく確実に多孔質ベルト２１を駆動させることができる。
【００２４】
そして、吸着装置１は駆動ローラー２５と従動ローラー２６との間にステージ１０が配置され、ステージ１０の上方を覆うように多孔質ベルト２１が設けられている。
ステージ１０は多孔質ベルト２１を吸着できるように、近接して配置されている。また、ステージ１０において多孔質ベルト２１を吸着しながら多孔質ベルト２１を駆動できるように吸着力と駆動力の力関係が設定されている。
また、ステージ１０は多孔質シートで形成された多孔質ベルト２１を吸着しているときには、ステージ１０の上方では多孔質ベルト２１の微細な穴から吸引が行われ、ワークなどの吸着が可能である。
【００２５】
次に、本実施形態の吸着装置１の動作について説明する。
図３は吸着装置の動作を示す説明図である。図３は、吸着装置１と吸着装置１の上方にワークＷを供給する搬送装置４０の一部を表している。搬送装置４０はロール・ツウ・ロールの搬送方式である。
ワークＷは長尺のフィルムが用いられ、例えば、厚み５０μｍ程度のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムなどが搬送ローラー４３ｃ，４３ｄなどにより搬送される。搬送装置４０の搬送と吸着装置１の駆動ローラー２５の動きとは同期がとられている。そして、吸着装置１は、吸着装置１の多孔質ベルト２１とワークＷの裏面とが接し、ワークＷの搬送方向と多孔質ベルト２１の移動方向が同じ方向となるように配置されている。
【００２６】
まず、搬送装置４０およびベルト駆動装置２０の動きが止まった状態で、負圧発生部の減圧ポンプが稼動して、ステージ１０の吸着穴１１より多孔質ベルト２１が吸引されてステージ１０の平坦面に沿って吸着される。
そして、ステージ１０の上方に供給されているワークＷが多孔質ベルト２１を介してステージ１０に吸引される。吸引されたワークＷはステージ１０の平坦面に倣って、平坦に保持される。
【００２７】
例えば、上記のようにワークＷがステージ１０上に多孔質ベルト２１を介して保持された状態でワークＷの表面に印刷などの処理が施される。そして、ステージ１０上のワークＷの処理が終了すると、ワークＷを搬送する。このとき、吸着装置１がワークＷを吸着しながらワークＷの搬送が行われる。つまり、ステージ１０の上方を通過するワークＷは多孔質ベルト２１に吸着された状態で移動していく。このように、ステージ１０の上方を搬送されるワークＷの裏面は他の部分と擦れることがなく搬送される。
【００２８】
また、上記ではワークＷを吸着装置１が吸着して、ステージ１０上でワークＷを停止して処理を行う場合について説明したが、ワークＷを搬送しながらワークＷに処理を施すこともできる。つまり、吸着装置１がワークＷを吸着してワークＷの搬送を行いながら各種の処理を行っても良い。このようにすれば、ステージ１０の上方を通過するワークＷは多孔質ベルト２１に吸着された状態で移動して行き、ワークＷの裏面は他の部分と擦れることがなく搬送される。
【００２９】
以上のように、本実施形態の吸着装置１は、ステージ１０の平坦面１０ａの上方を覆う多孔質シートで形成された多孔質ベルト２１がステージ１０に吸着され、多孔質ベルト２１を介してワークＷがステージ１０に吸着される。このため、例えば厚みの薄いワークＷの場合、吸引時にワークＷが吸着穴１１に沿ってへこむことがない。
また、ワークＷの搬送は移動可能な多孔質ベルト２１と共に吸着された状態で搬送できるためワークＷの裏面に擦り傷が発生することがない。
さらに、このワークＷの搬送において、直接接触するワークＷと多孔質ベルト２１の間で擦れが生じないため、静電気の発生を抑え周囲のごみなどの異物がワークＷに付着するのを防止することができる。
【００３０】
また、吸着装置１は、駆動ローラー２５と従動ローラー２６との間にステージ１０が配置され、環状の無終端となる多孔質ベルト２１が駆動ローラー２５と従動ローラー２６とに掛け渡されてワークＷの搬送方向と同じ方向に多孔質ベルト２１が駆動可能である。
このようにすれば、ワークＷの搬送方向と多孔質ベルト２１の搬送方向を容易に同じ方向に構成することができ、吸着装置１を小型化することができる。
【００３１】
なお、上記においてワークは長尺のフィルムとしたが、個別の形状のワークであっても本吸着装置の利用が可能であり、この場合、ステージの吸着範囲内であれば何処にでも吸着することができる。
また、多孔質ベルトを定期的に交換することでステージ上の清浄を容易に保つことができ、吸着装置のメンテナンス性が良い。
（変形例）
【００３２】
次に、第１の実施形態の変形例について説明する。
本変形例では、ベルト駆動装置の構成が第１の実施形態とは異なる。このため、第１の実施形態と同じ構成要素については同符号を付し、説明を省略する。
図４は変形例における吸着装置の構成を示し、図４（ａ）は概略平面図、図４（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ断線に沿う概略断面図、図４（ｃ）は駆動ローラーの概略断面図である。
【００３３】
吸着装置２は、ワークを吸着するステージ１０と、負圧発生部としての減圧ポンプ１５，４５と、ベルト駆動装置３０と、を備えている。
ベルト駆動装置３０は、多孔質ベルト３１と、駆動ローラー３５と、従動ローラー３６と、を備えている。駆動ローラー３５と従動ローラー３６とは水平に配置され、駆動ローラー３５と従動ローラー３６とに多孔質ベルト３１が掛け渡されている。
多孔質ベルト３１は、多くの微細な穴を有する多孔質シートから形成され、環状の無終端となる平ベルト状に形成されている。
【００３４】
駆動ローラー３５にはモーターなどの動力源が接続され、駆動ローラー３５の駆動を可能にしている。
駆動ローラー３５は内部に中空部３５ａを有し、この中空部３５ａに連通する複数のローラー吸着穴３７が設けられている。ローラー吸着穴３７は多孔質ベルト３１の幅方向に列をなして形成され、駆動ローラー３５の周上に複数列設けられている（図３（ｃ）参照）。
従動ローラー３６は多孔質ベルト３１の駆動により回転するように構成され、従動ローラー３６も駆動ローラー３５と同様に、内部に中空部３６ａを有し、この中空部３６ａに連通する複数のローラー吸着穴３８が設けられている。
なお、駆動ローラー３５および従動ローラー３６は金属などの剛性の高い材料で形成されている。
【００３５】
そして、駆動ローラー３５および従動ローラー３６には、それぞれの中空部３５ａ，３６ａを吸引する負圧発生部としての減圧ポンプ４５が接続されている。
なお減圧ポンプ４５は、ステージに接続された減圧ポンプ１５と共通化しても良い。
【００３６】
駆動ローラー３５はモーターなどの動力源により駆動され、多孔質ベルト３１を駆動する。従動ローラー３６は掛け渡された多孔質ベルト３１が駆動されることで摩擦により回転する。多孔質ベルト３１は駆動ローラー３５と従動ローラー３６に多孔質ベルト３１の摩擦が消滅しない弛みの無い様に掛け渡されている。
そして、駆動ローラー３５および従動ローラー３６に形成されたローラー吸着穴３７，３８から多孔質ベルト３１を吸着しながら多孔質ベルト３１を駆動している。このようにすることで、多孔質ベルト３１と各ローラーとの滑りなどがなく確実に多孔質ベルト３１を駆動させることができる。
【００３７】
そして、駆動ローラー３５と従動ローラー３６との間にステージ１０が配置され、ステージ１０の上方を覆うように多孔質ベルト３１が設けられている。
ステージ１０は多孔質ベルト３１を吸着できるように、近接して配置されている。また、ステージ１０において多孔質ベルト３１を吸着しながら多孔質ベルト３１を駆動できるように吸着力と駆動力の力関係が設定されている。
また、ステージ１０は多孔質シートで形成された多孔質ベルト３１を吸着しているときには、ステージ１０の上方では多孔質ベルト３１の微細な穴から吸引が行われワークなどの吸着が可能である。
【００３８】
以上のような、吸着装置２の構成においても、ステージ１０上に多孔質ベルト３１を介してワークを吸着でき、さらに、ワークは多孔質ベルト３１に吸着された状態で移動が可能で第１の実施形態と同様な効果を得ることができる。
（第２の実施形態）
【００３９】
次に、第２の実施形態として吸着装置を備えた液滴吐出装置について説明する。本実施形態では紫外線硬化型インクを用い、インクジェット方式にてインク（液滴）をワークに吐出して描画を行う液滴吐出装置を例にとり説明する。
図５は本実施形態の液滴吐出装置の構成を示す模式図である。
【００４０】
液滴吐出装置５は、吸着装置１と、搬送装置４０と、液滴吐出ヘッド５０と、紫外光照射ユニット４７と、を備えている。
搬送装置４０はロール・ツウ・ロール方式の搬送装置であり、フィルム状のワークＷが巻かれワークＷを供給する給材ローラー４１と、処理されたワークＷを巻き取って除材する除材ローラー４２と、給材ローラー４１と除材ローラー４２との間においてワークＷの搬送を行う搬送ローラー４３ａ〜４３ｆと、を有している。
【００４１】
そして、搬送装置４０の中間位置の搬送ローラー４３ｃと搬送ローラー４３ｄとの間には、吸着装置１が配置されている。
吸着装置１は図１で説明したように、吸着穴を有するステージ１０を覆うように多孔質ベルト２１が、駆動ローラー２５と従動ローラー２６の間に掛け渡されている。
【００４２】
ステージ１０の上方には紫外線硬化型インクを液滴としてワークＷに吐出する液滴吐出ヘッド５０が配置されている。また、ワークＷに吐出された紫外線硬化型インクに紫外光を照射して硬化させる紫外光照射ユニット４７がステージ１０より下流側に設けられている。
なお、ワークＷは厚み５０μｍ程度のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムやポリカーボネートフィルムが用いられる。
【００４３】
次に液滴吐出ヘッド５０の構成について説明する。
図６は液滴吐出ヘッドの構成を示す概略断面斜視図である。
液滴吐出ヘッド５０は、ノズルプレート５６に複数のノズル５５を備え、それぞれのノズル５５の開口に連通する圧力室５３、圧力室５３の一壁面を構成する振動板５２、振動板５２を変形させるＰＺＴなどの圧電素子５１、各圧力室５３にインクなどの液状体を送り込む共通インク室５４を有している。
【００４４】
振動板５２は、弾性変形可能な薄板から構成され、圧電素子５１の先端に当接している。このような構成により、圧電素子５１が収縮して、振動板５２が上方に撓んで圧力室５３が膨張すると、共通インク室５４の液状体が圧力室５３に流れ込む。所定時間の経過後に、圧電素子５１が伸長して、振動板５２が元に戻って圧力室５３が収縮すると、圧力室５３の液状体が圧縮されて、ノズル５５の開口から液滴が吐出する。このとき、液滴吐出ヘッド５０に形成されている多数のノズル５５のうち、いずれから液滴を吐出するかによってワークに所定の文字、マークや画像などの描画が可能である。
【００４５】
以上の構成の液滴吐出装置５において、ステージ１０の上方にワークＷが搬送され、ステージ１０の吸着穴から多孔質ベルト２１が吸引され、さらにワークＷが多孔質ベルト２１を介してステージ１０に吸引される。このようにして、ワークＷがステージ１０に平坦に保持される。
そして、液滴吐出ヘッド５０が搬送方向（主走査方向）に動き、液滴を吐出してワークＷに描画を行う。また、必要に応じてワークＷの幅方向（副走査方向）に動いて改行して描画を行う。所定の描画が終了すると、吸着装置１がワークＷを吸着しながらワークＷの搬送が行われる。つまり、ステージ１０の上方を通過するワークＷは多孔質ベルト２１に吸着された状態で移動していく。液滴が吐出されたワークＷの部分は紫外光照射ユニット４７により紫外光が照射されてインクの硬化が行われる。
【００４６】
また、ワークＷの搬送によりステージ１０の上方には液滴の吐出前のワークＷが吸着装置１に吸着されており、続いて液滴吐出ヘッド５０から液滴がワークＷに吐出される。
このような動作が繰り返されて、ワークＷに連続して液滴を吐出することが可能である。なお、このようにワークＷをステージ１０上で吸着固定し、液滴吐出ヘッド５０を走査させて描画する方法に加え、液滴吐出ヘッド５０を固定し、ワークＷを搬送させながら描画する方法の２通りの描画方法が可能である。
【００４７】
以上、本実施形態の液滴吐出装置５は、多孔質ベルト２１を介してワークＷがステージ１０に吸着されるため、厚みの薄いワークＷの場合、吸引時にワークＷが吸着穴１１に沿ってへこむことがない。このためワークＷに変形がなく、精度の高い描画が可能となる。
また、ワークＷの搬送は移動可能な多孔質ベルト２１と共に吸着された状態で搬送できるためワークＷの裏面に擦り傷が発生することがない。
さらに、このワークＷの搬送において、直接接触するワークＷと多孔質ベルト２１の間において、擦れが生じないため、静電気の発生を抑え周囲のごみなどの異物がワークＷに付着するのを防止することができる。
このように、第１の実施形態で説明した吸着装置１を液滴吐出装置５に備えているため、ロール・ツウ・ロール方式で搬送されたワークＷを確実にステージ１０上で吸着および搬送ができ、ワークＷの裏面の擦り傷やワークＷの帯電を防止する液滴吐出装置５を提供することができる。
【００４８】
なお、液滴吐出装置に用いるインクとして紫外線硬化型インクに限らず、ホットメルトタイプのインクなど他のインクを用いても良い。
【符号の説明】
【００４９】
１，２…吸着装置、５…液滴吐出装置、１０…ステージ、１０ａ…平坦面、１１…吸着穴、１２…空間部、１３…吸引口、１４…チューブ、１５…負圧発生部としての減圧ポンプ、２０…ベルト駆動装置、２１…多孔質ベルト、２２…スプロケット穴、２５…駆動ローラー、２６…従動ローラー、２７…スプロケット、３０…ベルト駆動装置、３１…多孔質ベルト、３５…駆動ローラー、３６…従動ローラー、３７，３８…ローラー吸着穴、４０…搬送装置、４１…給材ローラー、４２…除材ローラー、４３ａ〜４３ｆ…搬送ローラー、４５…負圧発生部としての減圧ポンプ、４７…紫外光照射ユニット、５０…液滴吐出ヘッド、５１…圧電素子、５２…振動板、５３…圧力室、５４…共通インク室、５５…ノズル、５６…ノズルプレート、Ｗ…ワーク。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦面を有しワークを吸着する吸着穴が設けられたステージと、
前記ステージの前記吸着穴に接続され負圧を発生させる負圧発生部と、
前記ステージの前記平坦面の上方を覆う多孔質シートで形成されたベルトが移動可能に設けられたベルト駆動装置と、を備え、
前記ベルトが前記ステージに吸着され、前記ベルトを介して前記ワークが前記ステージに吸着されることを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の吸着装置において、
前記ベルト駆動装置は、
環状の無終端となる前記ベルトと、
前記ベルトを駆動する駆動ローラーと、
前記駆動ローラーと水平位置に設けられ、前記ベルトの駆動により回転する従動ローラーと、を有し、
前記駆動ローラーと前記従動ローラーとの間に前記ステージが配置され、前記駆動ローラーと前記従動ローラーとに前記ベルトが掛け渡されて前記ワークの搬送方向と同じ方向に前記ベルトが駆動可能であることを特徴とする吸着装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の吸着装置において、
前記駆動ローラーおよび前記従動ローラーにスプロケットが設けられ、
前記ベルトに前記スプロケットの歯と係合するスプロケット穴が形成されていることを特徴とする吸着装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の吸着装置において、
前記駆動ローラーおよび前記従動ローラーの表面にローラー吸着穴が設けられ、前記ローラー吸着穴から前記ベルトが吸着されることを特徴とする吸着装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の吸着装置と、
ワークをロール・ツウ・ロール方式で搬送する搬送装置と、
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、を備え、
前記吸着装置に吸着された前記ワークに対して前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１】
平坦面を有しワークを吸着する吸着穴が設けられたステージと、
前記ステージの前記吸着穴に接続され負圧を発生させる負圧発生部と、
前記ステージの前記平坦面の上方を覆う多孔質シートで形成されたベルトが移動可能に設けられたベルト駆動装置と、を備え、
前記ベルトが前記ステージに吸着され、前記ベルトを介して前記ワークが前記ステージに吸着されることを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の吸着装置において、
前記ベルト駆動装置は、
環状の無終端となる前記ベルトと、
前記ベルトを駆動する駆動ローラーと、
前記駆動ローラーと水平位置に設けられ、前記ベルトの駆動により回転する従動ローラーと、を有し、
前記駆動ローラーと前記従動ローラーとの間に前記ステージが配置され、前記駆動ローラーと前記従動ローラーとに前記ベルトが掛け渡されて前記ワークの搬送方向と同じ方向に前記ベルトが駆動可能であることを特徴とする吸着装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の吸着装置において、
前記駆動ローラーおよび前記従動ローラーにスプロケットが設けられ、
前記ベルトに前記スプロケットの歯と係合するスプロケット穴が形成されていることを特徴とする吸着装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の吸着装置において、
前記駆動ローラーおよび前記従動ローラーの表面にローラー吸着穴が設けられ、前記ローラー吸着穴から前記ベルトが吸着されることを特徴とする吸着装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の吸着装置と、
ワークをロール・ツウ・ロール方式で搬送する搬送装置と、
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、を備え、
前記吸着装置に吸着された前記ワークに対して前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−１９４２９７（Ｐ２０１１−１９４２９７Ａ）
【公開日】平成２３年１０月６日（２０１１．１０．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−６２０７９（Ｐ２０１０−６２０７９）
【出願日】平成２２年３月１８日（２０１０．３．１８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１０月６日（２０１１．１０．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月１８日（２０１０．３．１８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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