【課題】 基板収納容器を自動で梱包可能であり、簡単な構造で、輸送時の振動や衝撃に対して確実にウェーハを保護できる基板収納容器の輸送箱を提供する。
【解決手段】 上部に開口部を有し基板収納容器を収納可能なコンテナと、該コンテナの開口部を閉鎖する上蓋とを有し、前記コンテナの内底部には、基板収納容器を載置する支承部材が設けられ、該支承部材の上面に、基板収納容器を所定の位置に誘導する位置決め機構と、輸送時の振動を吸収するための防振部材とが設けられ、前記開口部の上縁に第一の固定手段を有し、前記上蓋が、該第一の固定手段と係合する第二の固定手段と、基板収納容器を上部から固定する手段とを有していることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】絶縁性基板などの半導体部品の受け渡しの際、特にその搬送アームから該絶縁性基板などを分離する際の剥離帯電の問題を簡単な構成により解消することができ、しかも、加湿空気の噴き付けによる除電に伴う結露や異物の付着といった弊害を招くことのない基板処理装置を得る。
【解決手段】スパッタ処理の対象となる絶縁性基板Ｗ５を搬送する基板搬送装置１００において、該絶縁性基板を載置して一枚ごと搬送するセラミックなどからなる搬送アーム１５１を備え、該搬送アーム１５１は、その基板載置部の表面を、絶縁性基板Ｗ５と該基板載置部との接触面積が小さくなるよう微細な凹凸形状にし、さらに、搬送アーム１５１を構成するセラミック材料の表面に導電樹脂を導電性コート膜１５１ａとしてコートした構造を有している。 （もっと読む）

【課題】基板浮上装置において、メンテナンス性を悪化させずに基板の除電効率を高める。
【解決手段】基板浮上装置２は、基板（Ｓ）の裏面に浮上用エアを吐出するエア浮上機構を有する浮上ステージ２ａと、この浮上ステージ２ａの基板支持面に形成された収納空間２ｃと、イオン化エアを噴出す吐出孔３ａが複数設けられた筒状を呈し、収納空間２ｃに配置され基板（Ｓ）の裏面に対してイオン化エアを吹き付けるイオナイザ３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体チップへの静電気によるダメージを十分に防ぐことができ、既存の半導体チップに幅広く適用することができる吸着部材を提供する。
【解決手段】半導体チップ２０に接触させるための接触面１１ａと、接触面１１ａにつながる側面１１ｃとを有する吸着部１１と、側面１１ｃから外方向に向かって突き出る第１放電部１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物を強固に接着して支持しつつ、支持体を対象物から容易に分離することができる積層体およびその積層体の分離方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る積層体は、光透過性の支持体と、上記支持体によって支持される被支持基板と、上記被支持基板における上記支持体によって支持される側の面に設けられている接着層と、上記支持体と上記被支持基板との間に設けられている、無機物からなる分離層とを備えており、上記分離層は、上記支持体を介して照射される光を吸収することによって変質するようになっており、上記分離層における上記接着層に対向する側の面は、平坦になっている。 （もっと読む）

【課題】ウエハの運搬時、容器中でウエハとウエハ保護シートとが接触によるウエハ保護シートの有機物のウエハへの転写を防止したウエハ保護シートを提供する。
【解決手段】ウエハ保護シート１は、厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、前記合成樹脂製シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】単一のイオンブロー手段を用いて、装置内の複数箇所においてワークに除電処理を施すことができるダイシング加工装置を提供すること。
【解決手段】ダイシング加工装置１は、噴出口１４３からのイオン化されたエアが、スピンナ洗浄手段１０のスピンナテーブル１０１上のワークおよび仮置部１１上のワークに吹き付けるように調整する調整部１４４を有するイオンブロー手段１４を備える。調整部１４４は、スピンナ洗浄手段１０１のスピンナテーブル１０１から仮置部１１までワークを搬送している間は、搬送アーム１３に保持されたワークへ向けてイオン化されたエアを吹き付けるように噴出口１４３の向きを調整する。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルを保持ステージよりはみ出すように保持した場合に、液晶パネルの自重によりはみ出した部分が下方に反ってしまい、液晶パネルを保持した保持ステージが処理部に進入する場合に、液晶パネルがはみ出して下方に反った部分と処理部とが干渉する問題が生じていた。
【解決手段】 液晶パネルを保持するための保持ステージを備えた製造装置であって、保持ステージの下方に保持ステージの外側から少なくとも１箇所に上方に向けた支持エアーを噴射する事のできるエアー供給口を備えた製造装置である。 （もっと読む）

【課題】コロナ放電を用いたイオナイザの電極針先端部に堆積した不純物がウェーハの表面に落下することを防ぐ。
【解決手段】プリアライナ１の上方を覆うカバー１３と、カバー１３の外周部又は外周部の下方に設置されたイオン供給部１４とを含み、イオン供給部１４のイオン供給口１５がカバー１３とプリアライナ１との間の空間部に向けられているウェーハ除電装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】保持したワークに加工や処理を施した際に、摩擦による静電気発生が抑えられてワークに電荷が溜まりにくく帯電量を小さくし、静電破壊を抑制する。
【解決手段】ワーク１を支持する支持面４２１に負圧を伝達する多孔質体からなる吸着部４２と、絶縁性を有する部材で形成された枠体４１とを有するワーク支持部４０と、ワーク支持部４０を回転可能に支持する回転支持部５０と、回転支持部５０とワーク支持部４０との間に形成された軽量化空間４３と、吸着部４２と負圧を発生させる負圧源８０とを連通させる吸引経路７０Ａとを有し、吸引経路７０Ａは軽量化空間４３と連通しない構成とする。ワーク支持部４０を厚くして絶縁距離を大きくして帯電を抑えることができ、軽量化空間４３を有することから重量増を招かない。 （もっと読む）

【課題】対象物の設置作業が比較的簡単であり、かつより確実に対象物を保持することができる保持部材を用いたホルダを提供する。
【解決手段】ホルダは、支持部と、該支持部に設けられた当接体と、支持部に設けられて、当接体に対象物を押し当てることにより、当接体との間で前記対象物を挟んで保持する保持部材とを有する。保持部材は、対象物に接触する接触部と、押し当て方向に垂直な方向において接触部の両側の位置で支持部に固定される複数の固定部と、接触部と複数の固定部とをそれぞれ接続し、押し当て方向に伸縮可能な複数の伸縮部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハに異物を付着させることなく、ウエーハに帯電した静電気を除去可能な搬出入装置を提供することである。
【解決手段】 開口を有するカセットに対して一面に絶縁部材が配設されたウエーハを搬出又は搬入するウエーハの搬出入装置であって、ウエーハの該一面側を支持するウエーハ支持部と、該ウエーハ支持部に連結され、該ウエーハ支持部を該カセット内に進入又は該カセット内から退避させるアーム機構と、該カセット内へ搬入又は該カセット内から搬出するウエーハの外周側面に接触可能に該ウエーハ支持部の表面から突出するように形成された導電性材料からなるアースされた除電部材とを具備し、該除電部材がウエーハの外周側面に接触してウエーハに帯電した静電気を除電することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レチクルとの接触箇所に弾性を有する複数の支持材を配置したレチクルポッドを提供すること。
【解決手段】上部蓋体、下部蓋体、及び、複数の下部蓋体の四隅に配置された支持部品からなり、支持部品は、垂直方法により一体的に相互連結し、且つ、両端にそれぞれ留め具が配置される座体と、それぞれ座体に配置され、各弾性部材が座体の縦方向から１つの段部を延伸した後、更に座体の内側横方向に沿ってもう１つの段部を延伸する１対の弾性部材と、それぞれ弾性部材の横方向延伸段部と連結した後、更に縦方向に凸起部を延伸して、凸起部の座体内側にある側面に第１傾斜面と第２傾斜面を形成する１対のガイド部材、及び、その第１端と第２端がそれぞれガイド部材の第２傾斜面と連結して、その第３端箇所に支持柱が配置される支持底板とを含む。 （もっと読む）

【課題】 半導体素子への静電気による電気的な損傷が抑えられる半導体素子移送用治具を提供する。
【解決手段】 基板５の主面に、回路素子６と、回路素子６と導通する電極パッド７と、電極パッド７を露出するように回路素子６を覆う絶縁部材８と、を備える半導体素子４を、固着テープ９から引き離して移送するための半導体素子移送用治具であって、半導体素子４の、絶縁部材８が配されている側を吸着保持する保持手段１２を備え、保持手段１２が静電気拡散性材料を用いて形成されている。保持手段１２を形成する静電気拡散性材料が、樹脂またはセラミックである。 （もっと読む）

【課題】板状物の被保持面に傷を付けることなく保持して搬送することができる搬送機構を提供する。
【解決手段】吸引保持機構２を構成する保持パッド２０の保持面２００に、吸引源２５に連通する吸引凹部２００ａと、吸引凹部２００ａの外周から所定距離離間して環状に形成され流体供給源２８に連通する流体供給凹部２００ｂとを備え、流体供給凹部２００ｂに流体を供給するとともに吸引凹部２００ａから流体を吸引することによって保持面２００と板状物４の上面４ａとの間に流動する流体層５を形成し、流体層５を介して板状物４を保持パッド２０の保持面２００において吸引保持する。ある程度肉厚で質量の重い板状物であっても、被保持面に傷をつけることなく確実に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板処理動作中に流体を分配する装置。
【解決手段】当該装置は、複数の流体源に結合された複数の分配ノズルを備える中央流体分配バンクと、中央流体分配バンクの第１の側に位置された第１の処理チャンバとを含む。また、当該装置は、中央流体分配バンクの第２の側に位置された第２の処理チャンバと、中央流体分配バンクと第１の処理チャンバと第２の処理チャンバとの間で並進するようになっている分配アームとを含む。さらに、当該装置は、第１の処理チャンバと第２の処理チャンバとの間に位置された分配アームアクセスシャッタを含む。 （もっと読む）

【課題】ハンドの移動状態に拘わらず、基板全体を確実に除電する。
【解決手段】基板搬送装置は、互いに並行して延びる複数のフォーク２０を有するハンド１０を備え、複数のフォーク２０の少なくとも一部に載置された基板１３を搬送する。そして、ハンド１０には、フォーク２０に載置された基板１３に対向するように固定配置され、該基板１３の全体を除電する除電手段３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 搬送速度を上げても搬送精度の低下を抑制できる搬送装置を提供すること。
【解決手段】 伸縮及び旋回可能に構成された搬送アーム１６と、搬送アーム１６の先端に設けられ、搬送体Ｗが載置されるピック１７と、ピック１７内に設けられた内部電極３１を含む、搬送体Ｗをピック１７に静電吸着させる静電吸着機構３０と、ピック１７内に設けられたガス流路４１を含む、搬送体Ｗの、ピック１７との吸着面４２にガスを吐出させるガス吐出機構４０と、静電吸着機構３０及びガス吐出機構４０を制御し、静電吸着機構３０による静電吸着を解除した後、搬送体Ｗ及びピック１７に対する除電シーケンスと吸着面４２へのガスの吐出とを並行して実行させる制御部５０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに基板を静電吸着して搬送する場合において、真空中に電源やケーブルを導入する必要がなく、搬送モジュールにウェハを受け渡す際の基板の位置を高精度で制御することができ、更に、搬送モジュールで処理モジュールに搬送した後の基板の位置を高精度で制御することができる静電吸着部材を提供する。
【解決手段】静電吸着部材６０は、基板Ｗを大気中と真空中との間で受け渡すロードロックモジュールと、基板Ｗを真空中で処理する処理モジュールとの間で、基板Ｗを搬送する搬送モジュールのピック３１ｂに着脱可能に取り付けられ、ピック３１ｂが搬送する基板Ｗに静電吸着する。静電吸着部材６０は、ロードロックモジュールの載置ステージ７０とピック３１ｂとの間、又はピック３１ｂと処理モジュールとの間で、基板Ｗに静電吸着した状態で、基板Ｗと一緒に受け渡される。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等の被着体に塵が落下して歩留まりが低下することを抑制できるようにすること。
【解決手段】シート剥離装置１０は、半導体ウエハＷに貼付された接着シートＳに剥離用テープＰＴを貼付する貼付手段１６と、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと半導体ウエハＷとを相対移動させることで接着シートＳを半導体ウエハＷから剥離する剥離手段１５とを備えている。剥離手段１５は、半導体ウエハＷとの間に接着シートＳを挟み込みつつ剥離姿勢を形成するローラ３０と、このローラ３０による剥離によって発生する塵を除去する除塵手段３１とを備えている。 （もっと読む）