【課題】煩雑な操作を行うことなく複数のガス種に対して流量制御を行うことが可能な流量制御装置を提供することである。
【解決手段】ガス通路２８に流れるガス流量を制御する流量制御装置３０において、主ガス管５０と、これに流れるガスの流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段５２と、流量を制御する流量制御弁機構５４と、外部より入力される流量指示信号Ｓｂと目標流量との関係を表すための、複数のガス種に対応した複数の換算データを記憶する換算データ記憶部５６と、外部より入力されるガス種選択信号Ｓａに基づいて複数の換算データから対応する換算データを選択すると共に流量指示信号Ｓｂに基づいて前記目標流量を求め、目標流量と流量信号とに基づいて流量制御弁機構を制御する流量制御本体５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】液化ガスの再液化を防ぎながら液化ガスの流量を精密に制御可能なマスフローコントローラーを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラー１００は、流入口１１から流入した液化ガスを分流するセンサー用配管１３とバイパス配管１４と、前記センサー用配管を覆うように配置された熱式センサー７と、前記センサー用配管を覆って前記センサー用配管と共に二重配管を形成し、前記センサー用配管および前記バイパス配管に連通する断熱領域１５と、前記連通を遮断して前記断熱領域を閉鎖領域とする閉鎖バルブ１と、を備える。実施形態のマスフローコントローラーは、前記センサー用配管と前記バイパス配管とから合流した前記液化ガスの流出口１２と、前記熱式センサーの検出結果に基づいて前記流出口から流出する前記液化ガスの流量を制御する制御手段と、前記各部位の全体を下方から加熱するヒーター２と、をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】単位時間内に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を精度よく管理することができる供給量管理システムを提供する。
【解決手段】供給量管理システム１は、プラント内において、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を管理するシステムであり、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物の流量を連続的に計測する流量計測部２と、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度を連続的に計測する濃度計測部３と、流量計測部２によって計測されるＣ４混合物の流量データ及び濃度計測部３によって計測されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度データを用いて、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に単位時間内に供給される有効成分の供給量を算出する算出部７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】一定流量の濃縮汚泥を安定して濃縮及び脱水する。
【解決手段】汚泥濃縮脱水システムは、汚泥を濾過して、濃縮汚泥を生成する濃縮装置１０１と、濃縮装置から排出される濃縮汚泥を一時的に貯留して、貯留した濃縮汚泥の液位を計測する液位計測装置１０２と、液位計測装置１０２により一時的に貯留された濃縮汚泥を排出する濃縮汚泥供給ポンプ１０３と、濃縮汚泥供給ポンプ１０３から排出された濃縮汚泥の圧入圧力を計測する圧力計１０４と、濃縮汚泥供給ポンプ１０４から排出された濃縮汚泥が圧入され、且つ当該濃縮汚泥を脱水する脱水装置１０５と、圧力計１０４が計測した圧入圧力に基づいて、濃縮汚泥供給ポンプ１０３からの排出量を制御し、且つ液位計測装置１０２が計測した液位に基づいて、脱水装置１０５が備える脱水スクリュー軸の回転数を制御する制御装置１０６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化と腐食性ガスに対する耐腐食性を兼ね備えたマスフローコントローラシステムを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラシステム５００は、腐食性ガスが導入され、前記腐食性ガスに対する耐腐食性処理が施された第１マスフローコントローラ１００と、非腐食性ガスが導入される第２マスフローコントローラ２００と、前記第１マスフローコントローラに複数種類の腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第１ガス配管３１、３２、３３と、前記第２マスフローコントローラに複数種類の非腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第２ガス配管３４、３５、３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラ流量データを提供する方法を提供すること。
【解決手段】質量流量コントローラは、５０％超の設定点において動作させてもよい。データは、質量流量コントローラメモリに記録されてもよい。設定点は次いで、０％に変えられてもよい。記録されたデータは次いで、分析され、１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータが、計算されてもよい。１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータは、質量流量コントローラメモリに保存されてもよく、その後に非製造調整ガスを伴う少なくとも１つの将来の質量流量コントローラ動作において使用されてもよい。 （もっと読む）

【課題】精鉱装入量を脈動を防止し、計量スクリューコンベアの先端部に発生する精鉱の居着きを安定的に除去し、精鉱装入量の精度を向上させる。
【解決手段】インバータ１０およびモータ１２駆動の切出スクリューコンベア１と、重量測定装置３を有し、インバータ９およびモータ１１駆動の計量スクリューコンベア２とを備え、切出スクリューコンベア１により精鉱１３を切出し、切出した精鉱１３を計量スクリューコンベア２により製錬炉に装入し、重量測定装置３により装入する精鉱１３の重量を連続的に測定する精鉱装入装置（設備）において、切出スクリューコンベア１の回転数をＰＩＤ制御器７により制御し、精鉱装入量ｚを制御し、計量スクリューコンベア２の回転数をモータ１１の１００パーセントの全速運転とすることにより、両者のスクリューコンベア１、２を分散型制御とする。 （もっと読む）

【課題】発熱量を管理値として燃料ガスの流量を制御すると共に、燃料ガスが有する発熱量に応じて空気および／または酸素の混合比を最適化し得る燃料供給装置を提供する。
【解決手段】燃料ガスの流量を制御する第１の流量調整装置は、燃料ガスの熱量流量を制御すると共に、燃料ガスの発熱量から基準状態の燃料ガスに対する発熱量比を求めて該燃料ガスの流量と共に前記第２の流量調整装置に通知し、空気および／または酸素の流量を制御する第２の流量調整装置は、通知された発熱量比に応じて前記燃料ガスに混合する空気および／または酸素の最適な混合比［Ａ／Ｆ］,［Ｏ_２／Ｆ］を求め、この混合比［Ａ／Ｆ］,［Ｏ_２／Ｆ］と燃料ガスの流量に基づいて空気および／または酸素の流量を調整する。 （もっと読む）

【課題】幅広い流量範囲で安定して精度良く流量を制御でき、コンパクトで、メンテナンスや部品交換が容易で、シール性が良い流体制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】計測器からの電気信号に基づいて流体制御配管部材の開度をＦＢ制御する制御部とを具備し、流体制御配管部材が、一端にチューブに水密された状態で挿着される挿入部と他端に接続部と中央に鍔部を有する第一、第二連結体と、中央に貫通孔が形成され貫通孔の一端に挿入部に挿着されたチューブが嵌着される拡径部が設けられた保持体を具備する。保持体の貫通孔にチューブを貫通させチューブ両端に第一連結体及び第二連結体の挿入部を挿着したものを保持体の拡径部に嵌着し、第二連結体の鍔部と保持体とが流体制御配管部材と計測器との間で圧接された状態で固定され、第二連結体の接続部と計測器の流体流入口または流体流出口が直接接続されてなる。 （もっと読む）

本発明は、マイクロチャネルのアレイに対する流れを制御するために使用可能な機能を記述する。本発明はまた、プロセスストリームが複数のマイクロチャネルに分配される方法を記述する。
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【課題】管路内を通過する光の量、流体の流量又は流体の圧力を長期間に亘って制御可能な調節孔の制御方法を提供すること。
【解決手段】光又は流体が通過する管路３内に、磁性粒子を含有する粘弾性固体で形成された隔壁５が横断状に配置されている。隔壁５に、光量、流体流量又は流体圧力を調節する調節孔６が軸方向に貫通して設けられている。管路３内に径方向に磁場勾配を生じさせることにより、調節孔６の開口度を変化させる。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、混合流体の連続的流動生成のためのシステム（１００、３００、５００）、および方法を提供する。該混合流体は、異なる流体の混合物、または温度等の異なる流入特性を有する、同一の流体の混合物を含み得る。さらに、本発明の実施形態は、アナログ設定点を多重化するためのシステム（９００、１１００）、および方法を提供する。第１の流体の流れを制御するための、第１の流量コントローラと、第２の流体の流れを制御するための、第２の流量コントローラと、第１の流量コントローラおよび第２の流量コントローラと流体連通し、かつそれらの下流にある第１のミキサであって、第１および第２の流体を混合し、第１の混合流体を生成する第１のミキサと、第１の混合流体の温度を測定するための、第１のミキサの下流にある、第１の温度センサとを備えた流体混合システムが提供される。
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【課題】少ない刺激によって高速かつ高精度に微粒子を分別できる微粒子分別マイクロシステムおよび微粒子分別方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微粒子分別マイクロシステム１は、刺激感応物質としてのゾル-ゲル転移物質が添加された微粒子含溶液11が流れる微粒子含溶液流路３と、所定位置で当該微粒子含溶液流路３と合流するシース溶液12が流れるシース溶液流路４と、微粒子含溶液流路３とシース溶液流路４とが合流した合流流路９と、当該合流流路９に設けられた導入された微粒子10を計測するための微粒子計測部５と、合流流路９の下流に設けられ、分岐点６を介して分岐する微粒子10を分別するための微粒子回収流路７ａ及び微粒子廃棄流路７ｂとが、基板２上に設けられるとともに、当該微粒子廃棄流路７ｂ上に刺激付与手段としての赤外線照射装置８が設けられた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】 所望の比率の流量で流体を分配することができるマイクロ流量分配コントロール装置を実現することにある。
【解決手段】 本発明は、入力側流路を流れる流体を、複数のマイクロ流路に分配するマイクロ流量分配コントロール装置に改良を加えたものである。本装置は、マイクロ流路に設けられ、流量を測定する流量センサと、この流量センサの上流側または下流側のマイクロ流路に設けられるバルブと、流量センサの測定結果によってバルブの調整を行う調整手段とを設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なえるもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることなく、スラリーを使用してもスラリーが固着しにくく、配管後の流量の設定変更や、流路の遮断が可能であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部６０に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の流量を調整する空気駆動式ピンチ弁５とを具備し、少なくとも流量計センサ部４と空気駆動式ピンチ弁５とが、流体流入口３と流体流出口６とを有する１つのケーシング２内に接続されて設置されてなる。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なうもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることがなく、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２からの超音波を受信し信号を流量計アンプ部６４に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、流体の圧力を制御する圧力制御弁５とを有し、流量計センサ部４と圧力制御弁５とが、流体流入口３と流体流出口６とを有するケーシング２内に設置されてなることを特徴とする。 （もっと読む）