【課題】 クラッドを伝播する漏れ光を徐々に放出することができる光ファイバ、及び、これを用いたレーザ装置を提供する。
【解決手段】 光ファイバ５０は、コア５１と、コア５１を被覆する内側クラッド５２と、内側クラッド５２を被覆し、内側クラッド５２の屈折率よりも平均屈折率が低く、内側クラッド５２に所定の波長の光を閉じ込める低屈折率層６０と、低屈折率層６０を被覆し、低屈折率層６０の平均屈折率よりも屈折率が高い外側クラッド５４とを有する光ファイバであって、低屈折率層６０の周方向の一部は、内側クラッド５２の長手方向に沿って欠落しており、低屈折率層６０が欠落している部分は、低屈折率層６０の平均屈折率よりも平均屈折率が高く、内側クラッド５２に閉じ込められた光の一部を放出する光放出部７０とされている。 （もっと読む）

【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができる極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザは、発振によりレーザ光を生成して出力する発振器と、発振器から出力されるレーザ光を増幅する少なくとも１つの増幅器とを有する。増幅器は、レーザ光を入力するための第１のウィンドウ及びレーザ光を出力するための第２のウィンドウを有し、放電により励起された媒体のエネルギーを用いて、第１のウィンドウに入力されるレーザ光を増幅して第２のウィンドウから出力する放電部と、発振器から出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウに出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウにもう１度出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を所定の方向に出力する光学系とを含む。 （もっと読む）

【課題】ファイバレーザ加工装置に用いる励起用レーザダイオード電源装置において、励起用レーザダイオードの光出力をフルに発揮させ、かつ過電流による故障を確実に防止する。
【解決手段】このポンプＬＤ電源回路５０は、ポンプＬＤ３６（３８）に電力を供給するための直流電源５２と、この直流電源５２とポンプＬＤ３６（３８）との間に直列に接続されるスイッチング素子５４を有し、駆動電流Ｉ_dが流れる電流路（導体）に電流センサ６２を取り付けている。さらに、このポンプＬＤ電源回路５０は、ポンプＬＤ３６（３８）を過大な駆動電流Ｉ_dから保護するために、通常定格電流Ｉ_RSおよび絶対最大定格電流Ｉ_RMのそれぞれの性質を踏まえて駆動電流Ｉ_dを監視する駆動電流監視部６６を備えている。 （もっと読む）

【課題】ファイバレーザ加工装置において、アイソレーション・アンプを要することなく小規模で低コストの装置構成によって励起用レーザダイオードのオープン故障およびショート故障を確実に検出すること。
【解決手段】このポンプＬＤ電源回路５０において、スイッチング制御部６６は、ポンプＬＤ３６（３８）と直流電源５２との間に接続されるスイッチング素子５４をパルス幅変調（ＰＷＭ）制御方式によってスイッチング制御し、ポンプＬＤ３６（３８）に流れる駆動電流Ｉ_dの電流値を設定値に一致または近似させるようにしている。デューティ監視部６８は、スイッチング素子５４のスイッチング動作のデューティを監視し、デューティに基づいてポンプＬＤ３６（３８）のオープン故障またはショート故障を検出する。 （もっと読む）

【課題】高出力、高繰り返しかつ再現性の高いパルス群を安定に供給できるレーザ装置およびこれを用いたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、−Ｚ方向に移動するレーザ媒質Ｇと、パルスレーザ光を発振する発振領域１０を備えた光共振器と、Ｘ方向に沿った光軸を有し、光共振器からのパルスレーザ光を増幅する増幅領域４を備えた光増幅器と、光共振器のＱ値を周期的に変化させるためのＱスイッチ素子２１と、光増幅器の増幅動作を所定の周期Ｔｉで所定の時間幅Ｔｎだけ停止させるための制御部３３などで構成される。 （もっと読む）

【課題】光出力端での損傷がなく出力可能な光のパワーを大きくすることができ製造が容易な光学部品を提供する。
【解決手段】光学部品１６Ａは、ガラス管６１、光ファイバ６２、ガラスロッド６３および樹脂６４を備える。ガラスロッド６３は、円柱形状のものであって、光ファイバ６２のクラッド６２ｂの外径と等しい外径を有し、光ファイバ６２に対して端面同士で融着接続されている。ガラス管６１は、第１端６１ａと第２端６１ｂとの間に貫通孔を有し、その貫通孔に光ファイバ６２およびガラスロッド６３が挿入されている。ガラス管６１の第１端６１ａの位置において、ガラスロッド６３およびガラス管６１それぞれの端面が同一平面上にある。ガラス管６１の第１端６１ａを含む長手方向に沿った第１範囲６１ｃにおいて、ガラス管６１の内壁面は、ガラスロッド６３の外周面と融着接続されている。 （もっと読む）

【課題】ウィンドウのレーザ光による熱負荷による特性の悪化を改善させる。
【解決手段】ウィンドウユニットは、レーザ光を透過するウィンドウと、前記ウィンドウの外縁を保持し、内部に前記ウィンドウの外側または内側の周辺に液体を流す流路が設けられたホルダとが設けられたウィンドウホルダと、を備えていてもよい。流路には、たとえば冷却装置から供給された冷却媒体が流れてもよい。 （もっと読む）

【課題】増幅された出力光又は入力される信号光の損失を可能な限り排除しつつ、利得を監視する。
【解決手段】入射されるパルス光の導波方向に延在し、Ｙｂが添加されたコア部３ａ、導波方向に延在してコア部３ａの周囲を取り囲む第１クラッド部３ｂ、及び導波方向に延在して第１クラッド部３ｂの周囲を取り囲む第２クラッド部３ｃを有するＰＡ‐Ｙｂ３と、ＰＡ‐Ｙｂ３のコア部３ａから第１クラッド部３ｂに漏れ出したＹｂの自然放出光を取り出す検出用ファイバ６と、検出用ファイバ６に光学的に接続され、導波された自然放出光の強度を検出するＰＤ１１と、を備え、ＰＡ‐Ｙｂ３の第１クラッド部３ｂと検出用ファイバ６のコア部６ａとが、光学的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＡ方式ファイバレーザ加工装置に用いる励起用レーザダイオード電源装置において、電流リップルが無くて応答性に優れ、しかも十分大きな駆動電流を励起用レーザダイオードに安定に供給する。
【解決手段】このポンプＬＤ電源回路３２は、直流電源５２に対して、互いに並列に接続され、ポンプＬＤ３６（３８）とは直列に接続される複数の駆動トランジスタ５４(1)，５４(2)，５４(3)および複数の出力抵抗５６(1)，５６(2)，５６(3)を有している。駆動トランジスタ５４(1)，５４(2)，５４(3)のエミッタ端子は、モニタ抵抗５４(1)，５４(2)，５４(3)を介して出力測定回路６４の入力端子に接続されている。制御部５８は、出力測定回路６４からの出力測定値ＭＩが設定値に一致するように、駆動トランジスタ５４(1)，５４(2)，５４(3)のベース端子に与える制御電圧Ｖ_C（または制御電流）を可変制御する。 （もっと読む）

【課題】モードホップしない安定動作温度範囲を拡大し、安定したレーザ発振を得る。
【解決手段】第１ポートから入射される光を第２ポートから出射し、第２ポートから入射される光を第３ポートから出射し、第４ポートから入射される光を第１ポートから出射する光サーキュレータと、励起光により励起されることにより内部を伝播する光を増幅し、第３ポートから出射された光を第１ポートに入射させる第１光増幅ファイバと、第２ポートから出射された光のうち、予め定められた波長の光を反射して第２ポートへ再び入射させ他の波長の光を透過する反射型光フィルタと、励起光を発生する励起光源とを備え、反射型光フィルタは、第１光増幅ファイバ、光サーキュレータ及び当該反射型光フィルタにより形成されたリング型共振器内でレーザ発振した光を通過させて出力し、励起光源は、第４ポートからリング型共振器内に励起光を入射するレーザ発振器を提供する。 （もっと読む）

【課題】出射ビーム断面の光強度分布が均一化され過大なピークが抑制されたファイバレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】ファイバレーザ発振装置は、シード光を放出可能なシード光源と、励起光を放出可能な励起光源と、光ファイバと、を有する。前記光ファイバは、前記励起光を吸収可能な希土類元素がコアに添加され、前記コアに導入された前記シード光を増幅して放出可能な増幅部を少なくとも有する。また、光ファイバには、最小曲げ半径よりも大きい第１の半径を有する第１のループと、前記第１のループの前記第１の半径よりも大きい第２の半径を有し前記増幅部に設けられた第２のループと、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】短パルス化とマルチライン発振を同時に達成するＥＵＶ光源装置用ドライバーレーザを実現する。
【解決手段】このドライバーレーザは、（ｉ）短パルスレーザ光を出力するレーザ装置と、レーザ装置から出力される短パルスレーザ光を光パラメトリック発振により広帯域化する光パラメトリック発振装置とを有するレーザ発振器と、（ii）レーザ発振器から出力されるレーザ光を入力し、該レーザ光を櫛状の利得スペクトルで増幅して出力する少なくとも１つのＣＯ_２レーザ増幅器とを具備し、レーザ発振器が、ＣＯ_２レーザの再生増幅器を用いてレーザ光を櫛状のスペクトルを有する光パルスに変換することにより、光パラメトリック発振装置によって広帯域化されたレーザ光を少なくとも１つの増幅器の利得スペクトルに整合させるスペクトル整合器をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】高利得であって実用的な光増幅装置およびレーザ光源装置を提供する。
【解決手段】第１光増幅性導波路４１および第２光増幅性導波路４２それぞれは、主成分が石英系ガラスからなり、少なくともコア領域の一部にＹｂイオンが添加された光ファイバである。第１光増幅性導波路４１は、コア領域を導波する励起光により励起され、入力端に入力した光を光増幅して出力する。第２光増幅性導波路４２は、コア領域および第１クラッド領域を導波する励起光により励起され、第１光増幅性導波路４１において光増幅された光を入力し更に光増幅して出力する。 （もっと読む）

【課題】ポンプパワーの供給状態及びシードレーザ光の出力状態を容易に制御して、増幅レーザ光の立ち上がり特性を向上する。
【解決手段】レーザ出射方法は、ポンプパワーＰＢが、加工処理の開始後の定常状態において増幅レーザ光ＡＢが加工処理を行う出力量となる基準量で供給される。また、シードレーザ光ＳＢが継続的に発振出力される期間において、基準量よりも小さく、且つ増幅レーザ光ＡＢによって被対象物が加工処理されないようにポンプパワーＰＢを供給する待機時供給ステップと、加工処理の開始時に、基準量よりも大きなポンプパワーＰＢとなるように供給する処理開始時供給ステップと、加工処理の開始後の定常状態において、基準量となるポンプパワーＰＢを供給する処理時供給ステップと、を順次実施する。これにより、ポンプパワーＰＢの供給量を制御するだけで、増幅レーザ光ＡＢの立ち上がり特性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】 発振スペクトル線幅の狭小化と、高速な波長掃引と、を達成し得る光源装置を提供する。
【解決手段】 光増幅媒体と光スイッチとを含んで構成された光共振器を備える光源装置で、光スイッチは、波長可変光源で構成された光照射源より、出射された光パルスの照射を受けて透過率または反射率が変化するもので、波長可変光源より出射される光パルスの中心波長に対応して、増幅された光を光共振器より出射するものであり、光共振器の長さＬと光パルスの繰り返し周波数ｆとの関係（Ｌ＜ｃ／（ｎｆ））と、光スイッチの変化した透過率または反射率が回復する回復時間τとＬとの関係（τ＞（ｎＬ）／ｃ）を規定。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＡ方式ファイバレーザ加工装置に用いるシード用レーザダイオード電源装置において高ピークパワーでパルス幅の短いシード光を安定に発振出力すること。
【解決手段】このシード用ＬＤ電源回路３２は、シードＬＤ３０に供給する電力を蓄積するコンデンサ５０と、このコンデンサ５０を所定電圧に充電する充電部５２とを有している。そして、充電部５２とコンデンサ５０との間に充電用スイッチン素子５４を接続し、コンデンサ５０に対してシードＬＤ３０と直列に放電用スイッチング素子５６を接続している。さらに、放電用スイッチング素子５６を介さずに、シードＬＤ３０と直列に順方向の向きで１個または複数個（Ｎ個）の整流用ダイオード５８を接続するとともに、シードＬＤ３０およびダイオード５８の直列回路と並列に放電バイパス用の抵抗６０を接続している。 （もっと読む）

【課題】常に安定な出力及び波長を得ることが可能な、注入同期式又はＭＯＰＡ方式のレーザ装置を提供する。
【解決手段】このレーザ装置は、オシレータ放電によってレーザガスを励起するオシレータ放電回路を有するオシレータと、増幅放電によってシードレーザ光を増幅する増幅放電回路を有する増幅器と、シードレーザ光の発光から出射レーザ光の発光まで、或いは、オシレータ放電の開始から増幅放電の開始までの遅れ時間を設定する遅延回路と、オシレータ及び増幅器にそれぞれ設けられ、オシレータ放電回路及び増幅放電回路にそれぞれ印加される充電電圧に基づいてトリガ信号からオシレータ放電及び増幅放電の開始までの総所要時間のジッタを補正する複数のジッタ補正回路と、オシレータ放電回路及び増幅放電回路の特性の変化に基づいて複数のジッタ補正回路をそれぞれ補正する複数のドリフト補正回路とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ｋＨｚオーダー以上の波面揺らぎに対しても補償可能な、安定で小型な高出力レーザ装置を得る。
【解決手段】光増幅後の各アレイ間の位相誤差を検出する第１の位相誤差検出手段（１１）と、空間伝播後の波面検波を行うことで波面の角度に応じた位置情報を生成する波面センサ（１２）と、位置情報に基づいて空間伝播後の位相誤差を検出する第２の位相誤差検出手段（１３）と、それぞれの位相誤差を補償する第１および第２のフィードバック信号を算出し、いずれか一方を選択して出力する位相制御手段（１４）と、選択後のフィードバック信号に応答し位相誤差の補償を行う光位相変調手段（４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】励起光とレーザ光とのビームオーバーラップ効率を高め、励起光からレーザ光への光−光変換効率を向上させた固体レーザ装置を得る。
【解決手段】励起光およびレーザ光が入射される薄板状の固体の励起媒質１を備えている。励起媒質１は、全反射コート４、５が施された非平行な２辺を有し、レーザ光は、非平行な２辺を多重反射してジグザグに進行する。励起媒質１内のレーザ光が分散する部分の励起密度よりも、励起媒質１内のレーザ光が集中する部分の励起密度の方が高く設定されている。 （もっと読む）

【課題】各サブアレーでの位相差の補正と共に各サブアレーの指向角の補正さらに所望の位置への焦点調整を同一の装置により行うフェーズドアレーレーザ装置を提供する。
【解決手段】基準レーザ光源の出力光をサブアレーに分岐し、サブアレーごとに増幅後、コヒーレント加算を行うフェーズドアレーレーザ装置において、前記各サブアレー毎に、前記サブアレーの１つに基づき生成された参照光とサブアレー出力光の合波光を各象限ごとに電気信号にする４象限光検出器９と、サブアレー出力光をコリメートする光学系のための並進駆動機構１１と、前記４象限光検出器からの信号に基づき、参照光とサブアレー出力光の光位相差を検出しサブアレーのための光位相変調器にフィードバック制御すると共に、サブアレー出力光の指向方向誤差を検出し前記並進駆動機構にフィードバック制御するフィードバック制御手段１０と、を備えた。 （もっと読む）