【課題】発振されたレーザー光線の平行度を容易に調整することができる平行度調整機能を備えたレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザー光線発振手段６２と集光器６３の間に配設されたビーム径調整手段６４と、通過したレーザー光線を集光器に向けて光路を変換する光路変換ミラー６５と、レーザー光線を集光器６３に導く作用位置と、検出光路に導く非作用位置に位置付けるミラー位置付け手段６６と、検出光路に導かれたレーザー光線のビーム径を検出する撮像手段６９と、撮像手段６９の光路長を変更する光路長変更手段７０と、撮像手段６９とビーム径調整手段６４および光路長変更手段７０を制御する制御手段とを具備し、撮像手段６９を光路長が異なる２個所に位置付け、２個所においてレーザー光線のビーム径を検出し、検出された２個のビーム径に基づいて２個のビーム径が所定の関係になるようにビーム径調整手段６４を制御する。 （もっと読む）

【課題】大型の被加工物表面の安定した微細加工とその高速化が容易にするパルスレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】クロック信号を発生する基準クロック発振回路と、クロック信号に同期した一定の周波数のパルスレーザビームを出射するレーザ発振器と、クロック信号に同期してパルスレーザビームを１次元方向のみに走査するレーザ・スキャナーと、被加工物を載置可能で１次元方向に直交する方向に移動するし、回転軸に保持されるロールと、レーザ発振器とレーザ・スキャナーとの間の光路に設けられ、クロック信号に同期してパルスレーザビームの通過と遮断を切り替えるパルスピッカーと、を備えることを特徴とするパルスレーザ加工装置。 （もっと読む）

【課題】 好ましくない非線形性と利得飽和とが始まる前に、光ファイバー増幅器にエネルギーを蓄積する能力を大きくし、単一モード（ＳＭ）ファイバーで達成できるより大きいピーク強度およびパルス・エネルギーを発生させること。
【解決手段】 本発明の光学増幅装置は、回折限界に近いモードを持つ入力ビ−ムを発生させるレーザー源としてのファイバー発振器１０と、多重モードファイバー増幅器１２と、モード変換器１４と、ポンプ源２０とを有する。モード変換器１４は、入力ビームを受けて多重モードファイバー増幅器１２の基本モードに整合するように入力ビームのモードを変換し、多重モードファイバー増幅器１２に入力するモード変換された入力ビームを作り出す。ポンプ源２０は、多重モードファイバー増幅器１２を光学的にポンピングし、本質的に基本モードで増幅された強力な出力ビームを生成する。 （もっと読む）

【課題】出力されるレーザー光のエネルギー分布はフラットで、周辺部にエネルギーが分散することのないレーザー光束を得ることができるレーザー発振器を得る。
【解決手段】半導体レーザーからの波長８０８ｎｍの光を波長１０６４ｎｍの光に変換するＹＶＯ４結晶４０と、ＹＶＯ４結晶４０を挟んで対向して配置された全反射ミラー３０および部分透過ミラー６０を有してなるレーザー共振器１０を備え、全反射ミラー３０は波長８０８ｎｍの光を透過し波長１０６４ｎｍの光を全反射する反射面を備え、部分透過ミラー６０は波長１０６４ｎｍの光のうち一部のみを透過し残りを反射する反射面を備え、全反射ミラー３０と部分透過ミラー６０はともに平面ミラーであり、先端部のエネルギー分布が平坦なレーザー光を出力する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の安定性を向上する。
【解決手段】光学装置は、レーザ光のビーム伝播経路上に配置された光学モジュールと、前記ビーム伝播経路上に配置され、前記レーザ光のビーム伝播経路を調節するアクチュエータ部と、前記ビーム伝播経路上に配置され、前記ビーム伝播経路を検出する計測部と、 前記計測部によって検出された前記レーザ光のビーム伝播経路の検出結果に基づいて、前記アクチュエータ部を制御する制御部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。１つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第２の線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λ_bを有し、λ_m＜λ_lat＜λ_bである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔＩを与える。但し、λ₀は第１のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λ_latは第２の線幅を表している。 （もっと読む）

【課題】並行して使用するレーザ光のスポットの形状や大きさを簡単に個別に調整する。
【解決手段】レーザ光λａは、レンズ１２０ａにより結像位置Ｐ１ａにおいて結像した後、レンズ１２１ａによりコリメートされ、２波長性ミラー１２３に入射する。レーザ光λｂは、レンズ１２０ｂにより結像位置Ｐ１ｂにおいて結像した後、レンズ１２１ｂによりコリメートされ、全反射ミラー１２２により反射され、２波長性ミラー１２３に入射する。そして、レーザ光λａおよびレーザ光λｂは、２波長性ミラー１２３により光路が結合され、２波長性レンズ１２４により結像位置Ｐ２において結像する。本発明は、例えば、薄膜太陽電池パネルを加工するレーザ加工装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】 交換性、拡張性、及び調整容易性に優れたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザビームを出射する光源と、光源を出射したレーザビームのビーム径を変化させるエキスパンダ光学系と、エキスパンダ光学系を出射したレーザビームの断面形状を整形するマスク光学系と、マスク光学系で整形されたレーザビームの断面形状を加工点に転写倍率可変に転写する転写倍率変化光学系と、転写倍率変化光学系を出射したレーザビームを、集光して加工点に入射させる集光光学系と、光源と加工点との間のレーザビームの光路上に配置され、入射するレーザビームの通過と遮蔽とを切り替えることができるシャッタ光学系とを有し、エキスパンダ光学系、マスク光学系、転写倍率変化光学系、集光光学系、シャッタ光学系の少なくとも一つは、一体化されたモジュールとして構成されているレーザ加工装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を効率的に増幅する。
【解決手段】ＥＵＶ光源装置は、レーザ装置と、前記レーザ装置から出力されたレーザ光を入力して所定のターゲット物質に集光し、該レーザ光の集光によって励起した前記所定のターゲット物質から放射した極端紫外光を集光しつつ出力するチャンバと、を備える。レーザ装置は、スラブ型増幅装置と、前記光を出力するマスタオシレータと、前記スラブ型増幅装置から出力された光を増幅する増幅器と、を備える。スラブ型増幅装置は、自由空間軸と導波軸とを有する第１スラブ型増幅器と、前記第１スラブ型増幅器の入力段に配置され、該第１スラブ型増幅器に入力する光の偏光方向および断面形状の少なくとも一方を変換する第１ビーム調節部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 高次モードが励振された場合においても、良好なビーム品質の光を出力することができる増幅用光ファイバ、及び、それを用いた光ファイバ増幅器を提供する。
【解決手段】 増幅用光ファイバ５０は、コア５１と、コア５１を被覆するクラッド５２とを有し、コア５１は、所定の波長の光を少なくともＬＰ０１モード、及び、ＬＰ０２モード、及び、ＬＰ０３モードで伝播し、コア５１には、ＬＰ０１モード及びＬＰ０２モード及びＬＰ０３モードをパワーで規格化する場合における、ＬＰ０１モードの強度が、ＬＰ０２モード及びＬＰ０３モードの少なくとも一方の強度よりも強い領域の少なくとも一部において、活性元素が、コアの中心部よりも高い濃度で添加される。 （もっと読む）

【課題】１パルスあたりの出力エネルギーを従来以上に増加させたとしても、レーザチャンバに設けられた光学素子の劣化を抑制することできるエキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】所望するレーザ出力以上の範囲内で、レーザチャンバに設けられた光学素子に照射するレーザビームのエネルギー密度を低下させるように、レーザビームの幅を広げる。 （もっと読む）

【課題】薄膜太陽電池パネルのエッジデリーションの加工時間の増大を抑制しつつ、加工品質を向上させる。
【解決手段】光スポットを、矢印３１１ａ，矢印３１１ｂ，・・・，矢印３１１ｋの順に、薄膜太陽電池パネル１０２に対して光学部が進む主走査方向に走査した後、１つ隣の行に移動し、主走査方向と逆方向に走査した後、１つ隣の行に移動する処理を繰り返す。そして、光スポットを矢印３１１ｋの方向に走査した後、矢印３１１ｌの方向に走査し、次の加工ブロックも同様にして光スポットを走査する。この走査を、薄膜太陽電池パネル１０２の辺３０１ａに沿った直線状の領域の薄膜の剥離が完了するまで繰り返す。本発明は、例えば、エッジデリーションを行うレーザ加工装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ装置のスペクトル幅調整の可能な範囲を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、（１）レーザ媒質をレーザゲイン空間において励起する励起源と、（２）レーザゲイン空間を通る光路の一方の側に配置されたアウトプットカプラと、レーザゲイン空間を通る光路の他方の側に配置された波長分散素子と、を含む光共振器と、（３）レーザゲイン空間と波長分散素子との間の光路にビーム幅を拡大又は縮小する少なくとも１つのビーム幅変更素子を出し入れし、又は、上記光路において少なくとも１つのビーム幅変更素子の向きを反転させることにより、ビーム幅の拡大率又は縮小率を切り換える切換機構と、を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】被増幅光のパワー及び出力モード品質を簡便に調整することが可能な増幅器を提供する。
【解決手段】一方の端面１１から被増幅光６の入射を受け他方の端面１２からこれを出射する固体の利得媒質１と、利得媒質１に励起光７を照射して被増幅光６を増幅させる励起光源５と、利得媒質１と励起光源５との間に介在し励起光７を通過させる回転操作可能な１／２波長板２とを具備するレーザ増幅器を構成した。本レーザ増幅器では、１／２波長板２の回転操作を通じて、利得媒質１に照射される励起光７の偏光方向、ひいては励起光７の吸収の度合いを簡単に増減させることができる。これにより、利得媒質１の熱歪みを抑制して被増幅光６の出力モード品質を担保しつつ、被増幅光６のパワーを必要十分な大きさまで高めることが容易となる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、折り畳み式共振器を備え、この共振器の分岐部１ａ、１ｂ内に、それぞれ１つの活性媒質が配置されている、固体レーザのためのレーザ装置に関する。折り畳み素子がレンズ装置１１の焦点合わせレンズ１０の湾曲した折り畳みミラー９として形成され、共振器分岐部１ａ、１ｂが別個の２つのコリメータレンズ６を用いてレンズ装置によって片側からポンピングされる。焦点合わせレンズ１０の外面上の湾曲した折り畳みミラー９は、ポンピングエネルギーの波長に関して高透過性であり、かつ基本波長に関して高反射性であり、そして、例えば、焦点合わせレンズ１０の適切なコーティングによって実現可能である。実現可能な約４°の小さな折り畳み角度βに基づいて、不所望な非点収差が十分に回避される。 （もっと読む）

【課題】短い加工時間で精度良く被加工物に傾斜部を形成することができる加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置１０は、光を出射するマスク照明系１１と、マスク照明系１１からの光を変調して出射する変調マスク３３と、変調された光を結像して被加工物１８に照射し、被加工物１８に傾斜部１８ｂを形成する結像光学系１７とを備えている。変調マスク３３は、被加工物１８の傾斜部１８ｂに照射される光を位相変調する変調マスク傾斜部２４ｂと、変調マスク傾斜部２４ｂに隣接し、被加工物１８の非加工部１８ｃに対応する変調マスク遮蔽部２４ｃと、を有している。このうち変調マスク傾斜部２４ｂは、複数の位相変調単位領域２４ｅからなっている。一方変調マスク遮蔽部２４ｃは、光を遮蔽する光遮蔽層２７を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、安価な小型の照明装置を実現する。
【解決手段】コヒーレント光を射出する光源装置と、前記コヒーレント光を所定の輝度分布を有する光束に整形する回折光学素子と、回折光学素子から出射した光束を平行光束とするための平行化レンズと、回折光学素子と平行化レンズの間に配置された、回折光学素子から出射した光束の発散角度を大きくする光学素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】共振器構造の自由度を大きくし、且つ効率的なレーザ共振器を提供する。
【解決手段】本発明のレーザ共振器１０は、反射ミラー７と、その反射面との間で光共振器を形成する出力ミラー６と、前記反射ミラー７と前記出力ミラー６との間に介在して前記レーザ光の方向を変える折り返しミラー５とを備え、前記折り返しミラー５をトロイダルミラーとしたことを特徴とする。前記トロイダルミラー５の平行方向の曲率半径Ｒｈ及び垂直方向の曲率半径Ｒｖ（Ｒｈ≠Ｒｖ）は、光共振器のABCD行列が以下の式
【数２１】


を満たすように設定されている。 （もっと読む）