【課題】レーザ加工により安定かつ高速に微細な縞状の加工をするレーザ加工装置を得ること。
【解決手段】加工対象の被加工面に対してパルスレーザビームを照射して縞状のレーザ加工を行うレーザ加工装置であって、前記被加工面を上にした状態で前記加工対象を保持するとともに搬送する加工対象搬送手段と、前記加工対象上での前記パルスレーザビームの位置を第１の方向に相対的に移動させるレーザビーム移動手段と、パルスレーザビームを出射するレーザ発振器と、前記パルスレーザビームを、隣接する分岐されたレーザビーム同士が前記第１の方向において規定の距離だけ間隔を有するように配置された分岐パターンへ分岐する回折光学素子と、前記回折光学素子で分岐されたパルスレーザビームを前記被加工面上に集光する集光手段と、を備え、前記分岐されたパルスレーザビームと加工対象とを相対的に移動させて前記被加工面に対して縞状のレーザ加工を行う。 （もっと読む）

【課題】セル分離時における裏面電極層の金属残渣の発生に起因したセル分離部の絶縁抵抗の低下や短絡の発生を防止して発電効率および歩留まりに優れた薄膜太陽電池を製造することができる薄膜太陽電池の製造方法を得ること。
【解決手段】光電変換層上に中間導電体層を形成する工程と、中間導電体層の表面から第１電極層の表面まで達する分離溝を形成する工程と、中間導電体層が光電変換層の側壁部から分離溝の内部方向に突出した突出部を形成する工程と、中間導電体層の表面から第１電極層の表面まで達する接続溝を形成する工程と、接続溝内において第２電極層と第１電極層とを電気的に接続するとともに分離溝内において第２電極層と第１電極層とを電気的に絶縁するように、突出部の下面または光電変換層の側壁部の少なくとも一部には導電膜を被覆せずに、導電膜を中間導電体層上および接続溝内に形成して第２電極層を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の特性の低下を安定して抑制することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板の表面上にぬれ性改善膜を形成する工程と、ぬれ性改善膜の表面上に第１導電型または第２導電型のドーパントを含有するドーパント拡散剤を塗布する工程と、ドーパント拡散剤から半導体基板にドーパントを拡散させることによってドーパント拡散層を形成する工程とを含む半導体装置の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】太陽電池セルの外周側面に力が作用した場合でも，ｐｎ接合の破壊を抑制して、太陽電池セルの発電能力を安定して維持することができる、太陽電池セルおよび太陽電池セルの製造方法を提供する。
【解決手段】第１導電型の結晶系半導体で形成された基板１と、基板１上に積層された第１導電型の第１半導体層３Ａ，３Ｂ、および、第１半導体層３Ａ，３Ｂとの境界にｐｎ接合部９Ａ，９Ｂを形成するように第１半導体層３Ａ，３Ｂの上面に積層された、第２導電型の第２半導体層４Ａ，４Ｂを含む積層体とを備えている。基板１は、その主表面から所定の深さにかけて第２導電型の拡散層１Ｂが設けられ、拡散層１Ｂとの境界にｐｎ接合部８Ａ，８Ｂが形成された第１導電型領域１Ａを有している。太陽電池セルの周縁に、積層体の上部から、基板１内のｐｎ接合部８Ａ，８Ｂより下方まで溝部１０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】変換効率および信頼性の向上した裏面電極型太陽電池および、電極形成工程の少ない、導電性ペーストを用いた裏面電極型太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の太陽電池は、第１導電型の半導体基板の一表面に第１導電型と同じ導電型の第１ドーピング領域と、第１導電型と異なる導電型である第２導電型の第２ドーピング領域とを備え、第１ドーピング領域上に形成された第１電極と、第２ドーピング領域上に形成された第２電極とを含む裏面電極型太陽電池であって、上記第１電極と第２電極とは焼成電極であり、第１電極および第２電極のうち少なくとも第１電極は、その表面に導電性被覆層を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高いキャリア捕集率を有し、光電変換効率に優れた安価な太陽電池およびその製造方法を得ること。
【解決手段】一面側に第２導電型の不純物元素が拡散された第２導電型層２を有する第１導電型の半導体基板１と、前記第２導電型層２上に形成された第１電極４と、前記半導体基板１の他面側に形成されたパッシベーション膜９と、前記パッシベーション膜９を貫通して前記半導体基板１の内部方向に延在して埋設された複数の埋め込み電極６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シリコンの表面を、凹凸がナノオーダーになる程度に粗化する方法を提供する。
【解決手段】ＣＦ_４とＡｒとＨ_２Ｏを含むフッ素系原料ガスを大気圧近傍下のプラズマ空間１３に導入して、ＨＦを含むフッ素系反応ガスを生成する。このフッ素系反応ガスと、Ｏ_３を含む酸化性反応ガスと、プラズマ空間１３を経ないＮ_２等の希釈用不活性ガスとを混合して処理ガスを得、この処理ガスをシリコン基板９からなる被処理物に接触させる。フッ素系反応ガスと希釈用不活性ガスの流量比を、（フッ素系反応ガス）：（希釈用不活性ガス）＝２：３〜２：１２とし、好ましくは２：５〜２：８にする。 （もっと読む）

【課題】太陽電池シートアレイに占めるフレキシブル太陽電池セルの高い面積充填率と、単位太陽電池シートの高い製造歩留を実現する大規模な太陽電池シートアレイの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の太陽電池シートアレイの製造方法は、インターコネクタを備えたフレキシブル性を有する複数の太陽電池セルの各インターコネクタを溶接し、単位太陽電池ストリングスを作製する工程と、単位太陽電池ストリングスの表面に保護フィルムを貼り付ける工程と、複数の単位太陽電池ストリングスを溶接し、太陽電池ストリングスを作製する工程と、太陽電池ストリングスの裏面に裏面フィルムを貼りつける工程と、をこの順で含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の多接合型太陽電池等において、太陽電池セルを積層するため半導体層の構造上の制約が多く十分な特性が得られないという問題があったので、積層構造の自由度を高め、光電変換効率を増大させることを目的とする。
【解決手段】複数の光吸収スペクトルの異なる太陽電池セルを積層した多接合型太陽電池において、太陽電池セルは、両面に開口する貫通孔を有する透明基板上に形成され、透明基板の貫通孔内部及び太陽電池セルの形成されていない側の面が、透明導電膜で被覆されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価で容易に製造可能でありながら、広い波長領域の光から光電変換可能であり、発電効率を高めることが可能とした光発電素子を提供する。
【解決手段】 光発電素子は、ｐ型シリコンからなる基板２と、基板２の受光面２ａの表面にスリット状に配置された実質的に垂直な複数の溝３と、該溝３が形成されていない非溝形成部４と、受光面の反対面に形成された金属膜５を有する。
前記溝の内側面３ａに形成されたｐｎ接合層が、受光面２ａに対して垂直、すなわち、光入射方向に対し平行となるため、内側面３ａに形成されたｐｎ接合層近傍に浸透した光が効率的に吸収される。また、基板内部への浸透性が小さい短波長の光は、前記受光面の表面４ａおよび溝の底面３ｂにおいても吸収される。このように、波長の短い光は受光面の表面近傍で吸収され、長波長は溝の垂直面で吸収されるため、広い波長域の光を吸収することができる。 （もっと読む）

【課題】伝播光と非伝播光を利用することで、高い光電変換効率を有する太陽電池及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の太陽電池は、光電変換層と、光入射面側電極層と、対向電極層と、を具備し、前記光入射面側電極層が前記層を貫通する複数の開口部を有し、かつ、その層厚が１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の範囲にあり、前記開口部の１つあたりの面積が８０ｎｍ^２以上０．８μｍ^２以下の範囲にあり、前記光入射面側電極の開口率が１０％以上６６％以下の範囲にあり、前記光電変換層の、前記開口部の直下部分に凹部が形成されていることを特徴とする。この太陽電池は、特定の構造を有する光入射面側電極を作製した後に、さらにエッチングなどにより光電変換層を加工することにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】モジュール化に伴い大きな応力が発生した場合であっても発電部の破損を防止することが可能な、太陽電池及びその製造方法を提供する。
【解決手段】発電部と、金属製の第１電極と、発電部の他面側に配設された第２電極とを有し、発電部の一面側の表面の一部と第１電極とが接触し、第１電極と接触していない発電部の一面側の表面の少なくとも一部に第１電極と同じ厚さの光を吸収しない炭素層が配設され、該炭素層の硬さは第１電極の硬さ以上である太陽電池とし、凸部を有する金属基板の凸部側に凸部の高さと同じ厚さの炭素層を作製する工程と、作製された炭素層の金属基板が設けられていない側の表面へ発電部を作製する工程と、作製された発電部の炭素層が設けられていない表面へ第２電極を作製する工程と、金属基板の凸部以外の部位を溶解させて除去することにより第１電極を作製する工程と、を有する太陽電池の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】低抵抗で透明性に優れる共に平坦性に優れる透明導電性基板及び該透明導電性基板を安価に製造可能な製造方法を提供する。
【解決手段】金属微粒子分散溶液を基材２上に塗布し乾燥させ、網目状の第一導電性層３を基材２上に形成させた後、第一導電性層３を透明性の高い接着層７で完全に覆い、前記基材２と被転写基板８とを貼り合せた後、基材２を剥離する。これにより第一導電性層３と接着層７とが一体的に被転写基板８に熱転写させる。その後、熱転写された第一導電性層３の表面１５をエッチングし、エッチングで形成された孔部２１にめっきを施す。これにより低抵抗で透明性に優れる共に平坦性に優れる透明導電性基板１が得られる。 （もっと読む）

【課題】特性に優れた化合物半導体太陽電池およびその化合物半導体太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の化合物半導体光電変換セルと、第１の化合物半導体光電変換セル上に設置された第２の化合物半導体光電変換セルと、第１の化合物半導体光電変換セルと第２の化合物半導体光電変換セルとの間に設置された化合物半導体バッファ層とを備え、第１の化合物半導体光電変換セルと化合物半導体バッファ層とは隣り合う位置に設置されており、第１の化合物半導体光電変換セルと、化合物半導体バッファ層を構成する化合物半導体層のうち第１の化合物半導体光電変換セルに最も近い位置に設置されている化合物半導体層との格子定数差比が０．１５％以上０．７４％以下である化合物半導体太陽電池とその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】高いｐｎ電極解像度、薄い基板対応、低い製造プロセスの裏面接合型太陽電池の低コストな製造方法が求められている。
【解決手段】低温スパッタエピタキシャル堆積法と遮蔽マスクの組み合わせによって一導電型シリコン領域およびその電極を形成し、続いて自己整合的にもう一方の導電型シリコン領域とその電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の裏面側の出力取出用バスバー部と集電部の重なり部分で割れが発生しても出力損失を最小限に抑える。
【解決手段】表面及び裏面を有する半導体基板１と、半導体基板の表面側及び裏面側のそれぞれに配置された出力取出用バスバー部６，４と、半導体基板の裏面側に配置された集電部５とを備えてなり、半導体基板の裏面側に配置された出力取出用バスバー部４は、半導体基板の中央部及び両端部のそれぞれに形成されている太陽電池素子とする。 （もっと読む）

【課題】多結晶半導体基板を用いた場合でも、裏面電極近傍における少数キャリアの再結合を従来に比して抑え、耐熱性を改善した裏面電極構造が得られる光起電力装置の製造方法を得ること。
【解決手段】Ｐ型多結晶シリコン基板１０１の受光面側にＮ型拡散層１０２と反射防止膜１０３を形成する工程と、反射防止膜１０３上に表面電極形状に導電性ペーストを形成し、８００℃以上の温度で焼成する工程と、シリコン基板１０１の裏面側に裏面電極構造を形成する工程と、を含み、焼成前に、シリコン基板１０１の裏面上にプラズマＣＶＤ法によって、水素を含む第１の水素含有プラズマＣＶＤ膜を形成し、焼成後で裏面電極構造形成前に、第１の水素含有プラズマＣＶＤ膜を除去する工程をさらに含み、裏面電極構造を形成する工程では、プラズマＣＶＤ法によって形成された第２の水素含有プラズマＣＶＤ膜がシリコン基板１０１の裏面上に形成される。 （もっと読む）

【課題】工数を低減して、効率的に製造することが可能な裏面電極型太陽電池および裏面電極型太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】一方の表面に第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面上にパッシベーション膜を形成する工程と、パッシベーション膜上にエッチングマスク膜を形成する工程と、エッチングマスク膜により一方の表面側をマスクして半導体基板の表面とは反対側の他方の表面をエッチングする工程とを含む裏面電極型太陽電池の製造方法と裏面電極型太陽電池である。 （もっと読む）

【課題】コンタクト層をエッチングする際に受光面電極材料がエッチングされるのを防止し、高い光電変換効率を維持する。
【解決手段】基板上に太陽電池層及びコンタクト層を順次形成した化合物半導体ウェハを含む、太陽電池素子の製造方法において、前記コンタクト層上に保護膜を形成する工程と、前記保護膜上にフォトレジストを塗布したのちフォトリソグラフィによって電極パターンを形成する工程と、前記フォトレジストをマスクとして保護膜をエッチングにより除去する工程と、蒸着により電極材料をコンタクト層上に積層させたのちリフトオフによって積層電極を形成する工程と、前記保護膜をマスクとして前記積層電極の表面にコンタクト層を除去するためのエッチング液に不溶な材料で被覆膜を形成して受光面電極を形成する工程と、前記保護膜を除去する工程と、前記受光面電極をマスクとしてコンタクト層をエッチングにより除去する工程と、を含むことを特徴とする太陽電池素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】背面電極内に光透過部をパターン形成することによって光透過部を通して太陽光が透過されるようにし、従来の薄膜型太陽電池に比べて光透過領域が増加し、ガラス窓の代用とするのに充分な可視圏を確保できる薄膜型太陽電池を提供する。
【解決手段】基板と、基板上に所定間隔離間して形成される前面電極と、前面電極上にコンタクト部または分離部を介在して離間して形成される半導体層と、コンタクト部を通じて前面電極と連結され、分離部を介在して離間して形成される背面電極と、を含んでなり、ここで、光透過領域を増大させるために、所定部分に光透過部が設けられるように背面電極がパターン形成されたことを特徴とする薄膜型太陽電池及びその製造方法を提供する。 （もっと読む）