【課題】複数の励起用レーザダイオードの負荷を均一化すること。
【解決手段】光ファイバを用いてレーザ光を発生または増幅するファイバレーザ装置１において、光ファイバ１１，２１に対して励起光を供給する複数のレーザダイオード１６，１７，２４，２５と、複数のレーザダイオードを駆動する駆動手段（駆動部１８，１９，２６，２７）と、光ファイバから出射されるレーザ光が所望の強度になり、かつ、複数のレーザダイオードのそれぞれの負荷が等しくなるように駆動手段を制御する制御手段（制御部３０）と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置から出力されるパルス光のパワーを安定化させるための技術を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１００は、シード光を励起光によって増幅する光増幅ファイバ１，８と、シード光をパルス状に発生させるシードＬＤ２と、励起光を発生させる励起ＬＤ３，９Ａ，９Ｂとを備える。レーザ加工装置１００は、レーザ加工装置から出力されるレーザ光に関する条件に基づいて、シード光が発生しない非発光期間における励起光の条件が可変である。制御装置２０は、ドライバ２２，２３Ａ，２３Ｂを制御することによって非発光期間における励起光の条件を変化させる。これにより、レーザ加工装置から出力されるパルス光のエネルギーを非発光期間の長さによらず安定化させることができる。 （もっと読む）

【課題】ＤＵＶ光源のための高電力ガス放電レーザシステムを提供する。
【解決手段】方法及び装置は、線狭化パルスエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムを含むことができ、システムは、パルスのレーザ出力光ビームを含む出力を生成し、かつ第１のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバと第１の発振空洞内の線狭化モジュールとを含むことができるシードレーザ発振器と、シードレーザ発振器の出力を受け取ってシードレーザ発振器の出力を増幅し、パルスのレーザ出力光ビームを含むレーザシステム出力を形成する第２のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバに増幅利得媒体を収容し、かつリング電力増幅ステージを含むことができて、シードレーザ発振器の出力がこのリング電力増幅ステージの増幅利得媒体をループ毎に少なくとも２回通過するレーザ増幅ステージとを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】 レンズなどの光学系の手段によってレーザビームを均質化する場合、レンズの形状によって定まる特定の位置でしか均一なエネルギ分布が得られなかった。
【解決手段】 レーザ媒質３に入射された被増幅光１ａがトップハット形状のエネルギ分布に成形されたレーザビーム３ａとして出射されるように、前記レーザ媒質３の母材中に添加する希土類イオンのドープ濃度を、前記レーザ媒質３の光軸３ｂの方向と交差する断面３１の中心部３２よりも周縁部３３に近づく程より高くなるよう分布させた構成のレーザ媒質３である。この均質化されたレーザビーム３ａを被加工物に照射して加工を施すレーザ加工装置を使用する。
【効果】 レーザヘッドと被加工物の間の距離が変化した場合でも被加工物の照射面で均一なエネルギ分布が得られる。 （もっと読む）

フェムト秒パルス・レーザを構築して動作させる設計態様および技術が提供される。レーザ・エンジンの一例は、フェムト秒の種パルスから成る光線を生成して出力する発振器と、種パルスの存続時間を伸張する伸張器／圧縮器と、伸張済み種パルスを受信し、選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅して、増幅済みの伸張済みパルスを生成し、且つ、増幅された伸張済みパルスから成るレーザ光線を、該パルスの存続時間を圧縮してフェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力する上記伸張器／圧縮器へと出力する増幅器と、を含んでいる。増幅器は、増幅済みの伸張済みパルスの分散を補償する分散制御器を含むことにより、各処置の間において又は走査の速度に従い上記レーザの繰り返し率を調節可能にする。レーザ・エンジンは、500メートル未満の合計の光路によりコンパクトとされ得ると共に、たとえば50個未満などの少ない個数の光学素子を有し得る。 （もっと読む）

フェムト秒パルス・レーザを構築して動作させる設計態様および技術が提供される。レーザ・エンジンの一例は、フェムト秒の種パルスから成る光線を生成して出力する発振器と、種パルスの存続時間を伸張する伸張器／圧縮器と、伸張済み種パルスを受信し、選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅して、増幅済みの伸張済みパルスを生成し、且つ、増幅された伸張済みパルスから成るレーザ光線を、該パルスの存続時間を圧縮してフェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力する上記伸張器／圧縮器へと出力する増幅器と、を含んでいる。増幅器は、増幅済みの伸張済みパルスの分散を補償する分散制御器を含むことにより、各処置の間において又は走査の速度に従い上記レーザの繰り返し率を調節可能にする。レーザ・エンジンは、500メートル未満の合計の光路によりコンパクトとされ得ると共に、たとえば50個未満などの少ない個数の光学素子を有し得る。 （もっと読む）

フェムト秒パルス・レーザを構築して動作させる設計態様および技術が提供される。レーザ・エンジンの一例は、フェムト秒の種パルスから成る光線を生成して出力する発振器と、種パルスの存続時間を伸張する伸張器／圧縮器と、伸張済み種パルスを受信し、選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅して、増幅済みの伸張済みパルスを生成し、且つ、増幅された伸張済みパルスから成るレーザ光線を、該パルスの存続時間を圧縮してフェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力する上記伸張器／圧縮器へと出力する増幅器と、を含んでいる。増幅器は、増幅済みの伸張済みパルスの分散を補償する分散制御器を含むことにより、各処置の間において又は走査の速度に従い上記レーザの繰り返し率を調節可能にする。レーザ・エンジンは、500メートル未満の合計の光路によりコンパクトとされ得ると共に、たとえば50個未満などの少ない個数の光学素子を有し得る。 （もっと読む）

【課題】半導体露光装置の２ステージシステムの紫外ガスレーザにおいて、出力エネルギーを減少させることなくレーザ光の偏光純度を高くすること。
【解決手段】レーザ光を出力する発振段レーザと、前段のレーザから出力されたレーザ光を増幅して出力する一以上の増幅段レーザと、少なくとも一つの前記増幅段レーザのレーザ光軸上に設けられ、レーザ光に含まれ互いに直交する二つの直線偏波状態の成分のうちの一方を高反射率で反射し、他方を高透過率で透過する偏光子と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ガスレンズ効果の影響を低減でき、安定したビーム径および光軸を持つレーザ光を供給できるガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】ガスレーザ装置は、レーザ発振器１と、レーザ発振器１の後段に縦列配置された１つ以上のレーザ増幅器２，１２とを備え、レーザ発振器１は、レーザ光を取り出すための部分反射鏡４を有し、レーザ増幅器２，１２は、レーザ媒質を封止してレーザ光の通過を許容するための全透過鏡８，１３を有し、レーザ発振器１の部分反射鏡４とレーザ増幅器２の全透過鏡８との間に、外気から隔離された空間を形成するためのチャンバー９をさらに備え、チャンバー空間には不活性ガスが封入されている。 （もっと読む）

【課題】増幅利得が高く、かつ簡便な構成で寄生発振を抑制できるガスレーザ増幅装置およびその光軸調整方法を提供する。
【解決手段】ガスレーザ増幅装置は、ＣＯ_２等のレーザガスを封入するための筐体１と、筐体１内に設けられ、レーザガスを励起するための一対の放電電極１５，１６と、筐体１内に設けられ、レーザガスによって増幅されたレーザ光を反射するためのミラー４，５と、筐体１に設けられ、筐体内部と外部の間でレーザ光の通過を許容するためのウインドウ部材２，３などで構成される。ミラー４は、放電領域内を通過した光を反射させて、再び同じ放電領域内へ導くように設置された折り返しミラーである。ミラー５は、ミラー４によって折り返された光を反射させて、再び同じ放電領域内へ導くように設置された折り返しミラーである。ミラー４，５は、互いに非平行に設置される。 （もっと読む）

極紫外光システムは、増幅光ビームを生成する駆動レーザシステムと、ターゲット位置でターゲット材料を生成するように構成されたターゲット材料送出システムと、駆動レーザシステムから出射された増幅光ビームを受け取り、かつ増幅光ビームをターゲット位置に向けて誘導するように構成されたビーム送出システムと、計測システムとを含む。ビーム送出システムは、ターゲット位置に増幅光ビームを集束させるように構成かつ配置された収束レンズを含む。計測システムは、収束レンズから反射した増幅光ビームの一部分と収束レンズから反射した案内レーザビームの一部分とを集光するように構成された集光システムを含む。集光システムは、これらの部分を光学的に分離するように構成された二色性光デバイスを含む。 （もっと読む）

【課題】 光源の性能を最適化するための光学的位置調整が簡単で、輝度が高く発光効率の高い光源装置を提供する。
【解決手段】 励起光源として半導体発光素子を備えた半導体光源を具備しかつ該励起光を吸収して発光する発光媒質を備え、該発光媒質の発光の一部を出力光として出力するレーザ光源装置において、該励起光を共振させてその光強度を増強する光路Ａを構成する複数の反射要素からなる光共振器Ａと、該発光媒質の発光を共振させてその光強度を増強する光路Ｂを構成する複数の反射要素からなる光共振器Ｂを、該光路Ａと該光路Ｂを一部共有させて備え、且つ、該半導体発光素子を該光共振器Ａ内の該光路共有部に、該発光媒質を該光共振器Ｂ内の光路Ｂに、配置し、さらに、該光共振器Ａと該光共振器Ｂのそれぞれの反射要素のうち、互いに一つの共有する反射要素１を備え且つ該反射要素１が該出力光と該励起光を共に反射することを特徴とするレーザ光源装置。 （もっと読む）

高利得光ファイバーおよび／または光学パルスの光学ロッド振幅における峻険なパルスを回避および／または補償する制御された高ダイナミックレンジ増幅を有するシードパルス信号のためのＱスイッチレーザーまたはＱシードソースを使用する装置、方法およびシステムである。随意に、光学出力はＬＩＤＡＲまたは照明用に使用される（例えば、画像取り込み用）。いくつかの実施形態において、良好に制御されたパルス形状は、広いダイナミックレンジ、長い持続時間および狭すぎない輝線幅を有して制御される。いくつかの実施形態におぃて、利得媒体を有する光学的空洞内でのＱスイッチを開放すると、増幅が比較的遅く増大し、ここで利得媒体を通る各ラウンドトリップが光学パルスの振幅を増加させ。他の実施形態は、Ｑシードパルスを得るために、準Ｑスイッチ装置又は複数の振幅変調を使用する。これらの構成は、広いダイナミックレンジを有する光学パルスを提供し、非常に高いパワーのＭＯＰＡデバイスにおける峻険なパルス、非線形のスペクトルの広がりなどの問題を改善する。 （もっと読む）

【課題】異なるパルス幅のパルス光を選択的に同軸上に出力することができるレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置１は、共振器１０、励起エネルギ供給部２０、種光源３０、種光導入部４０等を備える。共振器１０は、レーザ媒質１１、透明媒質１２、光入出力部１３を含む。種光源３０から出力されたパルス種光の共振器１０内への導入が種光導入部４０により設定されているときに、光入出力部１３により共振光路上に取り込んだパルス種光をレーザ媒質１１により光増幅した後に当該光増幅したパルス光を光入出力部１３により共振器１０の外部へ出力する再生増幅動作を行う。種光源３０から出力されたパルス種光の共振器１０内への非導入が種光導入部４０により設定されているときに、レーザ媒質１１により光増幅したパルス光を光入出力部１３により共振器１０の外部へ出力するキャビティダンプ発振動作を行う。 （もっと読む）

本発明は、１０３０ｎｍよりも短い波長での、制御された単一横方向モードの放射を放出するファイバを有する光源（１）であって、ポンピング波の放出に適している少なくとも１つのレーザダイオード（２）と、２つの端部を有しており、コアおよびポンピングシースを含んでいる、レアアースエレメントがドープされているシースを伴う増幅光ファイバ（６）部と、上記ドープされたファイバの上記シースにおいて上記ポンピング源を結合する手段と、を備えており、上記ドープされたファイバの上記コアは、上記シースの屈折率よりも高いコアの屈折率を得るために、イッテルビウム、ネオジム、ツリウムから選択されたレアアースエレメントがドープされた円筒形状部を含んでおり、上記レーザダイオード（２）の励起波長は、７８０ｎｍから９６０ｎｍの間に有り、上記シースの直径は５０ミクロンよりも大きく、上記ドープされたコアの上記ポンピングシースに対する表面比率は８から５０の間に有る、ことを特徴とする光源（１）に関する。
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【課題】小型化が容易なパルス幅変換装置を提供する。
【解決手段】透過型回折格子２０へ一定の入射角で入力された入力光パルスＰｉは、波長毎に分光されて当該波長に応じた出射角で出力され、反射鏡４１，４２，４３により順次に反射された後、透過型回折格子２０へ波長に応じた入射角で入力されて、透過型回折格子２０から一定の出射角で出力される。透過型回折格子２０から一定の出射角で出力された各波長成分の光は、直角プリズム４０により光路が折り返され、透過型回折格子２０へ一定の入射角で入力されて波長に応じた出射角で出力され、反射鏡４３，４２，４１により順次に反射された後、透過型回折格子２０へ波長に応じた入射角で入力される。透過型回折格子２０へ波長に応じた入射角で入力された光は、透過型回折格子２０により合波されて出力光パルスＰｏとして出力される。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高安定な高調波パルスを出力可能な光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置１は、レーザ光発生部１０、光増幅部２０及びウォークオフを生じる非線形光学結晶３３を含む波長変換部３０とを備える。制御装置は、非線形光学結晶３３における位相整合状態を所定範囲で変化させ、位相不整合量に応じてビームポインティングを変化させることにより、高調波出力をウィンドウ３５から出射させる出力光路Ｌonと遮蔽部材３８により遮断する非出力光路Ｌoffとに切り換えて、ビーム出力のオン/オフ制御を行う。 （もっと読む）

【課題】各部材のアライメントが不要になるとともに装置を小型化させ、ディレイを高速に行うことが可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ光発生部と、パルス光をそれぞれ増幅させる光増幅部と、光増幅部により増幅されたパルス光を同軸に重ね合わせるとともに、波長変換光学素子に入射させ波長変換を行う波長変換部を備えたレーザ装置において、入射された方向と異なる方向に反射及び射出させる回転ミラー６４と、回転ミラー６４を回転させるミラー回転部６９と、回転ミラー６４から射出された光を平行光に変換させる第２レンズ６５と、第２レンズ６５を透過した平行光を異なる方向に透過させる透過型回折格子６６と、透過型回折格子６６を透過した光をその光路と同じ光路を反対方向に進むように反射させる平面ミラー６７とを備えた光路長調整部６０が設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】改善されたフィルファクタを備えたビームを結合するためにファイバ増幅器の端部を先細のファイバ束へと結合する高出力ファイバレーザ増幅器を提供する。
【解決手段】信号ビームを生成する主発振器を含むファイバレーザ増幅器システム。スプリッタは信号ビームを複数のファイバビームへと分割し、別個のファイバビームがファイバビームの増幅のためにファイバ増幅器に送られる。先細のファイバ束は、すべてのファイバ増幅器のすべての出力端部を、結合した出力ビームを提供する組み合わされたファイバへ結合する。端部キャップは、出力ビームを拡張するために先細のファイバ束の出力端部に光学的に結合される。 （もっと読む）

【課題】赤外波長帯域でコンパクトかつ低消費エネルギーな光源を作製する。
【解決手段】第１の光導波路上に配され入射される第１のポンプ光により励起されて第１の出射光を出射する第１の光ゲイン源１２と、前記第１の光導波路上に配され前記第１の光ゲイン源を励起するための第１のポンプ光を入射する第１のポンプ光源１９と、第２の光導波路上に配され第２のポンプ光を入射する第２のポンプ光源２０と、少なくとも前記第１の光ゲイン源を囲む一対の鏡面構造１１、１８がキャビティを形成するように配されてなる光共振器構造と、二つの基本波が入射されるとこれらと波長の異なる変換波に波長変換する波長変換構造１４と、前記第１の出射光と前記第２のポンプ光とから前記波長変換構造によって波長変換される変換波を透過させ前記第１の出射光及び前記第２のポンプ光を反射する性質を有するミラー構造体１５とを具備する。 （もっと読む）