【課題】新規な方法で出射光の線幅を狭くする。
【解決手段】光源１０は、第１分極反転構造２２に第１入射光を出射する。第１分極反転構造２２は、第１入射光を波長変換して高調波を出射する。ファイバーカプラ３０は、第１分極反転構造２２から出力された高調波を、光源装置からの出射光と、フィードバック光とに分岐する。第２分極反転構造４２は、フィードバック光が入射される。第２分極反転構造４２は、フィードバック光を波長変換して、第２入射光を出射する。第２入射光は、第１入射光と同一波長を有する。第２入射光は、第１波長変換部に入射される。 （もっと読む）

【課題】単列構成で、パルスレーザ光の１パルス当り又は単位時間当りのエネルギーを抑えながら大きな出力を達成できる極端紫外光源用ドライバレーザを提供する。
【解決手段】このドライバレーザは、レーザ光をターゲットに照射することによりターゲットをプラズマ化して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置において用いられるドライバレーザであって、レーザ媒質としてＣＯ_２を用いて、時間と共に強度が増加するパルスレーザ光を生成する発振段レーザ装置と、発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザ光を、時間と共に減少する増幅率で増幅することにより、レーザ光のパルス幅を伸長する少なくとも１つの増幅器を含む増幅段装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】単一のレーザ光から複数の波長のレーザ光を生成しつつ各レーザ光により多光子励起効果を高効率で発生させる。
【解決手段】極短パルスレーザ光を射出する単一のレーザ光源２と、極短パルスレーザ光のうち少なくとも一部の波長を変換することにより波長の異なる複数のパルスレーザ光を生成する波長変換手段３と、該波長変換手段３によって生成された各パルスレーザ光の周波数分散量を調節する分散調節手段５１〜５３と、該分散調節手段５１〜５３によって周波数分散量が調節された複数のパルスレーザ光を射出する導入光学系８とを備え、分散調節手段５１〜５３が、導入光学系８から光学装置の照射光学系に導入されて標本に照射される各パルスレーザ光が標本上において略フーリエ限界パルスに近づくように各パルスレーザ光の周波数分散量を調節するレーザ光源装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】自然放出光による光学系の損傷や光学特性の低下が抑制されたファイバレーザ装置を提供する。
【解決手段】ファイバレーザ装置５は、第１の光源１０、第２の光源１２、ファイバレーザ増幅器２０、およびファイバレーザ発振器３０を有する。第１の光源１０は、第１のシード光を第１の周期を有するパルス列として放出する放出期間と、前記第１の周期よりも長い非放出期間とを有する。第２の光源１２は、前記第１のシード光の波長とは異なる波長を有する第２のシード光を、前記非放出期間内に第２の周期を有するパルス列として放出可能である。ファイバレーザ増幅器２０は、第１の希土類元素が添加された光ファイバ２２を有し、ファイバレーザ発振器３０は、前記第１のシード光の前記波長における光吸収強度が前記第２のシード光の前記波長における光吸収強度よりも高い第２の希土類元素が添加された光ファイバを有する。 （もっと読む）

【課題】高いパルス伸長率と圧縮率を有する生産性の良いファイバチャープパルス増幅器システムを提供することにある。
【解決手段】コア領域と、コアを取り囲む材料クラッド領域と、材料クラッド領域を実質的に取り囲む空気クラッドと、空気クラッドを取り囲む層とを備える偏光保持空気クラッドファイバであって、ファイバの偏光保持動作は、空気クラッドファイバ中に応力誘起複屈折を生成し前記材料クラッド領域の完全に内部に配置され材料クラッド領域により完全に取り囲まれている応力形成領域を組み込むことにより達成される、偏光保持空気クラッドファイバを提供する。 （もっと読む）

【課題】 周波数変化に伴う、２つのポンプ光間の交叉角度の制御も不要で、テラヘルツ波の出力側に複雑な光学系を設けることなく、簡単な装置構成で、周波数可変のテラヘルツ帯の電磁波を発生することの可能な電磁波発生装置を提供する。
【解決手段】第１のポンプ光を出射する第１のポンプ光出射部２４と、第１のポンプ光とは異なる波長の第２のポンプ光を、波長可変で出射する第２のポンプ光出射部２５と、周期的な分極反転構造を有し、第１のポンプ光と第２のポンプ光との差周波数の電磁波を生成する擬似位相整合素子１９と、第１のポンプ光と第２のポンプ光との交叉角を位相整合範囲角に調整して固定し、第１のポンプ光及び第２のポンプ光を擬似位相整合素子１９に入射させる光学系（Ｍ₆，１８）とを備え、第２のポンプ光の周波数を変えることにより、擬似位相整合素子１９から可変波長のテラヘルツ電磁波を発生させる。 （もっと読む）

【課題】出射ビーム断面の光強度分布が均一化され過大なピークが抑制されたファイバレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】ファイバレーザ発振装置は、シード光を放出可能なシード光源と、励起光を放出可能な励起光源と、光ファイバと、を有する。前記光ファイバは、前記励起光を吸収可能な希土類元素がコアに添加され、前記コアに導入された前記シード光を増幅して放出可能な増幅部を少なくとも有する。また、光ファイバには、最小曲げ半径よりも大きい第１の半径を有する第１のループと、前記第１のループの前記第１の半径よりも大きい第２の半径を有し前記増幅部に設けられた第２のループと、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】短パルス化とマルチライン発振を同時に達成するＥＵＶ光源装置用ドライバーレーザを実現する。
【解決手段】このドライバーレーザは、（ｉ）短パルスレーザ光を出力するレーザ装置と、レーザ装置から出力される短パルスレーザ光を光パラメトリック発振により広帯域化する光パラメトリック発振装置とを有するレーザ発振器と、（ii）レーザ発振器から出力されるレーザ光を入力し、該レーザ光を櫛状の利得スペクトルで増幅して出力する少なくとも１つのＣＯ_２レーザ増幅器とを具備し、レーザ発振器が、ＣＯ_２レーザの再生増幅器を用いてレーザ光を櫛状のスペクトルを有する光パルスに変換することにより、光パラメトリック発振装置によって広帯域化されたレーザ光を少なくとも１つの増幅器の利得スペクトルに整合させるスペクトル整合器をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】簡明かつ低廉な構成で、第２高調波発生により波長２３５ｎｍ以下の紫外光を発生可能な波長変換光学素子を提供する。
【解決手段】一般式がＭＢe₂ＢＯ₃Ｆ₂で表され、当該結晶のｃ軸に直交して相互に平行に延びる上下面及び側面を有する板状をなし、側面はｃ軸と各々所定角度で交わる第１側面Ｓ１と第２側面Ｓ２とを有して構成される。第２高調波発生（ＳＨＧ）により紫外光を発生させる際の位相整合条件を満たす光の伝搬方向がｃ軸に対してθmである場合に、第１側面Ｓ１は、基本波が結晶内に入射可能であるとともに、入射した基本波及びＳＨＧにより発生した第２高調波がｃ軸に対してθmの角度で結晶内を伝播する傾斜角度であり、第２側面Ｓ２は、第１側面Ｓ１から入射して反射した基本波及び第２高調波が出射し得る傾斜角度であるように構成される。 （もっと読む）

【課題】効率よくＤＵＶ光を発生させる光源装置、検査装置、及びコヒーレント光発生方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる光源装置は、波長１０６０〜１０８０ｎｍ光を発生させる第１のレーザ光源１１と、波長１７５０〜２１００ｎｍ光を発生させる第２のレーザ光源１６と、波長１０８０〜１１２０ｎｍ光を発生させる第３のレーザ光源１７と、第４次高調波発生により波長２６５〜２７０ｎｍの第１のＤＵＶ光を発生させる第２高調波発生器１２，１３と、第１のＤＵＶ光と第２のレーザ光源の出力光との和周波混合により波長２３２〜２３７ｎｍの第２のＤＵＶ光を発生させる第１の和周波発生器１４と、第２のＤＵＶ光と第３のレーザ光源の出力光との和周波混合により波長１９２．５〜１９４．５ｎｍの第３のＤＵＶ光を発生させる第３の波長変換手段とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】3μm帯における広い波長範囲に渡って、中赤外波長域の光を発生させることができる波長変換素子および波長変換光源を提供する。
【解決手段】非線形光学材料の分極が周期的に反転され光導波路構造を有する非線形光学媒質に、信号光と励起光とを入射し、前記非線形光学媒質から前記信号光と前記励起光との差周波光である変換光を出力する波長変換素子および波長変換光源が開示される。前記波長変換素子および前記波長変換光源は、前記信号光の波長λ₁は1.53μm≦λ₁≦1.62μmの範囲で固定され、前記励起光の波長λ₃は可変かつ1.02μm≦λ₃≦1.08μmの範囲から選択され、前記光導波路における前記励起光の群速度と前記変換光の群速度とは等しいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置が大型化せず、パワー損失も少なく、且つ、ビームラインシフトを抑えつつ波長を可変可能な真空紫外光発生装置を提供する。
【解決手段】本発明の４波混合法を用いる真空紫外光発生装置は、セル１０と可視光光源２０と紫外光光源３０と第１レンズ４０と第２レンズ５０と第３レンズ６０とからなる。可視光光源２０は、照射する可視光の波長を可変可能である。紫外光光源は、セル１０内の希ガスの２光子吸収線に合わせられる紫外光を照射するものである。第１レンズ４０は、オフアキシャルな状態で可視光及び紫外光をセル内で交差するように集光するものである。第２レンズ５０は、オフアキシャルな状態で真空紫外光を平行化するものである。第３レンズ６０は、可視光の波長の変化による真空紫外光の第３レンズ６０への入射角の変化を、真空紫外光の波長の変化による第３レンズ６０における出射角の変化により相殺するように構成される。 （もっと読む）

【課題】連続的に可変するテラヘルツ波を発生、検出できるテラヘルツ波装置を提供する。
【解決手段】テラヘルツ波装置３００は、固定された第１波長を有する第１レーザー光を発振する波長固定レーザー３１０と、可変する第２波長を有する第２レーザー光を発振する波長スイープレーザー３２０と、前記第１レーザー光と前記第２レーザー光を結合させるカプラー３３０と、前記カプラーで放出された混合光をテラヘルツ波に変換する発生器３４０と、を含み、テラヘルツ波の周波数が連続的に可変されるように構成される。また、連続的に周波数が可変されるテラヘルツ波を検出する検出器を含み、高速テラヘルツ波の分光が可能である。 （もっと読む）

【課題】バースト発光におけるノイズを低減させたレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置１が、パルス光発生部１０と、パルス光発生部１０から発生したパルス光Ｌｐを２つのパルス光に分離させる分岐カップラー素子１２と、分岐カップラー素子１２において分離された２つのパルス光Ｌｐ１，Ｌｐ２をそれぞれ同軸に重ね合わせて紫外光を発生させる波長変換部と、分岐カップラー素子１２と波長変換部とに接続された経路の異なる第１光路Ｒ１１および第２光路Ｒ１２と、第２光路Ｒ１２の光路長を、第２のパルス光Ｌｐ２が波長変換部で第１のパルス光Ｌｐ１と時間的に重なる第１光路長および、第２のパルス光Ｌｐ２´が波長変換部で第１のパルス光Ｌｐ１と時間的に重ならない第２光路長のいずれかに選択的に切り替える一対の光スイッチング素子１４，１５とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の出射光路を制御可能な新たな構成の光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置１は、各々レーザ光を出射する第１，第２レーザ出力部II,IIIと、第１のウォークオフ角で配置され第１，第２レーザ出力部II,IIIから出射されたレーザ光が入射する第１非線形光学結晶３５と、第１のウォークオフ角と直交する第２のウォークオフ角で配置され第１波長変換光学素子３５から出射したレーザ光が入射する第２非線形光学結晶３６と、ビーム制御装置８０とを備える。ビーム制御装置８０は、第１非線形光学結晶３５における位相整合条件及び第２非線形光学結晶３６における位相整合条件の少なくともいずれかを変化させ、ビームポインティングを変化させることにより、第２非線形光学結晶３６から出射されるレーザ光の出射光路を変化させる。 （もっと読む）

【課題】光出力を正確に制御して長期的に安定した運用が可能な構成のレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、レーザ光をモニタ光と出力光とに分離する部分反射ミラー５７と、部分反射ミラー５７からのモニタ光の強度を検出する光出力モニタ装置６０と、光出力モニタ装置６０の検出値に基づいてレーザ光源の出力を制御して部分反射ミラー５７からの出力光の強度を制御する制御部８０と、所定の校正時期において部分反射ミラー５７からの出力光の強度を検出するパワーメータ装置７２とを備え、制御部８０は、パワーメータ装置７２の検出値に基づいて光出力モニタ装置６０の出力を校正するようになっている。 （もっと読む）

光学材料におけるレーザー誘起損傷は、光吸収が最小化される状態を作り出すことによって緩和されうる。具体的には、光学材料においてバンドギャップの欠陥エネルギーをポピュレートする電子は、一般にブリーチングと呼ばれるプロセスにおいて、伝導帯へと推進されうる。こうしたブリーチングは、材料内への最小限のエネルギー蓄積を保証する既定の波長を用いて達成されうるものであり、理想的には、電子を伝導帯のちょうど内側へと推進する。ある場合には、フォノン（すなわち、熱）励起も、高いデポピュレーションレートを達成するために用いられることが可能である。一実施形態において、レーザービームの波長よりも長い波長を有するブリーチング光ビームが、バンドギャップにおける欠陥エネルギー準位をデポピュレートするために、レーザービームと合成されうる。ブリーチング光ビームは、レーザービームと同じ方向、又は交差する方向で伝播されうる。
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【課題】波長変換によって生じるレーザ光（紫外光）の質を向上させたレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置１が、レーザ光Ｌｓを発生させるレーザ光発生部１０と、誘導ラマン散乱を利用してレーザ光Ｌｓの波長を所定波長に変換する波長変換器２０と、波長変換器２０により所定波長に変換されたレーザ光Ｌｓ１の波長を紫外域の波長に変換する波長変換光学系３０とを備え、波長変換光学系３０が非臨界位相整合による和周波発生により波長変換を行う波長変換光学素子３４を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、従来のＣＶＤ装置で用いることの出来なかった材料により成膜を可能にし、さらに不純物が混じらない高品質の成膜を可能とした薄膜堆積方法および装置を提供することを目的とする。
【解決手段】非平衡プラズマにより原料ガス１４に与えるエネルギーと、原料ガス１４より生成する目的の反応生成物固有のポテンシャルエネルギーとの差分のエネルギーを求め、ポテンシャルエネルギーが不足の場合、前記差分のエネルギーを補充するレーザ光１９の波長を求め、ポテンシャルエネルギーが余剰の場合、差分のエネルギーを誘導放出により放出するレーザ光１９の波長を求め、非平衡プラズマ化された原料ガス１４に、求めた波長のレーザ光１９を照射して、原料ガス１４の基底準位を前記ポテンシャルエネルギーに遷移し、原料物質より目的の反応生成物を解離または分解し、被成膜物質１２に堆積して成膜する。 （もっと読む）