【課題】湿式エッチングで太陽電池用シリコン基板の表面にピラミッド状の凹凸を形成するに際し、エッチング水溶液の組成変化を防止し安価かつ効果的に低反射率化することが可能なエッチング液を提供する。
【解決手段】シリコン基板を浸漬して、該基板表面にピラミッド状の凹凸を均一に形成させるエッチング液であって、該エッチング液が、一分子中に一個以上の水酸基を有し、溶解度パラメータが８．０〜１３．０[ｃａｌ／ｃｍ³]^0.5の範囲内で、かつ大気圧下での沸点が９５℃以上の化合物（Ａ）と、水酸化アルカリ（Ｂ）とを含む水溶液からなるエッチング液。 （もっと読む）

【課題】第２セル層の膜厚を、より高精度で計測可能な方法及び膜厚計測装置、並びに、該膜厚計測方法を用いて、基板面内で膜厚が均一になるように第２セル層を製膜する光電変換装置の製造方法を提供する。
【解決手段】透明電極層及び光電変換層が形成された基板面内の任意の位置における透過率と、予め測定された透明電極層ヘイズ率及び第１セル層膜厚とに基づき、第２セル層の膜厚を算出する工程とを含む膜厚計測方法。該膜厚計測方法により第２セル層の膜厚を算出する第２セル層膜厚算出部を備える膜厚計測装置。該膜厚計測方法に基づき、基板面内の任意位置における第２セル層の膜厚を算出する工程と、第２セル層の膜厚が許容膜厚範囲から外れる場合に、第２セル層製膜条件を調整する工程とを含む光電変換装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】製造工程の複雑化を招来することなく、高い光電変換効率を有する太陽電池を提供する。
【解決手段】本発明に係る太陽電池１０は、導電型の異なる複数の半導体層を含む半導体層群１１と、該半導体層群１１の光入射側と反対側の面に形成された裏面電極１４とを備えた太陽電池１０であって、半導体層群１１の光入射側と反対側の面と裏面電極１４との間にポーラスシリコン層１５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】太陽電池を製造する新規な方法を提供すること。
【解決手段】第一基板を準備し、該第一基板上に半導体物質の順に重ねられた層を堆積して太陽電池を形成し、順に重ねられた層の上部の半導体層と実質的に類似する熱膨張係数を有する物質から構成される代替第二基板を取り付けて、接着し、第一基板を取り除くことにより太陽電池を製造する方法。 （もっと読む）

【課題】熱拡散によって生じた半導体基板のシート抵抗の面内ばらつきを低減する。
【解決手段】半導体基板１を縦置きして、拡散炉で熱拡散を行うと、半導体基板１の上辺７のシート抵抗が下辺８のシート抵抗より低くなって、シート抵抗の面内ばらつきが生じる。熱拡散後、基板表面処理装置を使用して、ｐｎ接合分離をエッチングによって行うとき、半導体基板１の上辺７が搬送方向上流側に向くように、半導体基板１を搬送ローラ６に設置する。半導体基板１は搬送されながらエッチングされ、不要なｎ層が除去される。搬送するときに後端となる半導体基板１の上辺７は先端よりもエッチング量が多くなるので、半導体基板１の上辺７のシート抵抗が増加し、面内ばらつきが低減される。 （もっと読む）

【課題】太陽電池の発電性能を安定させるとともに、太陽電池の製造時における歩留まりの向上を図ることができる太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】メンテナンス等で大気開放された後に閉じられた容器の内部の気体を排気して真空度を上げる排気工程Ｓ２と、不活性ガスに酸素原子を含む混入ガスを所定濃度だけ混合させた混合ガスを排気された容器の内部に満たし、容器の内部に配置されたターゲットと基板との間に電圧を印加して、太陽電池を構成する膜を基板に製膜する本製膜工程Ｓ４と、本製膜工程Ｓ４の前に、混合ガスにおける混入ガスの濃度を、所定濃度よりも低くした混合ガスを容器の内部に供給して、基板に膜を所定期間の間だけ製膜する初期製膜工程Ｓ３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】下部電極中の金属元素と接合層中の酸素が反応し、下部電極が酸化してしまうのを抑制する。また、下部電極中の金属元素が、光電変換層である半導体層に拡散して汚染することや、反応して半導体層が消失するのを抑制する。
【解決手段】絶縁表面を有する基板上に、裏面電極層、半導体接合を有する結晶性半導体層、受光面電極層とを有し、前記裏面電極層は、金属窒化物または高融点金属で形成された第１の導電層と、アルミニウム（Ａｌ）または銀（Ａｇ）を主成分とする第２の導電層と、半導体材料と反応性が低い第３の導電層とが積層された構造を有する光電変換装置及びその作成方法に関する。 （もっと読む）

【課題】太陽電池の受光面のシリコン基板表面にミクロンサイズの凹凸を安定して形成させることのできる太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板表面に凹凸を形成するエッチング工程を含む太陽電池の製造方法において、上記エッチング工程は、アルカリ水溶液を含むエッチング液を用いて、８０℃以上でエッチング処理することを特徴とする。また、エッチング液は、沸点が１００℃以上のアルコール系溶剤を含むことが好ましく、アルカリ水溶液は、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液および水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）水溶液から選択された少なくとも１種の水溶液であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】スルーホール内部における短絡の発生とスルーホール内部に形成されるダメージ層の除去とを可能とする太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】
本実施形態に係る太陽電池１の製造方法は、ｎ型単結晶シリコン基板１０の受光面１０Ａ側からｎ型単結晶シリコン基板１０内部まで延びる第１穴２０を形成する工程と、受光面１０Ａ上及び第１穴２０の内壁面上に、ｉ型非晶質シリコン層１１とｐ型非晶質シリコン層１２とＴＣＯ層１３とを順次形成する工程と、裏面１０Ｂ上にｉ型非晶質シリコン層１４とｎ型非晶質シリコン層１５とＴＣＯ層１６とを順次形成する工程と、ｎ型単結晶シリコン基板１０の裏面１０Ｂ側から第１穴２０まで延びる第２穴３０を形成することによってスルーホールＴＨを形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】全面に亘る局所的な特性分布を非破壊で、かつ、効率的に検出し得る光電変換装置モジュールの検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の短冊状をした太陽電池セル７がその短手方向（Ｙ方向３１）に隣り合うように形成され、直列接続された太陽電池モジュール５を載置するトレイ２３と、太陽電池モジュール５に光を照射する太陽電池セル７の長手方向（Ｘ方向３３）に延在する複数のＬＥＤモジュール３７が、Ｘ方向３３に隣り合うように太陽電池セル７に対応して配列された光源装置２７と、トレイ２３及び光源装置２７をＹ方向３１に相対的に移動させる駆動装置２９と、各ＬＥＤモジュール３７に対応して設置された太陽電池モジュール５の特性を測定する複数の測定部６５と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の太陽電池においては、導電性電極が形成されている領域では、接触抵抗を減らすために、一般的には、高いドープ濃度が求められることが常である。しかしながら、エミッタ（ｅｍｉｔｔｅｒ）が形成されている領域では短い波長の周波数応答性を高めるために、ドープ濃度を制限しなければならない。
【解決手段】異なるドープ部分を備えた太陽電池の製造方法であって、下記の工程を含む。まず、基板を準備した後、ドープ層をその上に形成する。ドープ層のヘビードープ部分を一部または全て除去する。反射防止層を形成するとともに、パターンニングされた金属ペーストをこの反射防止層上に塗布する。金属ペーストを加熱して、太陽電池の金属電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板の表面に効率的にテクスチャーを形成して、低光反射率を有するシリコン基板を形成することができるシリコン基板のエッチング方法、エッチング液、エッチング装置を得ること。
【解決手段】シリコン基板の表面にエッチング液を供給してウェットエッチングにより前記シリコン基板の表面に凹凸を形成するシリコン基板のエッチング方法であって、前記エッチング液が、水、アルカリ試薬、および下記の化学式（１）で示されるアルコール誘導体を少なくとも１種類含有すること、を特徴とする。
Ｘ−（ＯＨ）_ｎ
（Ｘは炭素数Ｃｎが４以上７以下の飽和または不飽和炭化水素基、ｎは１以上の整数、ｎ＜Ｃｎ） ・・・（１） （もっと読む）

【課題】本発明は、光の利用効率が従来技術に比して顕著に改良された太陽電池モジュールを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の太陽電池モジュールは、透明基板と；当該透明基板上に形成された第一透明電極層と；当該第一透明電極層上に形成された光電変換層と；当該光電変換層上に形成された第二透明電極層と；当該第二透明電極層上へ透明接合層を介して接合されたカバーシートを有し；当該カバーシートの透明接合層側表面に金属薄膜層が形成されており；且つ、当該第一透明電極層の光電変換層側表面および金属薄膜層の透明接合層側表面に凸凹構造が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ソーラバッテリのパネル構造およびパネル電極の製造方法を提供する。
【解決手段】ソーラバッテリパネル電極製造方法は、半導体ウェーハ基板を準備する工程２０１と、半導体ウェーハ基板上に反射防止層を形成する工程２０２と、反射防止層上に第１の金属層を設ける工程２０３と、レーザビームを用いて第１の金属層上にパターンを形成する工程２０４と、パターンのラインを基に、第１の金属層および反射防止層にレーザビームを透過させ、レーザ合金化処理を行う工程２０５と、溶液により第１の金属層を除去する工程２０６と、半導体ウェーハ基板上には、反射防止層が設けられた側と反対の側に第２の金属層が設けられる工程２０７と、第１の電極を第１の金属シリサイドに接続するように形成し、反射防止層の表面に露出させる工程２０８と、第２の電極が半導体ウェーハ基板から露出されるように形成する工程２０９とを含む。 （もっと読む）

【課題】改良された交差指型背面接触太陽電池及びその製造方法の提供。
【解決手段】裏面とこれに対向する前面を有する基板と、基板の裏面に形成され、第１のドーピング濃度を有し裏面から基板へと第１の深さだけ延出する第１の拡散領域および第２の拡散領域と、第２のドーピング濃度を有し裏面から基板へと第２の深さだけ延出し第１の拡散領域と第２の拡散領域との間に配置される第３の拡散領域とを有する複数の互いに入り込んだ拡散領域と、複数の互いに入り込んだ拡散領域の隣接する対間の基板の裏面に画定される複数の溝であって、第１の拡散領域は第１の溝によって第３の拡散領域から分離され、第２の拡散領域は第２の溝によって第３の拡散領域から分離される溝とを含み、複数の溝それぞれが第１の深さおよび第２の深さよりも深い裏面から基板への第３の深さを有する、交差指型背面接触太陽電池。 （もっと読む）

【課題】 ＩＴＯ透明電極（又はＩＺＯ透明電極）とＺＡＯ透明電極を同一液でエッチングできるエッチング液を提供する。
【解決手段】 臭化水素酸及びその塩からなる群より選ばれる一種又は二種以上の化合物と、フッ化水素酸及びその塩からなる群より選ばれる一種又は二種以上の化合物とを含有する水溶液を透明電極用のエッチング液として用いる。 （もっと読む）

【課題】非晶質半導体薄膜光電変換層と微結晶半導体薄膜光電変換層とを有する薄膜太陽電池において、光散乱用のテクスチャ構造による良好な光閉じこめ効果を有するとともに該テクスチャ構造に起因した光電変換特性の低下が防止された、高い光電変換効率を有する薄膜太陽電池およびその製造方法を得ること。
【解決手段】絶縁性透光基板１上に、透明導電膜からなる第１電極層２と、非晶質半導体膜からなり光電変換を行う第１発電層３と、微結晶質半導体膜からなり光電変換を行う第２発電層４と、光を反射する導電膜からなる第２電極層と、がこの順で積層された薄膜太陽電池であって、前記第１電極層２は、前記第１発電層３側の表面に凹凸形状を有し、前記第１発電層３は、前記第１電極層２の凹凸形状に対応して前記第２発電層４側に凹凸形状が形成され、その凸部の上面が前記絶縁性透光基板１の面内方向と略平行な面とされている。 （もっと読む）

【課題】陽極腐食により光を吸収する面積を極大化して、集光領域を広げることができ、マイクロサイズの半球状の透明電極を用いて、光の乱反射を防止し、光の吸収度を高めることができる太陽電池及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る太陽電池は、一面に複数のホールが形成された基板と、ホール内壁及び基板の一面に形成された金属層と、金属層にコーティングされたｐ型半導体と、ホールの内部及び基板の一面に形成されたｎ型半導体と、ｎ型半導体上に形成された透明電極と、ｐ型半導体及び透明電極に形成された電極端子と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】冷却チャネルが改善され、開回路電圧の低下が防止された成形式ウェーハ太陽電池を提供すること。
【解決手段】太陽電池（１０）は、ドープされた第１の層（１８）を含む前面（１２）と、前面と裏面の間にチャネル（１６）を規定する形成体（２２）を含み、前面（１２）と向かい合う、チャネル（１６）の少なくともいくつかの表面上に位置するドープされた第２の層（２０）をさらに含む裏面（１４）と、前面と向かい合う、チャネルの少なくともいくつかの表面上に位置する導電層（３２）とを備える。ドープされた第１の層と第２の層は逆の極性型を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の表面構造を使用して複数の同一構造の層状構造体を製造することができ、作業スピードを上げ、材料の使用量低減および半導体基板の再使用等により、低コストで素子を製造することができるようにする。
【解決手段】本発明は、半導体材料からなる層状構造体（２８）を製造する層状構造体製造方法において、半導体基板（１０）上に多孔性層（１８）が形成され、多孔性層上に層状構造体（２８）が設けられ、層状構造体は、多孔性層を目的の分離位置として利用して半導体基板から分離され、半導体基板の表面が多孔性層の生成前に構造化されるか、あるいは上記多孔性層の表面が構造化され、層状構造体が少なくとも部分的にエピタキシャル成長により多孔性表面上に設けられ、層状構造体に属する少なくとも１つの半導体層がエピタキシャル成長によって多孔性層の表面上に設けられる、ことを特徴としている。 （もっと読む）