【課題】流量精度を向上させることができるコンパクトな流量制御装置を提供すること。
【解決手段】熱式流量計２の流量測定値に基づいて流体制御弁３のバルブ開度を制御して流量制御を行う流量制御装置１であって、流出ポート２３と入力ポート４２とを接続するようにセンサボディ１１とバルブボディ４１とを面接触させて、熱式流量計２と流体制御弁３とを一体化する。そして、流量を絞るオリフィス流路３３が設けられたオリフィス部材３１をセンサボディ１１の流出ポート２３に装着し、オリフィス部材３１を熱式流量計２に内蔵させる。 （もっと読む）

【課題】ガス種等の試料流体の変更にも特別な手間を必要とせずに柔軟に対応することができ、しかも、精度良く流量を測定することができるといった、優れたマスフローメータ等を提供する。
【解決手段】流路１を流れる試料流体Ｇの流量を検知するセンサ部２と、流体ごとに定められ、前記センサ部２からの出力値に基づいて流量を定めるための流量特性関数であって、指定された試料流体に固有の流量特性関数Ｋと、その流量特性関数とは独立した、複数の試料流体に対して共通のパラメータであり、マスフローメータごとの器差を補正するための器差補正パラメータαとを設定する設定部４ｃと、前記流量特性関数Ｋと前記器差補正パラメータαとに基づいて、前記試料流体Ｇの流量を算出する流量算出部４ｄとを具備するように構成した。 （もっと読む）

【課題】適切な測定範囲を選択可能な分流式流量計を提供する。
【解決手段】主流路１１、及び主流路１１に通じる一対の分流孔４ａ，４ｂが設けられた主流路保持体１０と、一対の分流孔４ａ，４ｂを介して主流路１１と連通する分流路２５が設けられた、主流路保持体１０に着脱可能な分流路保持体３０と、分流路２５を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ８と、流れセンサ８によって検出される流体の流量と主流路１１を流れる流体の流量との分流比を設定するために、分流路２５に配置される分流比設定部材と、流れセンサ８によって検出された流量、及び分流比に基づいて、主流路１１を流れる流体の流量を算出する算出回路３０１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】一次側圧力センサを設けることなく、従来のマスフローコントローラの機械構成を用いてＰＩ性能を発揮するマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路１内を流れる流体Ｆの流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ２と、流量センサ２の上流側に設けた流量制御バルブ３と、流量制御バルブ３の駆動電圧Ｖを検出する電圧検出部４と、少なくとも流量測定値（ＯＵＴ）、流量設定値（ＳＥＴ）及び駆動電圧をパラメータとして所定の演算式から流量制御バルブ３の開度制御信号を算出して出力する制御部５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】分流比の誤認を防止可能な分流式流量計を提供する。
【解決手段】主流路11、及び主流路11に通じる一対の分流孔4a, 4bが設けられた主流路保持体10と、一対の分流孔4a, 4bを介して主流路11と連通する分流路25が設けられた、主流路保持体10に着脱可能な分流路保持体30と、主流路11及び一対の分流孔4a, 4bの流路抵抗に依存する分流路25と主流路11との分流比に関する情報を識別するための、主流路保持体10に設けられた識別部と、分流路25を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ8と、識別部から読み出された分流比に関する情報を保存するための、分流路保持体30に固定された第１の分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出回路301と、を備える。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】マスフローコントローラにおいて、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力、当該一次側圧力の時間変化量、及び流量設定値の少なくとも２つに基づいて変更させる。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】被測定流体の整流効果を得ながら圧力損失を低減させることができる流量計及びこれを備える流量制御装置を提供する。
【解決手段】被測定流体が流れる流路５と、流路５内に配置される整流体２０と、を備え、被測定流体の流量を計測する流量計２であって、整流体２０は、被測定流体の整流用の孔を有するとともに、流路５の延在方向に対して垂直な方向における流路断面積よりも広い面積を有する。流量制御装置１は、流量計２と、制御弁３と、流量計２によって検出された流量に係る情報に基づいて制御弁３を制御することにより流量計２の流路５を流れる流体の流量を調整する制御手段４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガスフローメータの追加設置を行わずにシステムの小型化を図りつつ、ガス流量測定部に異常があった場合には、異常を検出して自己診断を行うこができる流量制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流体を供給する主配管１０と、
該主配管１０に並列に接続されたセンサ管２０と、
該センサ管２０を流れる前記流体の流量を独立して測定する第１の流量測定手段３０及び第２の流量測定手段４０と、
該第１の流量測定手段４０と該第２の流量測定手段４０の測定結果同士を比較し、該測定結果同士が等しいか否かを判定する比較回路５０と、
該測定結果同士が等しいときには、流量制御状態を維持し、該測定結果同士が等しくないときには、流量アラーム信号を出力する制御手段６０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】無駄な待ち時間を減らしつつ、流量制御の精度を向上させることができる流体分流供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローメータ８の二次側に第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを接続する。第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを流量特性に照合して、動作周期ｔのうちで弁開するパルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を決定する。そして、第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの動作周期ｔを一定にして、決定したパルスＯＮ時間に従って第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを開閉させて流量制御を行う。このとき、マスフローメータ８が測定するユニット総流量Ｑを平均したユニット平均流量Ｑｍと、第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを合計した指令総流量Ｑａ＋Ｑｂとの偏差ＱＰをゼロにするように、パルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を補正する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れるプロセスガスの流量制御の検定処理を行なうことができる流量制御装置及びその検定方法を提供する。
【解決手段】 流路４の流量を流量設定値になるように流量を制御しているときに、プロセスガスの流量検出値と、圧力検出値と、流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報とから構成される検定サンプリング情報の所定数を収集してこの流量設定値と関連付けて記憶する。そして、検定サンプリング情報として記憶された所定数の流量検出値とバルブ駆動制御情報について、その関連を示す関連係数（Ａ）を順次求め、この関連係数（Ａ）の値が予め設定した閾値の範囲を超えていると、新たに入力した流量検出値に基づいて求めてバルブ駆動制御情報と、予め検定処理用に登録したバルブ特性情報テーブルＫ１を参照して求めた基準となるバルブ駆動制御情報との差異量を求め、この差異量を検定情報としている。 （もっと読む）

【課題】流量の計測条件、及び計測条件の設定値の確認が容易な流量計を提供する。
【解決手段】気体又は液体等の流体が流れる流路１１が設けられた流路保持体１０と、流路１１を流れる流体の流量を計測する流量計測部３０１と、流量の計測条件の表示の要求、及び流量の計測条件の設定値の入力を受け付けるインタフェース３５０と、表示の要求が受け付けられた場合、計測条件及び設定値を同時に表示し、設定値の入力が受け付けられた場合、計測条件の表示を消去し、入力された設定値を表示する表示装置３５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明には、ガス機器のガス供給経路上において、ガス漏れを防止し、ワンタッチによるＯＮ／ＯＦＦ機能及びガス使用終了時における自動閉鎖機能を有することによって利便性及び安全性が確保されたデジタルガス弁用安全装置が開示されている。
デジタルガス弁用安全装置は、ガス供給経路上において弁の周りに提供される管状胴体と、胴体内部に提供される加熱手段と、胴体内部においてガス供給経路上における加熱手段の前方及び後方にそれぞれ提供される温度センサとを含むガス流量感知部；ガス流量感知部が測定したガス流量に対する信号の入力を受けて弁の開閉を決定する制御信号を発生する制御部；及び、制御部から制御信号を受けて弁を開閉する作動部；を含む。
本発明によれば、感知されたガス流量を用いて、ガス機器のガス使用中止の有無、不注意な放置又は長時間使用の有無、及びガス漏れの有無を判断して自動で弁を閉じることによって、ガス事故を予防し、ユーザーに利便性を提供できる。 （もっと読む）

【課題】流量センサ部自体にサーマルサイフォン現象対策を行わなくてもこれを防止できる集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構を提供する。
【解決手段】一対のセンサコイルからなる流量センサ１０が水平姿勢状態で本体ブロック１に設けられているマスフローコントローラ３と流体供給ラインＬの一部を構成するバルブ等とを繋ぐ繋ぎ流路ｔ_２，ｔ_３，ｔ_７，ｔ_８を有する複数の基板９１〜９４とを備えた集積タイプのマスフローコントローラにおいて、前記マスフローコントローラ３の前記基板９１〜９４への取付姿勢の変更に伴い前記流量センサ部１０においてサーマルサイフォン現象が生ずるのを回避すべく、前記基板９１〜９４とは異なる繋ぎ流路Ｎ_１，Ｎ_２を有する取替基板８０を設ける。 （もっと読む）

質量流量コントローラにおいてガスの温度を測定するための方法および装置が記載される。一実施形態は、別個の温度センサに頼ることなく、ガスの温度情報を質量流量コントローラの質量流量センサから引き出す。この実施形態は、実質的に一定の電流を質量流量コントローラの熱式質量流量センサに供給し、熱式質量流量センサは、ガスの質量流量レートを測定するように設計されており、現在の入力電圧を取得するために、熱式質量流量センサの入力電圧を測定する。入力電圧は、熱式質量流量センサの一対の感知要素の間の温度差によって変化する。ガスの質量流量レートに依存する現在の入力電圧の成分を計上することによって、調整入力電圧を計算し、調整入力電圧に基づいてガスの温度を計算する。 （もっと読む）

【課題】ＨＦガス等の温度に依存して重合する処理ガスの供給量（実流量）を精度良く、且つ安定して制御することが可能な処理ガスの供給方法を提供する。
【解決手段】被処理体Ｗに対して減圧雰囲気中で所定の処理を施す処理装置４に向けて温度に依存して重合する処理ガスを流量制御しつつ供給する処理ガスの供給方法において、大気圧よりも低い供給圧力が適正動作範囲となっているダイヤフラムを有する低差圧型の質量流量制御装置３４を用いて前記処理ガスの流量を制御する。これにより、ＨＦガス等の温度に依存して重合する処理ガスの供給量（実流量）を精度良く、且つ安定して制御する。 （もっと読む）

【課題】 高流量域における測定を行った場合に生じるセンサ出力信号のふらつきの影響を無くす。
【解決手段】 表示器１９３に流量を表示する際の表示分解能および、流路１２を通流する被測定流体の流量設定を行う際の分解能を流量に応じて変更するようにする。すなわち、表示部によって流量を表示する際の表示分解能を、表示値のふらつきが小さい低流量領域では表示分解能を小さくし、ふらつきが大きくなる流量域では表示分解能を大きくすることによって、表示値のふらつきをなくした流量計測が可能となる。流量設定を行う際の分解能も同様に設定することで、表示値のふらつきの影響をなくした流量制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】被制御流体の流量値を設定値（制御目標流量）に短時間に制御することが可能な、コリオリ流量計による流量計測と流量制御装置を提供する。
【解決手段】制御手段２７には、コリオリ流量計２４の流量−差圧特性が予め記憶されている。制御手段２７は、流量制御の開始時或いは流量制御目標値を変更した場合に、差圧計測手段２６からの差圧信号と上記流量−差圧特性に基づき所望の流量に相当する差圧を制御目標値としてポンプ２５の吐出量を制御するようになっている。また、制御手段２７は、流量が所望の流量、若しくはこの近傍に制御された時点でコリオリ流量計２４からの流量信号を制御目標値に移行させてポンプ２５の吐出量を制御するようになっている。 （もっと読む）