【課題】オブジェクトの本体の剛性の増加及び／又は制振によって可撓性及びその結果としての内部変形を低減する。
【解決手段】 本体を有する可動オブジェクトを位置決めする位置決めシステムであって、位置決めシステムが、オブジェクト位置測定システムと、オブジェクトアクチュエータと、オブジェクトコントローラとを含み、位置決めシステムが、オブジェクトの本体内の剛性を増加させ、及び／又は相対運動を制振するスティフナーをさらに含み、スティフナーが、各々が本体の内部歪み又は相対変位を表す測定信号を決定するように配置された１つ又は複数のセンサと、各々が本体の一部に作動力を加えるように配置された１つ又は複数のアクチュエータと、センサのうちの少なくとも１つのセンサの測定信号に基づいて、アクチュエータの少なくとも１つに作動信号を提供して本体内の剛性を増加させ、及び／又は運動を制振するように構成された少なくとも１つのコントローラとを含む位置決めシステム。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置内でパターン付けされた基板のパラメータを測定する高速メトロロジーツールを提供する。
【解決手段】メトロロジーツールは、リソグラフィ装置内でパターン付けされた基板９のパラメータを測定するように構成されている。メトロロジーツールは、ベースフレーム５と、基板を保持するように構成された基板テーブル６と、基板のパラメータを測定するように構成された少なくとも１つのセンサと、基板テーブルおよびセンサのどちらか一方を他方に対して、少なくとも第１方向において変位させるための変位システム２５と、第１バランスマスと、基板テーブルおよびセンサのどちらか一方の第１方向における変位を相殺するため、第１方向の反対方向へ実質的に自由に移動するように第１バランスマス２０を移動可能に支持する第１ベアリング２１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シートの複数の区画領域に連続してパターンを形成する。
【解決手段】シートＳの区画領域ＳＡ_ｉに対する走査露光に際して、ステージＳＳＴ_１は、走査領域ＡＳの＋Ｘ端部の待機位置でシートＳの区画領域ＳＡ_ｉに対応する裏面部分をシートホルダＳＨ_１の保持面に吸着して、マスク（マスクステージ）と同期して、Ｘ軸方向（−Ｘ方向）に所定ストロークで移動する。この際に、マスクのパターンの一部に対応する照明光が投影光学系を介してシートＳに照射されることで、パターンが転写（形成）される。区画領域ＳＡ_ｉに対する走査露光後、ステージＳＳＴ_２は、待機位置にＸＹ平面内で移動して、シートＳの次の区画領域ＳＡ_ｉ+１に対応する裏面部分をシートホルダＳＨ_１の保持面に吸着後、上述と同様に走査露光方式で露光してパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】走査露光処理を中断させることなく、基板上のショット領域において、両スキャン方向の同期精度を算出する。
【解決手段】原版を保持するレチクルステージと、基板を保持するウエハステージとを所定の走査方向に同期移動させて、基板に定義される配列を構成する複数の領域を露光する露光処理方法であって、複数の領域において露光処理を通して取得する装置情報を抽出する抽出工程Ｓ１と、走査方向が第１の走査方向で同期移動された領域における装置情報に基づいて、第２の走査方向で同期移動された領域における装置情報を補間するための補間値を算出する算出工程Ｓ４、Ｓ５とを有する。 （もっと読む）

【課題】露光精度の低下を抑制する露光装置及びデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板に所定のパターンを形成する露光装置であって、所定状態に設定された気体を収容する第１空間と、前記第１空間内を移動可能に配置された移動体と、前記第１空間に接続され、前記移動体の移動に応じて前記第１空間内との間で前記気体の移動が可能に設けられた第２空間と、前記第２空間から前記第１空間に流入する前記気体を前記所定状態となるように調整する調整装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 移動体ＲＳＴのＹ軸方向の位置情報を、干渉計１６ｙと、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ（（２４Ａ，２６Ａ₁）、（２４Ｂ，２６Ｂ₁））とを用いて計測し、その計測結果に基づいてエンコーダの計測値を補正する補正情報を取得するための所定の較正動作を実行する。これにより、干渉計の計測値を用いて、その干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダの計測値を補正する補正情報が取得される。そして、エンコーダの計測値と前記補正情報とに基づいて、移動体をＹ軸方向に精度良く駆動する。 （もっと読む）

【課題】局所液浸型の露光装置のフットプリントの大型化を抑制する。
【解決手段】 露光装置１００は、投影光学系ＰＬの射出面と対向する位置にあるとき投影光学系ＰＬとの間で液体Ｌｑを保持可能な微動ステージＷＦＳ１と、微動ステージＷＦＳ１が投影光学系ＰＬとの間で液体Ｌｑを保持しているとき、微動ステージＷＦＳ１に所定距離以内に近接し、該近接状態を維持して微動ステージＷＦＳ１と共に移動し、その移動後に投影光学系ＰＬとの間で液体Ｌｑを保持するブレードＢＬを備えている。従って、投影光学系の直下に複数のステージを交換的に配置する必要がなく、露光装置のフットプリントの大型化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 粗微動ステージにおいて、微動ステージの位置を高精度に計測する。
【解決手段】 粗動ステージＷＣＳに保持された微動ステージＷＦＳのＸＹ平面内での位置情報の計測には、微動ステージのＸＹ平面に実質的に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対向して配置され、該グレーティングに計測ビームを照射するヘッドを含むエンコーダシステムが用いられる。そして、微動ステージは、駆動系によって、エンコーダシステムで計測された位置情報に基づいて、単独で、若しくは粗動ステージと一体で駆動される。この場合、エンコーダシステムのヘッドを微動ステージ（グレーティング）に近接して配置することができ、これにより、エンコーダシステムによる微動ステージの位置情報の高精度な計測が可能になる。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を高精度で計測する。
【解決手段】 露光ステーション２００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ１の位置情報は、計測アーム７１Ａを含む第１の微動ステージ位置計測系により計測され、計測ステーション３００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ２の位置情報は、計測アーム７１Ｂを含む第２の微動ステージ位置計測系により計測される。露光装置１００は、ステージＷＦＳ２が計測ステーション３００から露光ステーション２００へ搬送される際、このステージＷＦＳ２の位置情報を計測可能な第３の微動ステージ計測系を有する。第３の微動ステージ計測系は、複数のＹヘッド９６，９７を含むエンコーダシステムとレーザ干渉計７６ａ〜７６ｄを含むレーザ干渉計システムとを含む。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動系により、アーム部材７１から移動体ＷＦＳのＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果と、レーザ干渉計を用いてアーム部材７１の変動を計測する第２計測系の計測結果と、に基づいて移動体が駆動される。この場合、駆動系は、第１計測系の計測結果に含まれるアーム部材の変動に起因する計測誤差を、第２計測系の計測結果を用いて補正する。 （もっと読む）

【課題】大型化したウエハの搬送を容易にする。
【解決手段】 露光装置は、ＸＹ平面に沿って移動可能であるとともに、互いに接近及び離間が可能な第１部分と第２部分とを含む粗動ステージＷＣＳ１と、ウエハＷを保持するとともに、粗動ステージＷＣＳ１によって少なくともＸＹ平面内で相対移動可能に支持される微動ステージＷＦＳ１と、粗動ステージＷＣＳ１に支持されている微動ステージＷＦＳ１を単独で若しくは粗動ステージＷＣＳ１と一体で駆動する駆動系と、を備える。また、露光装置は、粗動ステージＷＣＳ１との間で、微動ステージＷＦＳ１の受け渡しが可能なリレーステージＤＲＳＴを備えている。 （もっと読む）

【課題】コイルに流れる電流の遅れに起因して生じる、駆動すべき方向とは異なる方向への力を低減させる。
【解決手段】コイル４、及び複数の永久磁石を有するリニアモータと、コイル４に電流を供給する電流ドライバ９と、該電流ドライバ９への指令を生成する制御手段７とを備えたステージ装置であって、制御手段７は、コイル４と永久磁石との相対位置に基づいて算出した電気角を用いた正弦波を、リニアモータへの推力指令値に乗ずるコミュテーション処理により指令を生成し、更に、指令に対して、推力指令値に比例した振幅を持ち、かつ、正弦波と９０度に位相がずれた正弦波の成分を含ませる。 （もっと読む）

【課題】 本体構造体の小型化を図ることで、露光装置全体の小型化を図る。
【解決手段】 本発明のステージ装置は、基板または原版を保持する保持部を有し、平面内を移動する可動体と、前記可動体に設けられ、前記保持部に基板または原版が保持された際に前記基板または原版よりも前記平面に垂直な方向に突出する反射面と、前記反射面に光を照射し、その反射光を用いて前記可動体の位置を計測する干渉計と、を備え、前記光は、前記反射面に対して、前記保持部が設けられた側から前記反射面に照射される。 （もっと読む）

【課題】
例えば、基板の搬入・搬出に伴う気圧の変化を低減することを目的とする。
【解決手段】
チャンバ（１０）を有し、前記チャンバ（１０）内で基板（３０）を露光する露光装置であって、前記チャンバ（１０）内の気圧を調節する調節手段と、前記チャンバに設けられて前記基板（３０）が出入する開口部（１）を開閉する開閉手段（２）と、を有し、前記調節手段は、前記チャンバ（１０）からの気体の流出量を前記開閉に応じて調節する、ことを特徴とする露光装置。 （もっと読む）

【課題】案内面の損傷を低減させるステージ装置を提供する。
【解決手段】
本発明のステージ装置は、ステージ部４と、ステージ部４の移動を案内する案内面を含む静圧軸受ガイド５と、ステージ部４に保持され且つ案内面に向けて気体を噴出するエアパッド２と、ステージ部４に保持され且つ案内面に対向した永久磁石３とを有するステージ装置であって、 静圧軸受ガイド５は、磁性体を含み且つ永久磁石３に対向した突出部を含む金属部７と、金属部７の硬度より高い硬度を有し、金属部７を被覆し、且つ案内面を有するセラミック部６とを含む。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム内の空気を恒温チャンバ内に導入する導入口近傍の温度変動を抑制すると共に、導入空気の不純物濃度を制御することにより、露光装置に送り込む空気の均一化を図ることを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる露光装置は、露光系本体と、この露光系本体を内部に設置し、露光系の設置環境を所定の雰囲気に保持する恒温チャンバと、クリーンルーム内の空気を前記恒温チャンバ内に導入する外気導入手段とを備えた露光装置であって、前記外気導入手段は、複数の導入口が開口され、各導入口の開口面積を可変自在に変更する機構により、外気導入量を調整する外気導入量調整手段を有する。 （もっと読む）

【課題】移動体の傾斜によって生じる計測システムの計測誤差の影響を受けることがない、高精度な移動体の駆動を実現する。
【解決手段】 制御装置により、計測システム７０によって計測される微動ステージＷＦＳの計測方向に関する位置情報と、該位置情報に含まれる微動ステージＷＦＳの傾斜に起因する計測誤差の補正情報とに基づいて、微動ステージＷＦＳが駆動される。従って、微動ステージＷＦＳの傾斜によって生じる計測システムの計測方向に関する位置情報に含まれる計測誤差の影響を受けることがない、高精度な微動ステージＷＦＳの駆動が可能になる。 （もっと読む）

【課題】光学エンコーダシステムへのファイバによって基板テーブルの力学的挙動および熱的挙動が悪化することがない、改良された光学エンコーダシステムを備えるリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置が光学エンコーダ測定システムを備え、このシステムは、照射ビーム１０４を第１スケール５に向けて送る照射システムを有する。このシステムは、照射ビームによる照射で第１スケール５から回折された１次回折ビーム９を第２スケール１１に向けて送るための光学部品７と、第２スケール１１に対する第１スケール５の位置を測定するために、第２スケール１１上での１次回折照射ビーム９の干渉および第２の回折後に２次回折ビーム１５を検出するディテクタ１３１とを有する。 （もっと読む）

【課題】配管を用いることによる悪影響を排除できるモータ装置を提供する。
【解決手段】固定子と可動子の一方にコイル体Ｃが設けられ、固定子と可動子の他方に発磁体が設けられる。コイル体を収容し、冷媒が装填される第１空間８１ａを有する第１収容部８１と、第１空間との間で冷媒が流動可能に装填される第２空間８２ａを有する第２収容部８２と、冷媒の流動経路に設けられ冷媒の熱を輻射により放熱する放熱装置８６と、第２空間に設けられ可動子の移動に伴う慣性力で移動して、冷媒を少なくとも第１空間から放熱装置に向けて流動させる流動装置８３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 干渉計と波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの量子化誤差に起因する計測誤差を低減した位置計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 移動体の位置を計測する干渉計と、前記干渉計の計測光の光路における気体の状態に起因する前記計測光の波長変動を補償する波長補償器と、前記干渉計と前記波長補償器の出力に応じた位置計測値を出力する制御器と、を備える位置計測装置であって、前記制御器は前記干渉計および前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル変換器を含み、前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの分解能が、前記干渉計の出力をデジタル信号に変換するときの分解能よりも高い。 （もっと読む）