【課題】セル面積の小さい不揮発性プログラマブルスイッチを提供する。
【解決手段】第１配線に接続される第１端子と第２配線に接続される第２端子と第３配線に接続される第３端子とを有する第１不揮発性メモリトランジスタと、第４配線に接続される第４端子と第２配線に接続される第５端子と第３配線に接続される第６端子とを有する第２不揮発性メモリトランジスタと、第２配線にゲート電極が接続されたパストランジスタと、を備え、第１および第４配線が第１電源に接続され、第３配線が第１電源の電圧よりも高い電圧に接続されるときに第１不揮発性メモリトランジスタの閾値電圧が増加し、第２不揮発性メモリトランジスタの閾値電圧が低下し、第１および第４配線が第１電源に接続され、第３配線が第１電源の電圧よりも低い電圧に接続されるときに第１不揮発性メモリトランジスタの閾値電圧が低下し、第２不揮発性メモリトランジスタの閾値電圧が増加する。 （もっと読む）

【課題】制御性の高い不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置は、第１のメモリセルアレイ層と、第１のメモリセルアレイ層の上に形成された第１の絶縁層と、第１の絶縁層の上に形成された第２のメモリセルアレイ層と、第１の絶縁層を介して上下に位置する第１及び第２の浮遊ゲートの第１の方向の両側面にゲート間絶縁層を介して形成され、第１の方向と直交する第２の方向に延びる制御ゲートと、第１の絶縁層を介して上下に位置する第１及び第２の選択ゲートの第１の方向の両側面にゲート間絶縁層を介して形成され、第２の方向に延び、第１及び第２の半導体層並びに第１及び第２のゲート絶縁層と共に補助トランジスタを形成する補助ゲートとを備える。 （もっと読む）

【課題】製造の容易な不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置は、第１のメモリセルアレイ層と、第１のメモリセルアレイ層の上に形成された第１の絶縁層と、第２のメモリセルを具備する第２のＮＡＮＤセルユニットを有する第２のメモリセルアレイ層と、第１の絶縁層を介して上下に位置する第１及び第２の浮遊ゲートの第１の方向の両側面にゲート間絶縁層を介して形成され、第１の方向と直交する第２の方向に延びる制御ゲートと、第１のＮＡＮＤセルユニットの両端に位置し、第１の浮遊ゲートと同層に形成され、第１の半導体層と接続される下部コンタクトと、第２のＮＡＮＤセルユニットの両端に位置し、第２の半導体層と下部コンタクトとを接続する上部コンタクトとを備える。 （もっと読む）

【課題】向上された信頼性を有する不揮発性メモリ装置のプログラム方法が提供される。
【解決手段】本発明のプログラム方法は、第１メモリセルトランジスターの閾値電圧がプログラム状態から移動する傾向を判別する段階と、判別結果に応答して、複数の検証電圧の中で第１検証電圧を選択する段階と、第１メモリセルトランジスターの閾値電圧が変化するように第１メモリセルトランジスターをプログラムする段階と、で構成される。プログラムする段階は第１メモリセルトランジスターの閾値電圧が十分に変化されたかを第１検証電圧を利用して検証する段階を含む。判別する段階は第１メモリセルトランジスターの閾値電圧の第１範囲からの変化を判別する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】インクジェットペンコントロールチップの既存の層を利用して製造できるEPROMを提供する。
【解決手段】EPROMセル７０は、ソース領域及びドレイン領域を有する半導体基板５２と、第１の金属層６０と電気的に相互接続されている半導体ポリシリコン層５６を含むフローティングゲート７２と、第２の金属層６４を含むコントロールゲートとを備えている。フローティングゲート７２は、ソース領域及びドレイン領域に隣接して配置され、第１の誘電体層５４によって半導体基板５２から分離され、コントロールゲートの第２の金属層６４は、第１の金属層６０との間にある第２の誘電体層６２を介して、第１の金属層６０と容量結合されている。 （もっと読む）

【課題】
実施形態は、ゲート配線の抵抗が増大することを防止可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】
本実施形態の半導体装置の製造方法は、第１領域及び第２領域の半導体素子を形成するために、半導体基板、前記半導体基板上の第１絶縁膜、前記第１絶縁膜上の電荷蓄積層を積層し、所望のトレンチを形成する工程と、前記トレンチに素子分離膜を形成する工程と、前記素子分離膜及び前記電荷蓄積層上にストッパー膜３０を形成する工程と、前記第２領域を第２絶縁膜で被膜し、前記第１領域の前記ストッパー膜３０と前記素子分離膜をエッチバックする工程と、前記エッチバックされた素子分離膜、前記電荷蓄積層、第２領域の前記ストッパー膜３０上に第３絶縁膜を介して配線を形成する工程とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】素子の面積を増大させることなく、かつ、コントロールゲート電圧を制御しなくとも、低電圧で書き込み量を大幅に増やすことが可能であり、また、安定して十分な書き込みを行うことが可能である不揮発性半導体装置を提供すること。
【解決手段】ドレインアバランシェホットエレクトロンにより書き込みを行う半導体記憶素子であって、第１導電型の半導体基板に形成された第２導電型の第１の半導体層と、前記第１の半導体層上に絶縁膜を介して設けられたフローティングゲートと、前記フローティングゲート下部の前記第１の半導体層の表面に形成されたチャネル領域と、前記チャネル領域に接触するように前記第１の半導体層上に設けられた第１導電型のソース領域及びドレイン領域とを有するＭＯＳトランジスタであって、前記チャネル領域が２種類以上のキャリア濃度の分布をもつ半導体記憶素子とした。 （もっと読む）

【課題】データ書き込み時における書き込み回数を減らし、且つ読み出し精度を高めることが可能な半導体不揮発性メモリ及びデータ書き込み方法を提供する。
【解決手段】書き込むべきデータの値に対応した量の電荷を電荷蓄積部に注入することによって書き込みを行うデータ書き込み手段を有し、データ書き込み手段によるデータの書き込みに先立ち、電荷蓄積部各々から読み出し電流を送出させ、読み出し電流が最大読み出し電流閾値よりも大となる電荷蓄積部に、この読み出し電流が最大読み出し電流閾値を下回るまで電荷を注入する初期化書き込みを行う。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＳ構造を有する各メモリセルにおいて信頼性が高い２ビットのデータの記憶が容易な半導体記憶装置およびデータ書込み方法を提供する。
【解決手段】ＭＯＳ構造を有するメモリセル１０は、ゲート電極１３の第１半導体領域１２_１側に設けられた第１記憶部１４_１と、ゲート電極１３の第２半導体領域１２_２側に設けられた第２記憶部１４_２とを有する。第１記憶部１４_１に電子を保持させる第１電荷移動ステップと、第２記憶部１４_２に電子を保持させる第２電荷移動ステップとを交互に行うことで、第１記憶部１４_１および第２記憶部１４_２の双方に所定量の電子を保持させる。 （もっと読む）

【課題】データ保持時間を、マスクＲＯＭと同様の無限大とすることができる、長期にわたりデータを保持できる信頼性の高いＥＥＰＲＯＭを提供する。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置は、所定のセンスレベルに対して熱平衡状態しきい値電圧が正方向である第１の不揮発性半導体記憶素子１００に正のデータを記憶し、熱平衡状態しきい値電圧が負方向である第２の不揮発性半導体記憶素子２００に負のデータを記憶することでデータ保持時間を無限大にする。 （もっと読む）

【課題】微細化されても、コントロールゲートとフローティングゲートとの間のカップリング容量比を増大させることができる半導体記憶装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、半導体基板を備える。第１の絶縁膜は、半導体基板上に形成されている。フローティングゲートは、第１の絶縁膜上に設けられた第１のフローティングゲート部分、第１のフローティングゲート部分上に設けられた中間絶縁膜、および、中間絶縁膜上に設けられた第２のフローティングゲート部分を含み、電荷を蓄積可能に構成されている。第２の絶縁膜は、フローティングゲートの上面および側面に設けられている。コントロールゲートは、第２の絶縁膜を介してフローティングゲートの上面および側面に対向し、フローティングゲートの電圧を制御する。フローティングゲートの側面において中間絶縁膜が第１および第２のフローティングゲート部分に対して窪んでいる。 （もっと読む）

【課題】メモリセルアレイと周辺回路との間のアレイ端パターンにおける耐圧を向上させる。
【解決手段】浮遊ゲートは半導体基板上の第１の絶縁膜上に設けられる。ゲート間絶縁膜は浮遊ゲート上に、制御ゲートはゲート間絶縁膜上に設けられる。メモリセルは、第１の絶縁膜、浮遊ゲート、ゲート間絶縁膜および制御ゲートを含む。周辺回路はメモリセルアレイの周辺に設けられる。第１のダミーセルは、第１の絶縁膜、浮遊ゲート、ゲート間絶縁膜および制御ゲートを含み、メモリセルアレイの端に設けられる。第２のダミーセルは、第１の絶縁膜よりも厚い第２の絶縁膜を含み、第１のダミーセルと周辺回路との間に設けられる。第１のダミーセルにおいて、ゲート間絶縁膜および制御ゲートは浮遊ゲートの上面および２つの側面に設けられる。 （もっと読む）

【課題】電荷トラップを含むゲート電極と、電荷トラップを含まないゲート電極とを有する半導体装置において、両ゲート電極下のチャネル層にポテンシャルバリアが形成されないようにする。
【解決手段】基体８上に絶縁膜を介して第一のゲート電極１、第二のゲート電極２が形成され、両ゲート電極１、２を挟んで第一の拡散層５と第二の拡散層６が形成され、両拡散層５、６の間にチャネル層が形成されている。前記絶縁膜は、第一の拡散層５から第二の拡散層６の方向に第一の絶縁領域３、第二の絶縁領域４が配設された、両絶縁領域３、４のうち第二の絶縁領域４が電荷トラップを含み、第一の絶縁領域３を介して第一のゲート電極１が、第二の絶縁領域４を介して第二のゲート電極２が形成され、両ゲート電極１、２底部下に形成されるチャネル層の高さが相互に異なり、第二の拡散層６の先端部は、第二のゲート電極２直下の領域にまで到達している。 （もっと読む）

【課題】カップリング比の増大と書き込み／消去時のリーク電流の低減とを実現する。
【解決手段】実施形態に係わる不揮発性半導体記憶装置は、半導体層１１と、半導体層１１上の第１の絶縁層１３と、第１の絶縁層１３上の電荷蓄積層１４と、電荷蓄積層１４上の第２の絶縁層１５と、第２の絶縁層１５上の制御ゲート電極１６とを備える。第２の絶縁層１５は、電荷蓄積層１４側から制御ゲート電極１６側に向かって、第１のランタンアルミネート層LAO、ランタンアルミシリケート層LASO及び第２のランタンアルミネート層LAOを備える。 （もっと読む）

【課題】書き込み／消去の繰り返しによる信頼性の低下を抑制することが可能な半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、ウェル上にトンネル絶縁膜を介して形成された浮遊ゲートに蓄積する電荷量を制御することにより電気的にデータを書き換え可能な複数のメモリセルを備える。半導体記憶装置は、前記ウェル、及び前記浮遊ゲート上に絶縁膜を介して形成された制御ゲートに、電圧を印加する制御回路を備える。
前記メモリセルの消去動作において、前記制御回路は、第１の消去電圧が階段状に上昇する第１のパルス波を、前記ウェルに印加し、その後、第２の消去電圧の第２のパルス波を、前記ウェルに印加する。 （もっと読む）

【課題】同一セル内に複数設けられたビットへの個々への書き込み動作が他ビットへの書き込み量に依存することなく正常に行われ、さらには、書き込み・読み出し特性を損なうことなくＳＯＮＯＳ構造セルのいっそうの微細化を可能とする半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による半導体装置は、一対の第１拡散領域を有する基板と、該基板上に形成された酸化膜および該酸化膜上に形成された電荷蓄積層とを有するゲート部とを有し、前記電荷蓄積層は当該電荷蓄積層中に離隔して位置する複数のビット領域を有する電気的絶縁膜である。また、酸化膜は、ビット領域に対応する部分がトンネル酸化膜として作用する膜厚の薄膜部およびビット領域間に位置する部分がトンネル効果による電荷輸送を抑制する膜厚の厚膜部を有している。 （もっと読む）

【課題】より高い性能を実現できるメモリ・デバイスを提供する。
【解決手段】メモリ・デバイスは、複数のセルを書き込み単位としてデータを書き込む不揮発性のメモリ(11)と、コントローラ(12)を含む。コントローラは、ホスト・デバイスからの論理アドレスを割り当てられた書き込みデータをメモリに書き込む要求に対して書き込みデータの分割された部分である書き込みデータ部分をそのサイズを指定して送信することをホスト・デバイスに要求する。コントローラは、書き込みデータに付加的データを付加してメモリに書き込む。書き込みデータ部分は当該書き込みデータ部分および対応する付加的データの和のサイズが書き込み単位のサイズ以下で最大となるように決定されたサイズの整数倍のサイズを有する。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有し且つ安価な不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】この不揮発性半導体記憶装置において、メモリストリングスは、基板に対して垂直方向に延びる一対の柱状部、及び前記一対の柱状部の下部を連結させるように形成された連結部を有する半導体層と、前記柱状部の側面を取り囲むように形成された電荷蓄積層と、前記柱状部の側面及び前記電荷蓄積層を含む第１の絶縁膜と、前記柱状部の側面及び前記第１の絶縁膜を覆うように形成された第１導電層と、前記連結部の周囲に形成される第２の絶縁膜と、前記連結部に前記ゲート絶縁膜を介して形成される第２導電層とを備える。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上させることができる半導体記憶装置及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る半導体記憶装置は、積層して設けられた複数のゲート電極と、前記ゲート電極の間に設けられた絶縁膜と、を有した積層体と、前記積層体を貫く半導体ピラーと、前記半導体ピラーと前記ゲート電極との間に空隙を介して設けられた電荷蓄積層と、前記電荷蓄積層と前記ゲート電極との間に設けられたブロック絶縁層と、を有したメモリセルを積層方向に複数備えている。そして、前記複数の各メモリセル毎に、前記電荷蓄積層と前記半導体ピラーとの間の距離を保つ支持部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】トランジスタのしきい値電圧のばらつきの影響を緩和し、複数の状態（例えば３以上の状態）の区別を正確、かつ容易にした半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】ソース線と、ビット線と、ワード線と、ビット線とワード線に接続されたメモリセルと、入力されたアドレス信号によって指定されたメモリセルを選択するように、複数の第２信号線及び複数のワード線を駆動する、第２信号線およびワード線の駆動回路と、書き込み電位を第１信号線に出力する、書き込み回路と、指定されたメモリセルに接続されたビット線から入力されるビット線の電位と、複数の読み出し電位とを比較する読み出し回路と、ビット線の電位と複数の読み出し電位の比較結果に基づいて複数の補正電圧のいずれかを選択する制御回路と、書き込み電位及び複数の読み出し電位を生成して、書き込み回路及び読み出し回路に供給する、電位生成回路と、を有する半導体装置。 （もっと読む）