【課題】複雑な作製工程を必要とせず、消費電力を抑えることができる信号処理回路の提供する。
【解決手段】入力された信号の位相を反転させて出力する論理素子を２つ（第１の位相反転素子及び第２の位相反転素子）と、第１の選択トランジスタと、第２の選択トランジスタと、を有する記憶素子であって、酸化物半導体層にチャネルが形成されるトランジスタと容量素子との組を２つ（第１のトランジスタと第１の容量素子との組、及び第２のトランジスタと第２の容量素子との組）有する。そして、信号処理回路が有する記憶装置に上記記憶素子を用いる。例えば、信号処理回路が有するレジスタ、キャッシュメモリ等の記憶装置に上記記憶素子を用いる。 （もっと読む）

【課題】電源の供給を停止しても、記憶している論理状態が消えない記憶装置を提供する。また、該記憶装置を用いることで、電源供給停止により消費電力を抑えることができる信号処理回路を提供する。
【解決手段】第１乃至第４のノードを有する論理回路と、第１のノード、第２のノード、及び第３のノードと接続された第１の制御回路と、第１のノード、第２のノード、及び第４のノードと接続された第２の制御回路と、第１のノード、第１の制御回路、及び第２の制御回路に接続された第１の記憶回路と、第２のノード、第１の制御回路、及び第２の制御回路に接続された第２の記憶回路と、を有する記憶装置である。 （もっと読む）

【課題】同一基板上に酸化物半導体を用いたオフセットトランジスタとオフセットでないトランジスタを形成する。
【解決手段】酸化物半導体層２０２とゲート絶縁物２０３とゲート配線となる第１層配線２０４ａ、第１層配線２０４ｂを形成する。その後、オフセットトランジスタをレジスト２０６で覆い、酸化物半導体層に不純物を導入し、Ｎ型酸化物半導体領域２０７を形成する。その後、第２層配線２０９ａ、第２層配線２０９ｂ、第２層配線２０９ｃを形成する。以上の工程により、オフセットトランジスタとそうでないトランジスタ（アラインドトランジスタ等）を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】チップ面積の増加を抑えつつ、金属等からなるゲート電極を有するＭＩＳトランジスタと、抵抗体とを同一基板上に不具合なく形成する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板１上にそれぞれ設けられたＭＩＳトランジスタと抵抗素子とを備える。ＭＩＳトランジスタは、活性領域１ａと、活性領域１ａ上に設けられたゲート絶縁膜１８と、ゲート絶縁膜１８上に設けられたゲート電極１９とを有する。抵抗素子４０は、素子分離領域２上に設けられた抵抗体１０を有しており、ゲート電極１９の少なくとも一部は、抵抗体１０よりも小さな抵抗率を有しており、活性領域１ａ上においてはゲート電極１９の上面を覆っておらず、抵抗体１０の上面を覆っている層間絶縁膜１６がさらに設けられる。 （もっと読む）

【課題】作製コストが低減され、かつ歩留まりが向上された半導体装置、および消費電力が低減された半導体装置を提供することである。
【解決手段】第１のトランジスタおよび第２のトランジスタと、第１のトランジスタ群および第２のトランジスタ群を具備し、第１のトランジスタ群は、第３のトランジスタ、第４のトランジスタおよび４の端子を有しており、第２のトランジスタ群は、第５乃至第８のトランジスタおよび４の端子を有しており、第１のトランジスタ、第３のトランジスタ、第６のトランジスタ、第８のトランジスタはｎチャネル型トランジスタが用いられ、第２のトランジスタ、第４のトランジスタ、第５のトランジスタ、第７のトランジスタはｐチャネル型トランジスタが用いられる半導体装置である。 （もっと読む）

【課題】ＦＥＴの駆動力性能や遮断性能などを向上できる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に形成され、オフ状態とオン状態とで閾値電圧を可変させるＦＥＴからなる半導体素子と、を備える。前記半導体素子は、前記半導体基板のチャネル形成箇所の上方に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜の上方に配置されるゲート電極と、前記絶縁膜と前記ゲート電極との間に介挿され、前記チャネルとの間よりも、前記ゲート電極との間で、より多くの電子の授受を行なうチャージトラップ膜と、を有する。 （もっと読む）

【課題】消費電力を抑えることができる信号処理回路を提供する。
【解決手段】記憶素子に電源電圧が供給されない間は、揮発性のメモリに相当する第１の記憶回路に記憶されていたデータを、第２の記憶回路に設けられた第１の容量素子によって保持する。酸化物半導体層にチャネルが形成されるトランジスタを用いることによって、第１の容量素子に保持された信号は長期間にわたり保たれる。こうして、記憶素子は電源電圧の供給が停止した間も記憶内容（データ）を保持することが可能である。また、第１の容量素子によって保持された信号を、第２のトランジスタの状態（オン状態、またはオフ状態）に変換して、第２の記憶回路から読み出すため、元の信号を正確に読み出すことが可能である。 （もっと読む）

【課題】電源の供給を停止しても、記憶している論理状態が消えない記憶装置を提供する。また、該記憶装置を用いることで、電源供給停止により消費電力を抑えることができる信号処理回路を提供する。
【解決手段】第１及び第２のノードを有する論理回路と、第１のノードに接続された第１の記憶回路と、第２のノードに接続された第２の記憶回路と、第１のノード、第２のノード、第１の記憶回路、及び第２の記憶回路に接続されたプリチャージ回路と、を有し、読み出しの際に、プリチャージ回路は、プリチャージ電位を第１のノード及び第２のノードに出力し、第１の記憶回路及び第２の記憶回路は、チャネルが酸化物半導体膜に形成されるトランジスタを含む記憶装置である。 （もっと読む）

【課題】 単純で容易な実装手段によりＭＯＳＦＥＴの閾値電圧を制御することが可能な半導体装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】 一実施形態によれば、電界効果トランジスタは、ＳＴＩ（浅いトレンチ分離）を含んでいる半導体基板402と、ｐ−ＦＥＴ401及びｎ−ＦＥＴ403と、ｐ−ＦＥＴ401が形成される基板の窪み内のシリコン・ゲルマニウム層800と、ｎ−ＦＥＴ部上とシリコン・ゲルマニウム層上に設けられた、ハフニウム化合物とレアアース化合物を含むゲート誘電体414, 432と、ゲート誘電体414, 432上にそれぞれ配置された互いに同じ材料を含むゲート電極416, 434とを具備している。 （もっと読む）

【課題】装置面積を増大させることなく、保護素子を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｐ型のIII族窒化物半導体からなる第１Ｐ型層２００と、第１Ｐ型層２００の一部上には、ゲート絶縁膜４２０およびゲート電極４４０とが設けられている。第１Ｐ型層２００内のうち、ゲート電極４４０の両脇には、Ｎ型のソース領域３４０およびドレイン領域３２０が設けられている。また、第１Ｐ型層２００の下には、Ｎ型のIII族窒化物半導体からなる第１Ｎ型層１００が設けられている。基板内には、Ｎ型のIII族窒化物半導体とオーミック接続する材料からなるオーミック接続部（たとえばＮ型ＧａＮ層５２０）が、ソース領域３４０および第１Ｎ型層１００と接するように設けられている。また、ドレイン電極６００は、ドレイン領域３２０および第１Ｐ型層２００と接するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】メタルゲート電極とポリシリコン抵抗素子とを同じ半導体基板に混載するとともに、半導体装置の設計の自由度を向上し、また、半導体装置の小型化を図る。
【解決手段】半導体基板１の主面上にゲート絶縁膜を介してＭＩＳＦＥＴ用のメタルゲート電極が形成され、また、半導体基板１の主面上に積層パターンＬＰを介してポリシリコン抵抗素子用のシリコン膜パターンＳＰが形成されている。メタルゲート電極は金属膜とその上のシリコン膜とを有し、積層パターンＬＰは絶縁膜３ａとその上の金属膜４ａとその上の絶縁膜５ａとを有し、絶縁膜３ａは、前記ゲート絶縁膜と同層の絶縁膜により形成され、金属膜４ａはメタルゲート電極の金属膜と同層の金属膜により形成され、シリコン膜パターンＳＰは、メタルゲート電極のシリコン膜と同層のシリコン膜により形成されている。シリコン膜パターンＳＰは、平面視で絶縁膜５ａに内包されている。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路における消費電力を低減すること。また、半導体集積回路における動作の遅延を低減すること。
【解決手段】記憶回路が有する複数の順序回路のそれぞれにおいて、酸化物半導体によってチャネル形成領域が構成されるトランジスタと、該トランジスタがオフ状態となることによって一方の電極が電気的に接続されたノードが浮遊状態となる容量素子とを設ける。なお、酸化物半導体によってトランジスタのチャネル形成領域が構成されることで、オフ電流（リーク電流）が極めて低いトランジスタを実現することができる。そのため、記憶回路に対して電源電圧が供給されない期間において当該トランジスタをオフ状態とすることで、当該期間における容量素子の一方の電極が電気的に接続されたノードの電位を一定又はほぼ一定に保持することが可能である。その結果、上述した課題を解決することが可能である。 （もっと読む）

【課題】動作速度の低下を抑制しつつ、消費電力を低減する。
【解決手段】第１の半導体領域の上に絶縁領域を有し、且つ絶縁領域の上に第２の半導体領域を有する基板に設けられた第１の電界効果トランジスタと、基板の上に設けられた絶縁層と、絶縁層の一平面に設けられ、酸化物半導体層を含む第２の電界効果トランジスタと、第２の電界効果トランジスタのソース及びドレインと同一工程により形成され、第１の電界効果トランジスタの閾値電圧を制御するための電圧が供給される制御端子と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＭＩＳＦＥＴが微細化されてくると、単チャネル効果が更に顕著となり、トランジスタの特性ばらつきが増大しやすくなる。ここで、トランジスタの特性ばらつきは、従来のゲート長に依存するものに加えて、オフセットスペーサ長やサイドウォールスペーサ長に依存するものの影響が強くなることが本願発明者らによって明らかにされた。
【解決手段】本願の発明は、ＣＭＩＳ型半導体集積回路装置の製造方法において、オフセットスペーサ長とサイドウォールスペーサ長の和をＮチャネルＭＩＳＦＥＴとＰチャネルＭＩＳＦＥＴに於いて、調整するものである。 （もっと読む）

【課題】トランジスタが仮にディプレッション型である場合でも、安定して動作することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】開示する発明の一態様の半導体装置は、第１の電位を第１の配線に供給する機能を有する第１のトランジスタと、第２の電位を第１の配線に供給する機能を有する第２のトランジスタと、第１のトランジスタのゲートに第１のトランジスタがオンをオンにするための第３の電位を供給した後、第３の電位の供給を止める機能を有する第３のトランジスタと、第２の電位を第１のトランジスタのゲートに供給する機能を有する第４のトランジスタと、第１の信号にオフセットを施した第２の信号を生成する機能を有する第１の回路と、を有し、第４のトランジスタのゲートには、第２の信号が入力され、第２の信号の最小値は、第２の電位未満の値である。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の供給の停止及び再開を行う構成において、揮発性の記憶装置と不揮発性の記憶装置との間のデータの退避及び復帰の必要のない半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】不揮発性の半導体記憶装置とする際、揮発性の記憶装置と不揮発性の記憶装置を分離することなく構成する。具体的に半導体記憶装置には、酸化物半導体を半導体層に有するトランジスタ及び容量素子に接続されたデータ保持部にデータを保持する構成とする。そしてデータ保持部に保持される電位は、電荷をリークすることなくデータの出力が可能なデータ電位保持回路及び電荷をリークすることなくデータ保持部に保持した電位を容量素子を介した容量結合により制御可能なデータ電位制御回路で制御される。 （もっと読む）

【課題】ＦＥＴデバイスにおける閾値電圧をより良く制御できるデバイスの提供。
【解決手段】基板１０１と、基板１０１の上のＳｉＧｅ層１０３と、ＳｉＧｅ層上の半導体層１０５と、基板、ＳｉＧｅ層及び半導体層に隣接した絶縁層１０９ａと、絶縁層に隣接した一対の第１のゲート構造体１１１と、絶縁層上の第２のゲート構造体１１３とを含む電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）と、ＦＥＴを形成する方法である。絶縁層は、ＳｉＧｅ層の側面、並びに半導体層の上面、半導体層の下面及び導体層の側面に隣接していることが好ましい。ＳｉＧｅ層は、炭素を含むことが好ましい。一対の第１のゲート構造体が、第２のゲート構造体に対して実質的に横断方向にあることが好ましい。さらに、第１のゲート構造体の対は、絶縁層によりカプセル封入されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、配線数を削減することによって高集積化が図られた半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】トランジスタのオフ電流を十分に小さくすることができる材料、例えば、ワイドギャップ半導体である酸化物半導体材料を用いて半導体装置を構成する。トランジスタのオフ電流を十分に小さくすることができる半導体材料を用いることで、長期間にわたって情報を保持することが可能である。また、書き込み用のワード線と読み出し用のワード線を共通化し、かつ書き込み用のビット線と読み出し用のビット線を共通化することにより配線数を削減し、単位面積あたりの記憶容量を増加させる。 （もっと読む）

【課題】トランジスタ特性のバラツキが低減された半導体装置を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板１０１は、Ｐ型半導体層１０２の上にＮ型半導体層１０４が形成された半導体基板１２、その上に形成されたＢＯＸ層１０６、及びＢＯＸ層上に形成されたＳＯＩ層１０８を有する。第１素子分離絶縁層１１０ｂは、ＳＯＩ基板１０１に埋め込まれ、下端１６がＰ型半導体層１０２に達し、第１素子領域（ＮＦＥＴ領域３０）と第２素子領域（ＰＦＥＴ領域４０）とを分離する。Ｐ型トランジスタ１３０ｂは、第１素子領域４０に位置し、チャネル領域１２０ｂを有し、Ｎ型トランジスタ１３０ａは、ＮＦＥＴ領域３０に位置し、チャネル領域１２０ａを有する。第１バックゲートコンタクト１３４ｂは、第１素子領域４０に位置する第２導電型層層１０４に、第２バックゲートコンタクト１３４ａは、第２素子領域３０に位置する第２導電型層１０４に接続される。 （もっと読む）

【課題】電源をオフしてもデータを保持することができ、退避動作と復帰動作が不要なレジスタ回路を提供する。
【解決手段】複数のレジスタ構成回路と、オフ電流が小さい第１のトランジスタと、オフ電流が小さい第２のトランジスタと、を有するレジスタ回路において、データ保持部を前記第１のトランジスタのソース及びドレインの一方に接続し、前記第２のトランジスタのソース及びドレインの一方に接続する。前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタはオフ電流が小さいので、データ保持部の電荷がリークせず、レジスタ回路の電源をオフしてもデータ保持部にデータが保持される。そのため、退避動作と復帰動作を行わなくてよい。 （もっと読む）