【課題】半導体デバイスの小面積化を実現する。
【解決手段】電極と、第１絶縁体と、バンドギャップが２ｅＶ以上の第１半導体と、第２絶縁体と、第２半導体とが積層されており、第１半導体に接する１つ以上の電極と、第２半導体に接する２つ以上の電極とを少なくとも備えることを特徴とする半導体デバイス。 （もっと読む）

【課題】ドーパントの濃度をより高く確保しつつも、ドーパントが拡散されるジャンクション深さを制御することができ、改善された接触抵抗を実現し、チャネル領域との離隔間隔を減らしてチャネルのしきい電圧（Ｖｔ）を改善できる埋没ジャンクションを有する垂直型トランジスタ及びその形成方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板に第１の側面に反対される第２の側面を有して突出した壁体）を形成し、壁体の第１の側面の一部を選択的に開口する開口部を有する片側コンタクトマスクを形成した後、開口部に露出した第１の側面部分に互いに拡散度が異なる不純物を拡散させて第１の不純物層及び該第１の不純物層を覆う第２の不純物層を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】様々なオン抵抗の素子を容易に製造することができる半導体装置、半導体集合部材及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、素子部と、第１の電極部と、第２の電極部と、延出部と、を備える。素子部は、基板に設けられる。第１の電極部は、素子部の上に設けられ、素子部と導通する。第２の電極部は、素子部の上において第１の電極部と離間して設けられ、素子部と導通する。延出部は、素子部の上に設けられ、第１の電極部及び第２の電極部の周縁部から基板の周縁部に向けて延出して設けられる。 （もっと読む）

【課題】複雑な工程を回避すると共に、高い有効仕事関数値を得ることにより、高歩留まり及び高性能の半導体装置を実現できるようにする。
【解決手段】ダミー電極２２をマスクとして、ｎ型活性領域１３にｐ型の不純物イオンを導入することにより、ｎ型活性領域１３におけるダミー電極２２の両側方にｐ型のソースドレイン領域２５ｐを形成し、形成されたソースドレイン領域２５ｐに熱処理を施す。熱処理を施した後に、ｎ型活性領域１３の上に、ダミー電極２２を覆うように層間絶縁膜２６を形成し、形成された層間絶縁膜２６からダミー電極２２を露出し、露出したダミー電極２２を除去する。続いて、層間絶縁膜２６におけるダミー電極２２が除去された凹部２６ａに、第２の金属電極２７を選択的に形成する。 （もっと読む）

【課題】微細構造を有する半導体装置において、ゲート長の最適化が可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】基体上に形成された高誘電率材料からなるゲート絶縁膜１５と、ゲート絶縁膜１５上に形成されたメタルゲート電極と、メタルゲート電極の側壁に形成されたサイドウォールスペーサ２１とを備える半導体装置１０を構成する。そして、第１導電型のトランジスタ及び第２導電型のトランジスタのいずれか一方にメタルゲート電極側壁とサイドウォールスペーサ２１内壁との間に形成されたオフセットスペーサ１９が形成される。或いは、第１導電型のトランジスタと第２導電型のトランジスタとに、厚さの異なるオフセットスペーサ１９が形成される。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの耐圧を向上し得る半導体装置及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】半導体基板１０内に形成された第１導電型の第１の不純物領域３２、４６と、半導体基板内に形成され、第１の不純物領域に隣接する第２導電型の第２の不純物領域３４、４８と、第２の不純物領域内に形成された第１導電型のソース領域３０ａ、４４ａと、第１の不純物領域内に形成された第１導電型のドレイン領域３０ｂ、４４ｂと、ソース領域とドレイン領域との間における第１の不純物領域内に、第２の不純物領域から離間して埋め込まれた、二酸化シリコンより比誘電率が高い絶縁層１４と、ソース領域とドレイン領域との間における第１の不純物領域上、第２の不純物領域上及び絶縁層上に、ゲート絶縁膜２２を介して形成されたゲート電極２４ａ、２４ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】コンタクトホールの位置合わせが容易で、コンタクト抵抗の低いフィン型の電界効果型トランジスタを有する半導体装置に提供する。
【解決手段】フィン型の電界効果型トランジスタであって、ソース／ドレイン領域５０３の少なくともその幅が最も大きい部分では半導体領域５０２の幅よりも大きく、かつソース／ドレイン領域５０３の最上部側から基体側に向かって連続的に幅が大きくなっている傾斜部５１０を有し、該傾斜部表面にシリサイド膜５０４が形成されていることを特徴とする半導体装置とする。 （もっと読む）

【課題】１回のゲート絶縁膜形成工程で複数の厚みのゲート絶縁膜を同一の半導体基板上に形成することができるとともに、ゲート絶縁膜に酸化促進物質による欠陥が発生するのを抑制することができる半導体装置の製造方法の提供。
【解決手段】半導体基板の所定領域に拡散性を有する酸化促進物質を注入する酸化促進物質注入工程と、上記半導体基板に熱処理を行うことで当該半導体基板に上記酸化促進物質の注入量に応じた複数の厚みの酸化膜を形成する酸化膜形成工程と、上記所定領域に注入された酸化促進物質を拡散させることで上記酸化膜中に存在する上記酸化促進物質の濃度を低下させる酸化促進物質拡散工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の熱抵抗を低減すること、および小型化できる技術を提供する。
【解決手段】複数の単位トランジスタＱを有する半導体装置であって、半導体装置は、単位トランジスタＱを第１の個数（７個）有するトランジスタ形成領域３ａ、３ｂ、３ｅ、３ｆと、単位トランジスタＱを第２の個数（４個）有するトランジスタ形成領域３ｃ、３ｄとを有し、トランジスタ形成領域３ｃ、３ｄは、トランジスタ形成領域３ａ、３ｂ、３ｅ、３ｆの間に配置され、第１の個数は、第２の個数よりも多い。そして、単位トランジスタは、コレクタ層と、ベース層と、エミッタ層とを備えており、エミッタ層上には、エミッタ層と電気的に接続されたエミッタメサ層が形成され、このエミッタメサ層上に、エミッタ層と電気的に接続されたバラスト抵抗層が形成されている。 （もっと読む）

【課題】必要十分なキャパシティをもつ保持容量を備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】金属表面を有する基板１１と、前記金属表面を有する基板上に形成された絶縁膜１２と、前記絶縁膜上に形成された画素部とを有する半導体装置において、前記画素部は、ＴＦＴと、該ＴＦＴと接続する配線２１とを有しており、保持容量は、前記金属表面を有する基板、前記絶縁膜および前記配線により構成されている。前記絶縁膜の膜厚が薄いほど、また、前記絶縁膜と前記配線の接する領域の面積が大きいほど、大きなキャパシティを得られるので有利である。 （もっと読む）

【課題】ダミーゲート電極を備えるトレンチゲート構成のパワーＭＩＳＦＥＴにおいて、ＭＩＳＦＥＴの性能向上を図りながら、ゲート絶縁膜の静電破壊を防止することができる技術を提供する。
【解決手段】ダミーゲート電極９ａを備えるトレンチゲート構成のパワーＭＩＳＦＥＴと保護ダイオードとを同一の半導体基板１上に形成する。そして、保護ダイオードをソース電極２４とゲート配線２５の間に設ける。このような半導体装置の製造方法において、ダミーゲート電極９ａ用のポリシリコン膜と保護ダイオード用のポリシリコン膜を同時に形成する。また、パワーＭＩＳＦＥＴのソース領域と保護ダイオードのｎ^＋型半導体領域１５を同一工程で形成する。 （もっと読む）

【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い、新たな構造の半導体装置を提供する。
【解決手段】トランジスタのオフ電流を十分に小さくすることができる材料、例えば、ワイドギャップ半導体である酸化物半導体材料を用いて半導体装置を構成する。トランジスタのオフ電流を十分に小さくすることができる半導体材料を用いることで、長期間にわたって情報を保持することが可能である。また、書き込みワード線に電気的に接続する容量素子またはノイズ除去回路を設けることで、駆動回路等からメモリセルに入力されうる制御信号とは異なる短パルスやノイズ等の信号を低減または除去することができる。これにより、メモリセルが有するトランジスタが瞬間的にオンすることでメモリセルに書き込まれたデータが消失してしまう誤動作を防ぐことが可能である。 （もっと読む）

【課題】アンテナスイッチのコスト削減を図る観点から、特に、アンテナスイッチをシリコン基板上に形成された電界効果トランジスタから構成する場合であっても、アンテナスイッチで発生する高調波歪みをできるだけ低減できる技術を提供する。
【解決手段】ＲＸスルートランジスタ群ＴＨ（ＲＸ）は、互いに直列に接続されたＭＩＳＦＥＴＱ１〜Ｑ５において、それぞれのＭＩＳＦＥＴのボディ領域と、隣接するＭＩＳＦＥＴのソース領域あるいはドレイン領域とを、それぞれ、ダイオード（整流素子）を介して接続する。そして、特に、ｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴの場合、ＭＩＳＦＥＴのボディ領域から隣接するＭＩＳＦＥＴのソース領域あるいはドレイン領域へ向う向きが順方向となるようにダイオードを接続する。 （もっと読む）

【課題】活性領域をライン上に形成することで、コンタクト領域のばらつきを抑制し、リセスゲート電極を用いて隣接するトランジスタ間の分離を行う構造を提供する。
【解決手段】半導体基板中に第１の方向に延在して形成される素子分離領域で分離された活性領域と、第１の方向と交差する第２の方向に延在し、素子分離領域及び活性領域に連通する溝内に形成されたリセスゲート電極と。リセスゲート電極で分断された活性領域であって、リセスゲート電極の底面より浅い領域に形成されるＭＯＳトランジスタのソース／ドレイン領域とを備えた半導体装置であって、リセスゲート電極は、ＭＯＳトランジスタのゲート電極を構成する制御ゲート電極１６２ｔと、第１の方向に隣接するＭＯＳトランジスタを素子分離する補助ゲート電極１６２ｉで構成される。 （もっと読む）

【課題】低電圧トランジスタ及び高電圧トランジスタの双方の要求を満たし、高性能・高信頼性を実現しうる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ボロン又はリンを含む第１の不純物層と、第１の不純物層上に形成された第１のエピタキシャル層と、第１のエピタキシャル層上に第１のゲート絶縁膜を介して形成された第１のゲート電極と、第１のソース／ドレイン領域とを有する第１のトランジスタと、ボロン及び炭素又は砒素を含む第２の不純物層と、第２の不純物層上に形成された第２のエピタキシャル層と、第２のエピタキシャル層上に、第１のゲート絶縁膜よりも薄い第２のゲート絶縁膜を介して形成された第２のゲート電極と、第２のソース／ドレイン領域とを有する第２のトランジスタとを有する。 （もっと読む）

【課題】バイアス切替の前後でドレイン電流の大きさが変化しない縦型トランジスタを実現する。
【解決手段】半導体装置１は、第１の下部拡散層６Ａ、第１の上部拡散層７Ａ、及び第１のゲート電極９Ａを有する第１の縦型トランジスタ４Ａと、第２の下部拡散層６Ｂ、第２の上部拡散層７Ｂ、及び第２のゲート電極９Ｂを有する第２の縦型トランジスタ４Ｂと、第１及び第２のゲート電極９Ａ，９Ｂに接続されるゲート配線と、第１の下部拡散層６Ａ及び第２の上部拡散層７Ｂに接続される第１の配線Ｗ１と、第１の上部拡散層７Ａ及び第２の下部拡散層６Ｂに接続される第２の配線Ｗ２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 制御端子が浮遊状態になると、予期しないリーク電流などにより電極に電荷が蓄積され、電極の電位が変動し、スイッチが誤動作してしまう可能性がある。
【解決手段】 クーロン力により湾曲させることで第１の信号電極と第２の信号電極とを接触または分離することが可能な架橋部と、前記架橋部を制御するための制御端子とを有するスイッチ素子と、前記制御端子に接続された第１の不揮発性半導体素子と、前記制御端子および前記第１の不揮発性半導体素子に接続された第２の不揮発性半導体素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｇｅをチャネル材料に用いても、素子特性の劣化を抑制することを可能にする。
【解決手段】Ｇｅを含むｐ型半導体領域上にゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程と、前記半導体領域の、前記ゲート電極の両側に位置する第１および第２領域に、有機金属錯体および酸化剤を交互に供給して金属酸化物を堆積する工程と、前記金属酸化物の上に金属膜を堆積する工程と、熱処理を行うことにより、前記半導体領域および前記金属酸化物と、前記金属膜とを反応させて前記第１および第２領域に金属半導体化合物層を形成するとともに前記金属半導体化合物層と前記半導体領域との界面に金属偏析層を形成する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】第１，第２のゲート電極の実効ゲート長が短くなることを防止する。
【解決手段】第１のＭＩＳトランジスタｎＴｒ１は、第１のゲート電極１８ａにおけるゲート幅方向の側面上に形成された第１のオフセットサイドウォール２２ａと、第１のゲート電極におけるゲート長方向の側面及びゲート幅方向の側面上に第１のオフセットサイドウォールを介して形成された第２のオフセットサイドウォール２４ａと、第１のエクステンション領域２６ａとを備えている。第２のＭＩＳトランジスタｎＴｒ２は、第２のゲート電極１８ｂにおけるゲート長方向の側面及びゲート幅方向の側面上に形成された第３のオフセットサイドウォール２２ｂと、第２のゲート電極におけるゲート長方向の側面及びゲート幅方向の側面上に第３のオフセットサイドウォールを介して形成された第４のオフセットサイドウォール２４ｂと、第２のエクステンション領域２３ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】同期整流方式のＤＣＤＣ変換装置において、短絡防止期間中に、同期整流用ＦＥＴのドレインが負電圧となると、基板−ドレインの間に電流が流れ、基板の電位が揺すられる。同期整流用ＦＥＴを内蔵した素子の場合、この基板の電位の揺れは制御回路の誤動作を招く。
【解決手段】Ｐ型基板とバックゲートとが分離されたＮチャネルＭＯＳＦＥＴを２段縦積みにした構造を有する複合素子を、同期整流用ＦＥＴとして用い、複合素子の上段側ＦＥＴを、メイン側ＦＥＴがオフかつ下段側ＦＥＴがオフとなる短絡防止期間において、オフとする。 （もっと読む）