【課題】
１バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、１バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 （もっと読む）

【課題】高い平均波長安定性及び信頼性を有するファイバー光源を提供する。
【解決手段】安定した広帯域光ビームを放射するように構成される広帯域光源が提供される。その広帯域光源は、少なくとも１つの光ポンプ源と、偏光ビームコンバイナーを含む光学システムと、固体レーザー媒質とを含む。光学システムは、少なくとも１つの光ポンプ源のそれぞれ１つから、少なくとも１つの光ポンプビームを受信するように構成される。固体レーザー媒質は、光学システムの第１の出力から、実質的に無偏光のポンプビームを受信する。光学システムの第２の出力から、安定した広帯域増幅自然放出が出力される。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）

【課題】シード用のレーザダイオードよりパルス波形のシード光を増幅用光ファイバに注入するＭＯＰＡ方式において、アンプの利得を十分高くしてもスバイクノイズの発生を確実に防止または抑制すること。
【解決手段】このＭＯＰＡ方式ファイバレーザ加工装置は、シード光発生部１０、第１および第２の増幅用光ファイバ１２，１４および光ビーム照射部１６をアイソレータ１８，２０，２２および光結合器２４，２６を介して光学的に縦続接続している。ここで、シード光発生部１０より出力されるパルス波形のシード光のスペクトル中心波長は１０５４〜１０５７ｎｍの範囲にあり、ひいては被加工物Ｗの表面に照射される増幅パルスの光ビームＬＢのスペクトル中心波長も１０５４〜１０５７ｎｍの範囲にある。 （もっと読む）

【課題】 共振器を備えた高出力ガスレーザ発振器・増幅器において、共振器を構成するミラーで表面損傷及び歪みが発生しないように照射するピークエネルギ密度を減少させ、レーザの中心波長が変化したとしてもレーザ出力が減少しないようにする。
【解決手段】 リア側ミラー１と出力側ミラー２とからなる共振器と、その共振器中に配置されレーザガスが封入されたレーザチャンバー３と、レーザチャンバー３内のレーザガスを励起する励起手段４、５とを備えたガスレーザ装置において、レーザチャンバー３とリア側ミラー１の間、及び、レーザチャンバー３と出力側ミラー２の間の少なくとも一方に、ミラー側のレーザビームの径あるいは幅を広げるビーム拡大光学系６１、６１’を介在させた高出力ガスレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】コンパクトなパッケージで、機械的な振動と環境変動から保護され、最適な性能を得るために頻繁な調整を必要としない光学部品を用いた短パルスレーザを提供する。
【解決手段】パルスレーザ１００は、発振器１０２と増幅器１０６を有し、パルスレーザ１００からのレーザパルス出力の性能と或いは品質とを改善するために、発振器１０２と増幅器１０６との間にパルスコンディショナ１０４が配置されてもよい。パルスコンディショナ１０４は減衰器及び／或いは予備圧縮器で構成され、予備圧縮器は発振器１０２と増幅器１０６の間に設けるスペクトルフィルタ及び／或いは分散素子からなる。パルスレーザ１００は、通信コード等級の品質と信頼性を持つモジュール型デバイスを有するモジュール型デザインにしても良い。 （もっと読む）

【課題】再生増幅器の動作中にトリガ信号を得られなくなった場合に、光増幅媒質等の損傷を簡易な構成によって防ぐ。
【解決手段】光増幅装置１は、光増幅部１０を備える。光増幅部１０は、パルス光を共振させる光共振器と、光増幅媒質１１と、パルス光を光共振器の外部へ取り出す光取り出し手段２１とを含む。光取り出し手段２１は、電気光学効果によってパルス光の偏光状態を制御する光変調部１５１を含む。光増幅装置１は、光変調部１５１に駆動電圧Ｖｄを供給する電圧供給部７０と、制御信号Ｓｃを電圧供給部７０に与える駆動制御部８０とを備える。駆動制御部８０は、種光に同期したトリガ信号から制御信号Ｓｃを生成するとともに、トリガ信号の異常を検知した際に、所定の周期で又は連続して駆動電圧Ｖｄを出力させるための代替信号Ｓｃｄを制御信号Ｓｃに代えて電圧供給部７０に与える。 （もっと読む）

【課題】比較的短いパルス幅のパルスレーザ光を小型且つ簡素な構成で、安定して増幅して出力することを可能にする。
【解決手段】再生増幅器は、光共振器を形成する一対の共振器ミラーと、一対の共振器ミラー間に配置され、所定波長のレーザ光を増幅するスラブ増幅器と、スラブ増幅器内をレーザ光が往復通過するマルチパスを形成するよう配置され、レーザ光の第１の位置における光学像をレーザ光の第２の位置における光学像として転写する、光学システムと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】多数のモジュールから構成され、モジュール間の光路に光軸調整個所を有する、多段増幅式レーザーシステムなどのレーザーシステムの光軸調整作業を自動化する。
【解決手段】レーザーシステムにおいて、光軸調整個所５１，５２より後段のモジュールからの出力光の強度を検出し、強度の変化に応じて該光軸調整個所５１，５２を調整するフィードバックを設ける。さらにこれらのフィードバック制御をファジイ推論またはメタヒューリスティックなアルゴリズムを用いた制御で行う。レーザーシステムにおいて、複数の光軸調整個所５１，５２があって２つの光軸調整が独立に行えない場合は、フィードバックループの伝達関数が明確に求められないので、ファジイ推論等を用いた制御により、各光軸調整を独立に実施する。 （もっと読む）

【課題】 ＬＤを光軸方向に複数並べた側面励起方式固体レーザ励起モジュールにおいて、長いレーザ媒質全体の相対的な励起量を精度良く計測する。複数の励起モジュールを光学的に連結した固体レーザ発振器の調整状態を変化させずに、各励起モジュール単体の診断を実施する。また、診断機能を固体レーザ励起モジュールに組み込んで初期コストを上げることを避ける。
【解決手段】 複数の固体レーザ励起モジュールを光学的に連結して構成された固体レーザの発振光軸上に、固体レーザ媒質端部から放射される蛍光を取り込む開口と蛍光量をモニタするパワーセンサヘッドを搭載した固体レーザ診断装置を、固体レーザ発振器構成を変化させることなく、固体レーザ励起モジュール側面に取り付けられるようにした。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光出力を安定化する。
【解決手段】ドライバレーザから出力されたレーザ光をもとに極端紫外光をバースト出力する極端紫外光生成装置であって、過去にバースト出力された極端紫外光のパラメータログをもとに、バースト出力される極端紫外光の少なくとも１パルス目を含む１パルス以上の先頭側パルスエネルギーのエネルギー制御を行うエネルギー制御部を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能なレーザ装置および極端紫外光生成装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、回折格子と、出力されるレーザ光が前記回折格子に入射し、かつ前記レーザ光それぞれの前記回折格子による異なる次数の回折光の少なくとも１つが所定の方向に進行するように配置される複数の半導体レーザと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】高パワーファイバ増幅器システムを制御し保護するための装置を提供すること。
【解決手段】パルス光源と高パワーファイバ増幅器とからなるレーザシステムを制御する電子回路が開示される。発振器のパルス幅と繰り返し率とが変えられるとき、増幅された出力パルスが所定のパルスエネルギーを持つように、高パワーファイバ増幅器システムの利得を制御するために、回路は使用される。これは、パルス列が出射しているときパルスエネルギーを一定に保つことを含んでいる。ダイオード電流が変えられるときポンプダイオードの波長がファイバ増幅器の最適吸収波長に保持されるように、高パワーファイバ増幅器のポンプダイオードの温度を制御するためにも、この回路は使用される。パルス光源からの信号の損失による損傷から、或いは不十分な注入エネルギーのパルス光源信号から高パワーファイバ増幅器を保護する手段もこの回路は提供する。 （もっと読む）

【課題】 所望の位置で、クラッドを伝播する漏れ光を放出することができるホーリーファイバ、及び、これを用いたレーザ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 ホーリーファイバ５０は、一端５８及び他端５９を有すると共に、コア５１と、コア５１を被覆する内側クラッド５２と、多数の空孔が形成されると共に内側クラッドを被覆する空孔層５３と、空孔層５３を被覆する外側クラッド５４と、を有するホーリーファイバであって、空孔５６がファイバの長さ方向に所定長さ潰されているコラプス領域６０が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス時の作業スペースを確保しつつ有限のスペース内に収めることを可能にする。
【解決手段】収容スペース１００内に設置され、収容スペース１００外に配置されたチャンバ内に供給された極端紫外光の発生源となるターゲットに照射するレーザ光を出力するレーザ装置１は、マスタオシレータ１１から出力されたレーザ光を増幅する第３〜第５増幅器ユニットＰＡ３〜ＰＡ５と、第３〜第５増幅器ユニットに励起エネルギーを供給する第３〜第５電源ユニットＤ３〜Ｄ５と、外部電力を第３〜第５電源ユニットＤ３〜Ｄ５へ配電する配電盤５０と、第４電源ユニットＤ４および第５電源ユニットＤ５を配電盤５０に対して移動可能にするレールＲ１およびＲ２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】励起用のレーザダイオードの出力のモニタを簡易な構成でしかも低コストで行い得るレーザダイオードモニタ装置を提供する。
【解決手段】コンバイナ出力ファイバ１４の結合ファイバコーティング１４３を一部除去して結合ファイバクラッド１４２を露出させた切り欠き形成部１４４を形成し、この切り欠き形成部１４４に対し、コンバイナ出力ファイバ１４の結合ファイバクラッド１４２と同一の屈折率、または低い屈折率を有する材料で形成されるモニタ用ダブルクラッドファイバ２２のクラッド２２２を接触させて、コンバイナ出力ファイバ１４の結合ファイバクラッド１４２を伝播するレーザダイオード１２−１〜１２−ｎの出力励起光の一部をモニタ用ダブルクラッドファイバ２２に漏れて伝播させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低コヒーレンス化と高強度とを実現する。
【解決手段】固体レーザ１０から出力されたシード光Ｌｂをシード光Ｌｂよりも短波長のレーザ光Ｌ１に変換した後、レーザ光Ｌ１を増幅して出力するレーザ装置１は、シード光Ｌｂを短波長のレーザ光Ｌ１に変換する前に、シード光Ｌｂを低コヒーレンス化する低コヒーレンス機構２０を備える。 （もっと読む）

【課題】 出力されるレーザ光の立ち上がり期間短くしつつ、出力されるレーザ光の立ち上がり期間のばらつきを抑制することができるファイバレーザ装置を提供する。
【解決手段】 ファイバレーザ装置１００は、種レーザ光源１０と、励起光源２０と、増幅用光ファイバ３０と、制御部６０と、出力命令部６５とを備え、出力命令が制御部６０に入力されるとき、制御部６０は、予備励起状態と、出力状態となる様に種レーザ光源１０と励起光源２０とを制御し、予備励起状態においては、出力命令が制御部６０に入力される前の出力状態の終了時点から、出力命令が制御部６０に入力される時点までの期間の長さに基づいて定められる強度の励起光が励起光源２０から一定期間出力され、出力状態においては、出力部５０からレーザ光が出力されるように、レーザ光が種レーザ光源１０から出力されると共に励起光が励起光源２０から出力される。 （もっと読む）

【課題】複数の励起用レーザダイオードの負荷を均一化すること。
【解決手段】光ファイバを用いてレーザ光を発生または増幅するファイバレーザ装置１において、光ファイバ１１，２１に対して励起光を供給する複数のレーザダイオード１６，１７，２４，２５と、複数のレーザダイオードを駆動する駆動手段（駆動部１８，１９，２６，２７）と、光ファイバから出射されるレーザ光が所望の強度になり、かつ、複数のレーザダイオードのそれぞれの負荷が等しくなるように駆動手段を制御する制御手段（制御部３０）と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）